TW202031597A - 水質管理方法、離子吸附裝置、資訊處理裝置及資訊處理系統 - Google Patents

水質管理方法、離子吸附裝置、資訊處理裝置及資訊處理系統 Download PDF

Info

Publication number
TW202031597A
TW202031597A TW108137467A TW108137467A TW202031597A TW 202031597 A TW202031597 A TW 202031597A TW 108137467 A TW108137467 A TW 108137467A TW 108137467 A TW108137467 A TW 108137467A TW 202031597 A TW202031597 A TW 202031597A
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
ion
water
adsorbent
information
ion adsorbent
Prior art date
Application number
TW108137467A
Other languages
English (en)
Inventor
山下幸福
矢野大作
蔦野恭平
Original Assignee
日商奧璐佳瑙股份有限公司
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Family has litigation
First worldwide family litigation filed litigation Critical https://patents.darts-ip.com/?family=70284634&utm_source=google_patent&utm_medium=platform_link&utm_campaign=public_patent_search&patent=TW202031597(A) "Global patent litigation dataset” by Darts-ip is licensed under a Creative Commons Attribution 4.0 International License.
Application filed by 日商奧璐佳瑙股份有限公司 filed Critical 日商奧璐佳瑙股份有限公司
Publication of TW202031597A publication Critical patent/TW202031597A/zh

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/008—Control or steering systems not provided for elsewhere in subclass C02F
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F9/00—Multistage treatment of water, waste water or sewage
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/28—Treatment of water, waste water, or sewage by sorption
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/42—Treatment of water, waste water, or sewage by ion-exchange
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
    • G01N1/20—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
    • G01N1/20—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials
    • G01N1/2035—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials by deviating part of a fluid stream, e.g. by drawing-off or tapping
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
    • G01N30/96—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation using ion-exchange
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N33/00—Investigating or analysing materials by specific methods not covered by groups G01N1/00 - G01N31/00
    • G01N33/18—Water
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/20—Treatment of water, waste water, or sewage by degassing, i.e. liberation of dissolved gases
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/30—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation
    • C02F1/32—Treatment of water, waste water, or sewage by irradiation with ultraviolet light
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
    • C02F1/44—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis
    • C02F1/444—Treatment of water, waste water, or sewage by dialysis, osmosis or reverse osmosis by ultrafiltration or microfiltration
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2101/00—Nature of the contaminant
    • C02F2101/10—Inorganic compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2101/00—Nature of the contaminant
    • C02F2101/10—Inorganic compounds
    • C02F2101/20—Heavy metals or heavy metal compounds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2103/00—Nature of the water, waste water, sewage or sludge to be treated
    • C02F2103/02—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply
    • C02F2103/04—Non-contaminated water, e.g. for industrial water supply for obtaining ultra-pure water
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2201/00—Apparatus for treatment of water, waste water or sewage
    • C02F2201/002—Construction details of the apparatus
    • C02F2201/005—Valves
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
    • C02F2209/003—Downstream control, i.e. outlet monitoring, e.g. to check the treating agents, such as halogens or ozone, leaving the process
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
    • C02F2209/00—Controlling or monitoring parameters in water treatment
    • C02F2209/40—Liquid flow rate
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/02—Devices for withdrawing samples
    • G01N1/10—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state
    • G01N1/20—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials
    • G01N1/2035—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials by deviating part of a fluid stream, e.g. by drawing-off or tapping
    • G01N2001/205—Devices for withdrawing samples in the liquid or fluent state for flowing or falling materials by deviating part of a fluid stream, e.g. by drawing-off or tapping using a valve

Landscapes

  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Hydrology & Water Resources (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Water Supply & Treatment (AREA)
  • Environmental & Geological Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Medicinal Chemistry (AREA)
  • Food Science & Technology (AREA)
  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)
  • Sampling And Sample Adjustment (AREA)

Abstract

本發明係一種管理分析對象水所包含的雜質離子的濃度的水質管理方法，包含：將設有離子吸附體（24）與累積式流量計（26）的離子吸附裝置（20）與分析對象水所流通的流通管（11）連接的步驟；以及對離子吸附裝置（20）在既定的期間內令分析對象水從流通管（11）流通到離子吸附體（24）以令其吸附分析對象水所包含的離子而成為離子吸附體試料的步驟。在離子吸附裝置（20）中，於離子吸附體（24）的分析對象水的流動方向的下游側設置累積式流量計（26）。

