JPH03130642A - エアシヤワー室 - Google Patents
エアシヤワー室Info
- Publication number
- JPH03130642A JPH03130642A JP26714589A JP26714589A JPH03130642A JP H03130642 A JPH03130642 A JP H03130642A JP 26714589 A JP26714589 A JP 26714589A JP 26714589 A JP26714589 A JP 26714589A JP H03130642 A JPH03130642 A JP H03130642A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dust
- room
- air
- amount
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
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- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims abstract description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 abstract description 7
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Landscapes
- Ventilation (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、塵埃量を測定する測定装置を有して清浄度
の維持に好適なエアシャワー室に関するものである。
の維持に好適なエアシャワー室に関するものである。
第３図は従来のエアシャワー室を一部破断して示す全体
斜視図である。図において、（１）はクリーンμｍムに
入室する際に入室者および搬入物に付着しているダスト
を取シ除くために使用しているエアシャワー室、（２）
は入室者および搬入物に付着しているダストヲ取シ除く
ためのエアシャワーＱ吹き呂し孔、（３）はシューズあ
るいは床と接触する底部のダストを取シ除くための粘着
マツ）、（４）は照明用の螢光灯、（５）はエアシャワ
ー室（１）に入室するためのドア、（６）はクリーンμ
ｍムに入室するためのドアである。
斜視図である。図において、（１）はクリーンμｍムに
入室する際に入室者および搬入物に付着しているダスト
を取シ除くために使用しているエアシャワー室、（２）
は入室者および搬入物に付着しているダストヲ取シ除く
ためのエアシャワーＱ吹き呂し孔、（３）はシューズあ
るいは床と接触する底部のダストを取シ除くための粘着
マツ）、（４）は照明用の螢光灯、（５）はエアシャワ
ー室（１）に入室するためのドア、（６）はクリーンμ
ｍムに入室するためのドアである。
このように構成されたエアシャワー室（１）において、
ドア（５）からエアシャワー室（１）に入室すると、吹
き出し孔（２）からある一定時間、例えば、約２０秒間
エアーが供給されて図示省略した入室者および搬入物の
ダストを除去するとともに、粘着マット（３）によシシ
ューズあるいは床と接触する底部のダストが取シ除かれ
る。この後、ドア（６）よりクリーンルーム内に入る。
ドア（５）からエアシャワー室（１）に入室すると、吹
き出し孔（２）からある一定時間、例えば、約２０秒間
エアーが供給されて図示省略した入室者および搬入物の
ダストを除去するとともに、粘着マット（３）によシシ
ューズあるいは床と接触する底部のダストが取シ除かれ
る。この後、ドア（６）よりクリーンルーム内に入る。
このように、エアシャワー室（１）では、通常、時間管
理によるエアシャワーを入室者および搬入物に浴びせる
だけで、清浄度の維持を図ろうとするものである。
理によるエアシャワーを入室者および搬入物に浴びせる
だけで、清浄度の維持を図ろうとするものである。
従来のエアシャワー室（１）は以上のように、入室者お
よび搬入物に付着しているダストがエアシャワー孔（２
）から吹き出されるエアーによって確実に除去されてい
るのかどうかが分からないために、入室者および搬入物
にダストが付着したままクリーンルーム内に入室してし
まう可能性があるという問題点があった。
よび搬入物に付着しているダストがエアシャワー孔（２
）から吹き出されるエアーによって確実に除去されてい
るのかどうかが分からないために、入室者および搬入物
にダストが付着したままクリーンルーム内に入室してし
まう可能性があるという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解決するためになされ
たもので、ある一定量のダスト数以下になるまでエアシ
ャワーが供給され続けゐことで、クリーンルーム内での
清浄度が維持できるようにすることを目的とするもので
ある。
たもので、ある一定量のダスト数以下になるまでエアシ
ャワーが供給され続けゐことで、クリーンルーム内での
清浄度が維持できるようにすることを目的とするもので
ある。
クリーンμｍムへの入室者の着用物にクリーンエアーを
吹きつけ、付着した塵埃を除去する際に塵埃量を測定す
る測定手段と、その測定塵埃量を表示する表示手段とを
備えたものである。
吹きつけ、付着した塵埃を除去する際に塵埃量を測定す
る測定手段と、その測定塵埃量を表示する表示手段とを
備えたものである。
