JPS61109979A - クリ−ンル−ム用手洗装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明はクリーンルーム用の手洗装置に関する。

（従来の技術） 半導体素子の製造等に用いられるクリーンルームは高い
洗浄度が要求され、その高い洗浄度を維持する為にフィ
ルタ等にてクリーンルーム内の空気を常に濾過するとと
もに、作業者の出入りにおいては無塵衣に着替えさせて
クリーンルーム内に塵が侵入しないように細心の注意が
施されている。

従来手洗装置を第９図により説明する。

図中（３０ンは前面を開口した殻状の手洗器であり、こ
の手洗器（３０）の内部上方に吐水ノズル（３１）を、
下方に排水管（３２）を設けるとともに、その内部背方
にはヒータ（３３）及びファン（３４）を設けて温風を
前方へ吹ぎ付けるようにする。尚、図中（３５）は発光
受光センサであり、手洗器（３０）内に手が侵入したこ
とを検出し、この検出信号により前記吐水ノズル（３１
）、ヒータ（３３）及びファン（３４）を作動させるも
のである。

而して、前記手洗装置において手洗器（３０）内に手を
入れるとセンサ（３５）が手の侵入を検出し、吐水ノズ
ル（３１）から一定時間供給される。給水終了後ヒータ
（３３）及びファン（３４）が作動して温風を一定時間
送風する。

前記従来手洗装置は手を乾燥させる時手垢等にて生じる
塵が温風とともに飛散してしもうので、クリーンルーム
内に設けると洗浄度を低下させてまう。

従って手洗装置はクリーンルーム外に設けられており、
作業者は必要に応じてクリーンルームを出入りするが、
出入りの度に着替えなくてはならないので非常にめんど
うであるとともに、着替えに時間がかかり生産性が悪か
った。

（発明の構成） 斯る本発明のクリーンルーム用手洗装置は、洗浄装置と
温風発生機及び排気用ファンからなる乾燥装置と、人を
感知する感知部とを備え、該感知部の感知信号により前
記洗浄装置を自動的に作動させて洗浄動作終了後所定時
間経過してから前記乾燥装置を作動させる制御部を設け
たことを特徴とする。

（作用） 以上のように構成した手洗装置は、手洗い・乾燥をして
も手洗器外へ塵が飛散することが無い。

また、乾燥装置の作動は洗浄動作終了後所定時間経過し
てからなので、洗浄の水滴を乾燥装置の排気ファンへ巻
込むことが無い。

（実施例） 本発明実施例を図面により説明する。第１図は本発明実
施例の手洗装置の要部を示す拡大所面図、第２図は第１
図の要部拡大断面図、第３図は操作パネルの拡大正面図
、第４図は第１図の自動のタイムチー−１図、第５図は
同フローチャート図、第６図は第１図の手動のタイムチ
ャート図、第７図の同フローチャート図、第８図は本実
施例の手洗装置を用いた便所装置を示す。第８図はクリ
ーンルームの一部を仕切った便所装置であり、クリーン
ルームと同様に床面（２２）から工Ｔを吸引し、濾過し
たエアを天井（２３）から吹入れる構造となっており、
大便器（２１）　、小便器（２０）及び手洗装置（１）
が各々配設されている。

大便器（２１）は自動局部洗浄装置を備えたもので、無
接触で作動させて用足し出来るように構成されたもので
、Ｍ等を飛散させない４１！ＩＳ造になっている。

小便器（２０）も無接触で作動させて用足し出来るよう
に構成されたもので、塵等を飛散させない構造になって
いる。

次に手洗装置（１）について第１図〜第３図により説明
する。

図中（２）は手洗器であり、この手洗器（２）は略半球
状の殻体に形成したボール部（２ａ）を、一体に形成し
た仕切壁（２Ｃ）で前接に分割ツるとともに開口部（２
ｄ）を形成する球面状の上部（２ｂ）を一体に設けたも
ので、クリーンルーム壁面（２４）に開口部（２ｄ）が
露出するように設けられている。

前記上部（２ｂ）とボール部〈２ａ）どの境には平面−
周状に、通水路（２ｅ）が形成され下向きの流水孔＜２
ｃ＞　　（２ｆ）・・・が多数穿設されるとともに、こ
の通水路（２ｅ）には電磁弁（１０）を介して給水管（
１１）が連結され、所定時間電磁弁（１０）を開放する
ことによってボール部（２ａ）を水洗浄するものである
。

手洗器（２）のボール部（２ａ）下端には排水口（２ｇ
）が穿設され、排水トラップ（１２）が連結されるとと
もに、仕切壁（２ｃ）の背面側上部には排気孔（２ｈ）
が穿設され、排気用ファン（４）を備えた排気管（１３
）が連結される。

以上のように排気孔（２ｈ）を形成するのは、手洗器（
２）内の空気を、仕切壁（２Ｃ）に迂回させることによ
って水滴をボール部（２ａ）に付着させて水滴を少なく
させる為である。

