JP5645601B2 - 水質評価方法 - Google Patents
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Description
本実施形態の水質評価方法を用いて、本発明の効果を確認した。
2 基板
3 内部空間
10 採取容器
11 基板出入口
15 試料水入口
Claims (4)
- シリコンウェーハの基板を収容するとともに試料水を貯留する内部空間を有する採取容器を備えた水質評価装置を用いた水質評価方法であって、
前記採取容器の前記内部空間に前記基板を収容する工程と、
前記内部空間に試料水を貯留して、前記内部空間に収容した前記基板に試料水を接触させることで、該基板上に試料水中の不純物を採取する工程と、
前記採取容器から前記基板を回収し、該基板上に採取された不純物を分析する工程と、
前記不純物を分析する工程での分析結果に基づいて、前記不純物を採取する工程時に前記内部空間に貯留した試料水の不純物濃度を算出する工程と、
を含み、
前記不純物を分析する工程が、前記基板表面の単位面積あたりに吸着した不純物の原子数を測定することを含み、
前記不純物濃度を算出する工程が、前記不純物を分析する工程で測定された前記原子数と、前記不純物を採取する工程での前記基板への試料水の接触流量および接触時間と、不純物の種類および濃度によらず0.3である吸着係数とから、前記不純物濃度を決定することを含む、
水質評価方法。 - シリコンウェーハの基板を収容する内部空間と、該内部空間に試料水を流入させる試料水入口と、前記内部空間に流入した試料水を流出させる試料水出口とを有する採取容器を備えた水質評価装置を用いた水質評価方法であって、
前記採取容器の前記内部空間に前記基板を収容する工程と、
前記試料水入口および前記試料水出口を通じて前記内部空間に試料水を流通させて、前記内部空間に収容した前記基板に試料水を接触させることで、該基板上に試料水中の不純物を採取する工程と、
前記採取容器から前記基板を回収し、該基板上に採取された不純物を分析する工程と、
前記不純物を分析する工程での分析結果に基づいて、前記不純物を採取する工程時に前記内部空間を流通した試料水の不純物濃度を算出する工程と、
を含み、
前記不純物を分析する工程が、前記基板表面の単位面積あたりに吸着した不純物の原子数を測定することを含み、
前記不純物濃度を算出する工程が、前記不純物を分析する工程で測定された前記原子数と、前記不純物を採取する工程での前記基板への試料水の接触流量および接触時間と、不純物の種類および濃度によらず0.3である吸着係数とから、前記不純物濃度を決定することを含む、
水質評価方法。 - 前記不純物を分析する工程が、前記基板上に付着した金属元素をVPD法を用いて回収し、該回収した金属元素をAAS(フレームレス原子吸光法)またはICP−MS(誘導結合プラズマ質量分析計)で検出すること、あるいは、前記基板上に付着した金属元素を全反射蛍光X線装置で検出することによって、前記基板表面の単位面積あたりに吸着した金属元素の原子数を測定することを含む、請求項1または2に記載の水質評価方法。
- 前記金属元素が、鉄および銅である、請求項3に記載の水質評価方法。
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