Description

水質管理方法、離子吸附裝置、資訊處理裝置及資訊處理系統
本發明係關於一種管理超純水中的雜質濃度的水質管理方法，尤其係關於一種對超純水中的極微量金屬雜質進行定量的水質管理方法、該水質管理方法所使用的離子吸附裝置以及資訊處理裝置，以及使用該等發明的資訊處理系統。
超純水，一般而言，係將河川水、地下水以及工業用水等的被處理水用前處理步驟進行處理以將被處理水中的大部分的懸浮物以及有機物除去而成為前處理水，接著，用1次系統純水製造裝置以及2次系統純水製造裝置（副系統）依序對該前處理水進行處理以製造該超純水。所製造的超純水，例如在半導體裝置製造工場中，供給到實行晶圓洗淨等的使用點。超純水亦廣泛地被使用在醫藥品製造步驟等中。「純水」與「超純水」的用語一般並未明確地區分定義，惟在本說明書中，將一般「純水」、「超純水」等用語所説明的高純度水統稱為「超純水」。
超純水，雖具有對其所包含的雜質進行定量係相當困難的高純度，惟並非完全不含有任何雜質。然後，超純水所包含的超微量成分對半導體裝置等產品所造成的影響，隨著裝置的積體程度越高而越無法忽視。因此，具有比以往的超純水更高純度的超純水的必要性亦為吾人所檢討。
在半導體裝置製造工場等處，由副系統所製造的超純水係經由配管供給到使用點，惟副系統與使用點之間的配管長度在很長時有時會長到數百公尺。因此，即使微粒子（particle）或金屬離子成分等雜質只是微量地從配管混入超純水，有時仍會對所製造的半導體裝置的特性造成不良的影響。例如，超純水中的金屬雜質有時會令裝置的電性特性惡化，微粒子有時會導致圖案缺陷、斷線或絕緣耐壓降低等不良情況發生。再者，在超純水製造裝置中並未被除去的成分，或是從超純水製造裝置因為某種原因瞬間或持續一段期間發生雜質洩漏的情況，亦同樣可能會對所製造的裝置的特性造成不良的影響。因此，供給到使用點的超純水的水質管理極為重要。
關於超純水的水質分析項目，可列舉出：電阻率（或作為其倒數的導電率）、微粒子數、生菌數，還有，關於TOC（Total Organic Carbon，總有機碳量）、溶氧（Dissolved Oxygen，DO）、過氧化氫、二氧化矽、陽離子、陰離子、重金屬等各項目的濃度等。針對電阻率、微粒子數、TOC以及溶氧等，可使用線上測定裝置。針對離子性雜質亦可利用測定器實行線上測定，惟當其濃度在線上測定器的檢出下限以下時，必須利用某種方法對該雜質進行濃縮之後再進行定量。針對金屬離子會被要求以例如0.01ppt的等級進行定量，惟若不對超純水中的雜質進行濃縮，以現行的分析方法並無法進行定量。將雜質濃縮並進行定量的方法之一，係在無塵室內利用特殊的裝置將分析對象水蒸餾並濃縮，之後進行通常的定量步驟的方法（蒸餾法）。然而，在蒸餾法中，離子性雜質濃度越低，應蒸發的分析對象水的水量越多，操作也會變得繁雜，發生污染的可能性會提高。另外，當為具有揮發性的元素時，有時會得不到正確的定量結果。
關於將雜質濃縮並進行定量的其他方法，存在一種令分析對象水通過具有離子交換功能的多孔質膜或離子交換樹脂等的離子交換體，之後將離子交換體回收並利用溶析液將所捕捉到的離子性雜質溶解析出，然後對移到溶析液的離子性雜質進行定量的方法（濃縮法）。專利文獻1，揭示了一種使用具有離子交換功能的多孔性膜的濃縮法的分析方法。另外，專利文獻2，揭示了一種雜質濃度監測方法，其為了連續地監視超純水中的極微量的離子性雜質的濃度，而重複地在各段既定期間令分析對象水在該期間內通過具有離子交換功能的多孔質膜，並對在各期間內多孔質膜所捕捉到的離子性雜質進行定量，藉此求出該期間內的分析對象水中的離子性雜質濃度。
關於將超純水中的離子性雜質濃縮的再另一種方法，專利文獻3，提出了一種在將分析對象水的pH值調整成酸性之後將分析對象水供給到逆滲透（RO）膜，並連續地對逆滲透膜的濃縮水（亦即並未通過逆滲透膜的水）所包含的金屬離子進行監測的方法。然而，在專利文獻3所揭示的方法中，由於使用逆滲透膜的離子性雜質的濃縮率沒有那麼高，故無法實現對分析對象水的0.01ppt等級的雜質金屬定量，因此無法滿足現今對超純水的水質管理的要求。 [先前技術文獻] [專利文獻]
[專利文獻1]日本特開平5-45351號公報 [專利文獻2]日本特開2001-153854號公報 [專利文獻3]日本特開2009-156692號公報
[發明所欲解決的問題]
作為對超純水中的極微量的離子性雜質進行定量的方法，濃縮法，不需要複雜的操作，受到污染的可能性較小，亦可對容易揮發的元素進行定量。該等分析技術，係以對超純水中所包含的極微量雜質進行定量為目的加以改良，並為了在超純水製造裝置剛完工後或維護保養後判斷超純水的水質是否滿足其規格標準而發揮重要的功能。然而，在專利文獻2所記載的雜質濃度監測方法中，當因為輸送分析對象水的配管系統中的壓力變動等因素而流過多孔質膜的分析對象水的流量發生變化時，由於並未考慮到該變化而計算分析對象水的雜質濃度，故其結果，定量精度會降低。
另外，當發現經由使用超純水的步驟所製造的產品發生不良情況等時，作為該不良情況解析的一環，會考慮超純水的水質已變差的可能性，並從所使用的超純水採取試料以進行分析。此時，假如超純水中所包含的污染物質為不良情況的原因，而從發生成為不良情況的原因的事態現象到採取試料為止已經過一段相當長的時間係一般的情況，故有時在調査階段該污染物質已經不存在於超純水中，而儘管吾人花費許多時間與勞力進行調査仍然原因不明。
本發明之目的在於提供一種可事後對分析對象水中的極微量的離子性雜質進行正確的定量且較易實行不良情況的解析的水質管理方法、一種在該水質管理方法中使用的離子吸附裝置以及資訊處理裝置，還有，一種使用該等發明的資訊處理系統。 [解決問題的手段]
本發明之水質管理方法，係管理分析對象水所包含的雜質離子的濃度的水質管理方法，其特徵為包含：將設有離子吸附體與累積式流量計的離子吸附裝置與分析對象水所流通的流通管連接的步驟；以及對離子吸附裝置在既定的期間內令分析對象水從流通管流通到離子吸附體以令其吸附分析對象水所包含的離子而成為離子吸附體試料的步驟；在離子吸附裝置中，累積式流量計，係設置在離子吸附體的分析對象水的流動方向的下游側。
本發明之離子吸附裝置，係以可卸下的方式與分析對象水所流通的流通管連接的離子吸附裝置，其特徵為包含：離子吸附體，其以可卸下的方式設置，為分析對象水所流通，並吸附分析對象水的離子；累積式流量計，其設置在離子吸附體的分析對象水的流動方向的下游側，並測量離子吸附體的水流通量的累積值；以及第1閥體，其設置在離子吸附體的分析對象水的流動方向的下游側，實行分析對象水的導通以及阻斷，且可調整分析對象水的流量。
本發明之資訊處理裝置，包含：輸入部，其根據從外部所接收到的操作將輸入資訊輸入；資料庫，其記憶「表示為分析對象水所流通而吸附該分析對象水的離子的離子吸附體安裝於該分析對象水所流通的流通管的時期的期間資訊」與「對該離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊」二者的對應關係；檢索部，根據該輸入部輸入的輸入資訊所包含的日時資訊，從該資料庫檢索出該吸附體識別資訊；以及輸出部，其將該檢索部所檢索到的吸附體識別資訊輸出。
本發明之資訊處理系統，包含：離子吸附裝置、定量裝置，以及資訊處理裝置；該離子吸附裝置，包含：離子吸附體，其以可卸下的方式設置於分析對象水所流通的流通管，為該分析對象水所流通，而吸附該分析對象水的離子；以及累積式流量計，其設置在該離子吸附體的該分析對象水的流動方向的下游側，並測量該離子吸附體的水流通量的累積值；該定量裝置，用該累積式流量計所測量到的累積值，對吸附了該離子的離子吸附體進行定量分析；該資訊處理裝置，包含：輸入部，其根據從外部所接收到的操作將輸入資訊輸入；資料庫，其記憶「表示該離子吸附體安裝於該流通管的期間的期間資訊」與「對該離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊」二者的對應關係；檢索部，根據該輸入部輸入的輸入資訊所包含的日時資訊，從該資料庫檢索出該吸附體識別資訊；以及輸出部，其根據該定量裝置對被賦與該檢索部檢索到的吸附體識別資訊的該離子吸附體所進行的定量分析的結果，輸出提供資訊。 [發明的功效]
若根據本發明，便可在事後對分析對象水中的極微量的離子性雜質進行正確的定量且較易實行不良情況的解析。
以下，針對本發明的較佳實施態樣，參照圖式進行説明。圖1顯示出本發明的一實施態樣的離子吸附裝置。在此，分析對象水係指在半導體裝置等產品的製造過程中使用而與產品接觸的超純水，惟在本發明的離子吸附裝置或水質管理方法中作為適用對象的分析對象水並非僅限於此。
從用以將超純水供給到使用點的超純水供給配管10分支出流通管11，並於流通管11設有開閉閥12。離子吸附裝置20，透過配管連接部21以可卸下的方式安裝於流通管11的前端。以在安裝以及卸下離子吸附裝置20時不會污染超純水供給配管10內的超純水的方式，對從超純水供給配管10分支的配管（流通管11等）安裝離子吸附裝置20，為較佳的態樣。
在離子吸附裝置20的內部，一條或複數條內部配管22與配管連接部21連接，分析對象水（亦即超純水）從流通管11經由配管連接部21流到各內部配管22。當設置複數條內部配管22時，該等內部配管22係設置成彼此並聯。在圖式的態樣中，係設有2條內部配管22。於各內部配管22，以可卸下的方式設有離子吸附體24。於各內部配管22，考慮到該內部配管22中的分析對象水的流動方向，在離子吸附體24的入口側設有開閉閥23，在離子吸附體24的出口側設有流量調節閥25，更在其下游側設有測量流過離子吸附體24的分析對象水的累積流量的累積式流量計26。各內部配管22的出口與排出配管27連接。流量調節閥25，係實行分析對象水的導通以及阻斷且可調整分析對象水的流量的第1閥體；開閉閥23，係實行分析對象水的導通以及阻斷的第2閥體。透過配管連接部21供給且經由各內部配管22流過離子吸附體24的分析對象水，最終透過排出配管27作為排出水排出到外部。
本實施態樣的離子吸附裝置20，係利用上述的濃縮法對分析對象水中的離子性雜質進行定量的裝置，從流通管11流入內部配管22的分析對象水中的金屬離子等的離子性雜質被離子吸附體24所捕捉。作為離子吸附體24，可使用具有離子交換功能的多孔質膜，或填充了粒狀的離子交換樹脂的柱狀體等。然而，為了即使以高流速流通入口與出口之間的差壓也不會變大，且為了避免產生分析對象水以較短流通路徑流過離子交換體的短流路，作為離子吸附體24，宜使用單塊狀有機多孔質離子交換體。作為單塊狀有機多孔質離子交換體，例如，可使用具有日本特開2009-62412號公報所揭示的連續氣泡構造、日本特開2009-67982號所揭示的雙連續構造、日本特開2009-7550號公報所揭示的粒子凝聚型構造、日本特開2009-108294號公報所揭示的粒子複合型構造等構造者。藉由使用單塊狀有機多孔質離子交換體以縮小離子吸附體24的差壓，便可增大分析對象水流過離子吸附體24的流量，藉此，即使分析對象水中的離子性雜質的濃度相同，也能夠增加離子吸附體24對離子性雜質的吸附量，故可將離子性雜質的定量下限往較低濃度側設定。
分析對象水所包含的金屬離子，根據其種類，存在可良好地吸附於陽離子交換體者以及可良好地吸附於陰離子交換體者。當作為檢出對象的金屬離子（亦即離子性雜質）並未特別限定時，例如在對使用超純水所製造的產品實行不良解析等的情況下，於離子吸附裝置20設置包含陽離子交換體的離子吸附體24以及包含陰離子交換體的離子吸附體24二者，為較佳的態樣。
在既定期間內令分析對象水流通過離子吸附體24，接著，利用溶析液將離子吸附體24所捕捉到的離子性雜質溶解析出，並對移到溶析液中的離子性雜質的濃度進行定量。在溶析液中，分析對象水的離子性雜質經過濃縮，其濃縮倍率，為對離子吸附體24的流通累積流量除以溶析液的體積者。因此，分析對象水中的離子性雜質的定量精度亦相依於流過離子吸附體24的累積流量。由於對離子吸附體24的水流通量也會因應分析對象水的壓力變動而變化，故即使在流通開始時調整過流量並將該流量乘以流通時間也不一定會與實際的累積流量一致。因此，本實施態樣的離子吸附裝置20，為了求出流過離子吸附體24的分析對象水的實際累積流量，而於內部配管22設置累積式流量計26，以獲得正確的累積流量值。相對於分析對象水的流動方向在離子吸附體24的下游側設置累積式流量計26，係為了避免來自累積式流量計26的污染的影響以及為了避免後述的發泡的影響。另外，由於在令分析對象水流通過各離子吸附體24時存在適當的流通流量，故為了在調整分析對象水流到各離子吸附體24的流量時使用，累積式流量計26宜亦可測量瞬間流量。在對流量進行調整時，係一邊參照瞬間流量的測量值一邊調整流量調節閥25的開度。