この発明によれば、エアシャワー室に入室すると、左右
および上部からエアーが供給されると同時に、ダストカ
ウンターが作動し、入室者および搬入物から発塵するダ
スト量を測定する。そしである一定量のダスト故以下に
なるまでエアーが供給され続ける。
および上部からエアーが供給されると同時に、ダストカ
ウンターが作動し、入室者および搬入物から発塵するダ
スト量を測定する。そしである一定量のダスト故以下に
なるまでエアーが供給され続ける。
第１図はこの発明の一実施例のエアシャワー室を一部破
断して示した全体斜視図であシ、第２図は第１図の■−
■線における断面図である。図において、（２）〜（６
）は従来例におけるものと同じものである。（７）はク
リーンルーム内に入室する際に、着用する無塵服、（８
）はクリーンルームに入室する際に通るべきエアシャワ
ー室、（９）は無塵服（７）から発塵するダスト数を測
定するためのダストカウンター、σＱはダストカウンタ
ー（９）で測定されたダスト数の表示計、（６）は吹き
出し孔（２）からのエアーの供給時間や風速を設定する
制御装置である。
断して示した全体斜視図であシ、第２図は第１図の■−
■線における断面図である。図において、（２）〜（６
）は従来例におけるものと同じものである。（７）はク
リーンルーム内に入室する際に、着用する無塵服、（８
）はクリーンルームに入室する際に通るべきエアシャワ
ー室、（９）は無塵服（７）から発塵するダスト数を測
定するためのダストカウンター、σＱはダストカウンタ
ー（９）で測定されたダスト数の表示計、（６）は吹き
出し孔（２）からのエアーの供給時間や風速を設定する
制御装置である。
このように構成されたエアシャワー室（８）は、ドア（
５）よシェアシャワー室（８）に入室すると、吹き出し
孔（２）から３５ｍ／ｍｉｎ程度の風速で左右および上
部から入室者に向けてエアーが供給される。同時にエア
シャワー室（８）の下部に設置したダストカウンター（
９）が作動し、無塵服（７）から発塵するダスト量を測
定し、その個数が表示計（１０で表示される。このとき
、無塵服（７）から発塵するダスト量がある基準値以上
となった場合、制御装置ｆαηが作動し吹き出し孔（２
）からエアーが供給され続けるとともに、エアーの風速
が速くなる。例えば、洗濯後の無塵服からの発塵は、静
止の場合、０．３μｍ以上のダスト数が２０〜３０個／
ｃｆ−ｍｉｎであるので、０．３μｍ以上のダスト数
が３０個を基準値とし、それ以上となった場合について
は基準値以下となるまで吹き呂し孔（２）からエアーが
供給され続け、また、風速も４０ ｙ ４５ｍ／ｍｉｎ
程度にまで速くなる。従って、無塵服（７）のダスト量
がクリーンμｍムに入室して作業を行う上で影響を及ぼ
さない程度の清浄度となっているために、クリーンルー
ム内を汚染することなく入室できる。また、ダストカウ
ンター（９）によシ測定したダスト数を表示計σＱを用
いて示すことによシ、無塵服（７）からの発塵蓋が一目
で分かるために、無塵服（７）の劣化反を知ることがで
きる。
５）よシェアシャワー室（８）に入室すると、吹き出し
孔（２）から３５ｍ／ｍｉｎ程度の風速で左右および上
部から入室者に向けてエアーが供給される。同時にエア
シャワー室（８）の下部に設置したダストカウンター（
９）が作動し、無塵服（７）から発塵するダスト量を測
定し、その個数が表示計（１０で表示される。このとき
、無塵服（７）から発塵するダスト量がある基準値以上
となった場合、制御装置ｆαηが作動し吹き出し孔（２
）からエアーが供給され続けるとともに、エアーの風速
が速くなる。例えば、洗濯後の無塵服からの発塵は、静
止の場合、０．３μｍ以上のダスト数が２０〜３０個／
ｃｆ−ｍｉｎであるので、０．３μｍ以上のダスト数
が３０個を基準値とし、それ以上となった場合について
は基準値以下となるまで吹き呂し孔（２）からエアーが
供給され続け、また、風速も４０ ｙ ４５ｍ／ｍｉｎ
程度にまで速くなる。従って、無塵服（７）のダスト量
がクリーンμｍムに入室して作業を行う上で影響を及ぼ
さない程度の清浄度となっているために、クリーンルー
ム内を汚染することなく入室できる。また、ダストカウ
ンター（９）によシ測定したダスト数を表示計σＱを用
いて示すことによシ、無塵服（７）からの発塵蓋が一目
で分かるために、無塵服（７）の劣化反を知ることがで
きる。
このようなエアシャワー室（３）とすることにょシ、入
室時の無塵服（７）等の清浄度を定量的に管理でき、半
導体装置を製造する上で信頼性の向上を図ることができ
る効果がある。
室時の無塵服（７）等の清浄度を定量的に管理でき、半
導体装置を製造する上で信頼性の向上を図ることができ
る効果がある。
なお、上記実施例では無塵服の場合について示したが、
搬送車や装置などの物品でもよく、上記実施例と同様の
効果を奏する。
搬送車や装置などの物品でもよく、上記実施例と同様の
効果を奏する。
以上のようにこの発明によれば、エアシャワー室にダス
トカウンターを設置し、入室者および搬入物から発塵す
るダスト量を測定できるようにしたので、基準値以下に
なるまで吹き出し孔からエアーが供給され続けるととも
に、エアーの風速を速くすることでクリーンルーム内で
の清浄度を維持することができるという効果がある。
トカウンターを設置し、入室者および搬入物から発塵す
るダスト量を測定できるようにしたので、基準値以下に
なるまで吹き出し孔からエアーが供給され続けるととも
に、エアーの風速を速くすることでクリーンルーム内で
の清浄度を維持することができるという効果がある。
第１図はこの発明の一実施例のエアシャワー室を一部破
