JPH01219439A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
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- JPH01219439A JPH01219439A JP4480988A JP4480988A JPH01219439A JP H01219439 A JPH01219439 A JP H01219439A JP 4480988 A JP4480988 A JP 4480988A JP 4480988 A JP4480988 A JP 4480988A JP H01219439 A JPH01219439 A JP H01219439A
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- JP
- Japan
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- worker
- hands
- transmitting passage
- cleaning device
- door
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 14
- 239000003599 detergent Substances 0.000 abstract description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 4
- 238000001035 drying Methods 0.000 abstract description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
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- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
のｔ
本発明は清浄な環境を創り維持するクリーンルームに関
し、特にクリーンルームの入室部分に関する。
し、特にクリーンルームの入室部分に関する。
従迷ｊｕＬ１
半導体製造工程では工程毎に環境の清浄度が決められ、
特に半導体ウェハに半導体素子を形成する前工程では厳
しい基準が決定され厳密に管理、維持されている。
特に半導体ウェハに半導体素子を形成する前工程では厳
しい基準が決定され厳密に管理、維持されている。
一方、作業者は衣服から発生する糸くずや、衣服に付着
した塵埃、皮膚から出るゴミなど、清浄度を低下させる
要素を多く持っているため、低発塵性の無塵衣、マスク
、帽子、手袋なとを着用している。
した塵埃、皮膚から出るゴミなど、清浄度を低下させる
要素を多く持っているため、低発塵性の無塵衣、マスク
、帽子、手袋なとを着用している。
また、外部環境からクリーン環境に入る前に、手洗いと
エアシャワーを実施し、無塵衣そのものに付着した塵埃
などを除去している。
エアシャワーを実施し、無塵衣そのものに付着した塵埃
などを除去している。
この具体的な作業を第２図から説明する。１は更衣場、
２は靴履替え場、３は手洗場、４は姿見、５はクリーン
マット、６はエアシャワー場で、更衣場１〜クリーンマ
ット５は１つの室７．に設置され、エアシャワー場６は
室８に設置されており、室８に隣接してクリーン環境９
がある。各室８，９には扉１０，１１，１２．が設けら
れている。
２は靴履替え場、３は手洗場、４は姿見、５はクリーン
マット、６はエアシャワー場で、更衣場１〜クリーンマ
ット５は１つの室７．に設置され、エアシャワー場６は
室８に設置されており、室８に隣接してクリーン環境９
がある。各室８，９には扉１０，１１，１２．が設けら
れている。
作業者は外部環境から扉１０を通り、室７に入り、更衣
場１でクリーンルーム用作業服を着用し、靴履替え場２
でクリーンルーム用の靴に履替え、手洗部３で洗剤を使
用して手洗しエアタオルで乾燥後、姿見４で服装、着帽
などの確認をし、クリーンマント５上で靴の裏に付着し
た塵埃を除去し、扉１１を開き、室８に入る。ここで２
〜３回、体を回転してエアシャワーを全身に浴び、衣服
などに付着した塵埃を落とし、エアシャワー停止後、扉
１２を開いてクリーン環境９に入る。
場１でクリーンルーム用作業服を着用し、靴履替え場２
でクリーンルーム用の靴に履替え、手洗部３で洗剤を使
用して手洗しエアタオルで乾燥後、姿見４で服装、着帽
などの確認をし、クリーンマント５上で靴の裏に付着し
た塵埃を除去し、扉１１を開き、室８に入る。ここで２
〜３回、体を回転してエアシャワーを全身に浴び、衣服
などに付着した塵埃を落とし、エアシャワー停止後、扉
１２を開いてクリーン環境９に入る。
Ｂ（’ −ｉ
ところで、上記作業は作業者の実行に任されており、い
ずれかの一つの作業でもなおざりにされるとクリーン環
境を著しく汚染し、作業工程によっては製品の品質に直
接影響を与える虞があった。
ずれかの一つの作業でもなおざりにされるとクリーン環
境を著しく汚染し、作業工程によっては製品の品質に直
接影響を与える虞があった。
； た の
本発明は上記課題を解決するために提案されたもので、
外部環境とクリーン環境の間に配置され第１．第２の扉
で区画された空間内に、第１．第２の扉間に搬送路を設
けると共に搬送路に沿って清？１１装置を配置し、清浄
装置の作動状況にに応じて搬送路及び扉の開閉を制御す
るようにしたことを特徴としたクリーンルームを提供す
る。
外部環境とクリーン環境の間に配置され第１．第２の扉