為了提高長期間連續實行分析時的可靠度，亦宜於離子吸附裝置20設置複數個離子吸附體24並令分析對象水並行地流到該等離子吸附體24。此時，為了對離子性雜質進行定量需要各離子吸附體24的累積流量，故必須於各離子吸附體24設置累積式流量計26。另外，亦可於離子吸附裝置20將複數個離子吸附體24以互相並聯的方式設置，並令分析對象水同時流過該等複數個離子吸附體24。藉此，便可同時獲得複數個彼此相同的試料（吸附了分析對象水的吸附體），若針對所得到的複數個試料進行分析，便可提高該分析結果的可靠度。另外，由於可獲得複數個彼此相同的試料，故亦可因應作為試料回收的離子吸附體24一部份遺失或因為分析裝置的不良情況所導致的定量失敗等無法預測的情況。
另外，半導體裝置製造所使用的超純水必須令溶氧（DO）濃度降低到極限值，因此，會在設置於超純水的循環路徑的儲槽等填充氮氣，以避免超純水與氧接觸，在循環的超純水中氮大多溶解到分壓0.1MPa左右。超純水，通常係加壓送水，故當作為分析對象水的超純水的壓力降低時，會產生溶氮的氣泡。當使用本實施態樣的離子吸附裝置20對半導體裝置製造用的超純水中的離子性雜質進行定量時，若在離子吸附裝置20內產生氣泡而其在離子吸附體24內累積，則會在離子吸附體24的內部發生局部性阻塞，用來吸附離子性雜質的表面積會減少，其結果，便無法完全地捕捉分析對象水中的離子性雜質。當無法完全地捕捉離子性雜質時，根據其所生成的定量結果也會變得不正確。因此，可能會導致離子吸附裝置20內部壓力大幅下降的構件，亦即流量調節閥25以及累積式流量計26，從分析對象水的流動方向來看，宜設置在比離子吸附體24更靠下游側之處。另外，為了即便產生了氣泡仍可輕易地將該氣泡排出到系統外，分析對象水宜以向上流的方式流過離子吸附裝置20（尤其是內部配管22）。
本實施態樣的離子吸附裝置20，在流通了分析對象水並經過既定期間之後，便從流通管11卸下。如後所述的離子吸附體24所捕捉到的離子性雜質的定量，可在卸下之後立即實行，亦可在經過某段程度的時間之後或是因應事後的要求而實行。可將離子吸附體24的入口側與出口側完全封閉，以避免離子吸附體24在從卸下到進行定量的期間內受到污染或離子性雜質從離子吸附體24流出，為較佳的態樣。因此，在本實施態樣的離子吸附裝置20中，於離子吸附體24的入口側設有上述的開閉閥23。流量調節閥25，亦具有用以將離子吸附體24的出口側完全封閉的功能。
接著，針對使用了該離子吸附裝置20的水質管理方法，用圖2進行説明。在此係對流經超純水供給配管10的超純水（亦即分析對象水）所含有的金屬離子（亦即雜質）進行定量以實行水質管理的態樣。首先，在離子吸附裝置20與流通管11連接之前打開開閉閥12，將殘留在流通管11內的滯留水等排除，然後暫且將開閉閥12關閉，之後，如步驟99所示的，透過配管連接部21將離子吸附裝置20與流通管11連接。然後，將開閉閥12打開，在各內部配管22將開閉閥23與流量調節閥25打開，如步驟102所示的，分析對象水開始流通到離子吸附體24。此時，用累積式流量計26的瞬間流量測量功能測量瞬間流量並調整流量調節閥25的開度，以將流過離子吸附體24的分析對象水的流量設定為規定值。然後，在分析對象水流通到離子吸附體24並經過既定期間之後，將開閉閥23與流量調節閥25關閉，將開閉閥12也關閉，從流通管11將離子吸附裝置20卸下，如步驟103所示的將離子吸附裝置20回收。將分析對象水流通後吸附了離子性雜質（在此為金屬離子）的離子吸附體24亦稱為離子吸附體試料。圖2，係著眼於特定的離子吸附裝置20的流程圖，在步驟103中將離子吸附裝置20卸下後，在該時點，藉由將更換用的離子吸附裝置20與流通管11連接（步驟99），便可在連續的期間內實行水質的管理。另外，開閉閥12，在離子吸附裝置20並未與流通管11連接時，除了將流通管11內的滯留水排除時以外均被關閉。另外，當離子吸附裝置20並未與流通管11連接時，宜將流通管11的前端塞住，以避免流通管11的端部或內部受到污染。
在將離子吸附裝置20回收之後，在步驟104中，記錄該離子吸附裝置20的水流通期間（例如，從何月何日何時到何月何日何時）。該記錄，例如，可為於物理標籤[例如手寫的標籤、列印的標籤或IC（積體電路）晶片]記入（記錄）水流通期間並安裝於離子吸附裝置20者，當對離子吸附裝置20賦予了序號等時，亦可為以資料庫管理序號與水流通期間者。為了預防累積式流量計26的資料消失，宜將該時點的累積流量也記錄之。之後，在步驟105中，判斷在當前時點是否有必要對金屬離子進行定量。若係實行常規的分析業務則必須進行定量，便前進到步驟107。若雖在當前時點並無進行定量之必要，然而為了不良情況的解析，可能會在日後進行定量，則在步驟106中將該離子吸附裝置20保管起來，並回到步驟105。另外，在此雖係說明在步驟106中將離子吸附裝置20保管起來的態樣，惟亦可從離子吸附裝置20將離子吸附體24取出，並將離子吸附體24保管起來。
在步驟107中，例如在無塵室之中從離子吸附裝置20將離子吸附體24卸下，對所卸下的離子吸附體24流通強酸或強鹼等的溶析液以實行吸附金屬的溶析，接著，在步驟108中，以含有溶析金屬的溶析液作為試料進行金屬的定量。關於定量方法，可使用一般的定量分析法，例如，電漿質量分析（ICP-MS，Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry）法、電漿發射光光譜分析（Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry，ICP-OES）法、原子吸光法、離子層析法等，惟並非僅限於此。
藉由實行步驟108的金屬定量，對某1個離子吸附裝置20的一連處理便結束，惟離子吸附裝置20以及離子吸附體24本身可再利用。為了再利用，如步驟111所示的將定量後的離子吸附體24洗淨，並如步驟112所示的將洗淨後的離子吸附體24裝設於離子吸附裝置20作為更換用的離子吸附裝置20。利用該新的更換用的離子吸附裝置20，便可再度實行從步驟99開始的處理。
當使用作為分析對象水的超純水所製造的產品等發生不良情況時，有時會懷疑該不良情況的原因在於超純水的水質。例如，當在半導體裝置製造步驟中，在半導體洗淨步驟用超純水將晶圓洗淨後經過數種步驟，然後對晶圓實行檢査的結果檢測出晶圓的不良情況時，有時會懷疑該不良情況的原因在於晶圓洗淨時的超純水所包含的離子。亦即，當產品發生問題時，若判斷有必要進行對應產品用水時期的水流通期間的離子吸附體試料的定量分析，便進行定量分析。當發生了該等懷疑其原因在於超純水的事態現象時，便針對在步驟106所保管的離子吸附裝置20之中的至少以對應該事態現象期間為水流通期間的離子吸附裝置20，在步驟105中判斷有必要對其進行定量，而對該離子吸附裝置20的離子吸附體試料，實施步驟107的吸附金屬溶析以及步驟108的金屬定量。其結果，便可判斷該不良情況等的事態現象的原因，是否在於該當期間內的超純水中的金屬離子。再者，從進行過定量的離子吸附體試料的吸附體資訊（容後詳述），亦可特定出產品等所發生的不良情況等的事態現象的原因在哪個部位。例如，如圖4（詳細後述）所示的，若於超純水製造裝置30的超微過濾裝置38的出口、超純水製造裝置30與供給配管47的連接位置、製造廠房50的主配管51、52、從主配管51、52與超純水使用裝置55連接的分支配管56等處設置離子吸附裝置20，便可從定量結果與吸附體資訊，特定出產品等所發生的不良情況等的事態現象的原因究竟在於哪個裝置、哪個構件。另外，例如，若對像圖4的供給配管46或供給配管47那樣的長配管以既定間隔設置複數個離子吸附裝置20，同樣地，亦可特定出產品等所發生的不良情況等的事態現象的原因究竟在供給配管46或供給配管47的哪個部位。以對應事態現象的期間為水流通期間的離子吸附裝置20，係指在發生事態現象的產品的製造步驟中在過去的某個時點與分析對象水接觸時，包含該接觸期間在內的水流通期間的離子吸附裝置20。另外，在此的水流通期間，係表示可特定出流通日時的時期的資訊（在以下的説明中相同）。例如，水流通期間，係包含離子吸附裝置20的流通開始日時與流通結束日時至少其中一方在內的資訊。
在本實施態樣中，由於針對各離子吸附裝置20記錄了水流通期間，故即使是在事後確認發生了不良情況，仍可輕易地從保管中的離子吸附裝置20找出該當於不良情況的水流通期間的離子吸附裝置20並進行分析。為了更精確地解析不良情況，除了針對對應不良情況發生期間的水流通期間的離子吸附裝置20進行定量之外，亦針對對應不良情況發生期間的前後期間的水流通期間的離子吸附裝置20進行定量，為較佳的態樣。
若根據本實施態樣，便可將超純水中的極微量金屬離子管理為各既定期間的連續定量值，當發生製造產品的產能降低等情況時，藉由對照該產品的製造步驟履歷與對離子吸附體的水流通期間以及金屬離子的定量結果，便可迅速地判斷出產能降低的原因是否在於超純水。
接著，針對本發明的另一實施態樣的離子吸附裝置，用圖3進行説明。在圖1以及圖2所示的例子中，係打開開閉閥12，將殘留在流通管11內的滯留水等排除，然後將離子吸附裝置20安裝於流通管11。然而，根據現場條件的不同有時欲直接實行流通管11的排除步驟會很困難。圖3所示的離子吸附裝置，係藉由將圖1所示的離子吸附裝置20中的開閉閥23置換成三通閥28，而可由離子吸附裝置本身實行流通管11的排除步驟者。三通閥28的一方出口與離子吸附體24的入口連接，另一方出口與排出配管27直接連接，透過配管連接部21所供給的分析對象水的送水目標，可在離子吸附體24側與排出配管27側之間切換。當使用圖3所示的離子吸附裝置20時，在將開閉閥12關閉的狀態下，將離子吸附裝置20與流通管11連接，並將三通閥28切換到排出配管27側，然後將開閉閥12打開，滯留水便經由排出配管27排出。在滯留水的排除步驟結束之後，將三通閥28暫時關閉，接著，將三通閥28切換到離子吸附體24側，令分析對象水開始流通到離子吸附體24。在此之後，只要實行用圖2所説明的順序即可。
接著，說明將上述的水質管理方法適用於半導體裝置製造工場的例子。圖4，係表示半導體裝置製造工場中的超純水的製造以及消耗部分的製程圖，其顯示出半導體裝置製造工場中的離子吸附裝置20的連接部位的例子。
在圖中所示的半導體裝置製造工場中，被供給一次純水並製造超純水的超純水製造裝置（2次系統純水製造裝置）30（亦即副系統），與實際使用超純水的場所（亦即製造廠房50）係分開設置的。超純水製造裝置30，具備：接收一次純水並將其暫時儲存的儲槽31、設置於儲槽31的出口的泵（P）32、設置於泵32的出口的熱交換器（HE）33，還有各自實施超純水製造步驟的紫外線氧化裝置（UV）34、薄膜脱氣裝置（DG）35、非再生型離子交換裝置（CP）37以及超微過濾裝置（UF）38。紫外線氧化裝置34、薄膜脱氣裝置35、非再生型離子交換裝置37以及超微過濾裝置38依照該順序於熱交換器33的出口串聯連接。薄膜脱氣裝置35與真空泵（VP）36連接。超微過濾裝置38的出口所輸出的水為超純水，其一部分透過供給配管46、47供給到製造廠房50，並未供給到製造廠房50的剩下的超純水透過循環配管39送回到儲槽31。於循環配管39，例如為了將超純水循環路徑的水壓控制成固定等之目的，而設有閥門40。為了將超純水中的溶氧減少至極限值，會對儲槽31供給用來清除溶氧的氮（N2 ）氣。為了與清除溶氧的動作一起實行氮氣清掃動作，也會對薄膜脱氣裝置35供給氮氣。超純水製造裝置30的構造或其配置並非僅限於圖中所示的態樣。
在往製造廠房50的供給配管46、47之中的供給配管46的超純水製造裝置30側的位置，設有用來捕捉超純水中的極微量的離子性雜質的離子吸附體41。亦可不設置該離子吸附體41。
在製造廠房50中，設有分別與供給配管46、47連接的主配管51、52，複數個超純水使用裝置55分別透過分支配管56與主配管51、52連接。超純水使用裝置55，例如為洗淨裝置、蝕刻裝置、曝光裝置等。於主配管51、52的入口側，設有捕捉分別從供給配管46、47供給過來的超純水所包含的極微量的離子性雜質的離子吸附體53。該離子吸附體53並不一定要設置也沒有關係。