断して示す全体図、Ｍ２図は第１図の■−■線における
断面図、第３図は従来のエアシャワー室を一部破断して
示す全体図である。 図において、（２）はエアシャワーの吹き出し孔、（８
）はエアシャワー室、（９）はダストカウンター、（１
０はダスト数の表示計である。 なお、 各図中、 同一符号は同一、 または相当部 分を示す。
断して示す全体図、Ｍ２図は第１図の■−■線における
断面図、第３図は従来のエアシャワー室を一部破断して
示す全体図である。 図において、（２）はエアシャワーの吹き出し孔、（８
）はエアシャワー室、（９）はダストカウンター、（１
０はダスト数の表示計である。 なお、 各図中、 同一符号は同一、 または相当部 分を示す。
Claims (1)
- クリーンルームへの入室者の着用物にクリーンエアーを
吹きつけ、付着した塵埃を除去する際に、塵埃量を測定
する測定手段と、その測定塵埃量を表示する表示手段と
を備えたエアシヤワー室。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26714589A JPH03130642A (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | エアシヤワー室 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26714589A JPH03130642A (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | エアシヤワー室 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH03130642A true JPH03130642A (ja) | 1991-06-04 |
Family
ID=17440710
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26714589A Pending JPH03130642A (ja) | 1989-10-14 | 1989-10-14 | エアシヤワー室 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH03130642A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6646083B2 (en) | 2000-06-16 | 2003-11-11 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Crosslinked polymers containing tertiary amine and/or quaternary ammonium salt structures, processes for making and uses thereof |
| JP2011145052A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-07-28 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JP2020076548A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | インホ ソン | 外部空気の室内供給装置 |
| CN111521345A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-11 | 李阳庭 | 一种正压防护服漏气破损检测装置 |
| CN115821560A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-03-21 | 浙江衣拿智能科技股份有限公司 | 一种基于除尘机的衣物除尘控制方法及装置 |
-
1989
- 1989-10-14 JP JP26714589A patent/JPH03130642A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6646083B2 (en) | 2000-06-16 | 2003-11-11 | Nippon Shokubai Co., Ltd. | Crosslinked polymers containing tertiary amine and/or quaternary ammonium salt structures, processes for making and uses thereof |
| JP2011145052A (ja) * | 2009-12-17 | 2011-07-28 | Hitachi Industrial Equipment Systems Co Ltd | エアシャワー装置 |
| JP2020076548A (ja) * | 2018-11-08 | 2020-05-21 | インホ ソン | 外部空気の室内供給装置 |
| CN111521345A (zh) * | 2020-06-09 | 2020-08-11 | 李阳庭 | 一种正压防护服漏气破损检测装置 |
| CN115821560A (zh) * | 2022-11-25 | 2023-03-21 | 浙江衣拿智能科技股份有限公司 | 一种基于除尘机的衣物除尘控制方法及装置 |
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