JPH054093B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はクリーンルーム用の手洗装置に関す
る。

（従来の技術） 半導体素子の製造等に用いられるクリーンルー
ムは高い洗浄度が要求され、その高い洗浄度を維
持する為にフイルタ等にてクリーンルーム内の空
気を常に濾過するとともに、作業者の出入りにお
いては無塵衣に着替えさせてクリーンルーム内に
塵が侵入しないように細心の注意が施されてい
る。

従来手洗装置を第９図により説明する。

図中３０は前面を開口した殻状の手洗器であ
り、この手洗器３０の内部上方に吐水ノズル３１
を、下方に排水管３２を設けるとともに、その内
部背方にはヒータ３３及びフアン３４を設けて温
風を前方へ吹き付けるようにする。尚、図中３５
は発光受光センサであり、手洗器３０内に手が侵
入したことを検出し、この検出信号により前記吐
水ノズル３１、ヒータ３３及びフアン３４を作動
させるものである。

而して、前記手洗装置において手洗器３０内に
手を入れるとセンサ３５が手の侵入を検出し、吐
水ノズル３１から一定時間供給される。給水終了
後ヒータ３３及びフアン３４が作動して温風を一
定時間送風する。

前記従来手洗装置は手を乾燥させる時手垢等に
て生じる塵が温風とともに飛散してしもうので、
クリーンルーム内に設けると洗浄度を低下させて
しまう。

従つて手洗装置はクリーンルーム外に設けられ
ており、作業者は必要に応じてクリーンルームを
出入りするが、出入りの度に着替えなくてはなら
ないので非常にめんどうであるとともに、着替え
に時間がかかり生産性が悪かつた。

（発明の構成） 斯る本発明のクリーンルーム用手洗装置は、洗
浄装置と温風発生機及び排気用フアンからなる乾
燥装置と、人を感知する感知部とを備え、該感知
部の感知信号により前記洗浄装置を自動的に作動
させて洗浄動作終了後所定時間経過してから前記
乾燥装置を作動させる制御部を設けたことを特徴
とする。

（作用） 以上のように構成した手洗装置は、手洗い・乾
燥をしても手洗器外へ塵が飛散することが無い。

また、乾燥装置の作動は洗浄動作終了後所定時
間経過してからなので、洗浄の水滴を乾燥装置の
排気フアンへ巻込むことが無い。

（実施例） 本発明実施例を図面により説明する。第１図は
本発明実施例の手洗装置の要部を示す拡大断面
図、第２図は第１図の要部拡大断面図、第３図は
操作パネルの拡大正面図、第４図は第１図の自動
のタイムチヤート図、第５図は同フローチヤート
図、第６図は第１図の手動のタイムチヤート図、
第７図の同フローチヤート図、第８図は本実施例
の手洗装置を用いた便所装置を示す。第８図はク
リーンルームの一部を仕切つた便所装置であり、
クリーンルームと同様に床面２２からエアを吸引
し、濾過したエアを天井２３から吹入れる構造と
なつており、大便器２１、小便器２０及び手洗装
置１が各々配設されている。

大便器２１は自動局部洗浄装置を備えたもの
で、無接触で作動させて用足し出来るように構成
されたもので、塵等を飛散させない構造になつて
いる。

小便器２０も無接触で作動させて用足し出来る
ように構成されたもので、塵等を飛散させない構
造になつている。

次に手洗装置１について第１図〜第３図により
説明する。

図中２は手洗器であり、この手洗器２は略半球
状の殻体に形成したボール部２ａを、一体に形成
した仕切壁２ｃで前後に分割するとともに開口部
２ｄを形成する球面状の上部２ｂを一体に設けた
もので、クリーンルーム壁面２４に開口部２ｄが
露出するように設けられている。

前記上部２ｂとボール部２ａとの境には平面一
周状に、通水路２ｅが形成され下向きの流水孔２
ｆ，２ｆ……が多数穿設されるとともに、この通
水路２ｅには電磁弁１０を介して給水管１１が連
結され、所定時間電磁弁１０を開放することによ
つてボール部２ａを水洗浄するものである。

手洗器２のボール部２ａ下端には排水口２ｇが
穿設され、排水トラツプ１２が連結されるととも
に、仕切壁２ｃの背面側上部には排気孔２ｈが穿
設され、排気用フアン４を備えた排気管１３が連
結される。