可設置離子吸附裝置20的部位，例如，在圖4中以符號M表示。亦即，在超純水製造裝置30中，可設置在超微過濾裝置38的出口，亦可設置在與供給配管47的連接位置。在製造廠房50中，可設置於各主配管51、52，亦可設置於與各超純水使用裝置55連接的分支配管56。離子吸附裝置20的設置部位或設置數目不限於圖中所示的態樣，可在任意的位置設置離子吸附裝置20。各離子吸附裝置20，與圖1所示者同樣，透過開閉閥12與超純水流動配管連接，在安裝或卸下離子吸附裝置20時將開閉閥12完全關閉，安裝離子吸附裝置20之後將開閉閥12打開。宜在安裝離子吸附裝置20之前將開閉閥21打開以將滯留水排除。從離子吸附裝置20所排出的排出水，若在半導體裝置工場設有回收水系統的話，宜送回到回收水系統。
表1，顯示出使用本實施態樣的離子吸附裝置20所實行的水質管理的結果的例子。於洗淨半導體裝置所使用的超純水配管設置離子吸附裝置20，每流通5日便更換、回收離子吸附裝置20，並對金屬離子進行定量。每隔5日的各期間的累積流量均為1000L，在各期間對表中以「洗淨處理品批次編號」表示的批次中間加工品實行洗淨處理。然後，求出從各批次的中間加工品所製得的產品的良品率。另外，對洗淨處理所使用的超純水，在線上實行TOC、電阻率、溶氧濃度、以及微粒子個數的測定。在此處所示的例子中，從在5月16日到5月20日的5日間實行過洗淨處理的中間加工品所製得的產品的良品率比其他期間的良品率更差。該等良品率的降低，有時會被製造步驟的中間檢査程序確認出來，惟根據情況的不同，有時係在製得最終產品之後或產品出貨之後才被確認出來，例如距離洗淨處理已經過數週之後。雖然從線上測定結果並未發現不良情況發生的原因與徵兆，惟從離子吸附體試料所吸附的金屬的定量結果，可知道在不良情況多次發生的期間中超純水中的鈣與鐵的濃度較高，故可推測不良情況的原因即為鈣以及鐵。若使用本實施態樣的離子吸附裝置20，便可在確認不良情況發生之後，對過去的離子吸附體試料進行定量，故不良情況解析比較容易進行。
[表1]
水流通期間 5月1日~ 5月5日 5月6日~ 5月10日 5月11日~ 5月15日 5月16日~ 5月20日 5月21日~ 5月25日
累積流量[L] 1000 1000 1000 1000 1000
洗淨處理品批次編號 IY85G65~ IY92G70 IY92G71~ IY97L50 IY97L51~ IJ03P22 IJ06P44~ UR18S55 UR18S56~ UR73V86
良品率[%] 98.8 98.8 99.0 87.6 96.0
吸附金屬 定量結果 定量對象金屬全部在0.01ppt以下 定量對象金屬全部在0.01ppt以下 定量對象金屬全部在0.01ppt以下 Ca：0.08ppt Fe：0.14ppt 其他金屬全部在0.01ppt以下 定量對象金屬全部在0.01ppt以下
TOC 小於1ppb 小於1ppb 小於1ppb 小於1ppb 小於1ppb
電阻率[MΩ‧cm] 18.23 18.23 18.23 18.23 18.23
0.05μm以上 的微粒子 [個/mL] 小於0.1 小於0.1 小於0.1 小於0.1 小於0.1
以下，針對上述的離子吸附裝置的利用方法，舉例説明。 （第1系統例）
圖5，係表示使用了圖1所示的離子吸附裝置20的資訊處理系統的第1例的圖式。
圖5所示的資訊處理系統，具有離子吸附裝置100、定量裝置200，以及資訊處理裝置300。離子吸附裝置100，相當於圖1或圖3所示的離子吸附裝置20。再者，離子吸附裝置100，與通知部110連接。通知部110，在離子吸附裝置100所具備的離子吸附體（圖1或圖3所示的離子吸附體24，以下相同）安裝於流通管（圖1或圖3所示的流通管11，以下相同）然後經過了既定的期間時，例如發出表示該主旨的通知等既定的通知。或者，通知部110，在離子吸附裝置100所具備的離子吸附體安裝於流通管，然後離子吸附裝置100具備的累積式流量計（圖1或圖3所示的累積式流量計26，以下相同）所測量到的累積值成為既定值時，例如發出表示該主旨的通知等既定的通知。此時，通知部110，發出催促將離子吸附體從流通管卸下的通知。另外，通知部110，可為在離子吸附裝置100內部所具備者，亦可為令具備資訊顯示功能的其他終端機裝置等的裝置進行顯示者。另外，並無必須具備通知部110之必要。例如，亦可構成「將複數個離子吸附體24以互相並聯的方式設置於離子吸附裝置20，並在離子吸附裝置安裝於流通管（具體而言，係分析對象水流到1個離子吸附體）然後經過了既定的期間時，或者在離子吸附裝置安裝於流通管然後累積式流量計所測量到的累積值成為既定值時，自動或手動切換開閉閥23，令分析對象水流到另一離子吸附體」的構造，並在既定的時期將離子吸附體從流通管卸下。
定量裝置200，對吸附了離子的離子吸附體進行定量分析。定量分析的具體方法，如以上所述的。針對作為定量分析對象的離子吸附體的特定方法，容後詳述之。
圖6，係表示圖5所示的資訊處理裝置300的內部構造的一例的圖式。圖5所示的資訊處理裝置300，如圖6所示的，具有：輸入部310、資料庫320、檢索部330，以及輸出部350。另外，於圖6，僅顯示出圖5揭示的資訊處理裝置300所具備的構成要件之中的關於本態樣的主要構件。
輸入部310，根據從外部所接收到的操作將輸入資訊輸入資訊處理裝置300。具體而言，輸入部310，接收來自外部的既定操作，並根據所接收到的操作將資訊輸入。關於輸入部310所輸入的資訊，例如可列舉出：當在半導體裝置製造程序中檢測出晶圓的不良情況，並判斷有必要進行對應晶圓洗淨水使用時期的水流通期間的離子吸附體試料的定量分析時，指示對離子吸附體試料進行檢索的資訊。輸入部310，例如可列舉出鍵盤、滑鼠或觸控面板等。另外，輸入部310，亦可為顯示出促使既定資訊輸入的GUI（Graphical User Interface，圖形使用者介面），並基於依照該顯示內容所實行的操作而輸入資訊者。另外，離子吸附裝置100所記錄的資訊或通知部110所通知的資訊發送到資訊處理裝置300，輸入部310，亦可為接收所發送過來的資訊而將其輸入者。
資料庫320，令表示離子吸附體安裝於流通管的期間（離子吸附體的水流通期間）的期間資訊（包含離子吸附體流通開始日時或流通結束日時等資訊在內）與對離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊互相對應，並將其記憶為吸附體資訊。另外，資料庫320，以互相對應的方式記憶安裝了離子吸附體的離子吸附裝置100的設置資訊與吸附體資訊。另外，對資料庫320的資訊登錄方法，並無特別限定。例如，亦可在登錄期間資訊時，在開閉閥23的開閉時點將包含該日時在內的資訊發送到資料庫320，並將其記憶（登錄）為期間資訊。另外，亦可在登錄期間資訊時，在分析對象水開始流到累積式流量計26的時點與流動結束的時點將包含該日時在內的資訊發送到資料庫320，並將其記憶（登錄）期間資訊。另外，亦可在登錄吸附體識別資訊時，於離子吸附體24附上條碼或二維碼等的識別用標記，並以讀碼器（讀取裝置）讀取所附的識別用標記，然後將所讀取到的資訊發送到資料庫320，以將其記憶（登錄）為吸附體資訊。
圖7，係表示記憶於圖6所示的資料庫320的設置資訊與吸附體資訊的對應關係的一例的圖式。於圖6所示的資料庫320，如圖7所示的，以互相對應的方式記憶了可識別出安裝了離子吸附體的離子吸附裝置100所設置的位置的「顧客No.」、「系統No.」以及「裝置No.」與「吸附體資訊」。「顧客No.」、「系統No.」以及「裝置No.」，將其合併視為設置資訊。「顧客No.」，係對設有安裝有離子吸附體的離子吸附裝置100的顧客所賦與的固有的顧客識別資訊。「系統No.」，係對構築於顧客的設施的系統所賦與的固有的系統識別資訊。「裝置No.」，顯示出離子吸附裝置100設置於該系統內的哪個裝置，係對設置的裝置所賦與的固有的裝置識別資訊。像這樣，藉由使用「顧客No.」、「系統No.」以及「裝置No.」，便可特定出安裝了離子吸附體的離子吸附裝置100的設置位置。針對「吸附體資訊」的詳細內容，容後詳述。
例如，如圖7所示的，記憶了顧客No.「A001」、系統No.「1」、裝置No.「1」以及吸附體資訊「A001-1-1」的對應關係。其表示：吸附體資訊「A001-1-1」所示的離子吸附體安裝於被賦與裝置識別資訊「1」的裝置，該裝置設置於被賦與系統識別資訊「1」的系統，該系統構築於被賦與顧客識別資訊「A001」的顧客設施。另外，記憶了顧客No.「A001」、系統No.「1」、裝置No.「2」以及吸附體資訊「A001-1-2」的對應關係。其表示：吸附體資訊「A001-1-2」所示的離子吸附體安裝於被賦與裝置識別資訊「2」的裝置，該裝置設置於被賦與系統識別資訊「1」的系統，該系統構築於被賦與顧客識別資訊「A001」的顧客設施。另外，記憶了顧客No.「A001」、系統No.「2」、裝置No.「1」以及吸附體資訊「A001-2-1」的對應關係。其表示：吸附體資訊「A001-2-1」所示的離子吸附體安裝於被賦與裝置識別資訊「1」的裝置，該裝置設置於被賦與系統識別資訊「2」的系統，該系統構築於被賦與顧客識別資訊「A001」的顧客設施。另外，記憶了顧客No.「A001」、系統No.「2」、裝置No.「2」以及吸附體資訊「A001-2-2」的對應關係。其表示：吸附體資訊「A001-2-2」所示的離子吸附體安裝於被賦與裝置識別資訊「2」的裝置，該裝置設置於被賦與系統識別資訊「2」的系統，該系統構築於被賦與顧客識別資訊「A001」的顧客設施。
圖8，係表示記憶於圖6所示的資料庫320的期間資訊與吸附體識別資訊的對應關係的一例的圖式。該對應關係，即上述的吸附體資訊。圖8所示的吸附體資訊，係圖7所示的吸附體資訊的其中1筆（吸附體資訊「A001-1-1」），當如圖7所示的於資料庫320記憶了9筆吸附體資訊時，如圖8所示的對應關係（亦即吸附體資訊）於資料庫320也記憶了9筆。因此，例如，圖8所示的吸附體資訊，相當於圖7所示的吸附體資訊的其中1筆（亦即「A001-1-1」）。
如圖8所示的，「期間」表示離子吸附體安裝於離子吸附裝置100的期間的期間資訊，「流量[L]」表示在該期間內的流通累積量，「吸附體No.」表示對該離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊，於圖6所示的資料庫320，將該等資訊以互相對應的方式記憶成1筆吸附體資訊。另外，流量，係在該期間內累積式流量計所測量到的累積值。
例如，如圖8所示的，記憶了期間「2019/5/1~2019/5/5」、流量「1000[L]」，以及吸附體No.「A00010001」的對應關係。其表示：被賦與吸附體識別資訊「A00010001」的離子吸附體，在從2019年5月1日到2019年5月5日的5日間，安裝於離子吸附裝置100，在該期間內，流過該離子吸附體的分析對象水的水流通量為1000[L]。另外，記憶了期間「2019/5/6~2019/5/10」、流量「980[L]」，以及吸附體No.「A00020001」的對應關係。其表示：被賦與吸附體識別資訊「A00020001」的離子吸附體，在從2019年5月6日到2019年5月10日的5日間，安裝於離子吸附裝置100，在該期間內，流過該離子吸附體的分析對象水的水流通量為980[L]。另外，記憶了期間「2019/5/11~2019/5/15」、流量「1000[L]」，以及吸附體No.「A00030001」的對應關係。其表示：被賦與吸附體識別資訊「A00030001」的離子吸附體，在從2019年5月11日到2019年5月15日的5日間，安裝於離子吸附裝置100，在該期間內，流過該離子吸附體的分析對象水的水流通量為1000[L]。另外，記憶了期間「2019/5/16~2019/5/20」、流量「990[L]」，以及吸附體No.「A00040001」的對應關係。其表示：被賦與吸附體識別資訊「A00040001」的離子吸附體，在從2019年5月16日到2019年5月20日的5日間，安裝於離子吸附裝置100，在該期間內，流過該離子吸附體的分析對象水的水流通量為990[L]。該等對應關係，係在各離子吸附體從離子吸附裝置100卸下後，登錄並記憶之。該登錄方法，可為從離子吸附裝置100將該等資訊發送到資訊處理裝置300登錄者，亦可為透過其他媒體登錄者。另外，在圖8所示的例子中，期間資訊，亦即「期間」，僅顯示出表示日期的資訊，惟亦為包含時刻（時間）在內的日時資訊。亦即，期間資訊，可包含離子吸附體安裝於離子吸附裝置100的日時資訊，與離子吸附體從離子吸附裝置100卸下的日時資訊。
