JPS6365242A - 空気清浄システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、クリーンルーム内において、伯業者による塵
埃の拡散を最小限に防１トする空気清浄システムに関す
る。

〔従来の技術〕

一般に、半導体回路の製造などエレクトロニクス産業に
おいて、高い環境清浄度を要求されるクリーンルーム（
清浄度、無菌、温湿度、ルカ、振動など所定条件に制御
されている部屋）は、天井吹出し床面吸込みとする方式
により、その清浄度が維持されているが、その中で作業
するに際し、清浄度を低トする最大の発塵源となるのは
、人間である。

したがって、従来、清浄度の低下防止策としては、着衣
類の改良により人間から微粒子を遮断する方法、エアシ
ャワールームで清浄空気を吹き付けて付着している塵埃
を除去して入室する方法、歩行速度をできる限り遅くす
ること、入室者数を必要最小限にすること、入室前に身
体を清潔にすることなどを行っている。

（発明が解決しようとする聞届点） しかしながら、上記のような策を施しても、衣服類は繊
維質であるため微粒子の発生を完全に防止することは不
可能である。また、エアシャワールームでの塵埃除去は
時間的制約や全面に吹付けができないことなどから完全
ではない。さらに、歩行時には床と靴とのＦ！樫により
、あるいは衣服のこすれにより発塵することは避けられ
ない。

元来、人間自体は、呼吸２頭髪の油分、皮膚からの分泌
物などの発塵体であるばかりか発熱体でもあり、熱対流
によって周囲に！−シＩ気流を発生させ、塵埃を拡散さ
せる。特に、ダウンフローＪ％Ｉ７のクリーンルームに
おいては、静止時にあってさえ人体が層流域の障害物と
なり層流を乱１−．その他、人間の歩行中は前面が正圧
、背面が負ハとなり、手の動きによっても、所持品を１
１−するたけでも気流は乱され、塵埃の拡散につながる
。

上述したように、クリーンルーム内における人体の周囲
は常に空気の渦流状態にあり、人体及び着衣等から発生
した塵埃は、清浄域に拡散するため、半導体工場等にお
いて、製品のＪ↓・留り低トの一因となっている。

本発明は、叙トの事情に着［」シてなされたもので、人
体及び着衣類、所持品から発）１する塵埃が清浄に保持
すべき領域に拡散するのを最小限に防止するとともに、
クリーンルーム内のｔ１１ｉ浄度を維持することを１−
１的としている。

〔問題点を解決するための・Ｌ段〕

本発明に係る空気清浄システムは、クリーンルームの床
面を複数に分割した区域（以ト「ゾーン」という）にし
、各ゾーンごとに、Ｉ−Ｈに人体検知センサな、床トに
詠センサの検知化−号により動台する排風機をそれぞれ
配設したものである。

〔作用〕

本発明を施したクリーンルームにおいては、在室者を検
知したセンサは同じゾーンの床下排風機を起動させ、該
ゾーンを特別排気ゾーンとして他のゾーンよりも排気の
流速を増し気圧を低下させるため、層流の乱れを軽減さ
せて塵埃の拡散を防止するとともに、発塵物を局所的に
捕集する。

（実施例） 以り本発明の一実施例を図面に基ついて説明する。

まず、構成について述へる。

本実施例を施したクリーンルームＣＲの要部の概略構成
を縦断面図で承ず第１図において、床７面を複数の区域
に分割したゾーン２．，２２−・・・・・ごとに、大Ｊ
ｌに設置されたフィルタＨの、該ゾーン２の中心に対応
する箇所に人体検知センサＳ１、Ｓ２・・・・・・が設
けられる一力、該センサｓ１゜５２−−−−−・の直下
、床Ｙの上面に床ド枡風機Ｆ１゜Ｆ２・・・・・・が付
設されている。なお、１）１１記センサＳからの一点鎖
線て示す角度範囲は、詠センサＳの人体検知範囲Ａ、、
Ａ２・・・・・・である。