排気用ファン（４）は侵述する制御部（５）により手洗
侍所定時間駆動され、手洗器（２）内のエアを吸引して
排気することによって、手洗器（２）内の塵が飛散され
るのを防止するものである。

手洗器（２）の上部（２ｂ）には下方に向けて吐水ノズ
ル（６）、感知部（７）及び吹出しノズル（３ａ）が各
々配設されている。

吹出しノズル（３ａ）はフレキシブル管（３ｒ）を介し
て温風発生磯（３）に連結される。温風発生瀕（３）は
吸気管（３ｇ）が接続するケース（３ｅ）内に、送風フ
ァン（３ｂ）、エアフィルタ（３Ｃ）及びセラミックヒ
ータ（３ｄ）を内設したちので、送風ファン（３ｂ）及
びセラミックヒータ（３ｄ）を作動させることによって
清浄な温風を吹出しノズルから手洗器（２）へ送風する
。

吐水ノズル（６）は、電磁弁（１４）を介して給水管（
１５）に連結され、一定時間電磁弁（１４）を開放層る
ことによって手洗水を手洗器（２）に給水するものであ
る。

感知部（７）は第２図に示すように傾斜状に設けられた
発光受光センサであり、手が手洗器（２）内に侵入した
ことを検出するものである。

感知部（７）は鉛直状の向きで手洗器（２〉の奥に設け
られていると手を奥へ入れる迄感知部（７）に検出され
ず、手前側に設けられていると人が通るだけで誤動作し
てしまう。このように感知部（７）を傾斜状に設けるこ
とによって誤動作が少ないとともに、手を臭迄入れなく
ても感知部（７）に検出されるようになる。

以上の送風ファン（３ｂ）、セラミックヒータ（３ｄ）
、感知部（７）、電磁弁（１０）　　（１４）及び排気
用ファン（４）は全て制御部（５〉に電気的に接続され
、その動作は第４図及び第５図のタイムチャートに示す
とおりである。

また、第３図及び第８図に示す操作パネル（８）は前記
手洗装置の自動・手動を切替えるものであり、洗浄装置
の手動スイッチ（８ｄ）。

乾燥装置の手動スイッチ（８ｅ）、停止スイッチ（８Ｃ
）が各々設けられ、前記制御部（５）に各々電気的に接
続されている。

第４藺により前記実施例の自動制御及び動作を説明する
。

大便器（２１）又は小便器（２０）にて用足しした後、
手洗装置（１）に手を入れると、感知部（７）が手を検
出して検出信号（Ｓｌ）を発生する。

検出信号（Ｓｌ）が発生されてから以下に述べる一連の
動作の終了迄の時間は感知部入力禁止（Ｓ４）となり、
以後感知部（７）による検出信号（Ｓ２　）　　（Ｓ３
　）はキセンセルされる。

検出信号（Ｓｌ）に基づいて電磁弁（１４）が回動し所
定時間（Ｔ１）手洗水を吐出ノズル（６）より吐出する
。この水で作業者は手を洗う。

また、同時に検出信号（Ｓ＋　）に基づいて電磁弁（１
０）の開動信号（Ｔ２）が発せられ、電磁弁（１０）が
開動して手洗器洗浄水を流水孔（２「）から吐出しボー
ル部洗浄する。この電磁弁（１０）の開弁時間（Ｔ２）
は１秒であり、この量弁時間経過後、電磁弁（１０）は
閉弁し６秒（Ｔ３）後に再び開弁するものであり、この
ような電磁弁（１０）の周期的な開閉動作が手洗い時間
内で複数回繰返される。電磁弁（１０）の開弁及び閉弁
時間（Ｔ２　）　　（Ｔ３　）は制御部（５）において
タイマでカウントされており、同ｉ、ＩＪ御部（５）に
おける設定時間の周期で電磁弁（１０）が開閉されるも
のである。

前記電磁弁（１０）の周期的な開閉動作によって手洗器
（２）のボール部（２ａ）内には手洗い終了以降まで適
量の洗浄水が途絶えることなく供給され、手洗いによる
汚水がボール部（２ａ）に残留することなく排出される
。

以上のように手洗い及びボール部（２ａ）の洗浄が行わ
れた後、所定時間例えば５秒経過後に温風発生機（３）
と排気用ファン（４）とが同時に作動して手の乾燥とボ
ール部（２ａ）内の排気を行う。

このように吐水ノズル（６）及び流水孔（２［）の吐水
停止と、温風発生機（３）及び排気ファン（４）の作動
との間に遅延時間（Ｔ４）を設けた理由は、ボール部（
２ａ）に残った洗浄水又は汚水が温風発生機（３）から
の温風によってボール部（２ａ）外へ飛散することを防
止し、且つ前記洗浄水等が排気ファン（４）へ吸引され
て同装置に悪影響を及ぼさないようにするためである。