檢索部330，根據輸入部310輸入的輸入資訊所包含的日時資訊（當產品發生問題時，關於產品用水時期的資訊），從資料庫320檢索出吸附體識別資訊。具體而言，檢索部330，從資料庫320檢索出涵蓋輸入部310輸入的輸入資訊所包含的日時資訊揭示的日時在內的期間，並從資料庫320檢索出與所檢索到的期間互相對應的吸附體識別資訊。此時，檢索部330，根據輸入部310輸入的輸入資訊所包含的離子吸附裝置的設置資訊，從資料庫320檢索出吸附體資訊，並根據所檢索到的吸附體資訊與日時資訊，從資料庫320檢索出吸附體識別資訊。例如，當輸入資訊所包含的設置資訊的顧客No.為「A001」、系統No.為「1」、裝置No.為「1」、日時資訊為「2019年5月3日」時，檢索部330，便從資料庫320檢索出顧客No.為「A001」、系統No.為「1」、裝置No.為「1」的吸附體資訊，並從所檢索到的吸附體資訊「A001-1-1」的對應關係，檢索出與包含日時資訊「2019年5月3日」在內的期間（亦即期間「2019/5/1~2019/5/5」）互相對應的吸附體No.「A00010001」。
另外，亦可將顧客的設施中的系統的構造預先登錄於資料庫320，而檢索部330根據該系統的構造進行檢索。亦即，例如，若認為顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「1」的裝置，與顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「2」的裝置，根據該系統的構造存在互相會有影響的可能性，則即使輸入資訊所包含的設置資訊的顧客No.為「A001」、系統No.為「1」、裝置No.為「1」，檢索部330亦可也一併檢索關於顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「2」的裝置的吸附體資訊。在此，判定是否互相會有影響，亦可根據系統的構造與過去的判定結果，用機器學習產生判定模型，並用該判定模型進行判定。例如，亦可在顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「1」的裝置，與顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「2」的裝置，串聯地並排設置時，或根據過去的分析結果，於彼此的分析結果之間確認出關連性時，判定其為互相會有影響。像這樣，藉由針對互相會有影響的裝置進行分析，當產品發生不良情況的原因為超純水中所包含的污染物質時，便可特定出究竟是設置於系統的複數個裝置之中的哪一個裝置產生污染物質，亦即特定出產生污染物質的裝置。
輸出部350，將檢索部330所檢索到的吸附體識別資訊輸出。輸出部350所實行的吸附體識別資訊的輸出方法，例如，可為發送到其他裝置，亦可為畫面顯示、聲音輸出、印刷。
以下，針對圖5所示的資訊處理系統的資訊處理方法進行説明。圖9，係用來說明圖5所示的資訊處理系統的資訊處理方法之中的離子吸附裝置100的處理的一例的流程圖。
首先，將安裝了離子吸附體的離子吸附裝置100安裝於流通管11（步驟S11）。接著，令流通管11開始流通（步驟S12）。此時，在離子吸附裝置100安裝於流通管11之後，將圖1或圖3所示的開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12打開，令水開始流通到離子吸附體。
之後，判定是否到了流通結束的時序（步驟S13）。在此，當從流通開始經過了既定期間時，或水流通量的累積值到達既定值時，便判定到了流通結束的時序。既定期間的經過亦可用計時器計算。另外，水流通量的累積值的測定，亦可用累積式流量計測量。當到了該等時序時，亦可用通知部110顯示等方式，將檢知到該時序的主旨，通知系統的管理者、運用者、維護者（以下稱為管理者等）。之後，結束對流通管11的流通（步驟14）。此時，將圖1或圖3所示的開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12關閉。另外，接收到通知者將閥門關閉。然後，將離子吸附裝置100從流通管11卸下（步驟S15）。此時，將新的離子吸附裝置100安裝於流通管11。另外，計時器或累積式流量計，在每次離子吸附裝置100安裝於流通管11（亦即更換）時便重置。另外，離子吸附裝置100的卸下時序，與新的離子吸附裝置100的安裝時序，以可確保對離子吸附體的水流通期間的連續性的方式盡量縮短。
將卸下的離子吸附裝置所具備的離子吸附體的水流通期間等的資訊記憶於資訊處理裝置300的資料庫320。所記憶的資訊，係如圖8所示的資訊，記憶成每1個離子吸附體的複數個資訊互相對應。該記憶步驟，透過資訊處理裝置300的輸入部310實行。另外，卸下的離子吸附裝置所具備的離子吸附體，被賦與吸附體識別資訊並保管在既定的保管場所。
之後，若定量分析有其必要，便對資訊處理裝置300發出檢索要求。在此，當使用作為分析對象水的超純水所製造的產品等發生不良情況，而欲確認該不良情況的原因是否在於超純水的水質，便有必要實行定量分析。因此，有必要檢索並取出作為對象的離子吸附體試料（亦即，當產品發生問題時在對應產品用水時期的水流通期間所流通的離子吸附體試料）。
圖10，係用來說明圖5所示的資訊處理系統的資訊處理方法之中的資訊處理裝置300的檢索處理的一例的流程圖。
輸入部310，判定是否存在檢索離子吸附體的要求（步驟S21）。該要求，可為基於「系統管理者等對輸入部310實行要求檢索離子吸附體的既定操作而輸入部310所接收到的操作」者。於該既定操作，包含作為對象的裝置（發生不良情況的裝置）的設置資訊與日時資訊。輸入部310將所輸入的資訊之中的設置資訊與日時資訊輸出到檢索部330。檢索部330，根據從輸入部310所輸出過來的設置資訊與日時資訊，從資料庫320檢索出吸附體識別資訊（步驟S22）。具體而言，例如，檢索部330，根據從輸入部310所輸出過來的設置資訊，從資料庫320檢索出吸附體資訊，並從資料庫320檢索出所檢索到的吸附體資訊之中的與包含從輸入部310所輸出過來的日時資訊在內的期間互相對應的吸附體識別資訊。然後，輸出部350將檢索部330所檢索到的吸附體識別資訊輸出（步驟S23）。
之後，管理者等從保管場所確實地保留出被賦與從輸出部350所輸出的吸附體識別資訊的離子吸附體，並用定量裝置200進行定量。然後，用定量分析結果與累積式流量計所測量到的累積值，算出分析對象水中的雜質離子濃度。定量結果或分析對象水中的雜質離子濃度，從管理者等提供到吾人所期望的提供對象處。
像這樣，在實行水質管理的系統中，係在既定時序更換具備離子吸附體的離子吸附裝置，保管卸下的離子吸附裝置所具備的離子吸附體，從所保管的離子吸附體之中檢索出在指定的設置部位以及期間所安裝的離子吸附裝置的離子吸附體，對所檢索到的離子吸附體進行定量分析，並提供其結果。藉此，便可確認指定的部位以及日時的分析對象水的處理狀態。 （第2系統例）
圖11，係表示適用了圖1所示的離子吸附裝置20的資訊處理系統的第2例的圖式。
圖11所示的資訊處理系統，具有：離子吸附裝置101、定量裝置201，以及資訊處理裝置301。離子吸附裝置101，相當於圖1或圖3所示的離子吸附裝置20。另外，離子吸附裝置101，將離子吸附體安裝到流通管的日時資訊、從流通管卸下的日時資訊，或離子吸附體的識別資訊，發送到資訊處理裝置301。再者，離子吸附裝置101，與通知部110連接。通知部110，在離子吸附裝置101所具備的離子吸附體安裝於流通管然後經過了既定的期間時，例如發出表示該主旨的通知等既定的通知。或者，通知部110，在離子吸附裝置101所具備的離子吸附體安裝於流通管，然後離子吸附裝置101具備的累積式流量計所測量到的累積值成為既定值時，例如發出表示該主旨的通知等既定的通知。此時，通知部110，發出催促將離子吸附體從流通管卸下的通知。另外，通知部110，可為在離子吸附裝置101內部所具備者，亦可為令具備資訊顯示功能的其他終端機裝置等的裝置進行顯示者。
定量裝置201，對離子吸附體所吸附的離子進行定量分析。定量分析的具體方法，如上所述。針對作為定量分析對象的離子吸附體的特定方法，容後詳述。定量裝置201，將定量分析結果提供到資訊處理裝置301。該提供方法，可為從定量裝置201將表示分析結果的資訊發送到資訊處理裝置301者，亦可為透過其他媒體提供者。
圖12，係表示圖11所示的資訊處理裝置301的內部構造的一例的圖式。圖11所示的資訊處理裝置301，如圖12所示的，具有：輸入部311、資料庫321、檢索部331、抽出部341，以及輸出部351。另外，於圖12，僅顯示出圖11揭示的資訊處理裝置301所具備的構成要件之中的關於本態樣的主要構件。
輸入部311，根據從外部所接收到的操作將輸入資訊輸入資訊處理裝置301。具體而言，輸入部311，接收來自外部的既定操作，並根據所接收到的操作將資訊輸入。關於輸入部311所輸入的資訊，例如可列舉出：當在半導體裝置製造程序中檢測出晶圓的不良情況，並判斷有必要進行對應晶圓洗淨水使用時期的水流通期間的離子吸附體試料的定量分析時，指示對離子吸附體試料進行檢索的資訊。輸入部311，例如可列舉出鍵盤、滑鼠或觸控面板等。另外，輸入部311，亦可為顯示出促使既定資訊輸入的GUI，並基於依照該顯示內容所實行的操作而輸入資訊者。另外，離子吸附裝置101所記錄的資訊或通知部110所通知的資訊，發送到資訊處理裝置301，輸入部311，亦可為接收所發送過來的資訊而將其輸入者。
資料庫321，令表示水流通期間（包含離子吸附體流通開始日時或流通結束日時等在內）的期間資訊，與對離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊互相對應，並將其記憶為吸附體資訊。另外，資料庫321，以互相對應的方式記憶安裝了離子吸附體的離子吸附裝置101的設置資訊與吸附體資訊。該等資訊的記憶態樣，與圖7以及圖8所示者相同。另外，資料庫321，例如，亦可為「當產品發生問題並判斷對應產品用水時期的水流通期間的離子吸附體試料的定量分析有其必要而進行了定量分析時，記憶從定量裝置201所發送過來的分析結果」者。此時，從定量裝置201所發送過來的分析結果，透過輸入部311記憶於資料庫321。
檢索部331，根據輸入部311輸入的輸入資訊所包含的日時資訊，從資料庫321檢索出吸附體識別資訊。具體而言，檢索部331，從資料庫321檢索出涵蓋輸入部311輸入的輸入資訊所包含的日時資訊揭示的日時在內的期間，並從資料庫321檢索出與所檢索到的期間互相對應的吸附體識別資訊。此時，檢索部331，根據輸入部311輸入的輸入資訊所包含的離子吸附裝置的設置資訊，從資料庫321檢索出吸附體資訊，並根據所檢索到的吸附體資訊與日時資訊，從資料庫321檢索出吸附體識別資訊。例如，當輸入資訊所包含的設置資訊的顧客No.為「A001」、系統No.為「1」、裝置No.為「1」、日時資訊為「2019年5月3日」時，檢索部331，便從資料庫321檢索出顧客No.為「A001」、系統No.為「1」、裝置No.為「1」的吸附體資訊，並從所檢索到的吸附體資訊「A001-1-1」的對應關係，檢索出與包含日時資訊「2019年5月3日」在內的期間（亦即期間「2019/5/1~2019/5/5」）互相對應的吸附體No.「A00010001」。
