JPS62237235A - クリ−ンウエア保管庫 - Google Patents
クリ−ンウエア保管庫Info
- Publication number
- JPS62237235A JPS62237235A JP61079772A JP7977286A JPS62237235A JP S62237235 A JPS62237235 A JP S62237235A JP 61079772 A JP61079772 A JP 61079772A JP 7977286 A JP7977286 A JP 7977286A JP S62237235 A JPS62237235 A JP S62237235A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- clean
- air
- ware
- clean ware
- prefilter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000003860 storage Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 abstract description 14
- 238000004064 recycling Methods 0.000 abstract 2
- 238000003756 stirring Methods 0.000 abstract 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
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- 241001609370 Puschkinia scilloides Species 0.000 description 1
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F24—HEATING; RANGES; VENTILATING
- F24F—AIR-CONDITIONING; AIR-HUMIDIFICATION; VENTILATION; USE OF AIR CURRENTS FOR SCREENING
- F24F3/00—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems
- F24F3/12—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling
- F24F3/16—Air-conditioning systems in which conditioned primary air is supplied from one or more central stations to distributing units in the rooms or spaces where it may receive secondary treatment; Apparatus specially designed for such systems characterised by the treatment of the air otherwise than by heating and cooling by purification, e.g. by filtering; by sterilisation; by ozonisation
- F24F3/167—Clean rooms, i.e. enclosed spaces in which a uniform flow of filtered air is distributed
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Ventilation (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体装置製造用などに設けられたクリーンル
ーム内で着用するクリーンウェアを、更衣室に設置して
保管するクリーンウェア保管庫に関する。
ーム内で着用するクリーンウェアを、更衣室に設置して
保管するクリーンウェア保管庫に関する。
従来の技術
クリーンルームへ入室するとき着用するクリーンウェア
を、クリーンルーム外へ出て着用しない間の一時的な保
管方法として、クリーンルームに隣接した更衣室内に設
置して、従来は、第２図に示す様なりリーンウェア保管
庫に収納していた。
を、クリーンルーム外へ出て着用しない間の一時的な保
管方法として、クリーンルームに隣接した更衣室内に設
置して、従来は、第２図に示す様なりリーンウェア保管
庫に収納していた。
例えば、日本空気清浄協会「クリーンルーム機器と管理
」 （昭５９．１２．１２） Ｐ、 ３２〜３４に記述
されている。
」 （昭５９．１２．１２） Ｐ、 ３２〜３４に記述
されている。
第２図に於いて、清浄エア雰囲気中にクリーンウェア全
保管して、保管中にクリーンウェアの清浄度が低下しな
いように、循環用空気送風機１からメインフィルター９
を通して清浄エアがクリーンウェア保管庫内天井部より
吹き出し、その気流はクリーンウェア保管庫内を下方向
に流れ、扉６の裾部に設けられた排気口からクリーンウ
ェア保管庫外へ排気される。クリーンウェアはハンガー
支柱８にかかっているハンガー７にかけて保管されてい
る。
保管して、保管中にクリーンウェアの清浄度が低下しな
いように、循環用空気送風機１からメインフィルター９
を通して清浄エアがクリーンウェア保管庫内天井部より
吹き出し、その気流はクリーンウェア保管庫内を下方向
に流れ、扉６の裾部に設けられた排気口からクリーンウ
ェア保管庫外へ排気される。クリーンウェアはハンガー
支柱８にかかっているハンガー７にかけて保管されてい
る。
発明が解決しようとする問題点
上記のような従来の構成では、クリーンウェア出し入れ
の際、扉６を開放するので、更衣室内の比較的粒径の大
きな塵埃がクリーンウェア保管庫内に入り込み、とくに
１ボの奥部に吹きだまり状態となって堆積する。クリー
ンウェアの出し入れをｔ？ｊ＋ ：ｈｊ −ｆ Ｉ／４
／−１ｈ で１０１ ｋ−シ播ｔ ｆｆｉ ／ ４人
−２ｆ −イＩｔ ＩＩ−ンウェア出し入れの際、クリ
ーンウェア保管庫内の気流が乱れるので、床１１に堆積
した塵埃がまきあげられ、クリーンウェアに付着し、ク
リーンウェアの清浄度を落すという問題点があった。
の際、扉６を開放するので、更衣室内の比較的粒径の大
きな塵埃がクリーンウェア保管庫内に入り込み、とくに
１ボの奥部に吹きだまり状態となって堆積する。クリー
ンウェアの出し入れをｔ？ｊ＋ ：ｈｊ −ｆ Ｉ／４
／−１ｈ で１０１ ｋ−シ播ｔ ｆｆｉ ／ ４人
−２ｆ −イＩｔ ＩＩ−ンウェア出し入れの際、クリ
ーンウェア保管庫内の気流が乱れるので、床１１に堆積
した塵埃がまきあげられ、クリーンウェアに付着し、ク
リーンウェアの清浄度を落すという問題点があった。
本発明はクリーンウェアの出し入れの際に、クリーンウ
ェアが、クリーンウェア保管庫内塵埃で汚染されないよ
うなりリーンウェア保管庫を提供することを目的とした
ものである。
ェアが、クリーンウェア保管庫内塵埃で汚染されないよ