で区画された空間内に、第１．第２の扉間に搬送路を設
けると共に搬送路に沿って清？１１装置を配置し、清浄
装置の作動状況にに応じて搬送路及び扉の開閉を制御す
るようにしたことを特徴としたクリーンルームを提供す
る。
炎息■
以下に本発明の実施例を第１図から説明する。
図において、第２図と同一符号は同一物を示し説明を省
略する。第２図と相異するのは手洗部のみで、本発明で
は、この手洗部１３を室７の中でさらに区画し、区画室
１４を扉ｉｓ、ｉｅを介して靴履替え場２．姿見４と連
絡している。この第１．第２の扉１５． ｔｓは区画室
１４の両端部に配置され、冬場１５．１６間の床面にベ
ルトコンベアによる搬送路１７か設けられ、さらに搬送
路１７に沿って清浄装置１８が配置されている。清浄装
置１８は洗剤を用いた手洗部１８ａ 、手洗によるすす
ぎ部１８ｂ 、エア吹付けにより濡れた手を乾燥させる
エアタオル部１８ｃに分かれている。
略する。第２図と相異するのは手洗部のみで、本発明で
は、この手洗部１３を室７の中でさらに区画し、区画室
１４を扉ｉｓ、ｉｅを介して靴履替え場２．姿見４と連
絡している。この第１．第２の扉１５． ｔｓは区画室
１４の両端部に配置され、冬場１５．１６間の床面にベ
ルトコンベアによる搬送路１７か設けられ、さらに搬送
路１７に沿って清浄装置１８が配置されている。清浄装
置１８は洗剤を用いた手洗部１８ａ 、手洗によるすす
ぎ部１８ｂ 、エア吹付けにより濡れた手を乾燥させる
エアタオル部１８ｃに分かれている。
この区画室１４内での作業者の動作による各部の操作を
説明する。先ず更衣、靴履替えを終えた作業者は第１の
ｒｉＡ１５を開き区画室１４内に入る。そして搬送路１
７上に載って、手洗部１８ａで手を洗う。
説明する。先ず更衣、靴履替えを終えた作業者は第１の
ｒｉＡ１５を開き区画室１４内に入る。そして搬送路１
７上に載って、手洗部１８ａで手を洗う。
清浄装置１８は流し内に手が挿入されたかどうかを検出
するセンサ、所定の時間、流水に手を当てているかを検
出するセンサ、洗剤の供給、停止を検出するセンサなど
のセンサ群が配置され、手洗いの状況を監視して、予め
設定された条件に満たない作業者の行動を検出する。
するセンサ、所定の時間、流水に手を当てているかを検
出するセンサ、洗剤の供給、停止を検出するセンサなど
のセンサ群が配置され、手洗いの状況を監視して、予め
設定された条件に満たない作業者の行動を検出する。
手洗部１８ａで洗剤を用い十分な流水で手洗いを実行し
たことを検出すると搬送路１７は作業者をすすぎ部１８
ｂに移動させる。同様に十分なすすぎ作業が実行される
と、エアタオル部１８ｃに移動させ、手の乾燥を検出後
、第２の扉１６を開いて姿見場４に入れるようにする。
たことを検出すると搬送路１７は作業者をすすぎ部１８
ｂに移動させる。同様に十分なすすぎ作業が実行される
と、エアタオル部１８ｃに移動させ、手の乾燥を検出後
、第２の扉１６を開いて姿見場４に入れるようにする。
ここで、作業者が正規の作業をせず、例えば搬送路１７
上を歩いて第２の扉１６前に立ってφ扉は開かず、搬送
路１７は逆転して作業者を手洗部１８ａに戻す。途中か
ら後の作業を省略したり、途中から作業を開始しても同
様に搬送路１７が作業すべき場所に作業者を引き戻す。
上を歩いて第２の扉１６前に立ってφ扉は開かず、搬送
路１７は逆転して作業者を手洗部１８ａに戻す。途中か
ら後の作業を省略したり、途中から作業を開始しても同
様に搬送路１７が作業すべき場所に作業者を引き戻す。
このようにして正規の作業手順を実行した作業者のみが
クリーン環境に導かれる。
クリーン環境に導かれる。
尚、本発明は上記実施例にのみ限定されることな（、例
えば、清浄装置１８は手洗について説明したが、エアシ
ャワーに置換してもよく、この場合は手の上下や体の回
転などを検出して搬送路や扉の制御をすればよい。
えば、清浄装置１８は手洗について説明したが、エアシ
ャワーに置換してもよく、この場合は手の上下や体の回
転などを検出して搬送路や扉の制御をすればよい。
また、搬送路１７は間歇動だけでなく、連続的に動（よ
うにしてもよい。
うにしてもよい。
また搬送路１７はベルトコンベアだけでなく、ターンテ
ーブルを用い、ターンテーブル上を放射状に作業者１人
１人が入る室を区画して設けてもよ（、これによれば、
搬送路を逆転させるこなく作業者を始めのポジションに
戻すことができ、入念な作業をさせることができる。
ーブルを用い、ターンテーブル上を放射状に作業者１人
１人が入る室を区画して設けてもよ（、これによれば、
搬送路を逆転させるこなく作業者を始めのポジションに
戻すことができ、入念な作業をさせることができる。
完ｌ廊η迩呈−
以上のように、本発明によれば所定の清浄作業を完了し
た作業者のみをクリーン環境に導くことができ、クリー
ン環境内の清浄度を安定に保て、製品品質も安定する。
た作業者のみをクリーン環境に導くことができ、クリー
ン環境内の清浄度を安定に保て、製品品質も安定する。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明を説明するレイアウト図、第２図は従来
のクリーンルームのレイアウト図を示す。 ９・・・クリーン環境、１４・・・区画室、１５・・・
第１の扉、１８・・・第２の扉、１７・・・搬送路、１
８・・・清浄装置。 第 １ 図 第 ２ ｍ
のクリーンルームのレイアウト図を示す。 ９・・・クリーン環境、１４・・・区画室、１５・・・
第１の扉、１８・・・第２の扉、１７・・・搬送路、１
８・・・清浄装置。 第 １ 図 第 ２ ｍ
Claims (1)
- 外部環境とクリーン環境との間に配置され第１、第２