另外，亦可將顧客的設施中的系統的構造預先登錄於資料庫321，而檢索部331根據該系統的構造進行檢索。亦即，例如，若認為顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「1」的裝置，與顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「2」的裝置，根據該系統的構造存在互相會有影響的可能性，則即使輸入資訊所包含的設置資訊的顧客No.為「A001」、系統No.為「1」、裝置No.為「1」，檢索部331亦可也一併檢索關於顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「2」的裝置的吸附體資訊。在此，判定是否互相會有影響，亦可根據系統的構造與過去的判定結果，用機器學習產生判定模型，並用該判定模型進行判定。例如，亦可在顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「1」的裝置，與顧客No.「A001」、系統No.「1」以及裝置No.「2」的裝置，串聯地並排設置時，或根據過去的分析結果，於彼此的分析結果之間確認出關連性時，判定其為互相會有影響。像這樣，藉由針對互相會有影響的裝置進行分析，當產品發生不良情況的原因為超純水中所包含的污染物質時，便可特定出究竟是設置於系統的複數個裝置之中的哪一個裝置產生污染物質，亦即特定出產生污染物質的裝置。
抽出部341，針對被賦與檢索部331所檢索到的吸附體識別資訊的離子吸附體，從定量裝置201所提供（發送）過來的定量分析結果，抽出對應輸入資訊的資訊（亦即提供資訊）。在此，於輸入資訊，例如，亦可包含具體的指定分析內容。此時，抽出部341，從定量裝置201所實行的定量分析的結果抽出對應輸入資訊所包含的指定分析內容的結果。當定量裝置201所提供（發送）過來的定量分析記憶於資料庫321時，抽出部341，從記憶於資料庫321的定量分析的結果抽出對應輸入資訊的資訊（亦即提供資訊）。
輸出部351，將檢索部331所檢索到的吸附體識別資訊輸出。輸出部351，針對被賦與檢索部331所檢索到的吸附體識別資訊的離子吸附體，將定量裝置201所實行的定量分析的結果輸出作為提供資訊。另外，輸出部351，在抽出部341從定量裝置201所實行的定量分析的結果抽出對應輸入資訊的資訊（亦即提供資訊）時，將抽出部341所抽出的提供資訊輸出。輸出部351所實行的提供資訊的輸出方法，例如，可為發送到其他裝置者，亦可為畫面顯示、聲音輸出、印刷、既定燈號亮燈或閃爍者。
圖13，係用來說明圖11所示的資訊處理系統中的資訊處理方法的一例的序列圖。
首先，將安裝了離子吸附體的離子吸附裝置101安裝於流通管11，並令流通管11開始流通（步驟S1）。此時，在離子吸附裝置101安裝於流通管11之後，將圖1或圖3所示的開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12打開，令水開始流通到離子吸附體。之後，在經過既定期間後，或者，在圖1或圖3揭示的累積式流量計26所測定到的累積值到達既定值後，便結束對流通管11的流通。該對流通管11的流通的結束，並非以檢測到經過既定期間或累積值到達既定值為觸發條件然後直接實行處理，而係啟動該等檢知的主旨的通知處理，並由接收到該通知者將閥門關閉，以結束對流通管11的流通。此時，將圖1或圖3所示的開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12關閉。在此，亦可為「離子吸附裝置101具有計時器，計算從對離子吸附體的流通開始算起的時間，當經過了預先設定的時間後，通知部110便通知該主旨，而結束對流水管11的流通」的態樣。另外，亦可為「當累積式流量計所測定到的累積值成為預先設定值時，通知部110便通知該主旨，並結束對流水管11的流通」的態樣。亦可為「通知部110所實行的通知係對系統管理者等發出，而該等人員將開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12關閉以結束流通」的態樣。亦可為「通知部110所實行的通知，係對開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12發出，而開閉閥23、流量調節閥25、三通閥28以及開閉閥12自動關閉以結束流通」的態樣。然後，將離子吸附裝置101從流通管11卸下（步驟S2）。此時，將新的離子吸附裝置101安裝於流通管11。另外，計時器或累積式流量計，在每次離子吸附裝置101安裝於流通管11時（亦即更換）便重置。
之後，將安裝於卸下的離子吸附裝置101的離子吸附體的資訊提供到資訊處理裝置301（步驟S3）。所提供的資訊，係安裝於離子吸附裝置101的離子吸附體的期間資訊、累積式流量計所測定到的累積值、離子吸附體的吸附體識別資訊，以及安裝了離子吸附體的離子吸附裝置101的設置資訊。該等資訊的提供方法，可為離子吸附裝置101將該等資訊發送並提供到資訊處理裝置301者，亦可為透過其他媒體提供者。另外，離子吸附體的資訊提供到資訊處理裝置301的時序，亦可在步驟S1之後。此時所提供的資訊，係表示離子吸附裝置101安裝於流通管11而流通管11開始流通的日時的資訊。然後，在資訊處理裝置301實行記憶處理（步驟S4）。另外，卸下的離子吸附體，以可用其吸附體識別資訊特定的方式保管於既定的場所。
接著，當資訊處理裝置301對定量裝置201指示進行定量分析時（步驟S5），定量裝置201便進行定量分析（步驟S6）。此時，資訊處理裝置301，指定吸附體識別資訊並對定量裝置201指示進行定量分析，定量裝置201對被賦與所指示的吸附體識別資訊的離子吸附體所吸附的離子進行定量分析。該定量分析的指示方法，可為資訊處理裝置301對定量裝置201發送表示要求進行定量分析的主旨的資訊以發出指示者，亦可為透過其他媒體提供者。定量裝置201，在定量分析結束後，將其結果提供到資訊處理裝置301（步驟S7）。該定量分析結果的提供方法，可為定量裝置201對資訊處理裝置300發送表示定量分析結果的資訊以提供該結果者，亦可為透過其他媒體提供者。然後，資訊處理裝置301實行輸出處理（步驟S8）。另外，定量分析結束的離子吸附體，被洗淨並保管，以便能夠再利用。
圖14，係用來說明用圖13所示的序列圖説明的步驟S4的詳細處理的一例的流程圖。當在步驟S3中從離子吸附裝置101提供了資訊時，資料庫321，便以令所提供的資訊（亦即期間資訊或水流通期間、累積值、吸附體識別資訊以及設置資訊）互相對應的方式，記憶該等資訊（步驟S41）。該對應關係，以如圖8以及圖9所示的態樣記憶之。
之後，輸入部311，判定是否存在定量分析要求（步驟S42）。此時，輸入部311，可在對應從外部所接收到的操作的資訊或從外部連接的其他裝置所發送過來的資訊包含要求定量分析的主旨、設置資訊以及日時資訊時，判定存在定量分析的要求。當存在定量分析的要求時，輸入部311便將輸入資訊之中的設置資訊與日時資訊輸出到檢索部331。檢索部331，根據從輸入部311所輸出過來的設置資訊與日時資訊，從資料庫321檢索出吸附體識別資訊（步驟S43）。具體而言，例如，檢索部331，根據從輸入部311所輸出過來的設置資訊，從資料庫321檢索出吸附體資訊，並從資料庫321檢索出所檢索到的吸附體資訊之中的與包含從輸入部311所輸出過來的日時資訊在內的期間互相對應的吸附體識別資訊。檢索部331，若可檢索到吸附體識別資訊，便指定所檢索到的吸附體識別資訊並對定量裝置201指示進行定量分析（步驟S44）。
圖15，係用來說明用圖13所示的序列圖説明的步驟S8的詳細處理的一例的流程圖。當輸入部311從定量裝置201接收到定量分析結果時（步驟S71），抽出部341，便從輸入部311所接收到的定量分析結果，抽出對應輸入資訊的資訊（亦即提供資訊）（步驟S72）。有時於輸入資訊會指定定量分析內容（例如所欲分析的金屬離子種類），此時，抽出部341，便從定量裝置201所實行的定量分析的結果抽出輸入資訊所包含的分析內容。接著，輸出部351，將抽出部341所抽出的提供資訊輸出（步驟S73）。另外，亦可定量裝置201用定量分析的結果與累積式流量計所測量到的累積值算出分析對象水中的雜質離子濃度，而輸入部311接收分析對象水中的雜質離子濃度。
像這樣，在實行水質管理的系統中，係在既定的時序更換具備離子吸附體的離子吸附裝置，保管好卸下的離子吸附裝置所具備的離子吸附體，從所保管的離子吸附體之中檢索出在指定的設置部位以及期間所安裝的離子吸附裝置的離子吸附體，對所檢索到的離子吸附體進行定量分析，並將其結果輸出。藉此，便可確認指定的部位以及日時的分析對象水的處理狀態。
以上，係令各構成要件各自分擔各功能（處理）並進行説明，惟該分配並非僅限於上述態樣。另外，關於構成要件的構造亦同，上述的態樣充其量只是例示而已，並非僅限於此。另外，本發明，除了實行水處理的系統以外，亦可適用於控制、管理液體中的金屬含有量的系統。
上述的資訊處理裝置300、301所實行的處理，亦可用因應目的而分別製作的邏輯電路實行之。另外，亦可在資訊處理裝置300、301中將依序記述處理內容的電腦程式（以下稱為程式）記錄於可讀取記錄媒體，並令資訊處理裝置300、301讀取記錄於該記錄媒體的程式以執行之。所謂資訊處理裝置300、301可讀取的記錄媒體，除了軟碟（註冊商標）、磁光碟、DVD（Digital Versatile Disc，數位多功光碟）、CD（Compact Disc，光碟）、Blu-ray（註冊商標）Disc、USB（Universal Serial Bus，通用序列匯流排）記憶體等可攜式記錄媒體之外，亦指內建於資訊處理裝置300、301的ROM（Read Only Memory，唯讀記憶體）、RAM（Random Access Memory，隨機存取記憶體）等記憶體或HDD（Hard Disc Drive，硬碟裝置）等。記錄於該記錄媒體的程式，被設置於資訊處理裝置300、301的CPU讀取，藉由CPU的控制，實行與上述態樣相同的處理。在此，CPU，係作為執行從記錄了程式的記錄媒體所讀取到的程式的電腦而運作者。
10:超純水供給配管 11:流通管 12,23:開閉閥 20,100,101:離子吸附裝置 21:配管連接部 22:內部配管 24:離子吸附體 25:流量調節閥 26:累積式流量計（F） 27:排出配管 28:三通閥 30:超純水製造裝置 31:儲槽 32:泵（P） 33:熱交換器（HE） 34:紫外線氧化裝置（UV） 35:薄膜脱氣裝置（DG） 36:真空泵（VP） 37:非再生型離子交換裝置（CP） 38:超微過濾裝置（UF） 39:循環配管 40:閥門 41:離子吸附體 46,47:供給配管 50:製造廠房 51,52:主配管 53:離子吸附體 55:超純水使用裝置 56:分支配管 110:通知部 200,201:定量裝置 300,301:資訊處理裝置 310,311:輸入部 320,321:資料庫 330,331:檢索部 341:抽出部 350,351:輸出部 M:部位 99,102~108,111,112,S1~S8,S11~S15,S21~23,S41~S44,S71~S73:步驟
[圖1]係表示本發明一實施態樣的離子吸附裝置的圖式。 [圖2]係說明水質管理方法的流程圖。 [圖3]係表示本發明之另一實施態樣的離子吸附裝置的圖式。 [圖4]係說明具有使用超純水的步驟的工場中的離子吸附裝置的連接部位的例子的圖式。 [圖5]係表示使用了圖1所示的離子吸附裝置的資訊處理系統的第1例的圖式。 [圖6]係表示圖5所示的資訊處理裝置的內部構造的一例的圖式。 [圖7]係表示記憶於圖6所示的資料庫的期間資訊與吸附體識別資訊的對應關係的一例的圖式。 [圖8]係表示記憶於圖6所示的資料庫的設置資訊與吸附體識別資訊的對應關係的一例的圖式。 [圖9]係用來說明圖5所示的資訊處理系統的資訊處理方法之中的離子吸附裝置的處理的一例的流程圖。 [圖10]係用來說明圖5所示的資訊處理系統的資訊處理方法之中的資訊處理裝置的檢索處理的一例的流程圖。 [圖11]係表示使用了圖1所示的離子吸附裝置的資訊處理系統的第2例的圖式。 [圖12]係表示圖11所示的資訊處理裝置的內部構造的一例的圖式。 [圖13]係用來說明圖11所示的資訊處理系統中的資訊處理方法的一例的序列圖。 [圖14]係用來說明用圖13所示的序列圖説明的步驟S4的詳細處理的一例的流程圖。 [圖15]係用來說明用圖13所示的序列圖説明的步驟S8的詳細處理的一例的流程圖。
10:超純水供給配管
11:流通管
12:開閉閥
20:離子吸附裝置
21:配管連接部
22:內部配管
23:開閉閥
24:離子吸附體
25:流量調節閥
26:累積式流量計(F)
27:排出配管