以上のように排気孔２ｈを形成するのは、手洗
器２内の空気を、仕切壁２ｃに迂回させることに
よつて水滴をボール部２ａに付着させて水滴を少
なくさせる為である。

排気用フアン４は後述する制御部５により手洗
時所定時間駆動され、手洗器２内のエアを吸引し
て排気することによつて、手洗器２内の塵が飛散
されるのを防止するものである。

手洗器２の上部２ｂには下方に向けて吐水ノズ
ル６、感知部７及び吹出しノズル３ａが各々配設
されている。

吹出しノズル３ａはフレキシブル管３ｆを介し
て温風発生機３に連結される。温風発生機３は吸
気管３ｇが接続するケース３ｅ内に、送風フアン
３ｂ、エアフイルタ３ｃ及びセラミツクヒータ３
ｄを内設したもので、送風フアン３ｂ及びセラミ
ツクヒータ３ｄを作動させることによつて清浄な
温風を吹出しノズルから手洗器２へ送風する。

吐水ノズル６は、電磁弁１４を介して給水管１
５に連結され、一定時間電磁弁１４を開放するこ
とによつて手洗水を手洗器２に給水するものであ
る。

感知部７は第２図に示すように傾斜状に設けら
れた発光受光センサであり、手が手洗器２内に侵
入したことを検出するものである。感知部７は鉛
直状の向きで手洗器２の奥に設けられていると手
を奥へ入れる迄感知部７に検出されず、手前側に
設けられていると人が通るだけで誤動作してしま
う。このように感知部７を傾斜状に設けることに
よつて誤動作が少ないとともに、手を奥迄入れな
くても感知部７に検出されるようになる。

以上の送風フアン３ｂ、セラミツクヒータ３
ｄ、感知部７、電磁弁１０，１４及び排気用フア
ン４は全て制御部５に電気的に接続され、その動
作は第４図及び第５図のタイムチヤートに示すと
おりである。

また、第３図及び第８図に示す操作パネル８は
前記手洗装置の自動・手動を切替えるものであ
り、洗浄装置の手動スイツチ８ｄ、乾燥装置の手
動スイツチ８ｅ、停止スイツチ８ｃが各々設けら
れ、前記制御部５に各々電気的に接続されてい
る。

第４図により前記実施例の自動制御及び動作を
説明する。

大便器２１又は小便器２０によて用足した後、
手洗装置１に手を入れると、感知部７が手を検出
して検出信号S₁を発生する。

検出信号S₁が発生されてから以下に述べる一連
の動作の終了迄の時間は感知部入力禁止S₄とな
り、以後感知部７による検出信号S₂，S₃はキヤン
セルされる。

検出信号S₁に基づいて電磁弁１４が回動し所定
時間T₁手洗水を吐出ノズル６より吐出する。こ
の水で作業者は手を洗う。

また、同時に検出信号S₁に基づいて電磁弁１０
の開動信号T₂が発せられ、電磁弁１０が開動し
て手洗器洗浄水を流水孔２ｆから吐出しボール部
洗浄する。この電磁弁１０の開弁時間T₂は１秒
であり、この開弁時間経過後、電磁弁１０は閉弁
し６秒T₃後に再び開弁するものであり、このよ
うな電磁弁１０の周期的な開閉動作が手洗い時間
内で複数回繰返される。電磁弁１０の開弁及び閉
弁時間T₂，T₃は制御部５においてタイマでカウ
ントされており、同制御部５における設定時間の
周期で電磁弁１０が開閉されるものである。

前記電磁弁１０の周期的な開閉動作によつて手
洗器２のボール部２ａ内には手洗い終了以降まで
適量の洗浄水が途絶えることなく供給され、手洗
いによる汚水がボール部２ａに残留することなく
排出される。

以上のように手洗い及びボール部２ａの洗浄が
行われた後、所定時間例えば５秒経過後に温風発
生機３と排気用フアン４とが同時に作動して手の
乾燥とボール部２ａ内の排気を行う。

このように吐水ノズル６及び流水孔２ｆの吐水
停止と、温風発生機３及び排気フアン４の作動と
の間に遅延時間T₄を設けた理由は、ボール部２
ａに残つた洗浄水又は汚水が温風発生機３からの
温風によつてボール部２ａ外へ飛散することを防
止し、且つ前記洗浄水等が排気フアン４へ吸引さ
れて同装置に悪影響を及ぼさないようにするため
である。