の扉で区画された空間内に、第１、第２の扉間に搬送路
を設けると共に搬送路に沿って清浄装置を配置し、清浄
装置の作動状況に応じて搬送路及び扉の開閉を制御する
ようにしたことを特徴とするクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4480988A JPH01219439A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4480988A JPH01219439A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01219439A true JPH01219439A (ja) | 1989-09-01 |
Family
ID=12701756
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4480988A Pending JPH01219439A (ja) | 1988-02-26 | 1988-02-26 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01219439A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998036258A3 (en) * | 1997-02-18 | 1998-10-29 | Johnson Raymond C | Apparatus and method for monitoring hand washing |
| US9672726B2 (en) | 2010-11-08 | 2017-06-06 | Georgia-Pacific Consumer Products Lp | Hand hygiene compliance monitoring system |
| US9824569B2 (en) | 2011-01-28 | 2017-11-21 | Ecolab Usa Inc. | Wireless communication for dispenser beacons |
| US10529219B2 (en) | 2017-11-10 | 2020-01-07 | Ecolab Usa Inc. | Hand hygiene compliance monitoring |
| USRE48951E1 (en) | 2015-08-05 | 2022-03-01 | Ecolab Usa Inc. | Hand hygiene compliance monitoring |
| US11272815B2 (en) | 2017-03-07 | 2022-03-15 | Ecolab Usa Inc. | Monitoring modules for hand hygiene dispensers |
-
1988
- 1988-02-26 JP JP4480988A patent/JPH01219439A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1998036258A3 (en) * | 1997-02-18 | 1998-10-29 | Johnson Raymond C | Apparatus and method for monitoring hand washing |
| GB2337327A (en) * | 1997-02-18 | 1999-11-17 | Raymond Charles Johnson | Apparatus and method for monitoring hand washing |
| US6038331A (en) * | 1997-02-18 | 2000-03-14 | Johnson; Raymond C. | Apparatus and method for monitoring hand washing |
| US9672726B2 (en) | 2010-11-08 | 2017-06-06 | Georgia-Pacific Consumer Products Lp | Hand hygiene compliance monitoring system |
| US9965943B2 (en) | 2010-11-08 | 2018-05-08 | Gpcp Ip Holdings Llc | Hand hygiene compliance monitoring system |
| US9824569B2 (en) | 2011-01-28 | 2017-11-21 | Ecolab Usa Inc. | Wireless communication for dispenser beacons |
| USRE48951E1 (en) | 2015-08-05 | 2022-03-01 | Ecolab Usa Inc. | Hand hygiene compliance monitoring |
| US11272815B2 (en) | 2017-03-07 | 2022-03-15 | Ecolab Usa Inc. | Monitoring modules for hand hygiene dispensers |
| US10529219B2 (en) | 2017-11-10 | 2020-01-07 | Ecolab Usa Inc. | Hand hygiene compliance monitoring |
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