Claims (15)

  1. 一種水質管理方法，用來管理分析對象水所包含的雜質離子的濃度，包含： 將設有離子吸附體與累積式流量計的離子吸附裝置與該分析對象水所流通的流通管連接的步驟；以及 對該離子吸附裝置在既定的期間內令該分析對象水從該流通管流通到該離子吸附體，以令其吸附該分析對象水所包含的離子而成為離子吸附體試料的步驟； 在該離子吸附裝置中，該累積式流量計，設置在該離子吸附體的該分析對象水的流動方向的下游側。
  2. 如請求項1之水質管理方法，其中， 在該既定的期間結束後，形成將該離子吸附體試料的兩端封閉的狀態，並將該離子吸附裝置從該流通管卸下， 保持將該離子吸附體試料的兩端封閉的狀態，直到對該離子吸附體試料進行分析為止。
  3. 如請求項1或2之水質管理方法，其中， 重複地將該離子吸附裝置從該流通管卸下同時將新的離子吸附裝置與該流通管連接並令分析對象水流通到該新的離子吸附裝置，以在複數個期間內連續地取得該離子吸附體試料。
  4. 如請求項3之水質管理方法，其中， 針對複數個該離子吸附體試料，分別記錄對該離子吸附體試料的水流通期間。
  5. 如請求項4之水質管理方法，其中， 當在產品的製造過程中使用過該分析對象水之後，認為有必要進行分析時，便對與該產品使用該分析對象水的時期對應的水流通期間的該離子吸附體試料進行定量分析。
  6. 如請求項5之水質管理方法，其中， 令對該離子吸附裝置開始該流通之日與結束該流通之日的至少其中一方為該水流通期間所包含而記錄之，並令對該離子吸附體試料所附與的固有的吸附體識別資訊與該水流通期間互相對應而記錄之，當有必要進行該分析時，對以與對應該產品使用該分析對象水的時期的該水流通期間互相對應的方式所記錄的該離子吸附體試料進行定量分析。
  7. 如請求項1或2之水質管理方法，其中， 該流通管，係從超純水製造裝置分支並將超純水供給到使用點的配管或是從該配管分支的配管。
  8. 一種離子吸附裝置，其以可卸下的方式與分析對象水所流通的流通管連接，包含： 離子吸附體，其以可卸下的方式設置，為該分析對象水所流通，並吸附該分析對象水的離子；以及 累積式流量計，其設置在該離子吸附體的該分析對象水的流動方向的下游側，並測量該離子吸附體的水流通量的累積值。
  9. 如請求項8之離子吸附裝置，其中， 更包含：第1閥體，其配置在該離子吸附體與該累積式流量計之間，實行該分析對象水的導通以及阻斷，且可調整該分析對象水的流量。
  10. 如請求項8或9之離子吸附裝置，其中， 更包含第2閥體，其在該離子吸附體的該分析對象水的流動方向的上游側，實行該分析對象水的導通以及阻斷。
  11. 一種資訊處理裝置，包含： 輸入部，根據從外部所接收到的操作將輸入資訊輸入； 資料庫，將下列二資訊相對應而記憶之：表示為分析對象水所流通而吸附該分析對象水的離子的離子吸附體安裝於該分析對象水所流通的流通管的時期的期間資訊，與對該離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊； 檢索部，根據該輸入部輸入的輸入資訊所包含的日時資訊，從該資料庫檢索出該吸附體識別資訊；以及 輸出部，其將該檢索部所檢索到的吸附體識別資訊輸出。
  12. 如請求項11之資訊處理裝置，其中， 該輸入部，在該離子吸附體安裝於該流通管然後經過了既定的期間時，或在該離子吸附體安裝於該流通管然後該累積式流量計所測量到的累積值成為既定值時，將既定的資訊輸入。
  13. 一種資訊處理系統，包含： 離子吸附裝置； 定量裝置；以及 資訊處理裝置； 該離子吸附裝置包含： 離子吸附體，以可卸下的方式設置於分析對象水所流通的流通管，為該分析對象水所流通，而吸附該分析對象水的離子；以及 累積式流量計，設置在該離子吸附體的該分析對象水的流動方向的下游側，並測量該離子吸附體的水流通量的累積值； 該資訊處理裝置，包含： 輸入部，其根據從外部所接收到的操作將輸入資訊輸入； 資料庫，將下列二資訊相對應而記憶之：表示該離子吸附體安裝於該流通管的時期的期間資訊，與對該離子吸附體所賦與的固有的吸附體識別資訊； 檢索部，根據該輸入部輸入的輸入資訊所包含的日時資訊，從該資料庫檢索出該吸附體識別資訊；以及 輸出部，其將該檢索部所檢索到的吸附體識別資訊輸出； 該定量裝置，針對被賦與該輸出部所輸出的吸附體識別資訊的離子吸附體進行定量分析； 該輸出部，根據該定量裝置所實行的定量分析的結果輸出提供資訊。
  14. 如請求項13之資訊處理系統，其中， 更包含：抽出部，其從該定量裝置對被賦與該檢索部檢索到的吸附體識別資訊的該離子吸附體所實行的定量分析的結果，抽出對應該輸入資訊的資訊亦即提供資訊； 該輸出部，將該抽出部所抽出的提供資訊輸出。
  15. 如請求項13或14之資訊處理系統，其中， 更包含：通知部，其在該離子吸附體安裝於該流通管然後經過了既定的期間時，或在該離子吸附體安裝於該流通管然後該累積式流量計所測量到的累積值成為既定值時，發出既定的通知。
TW108137467A 2018-10-17 2019-10-17 水質管理方法、離子吸附裝置、資訊處理裝置及資訊處理系統 TW202031597A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018195690 2018-10-17
JP2018-195690 2018-10-17