温風発生機３の作動は、送風フアン３ｂの回転
により空気がセラミツクヒータ３ｄの通過時に加
熱されて温風となり、その温風が吹出しノズル３
ａから吹出して手に当り、手を乾燥するものであ
る。前記送風フアン３ｂの作動時間は制御部５に
おいてタイマーでカウントされており、同制御部
５における所定時間内で送風フアン３ｂが作動す
るものである。また、セラミツクヒータ３ｄは制
御部５への感知信号の入力時に加熱を開始されて
おり、乾燥開始時に送風フアン３ｂとにより即座
に温風を送れるようになつている。

排気用フアン４はその回転により排気通路１３
を介してボール部２ａ内を吸引するものであり、
前記温風発生機３の作動停止後所定の遅延時間
T₅例えば５秒経過後に作動を停止する。この遅
延時間を設けた理由は、手の乾燥終了後において
手をこすり合わせることによる発生する手の老廃
物等の塵をボール部２ａに残留させることなく排
出するためである。

前記自動制御を手動制御に切替える場合は、操
作パネル８における停止スイツチ８ｃを押すこと
により、自動制御で行われていた動作が停止され
て初期状態にリセツトされ、然る後手洗い用スイ
ツチ８ｄ又は乾燥用スイツチ８ｅを押すことによ
り制御が手動に切換わるものであり、手動制御を
第５図により説明する。尚、自動制御の最中に手
洗い用スイツチ８ｄ及び乾燥用スイツチ８ｅを押
しても、その入力は制御部５に受け付けられない
ようになつている。

手洗い用スイツチ８ｄを押すと、洗浄装置及び
ボール部洗浄装置が自動制御の場合と同時に作動
を同時に開始し、手の洗浄とボール部２ａの洗浄
とを行なうものである。手の洗浄を所望時間行つ
た後洗浄水の吐水を停止させるには、停止用スイ
ツチ８ｃを押すか又は乾燥用スイツチ８ｅを押
す。乾燥用スイツチ８ｅを押した場合、洗浄水の
吐水が停止された後自動制御の場合と同様所定の
遅延時間をおいて温風発生機及び排気用フアンの
作動が開始され、手洗いから乾燥へと作動が切換
わる。

一方、乾燥用スイツチ８ｅを押した場合は、前
記と同様に温風発生機及び排気用フアンの作動に
よつて所望時間手を乾燥できるものである。尚、
乾燥の停止は停止用スイツチ８ｃを押すか又は手
洗い用スイツチ８ｄを押すことにより行われる
が、手洗い用スイツチ８ｄを押した場合は、自動
制御のときと同様に所定の時間をおいて作動が手
の洗浄に切換わるものである。

（効果） 本発明は以上のように、洗浄装置と、温風発生
機及び排気用フアンからなる乾燥装置と、人を感
知する感知部とを備え、該感知部の感知信号によ
り前記洗浄装置を自動的に作動させて洗浄動作終
了後所定時間経過してから前記乾燥装置を作動さ
せる制御部を設けてなるクリーンルーム用手洗装
置に構成したので、手洗い・乾燥をしても手洗器
外へ塵が飛散することが無く、クリーンルーム内
の洗浄度を損なわない。

また、乾燥装置の作動は洗浄動作終了後所定時
間経過してからなので、洗浄の水滴を乾燥装置の
排気フアンへ巻込むことが無く、排気フアンが錆
びたり、絶縁不良になつたりすることが無い。従
つて装置の寿命が永い。

依つて所期の目的を達する。

【図面の簡単な説明】

本発明実施例を図面により説明する。第１図は
本発明実施例の手洗装置の要部を示す拡大断面
図、第２図は第１図の要部拡大断面図、第３図は
操作パネルの拡大正面図、４図は第１図の自動の
タイムチヤート図、第５図は同フローチヤート
図、第６図は第１図の手動のタイムチヤート図、
第７図は同フローチヤート図、第８図は本実施例
の手洗装置を用いた便所装置を示す立体図、第９
図は従来装置の断面図である。 図中、１……手洗装置、２……手洗器、３……
温風発生機、４……排気用フアン、５……制御
部、６……吐水ノズル、７……感知部である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 洗浄装置と、温風発生機及び排気用フアンか
   らなる乾燥装置と、人を感知する感知部とを備
   え、該感知部の感知信号により前記洗浄装置を自
   動的に作動させて洗浄動作終了後所定時間経過し
   てから前記乾燥装置を作動させる制御部を設けて
   なるクリーンルーム用手洗装置。