また、クリーンルームＣＲの一例を概略）Ｐ面図で示す
第３図において、Ｍ、〜Ｍ８は、配設された生産装置、
Ｚは、床７面を複数に分割した作業者歩行用の通路ゾー
ン、Ｆは、各ゾーンＺごとの床下排風機で、Ｚ、Ｆの字
の右トにイ・１した数字は、各ゾーン２に対応して区別
を示したものである。

なお、ＳＲは、エアシャワールームである。

次に、作用について述べる。

まず、通常時の制御動作においては、杓裏者Ｎが、例え
ば第１図にボ″４−ようにゾーンｚ１１滞７１している
場合、人体検知範囲Ａ、内にあるので、人体検知センサ
Ｓ１の検知信号により制御装置（図示省略）を介して床
下排風機Ｆ１が動０するため、ゾーンＺｌにおいては、
他のゾーンＺよりもト降気流が増速し、気圧が低）−シ
て作業者Ｎ周辺の渦流を軽減するとともに、作業者Ｎの
人体及び動作により発生する塵埃を隣接ゾーンＺに拡散
することなく、局所的に補修し排出する。

そして、第２図に示すように、ゾーンｚ１からゾーンｚ
２へ移動する場合には、作業者ＮがゾーンＺ２の人体検
知間ＩＩＩ　Ａ　２内に入れば、床Ｆ排風機Ｆ２が始動
してゾーンＺ２の下降気流を増速するか、作業者Ｎがゾ
ーンｚ２に移っていても、人体検知間１ｕｌＡｌ内にあ
る間は、床下排風機Ｆ１は動作を続けており、該検知範
囲Ａ１外に出たところで自動的に停止上する。

次に、整備作業時の制御動作について第３図により説明
する。例えは生産装置Ｍ４を整備する場合、１動設定ス
イッチ（図示省略）により「生産装置Ｍ４整備運転」信
号を制御装置に人力すると、生産装置Ｍ４を闇む通路ゾ
ーンｚ２〜Ｚ４゜Ｚ　２２．　　Ｚ　２４．　　Ｚ　ｄ
４＋　２４６（７）　７　ｊ）　（７）ゾーンＺに対応
する床下排風機Ｆ２・・・Ｆ４Ｂの７台の排風機Ｆは、
強制連続運転される。したがって、生産装置Ｍ４の整備
運転中は、前記７つの通路ゾーン２．−・・Ｚ４６に対
応する人体検知センサＳによる通常時の制御は無効とす
る。

なお、手動設定スイッチをＯＦＦすることにより、前記
通路ゾーンＺ２・・・Ｚ４ｒ、は、対応する人体検知セ
ンサＳによる通常時の制御となる。

（発明の効果） 以上説明したように本発明は、クリーンルームの床面を
複数の区域に分割し、各区域ごとに人体検知センサと、
そのセンサにより動作する床ト排風機とを配設する空気
清浄システムを構成したため、作業者周辺空気の渦流状
態を軽減し、かつ、発塵物を局所的に捕集することがで
きて拡散が防止されるので、作業者数の歩行速度や入室
数を制限する必要がなく、清浄度を維持しつつ作業効率
や生産品の歩留り向上を図ることができるという効果が
得られる。

また、生産装置の整備作業時には、該装置を囲むゾーン
の床トー排風機を任意に運転することにより、整備区域
に発生する塵埃の他の区域への拡散を防ＩＦシ得るので
、他の生産装置の運転状態に関係なく整備を行うことが
できるという効果もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を施したクリーンルームの
要部の概略構成を示す縦断面図、第２図は、同じくクリ
ーンルーム内を作業者が移動するときの作動状況を示す
説明図、第３図は、同じくクリーンルームの一例を示す
概略平面図である。 ＣＲ−・・・・・クリーンルーム Ｙ・・・・・・・・・床 ２−−−−−・・・・分割した区域 Ｓ−・・・・・・・・人体検知センサ Ｆ　−−−−−−−−・床丁排風機 Ｎ・・・・・・・・・作業者

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. クリーンルームの床面を複数の区域に分割するとともに
   、該区域ごとに、人体検知センサと、床下排風機とをそ
   れぞれ配設し、該センサの検知範囲内に作業者が所在し
   ているか否かにより、前記排風機の発停を行うことを特
   徴とする空気清浄システム。