Publications (1)

Publication Number Publication Date
TW202031597A true TW202031597A (zh) 2020-09-01

Family

ID=70284634

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW108137467A TW202031597A (zh) 2018-10-17 2019-10-17 水質管理方法、離子吸附裝置、資訊處理裝置及資訊處理系統

Country Status (6)

Country Link
US (1) US20210395106A1 (zh)
JP (1) JP6754512B1 (zh)
KR (3) KR20240023198A (zh)
CN (1) CN112789502A (zh)
TW (1) TW202031597A (zh)
WO (1) WO2020080461A1 (zh)

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111595798B (zh) * 2020-05-29 2023-01-13 湖北理工学院 用于测定陶粒吸附水中铜离子性能的实验装置及方法
JP2022120536A (ja) * 2021-02-05 2022-08-18 オルガノ株式会社 不純物取得システム、水質検査システムおよび液体製造供給システム
JP2023025395A (ja) * 2021-08-10 2023-02-22 オルガノ株式会社 品質管理システム、対象物管理システムおよび対象物管理方法
CN115791297B (zh) * 2022-12-15 2023-06-27 浙江恒达仪器仪表股份有限公司 一种提高降水检测质量的在线检测装置及检测方法

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6270732A (ja) * 1985-09-24 1987-04-01 Mitsubishi Electric Corp 純水中の不純物測定装置
JPH0231156A (ja) * 1988-07-20 1990-02-01 Tokico Ltd 金属成分分析システム
JP3175846B2 (ja) 1991-08-13 2001-06-11 旭化成株式会社 希薄イオン溶液の濃度測定方法
JPH0559287U (ja) * 1992-01-14 1993-08-06 栗田工業株式会社 試料液の防汚染、濃縮採取装置
JPH09271769A (ja) * 1996-04-03 1997-10-21 Kaoru Asada 軟水化装置及び軟水化装置の保守方法
JP2001056333A (ja) * 1999-08-19 2001-02-27 Yoshikazu Izumi 自動採水器用のエンドレスサンプル瓶
JP2001153854A (ja) * 1999-11-29 2001-06-08 Japan Organo Co Ltd 不純物濃度モニター方法およびシステム
JP4139939B2 (ja) * 2001-11-02 2008-08-27 栗田工業株式会社 比抵抗調整水製造設備の管理システム
JP2004169746A (ja) * 2002-11-18 2004-06-17 Japan Organo Co Ltd 流体移送配管、流体移送装置及び組み付け方法
JP2005000748A (ja) * 2003-06-10 2005-01-06 Hitachi Ltd 給水管理システム及び給水管理方法
JP5092735B2 (ja) 2007-12-26 2012-12-05 栗田工業株式会社 検水の連続モニタリング方法および装置
JP2011113425A (ja) * 2009-11-30 2011-06-09 Hitachi Ltd 水質情報管理システム
JP5645601B2 (ja) * 2010-10-27 2014-12-24 オルガノ株式会社 水質評価方法
JP5757130B2 (ja) * 2011-03-29 2015-07-29 栗田工業株式会社 イオン交換装置の運転方法及びイオン交換システム
US9604858B2 (en) * 2011-07-15 2017-03-28 Deka Products Limited Partnership Water vapor distillation apparatus, method and system
KR20130123737A (ko) * 2012-05-03 2013-11-13 코웨이 주식회사 원수 농도 측정을 통한 재생식 연수장치 및 이를 이용한 재생 관리 방법
US20140229414A1 (en) * 2013-02-08 2014-08-14 Ebay Inc. Systems and methods for detecting anomalies
JP6092064B2 (ja) * 2013-09-24 2017-03-08 株式会社東芝 汚染水処理システム、汚染水処理方法および汚染水処理プログラム
JP6256143B2 (ja) * 2014-03-26 2018-01-10 三浦工業株式会社 イオン交換装置の遠隔管理制御システム
US20160334311A1 (en) * 2015-05-14 2016-11-17 Paul K. Westerhoff Cumulative oxo-anion sampler systems and methods
JP2016221427A (ja) * 2015-05-28 2016-12-28 東レ株式会社 水処理装置の運転方法
JP6719292B2 (ja) * 2016-06-24 2020-07-08 オルガノ株式会社 水処理システムにおける水中の有機物評価方法及び水処理システム

Also Published As

Publication number Publication date
US20210395106A1 (en) 2021-12-23
JP6754512B1 (ja) 2020-09-09
WO2020080461A1 (ja) 2020-04-23
KR20240023199A (ko) 2024-02-20
CN112789502A (zh) 2021-05-11
JPWO2020080461A1 (ja) 2021-02-15
KR20210072055A (ko) 2021-06-16
KR20240023198A (ko) 2024-02-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW202031597A (zh) 水質管理方法、離子吸附裝置、資訊處理裝置及資訊處理系統
WO2006006370A1 (ja) 水質評価方法、該方法を用いる超純水評価装置及び超純水製造システム
JP5087839B2 (ja) 水質評価方法、該方法を用いる超純水評価装置及び超純水製造システム
JP2024014871A (ja) 超純水製造装置とその水質管理方法
JP2001153854A (ja) 不純物濃度モニター方法およびシステム
US20230204608A1 (en) Water quality management method, information processing device, and information processing system
JP6205775B2 (ja) 水質測定方法
US11162933B2 (en) System and method for detecting heavy metals in a fluid
JP2018038989A (ja) 純水製造装置
JP5707670B2 (ja) 水質評価方法及び装置
TW202327728A (zh) 離子交換樹脂之品質評價方法及超純水製造方法
TW202328682A (zh) 品質管理系統、對象物管理系統及對象物管理方法
US20240101448A1 (en) Impurity acquisition system, water quality testing system, and liquid production and supply system
US20030092196A1 (en) Concentration module and method for on-site concentration of trace contaminants from a sample of a liquide for analytical analysis
US20230408393A1 (en) System for filter analysis and regeneration
US20230365436A1 (en) Ultrapure water supply system, control device, and program
JP2024017876A (ja) 超純水製造装置の運転管理方法および運転管理システム
JP5549274B2 (ja) 水質評価方法及び装置
JP2006343192A (ja) 炭酸ガス溶解水の評価方法及び炭酸ガス溶解水試料の採水装置
JP2012133343A (ja) 露光用マスクの表面イオン濃度のモニター方法およびモニターシステム、該モニターシステムを備えた露光用マスク洗浄装置、並びに残留イオン濃度を保証した露光用マスク
JP2018114499A (ja) 純水製造装置
JP2017096854A (ja) 検水のモニタリング方法および装置