うなりリーンウェア保管庫を提供することを目的とした
ものである。
問題点全解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は、クリーンウェア
保管庫内の気流をダウンフロ一方式にし床部にスノコを
介してプリフィルターを設けてリターンチャンバーへ排
気循環させる構成のりＩＪ−７ウエア保管庫を提供する
。
保管庫内の気流をダウンフロ一方式にし床部にスノコを
介してプリフィルターを設けてリターンチャンバーへ排
気循環させる構成のりＩＪ−７ウエア保管庫を提供する
。
作用
この構成により、床部へ降下してきた塵埃は床部全面に
わたって、スノコ全通してプレフィルタ−に回収され、
あるいはプレフィルタ−を通ってリターンチャンバーへ
たえず排出されている。従ってクリーンウェアを収納す
るため扉が開いているときでも、スノコ、プレフィルタ
−を通って排気されているので、収納の際の乱気流でプ
レフィルタ−に回収された塵埃をまきあげることが防止
できる。
わたって、スノコ全通してプレフィルタ−に回収され、
あるいはプレフィルタ−を通ってリターンチャンバーへ
たえず排出されている。従ってクリーンウェアを収納す
るため扉が開いているときでも、スノコ、プレフィルタ
−を通って排気されているので、収納の際の乱気流でプ
レフィルタ−に回収された塵埃をまきあげることが防止
できる。
実施例
第１図は本発明の一実施例によるクリーンウェア保管Ｍ
ｆを示す断面図である。循環用空気送風機１によってメ
インフィルター９から清浄エアが天井部より送り出され
、気流はクリーンウェア保管１１Ｆ内を下降し、床部全
面に設けらｎたスノコ５を介してプレフィルタ−４を通
り、リターンチャンバー３へ排気回収されて循環してい
る。
ｆを示す断面図である。循環用空気送風機１によってメ
インフィルター９から清浄エアが天井部より送り出され
、気流はクリーンウェア保管１１Ｆ内を下降し、床部全
面に設けらｎたスノコ５を介してプレフィルタ−４を通
り、リターンチャンバー３へ排気回収されて循環してい
る。
クリーンウェアは扉６を開け、・・ンガー７にかけてク
リーンウェア保管庫に収納する。取り出すときは、扉６
金開け、・・ンガーＴを取り出してクリーンウェア全ハ
ンガー７から取りはず丁０そのあと・・ンガー７をハン
ガー支柱８にかけｓ６を閉じる。
リーンウェア保管庫に収納する。取り出すときは、扉６
金開け、・・ンガーＴを取り出してクリーンウェア全ハ
ンガー７から取りはず丁０そのあと・・ンガー７をハン
ガー支柱８にかけｓ６を閉じる。
発明の効果
上記の如く本発明によれば、島ヲ開いてクリーンウェア
を収納あるいは取出しの最中でも、たえずエアはスノコ
全弁してプレフィルタ−に排気回収されているので、プ
レフィルターに回収されている塵埃をまき上げることが
防止できる。そのため、クリーンウェアの清浄度低下が
防止できる０
を収納あるいは取出しの最中でも、たえずエアはスノコ
全弁してプレフィルタ−に排気回収されているので、プ
レフィルターに回収されている塵埃をまき上げることが
防止できる。そのため、クリーンウェアの清浄度低下が
防止できる０
第１図は本発明による一実施例の断面図、第２図は従来
例の断面図である。 １・・・・・・循環用空気送風機、２・・・・・・殺菌
灯、３・・・・・・リターンチャンバー、４・・・・・
・プレフィルタ、６・・・・・・スノコ、６・・・・・
・扉、７・・・・・・ハン−３−１ｓ・・・・パハンガ
ー支柱、９・・・・・・メインフィルター、１ｏ・・・
・・・排気ギヤラリ−１１１・・・・・・ログカー床。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｌθ
−−− ｎ−一− 第２図 ！ ４ヲトラーヤイラν一 ロッカー床
例の断面図である。 １・・・・・・循環用空気送風機、２・・・・・・殺菌
灯、３・・・・・・リターンチャンバー、４・・・・・
・プレフィルタ、６・・・・・・スノコ、６・・・・・
・扉、７・・・・・・ハン−３−１ｓ・・・・パハンガ
ー支柱、９・・・・・・メインフィルター、１ｏ・・・
・・・排気ギヤラリ−１１１・・・・・・ログカー床。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか１名ｌθ
−−− ｎ−一− 第２図 ！ ４ヲトラーヤイラν一 ロッカー床
Claims (1)
- 天井部に清浄エア吹出し口を設け、床部にスノコを介し
て排気口を設けてなることを特徴とするクリーンウェア
保管庫。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61079772A JPS62237235A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | クリ−ンウエア保管庫 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61079772A JPS62237235A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | クリ−ンウエア保管庫 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62237235A true JPS62237235A (ja) | 1987-10-17 |
Family
ID=13699493
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61079772A Pending JPS62237235A (ja) | 1986-04-07 | 1986-04-07 | クリ−ンウエア保管庫 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62237235A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0190430U (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-14 | ||
| JPH0416615A (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-21 | Taisei Corp | 軟弱地盤の液状化防止方法 |
| JPH0474054U (ja) * | 1990-11-07 | 1992-06-29 |
-
1986
- 1986-04-07 JP JP61079772A patent/JPS62237235A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0190430U (ja) * | 1987-12-08 | 1989-06-14 | ||
| JPH0416615A (ja) * | 1990-05-09 | 1992-01-21 | Taisei Corp | 軟弱地盤の液状化防止方法 |
| JPH0474054U (ja) * | 1990-11-07 | 1992-06-29 |
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