温風発生機（３）の作動は、送風ファン（３ｂ）の回転
により空気がセラミックヒータ（３ｄ）の通過時に加熱
されて温風となり、その温風が吹出しノズル（３ａ）か
ら吹出して手に当り、手を乾燥するものである。面記送
風ファン（３ｂ）の作動時間は制御部（５）においてタ
イマーでカウントされており、同制御部（５）における
所定時間内で送風ファン（３ｂ）が作動するものである
。また、セラミックヒータ（３ｄ）は制御部（５）への
感知信号の入力時に加熱を開始されており、乾燥開始時
に送風ファン（３ｂ）とにより即座に１ｆｆｌを送れる
ようになっている。

排気用ファン（４）はその回転により排気通路（１３）
を介してボール部（２ａ）内を吸引するものであり、前
記温風発生機（３）の作動停止後所定の遅延時間（Ｔ５
）例えば５秒経過俊に作動を停止する。この遅延時間を
設けた理由は、手の乾燥路ｒ後において手をこすり合わ
せることによる発生する手の老廃物等の塵をボール部（
２ａ）に残留させることなく排出するためである。

前記自動制御を手動制御に切替える場合は、操作パネル
（８）における停止スイッチ（８Ｃ）を押すことにより
、自動制御で行われていた動作が停止されて′ｆＩＪＩ
ｌＩ］状ｆｍにリセットされ、然る後手洗い用スイッチ
（８ｄ）又は乾燥用スイッチ−（８ｅ）を押すことによ
り制御が手動に切換ねるものであり、手動制御を第５図
により説明する。

尚、自動制御の最中に手洗い用スイッチ（８ｄ）及び乾
燥用スイッチ（８ｅ）を押しても、その入力は制御部（
５）に受は付けられないようになっている。

手洗い用スイッチ（８ｄ）を押すと、洗浄装置及びボー
ル部洗浄装置が自動制御の場合と同時に作動を同時に開
始し、手の洗浄とボール部（２ａ）の洗浄とを行なうも
のである。手の洗浄を所望時間行った後洗浄水の吐水を
停止させるには、停止用スイッチ（８Ｃ）を押すか又は
乾燥用スイッチ（８ｅ）を押す。乾燥用スイッチ（８ｅ
）を押した場合、洗浄水の吐水が停止された後口ｖＪ！
１ＩＩＩ］の場合と同様所定の遅延時間をおいて温風発
生機及び排気用ファンの作動が開始され、手洗いから乾
燥へと作動が切換ねる。

一方、乾燥用スイッチ（８ｅ）を押した場合は、前記と
同様に温風発生機及び排気用ファンの作動によって所望
時間手を乾燥できるものである。

尚、乾燥の停止シよ停止用スイッチ（８ｃ）を押すか又
は手洗い用スイッチ（８ｄ）を押すことにより行われる
が、手洗い用スイッチ（８ｄ）を押した場合は、自動制
御のときと同様に所定の時間をおいて作動が手の洗浄に
切換わるものである。

（効果） 本発明は以上のように、洗浄装置と、温風発生機及び排
気用ファンからなる乾燥装置と、人を感知する感知部と
を備え、該感知部の感知信号により前記洗浄装置を自動
的に作動させて洗浄動作終了後所定時間経過してから前
記乾燥装置を作動させる制御部を設けてなるクリーンル
ーム用手洗装置に構成したので、手洗い・乾燥をしても
手洗器外へ塵が飛散することが無く、クリーンルーム内
の洗浄度を損なわない。

また、乾燥装置の作動は洗浄動作終了後所定時間経過し
てからなので、洗浄の水滴を乾燥装置の排気ファンへ巻
込むことが無く、排気ファンが錆びたり、絶縁不良にな
ったりすることが無い。従って装置の寿命が永い。

依って所期の目的を達する。

【図面の簡単な説明】

本発明実施例を図面により説明する。第１図は本発明実
施例の手洗装置の要部を示す拡大断面図、第２図は第１
図の要部拡大断面図、第３図は操作パネルの拡大正面図
、４図は第１図の自動のタイムチャート図、第５図は同
フローチャート図、第６図は第１図の手動のタイムチャ
ート図、第７図は同フローチャート図、第８図は本実施
例の手洗装置を用いた便所装置を示す立体図、第９図は
従来装置の断面図である。 図中、 （１）・・・手洗装置　　（２）・・・手洗器（３）・
・・温風発生数　（４）・・・排気用ファン（５）・・
・制御部　　　（６）・・・吐水ノズル（７）・・・感
知部 である。 手続補正書 昭和５９年１２月１日 特許庁長官　　　志　　賀　　　　学　　　殿昭和５９
年特許願第２３０８５６号 ２、発明の名称 クリーンルーム用手洗装置 ３、？１正をする者 事件との関係　　　　　特　許　出　願　人氏名（名称
＞　　　　　（ＡＯ８）東陶機器株式会社４、代理人 １□ ５、補正命令の日付（自発補正） 昭和　　年　　月　　日 ６、補正の対象

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 洗浄装置と、温風発生機及び排気用ファンからなる乾燥
   装置と、人を感知する感知部とを備え、該感知部の感知
   信号により前記洗浄装置を自動的に作動させて洗浄動作
   終了後所定時間経過してから前記乾燥装置を作動させる
   制御部を設けてなるクリーンルーム用手洗装置。