JP4760458B2 - 半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法 - Google Patents
半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法 Download PDFInfo
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Description
[1] 半導体ウェーハ収納容器内に、シリコン板ならびにHFガスおよびHNO3ガス発生源を配置した後に前記容器を密閉し、ただし前記シリコン板は前記ガス発生源外に配置し、
前記ガス発生源からHFガスおよびHNO3ガスを発生させて所定時間放置し、上記発生したHFガスおよびHNO 3 ガスにより前記シリコン板の気相分解反応を行い、
前記放置後に、前記気相分解反応により発生した水蒸気が結露することで前記容器の内壁に付着した液滴を回収し、次いで、
回収された液滴中の金属成分を分析することを含む、
半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法。
[2] 前記シリコン板は、シリコンウェーハである、[1]に記載の方法。
[3] 前記ガス発生源は、フッ化水素酸、硝酸および硫酸を含む溶液である、[1]または[2]に記載の方法。
[4] 前記ガス発生源は、シリコン片を含むフッ化水素酸および硝酸を含む溶液である、[1]または[2]に記載の方法。
[5] 前記シリコン片は、シリコンウェーハ片である、[4]に記載の方法。
[6] 前記溶液は、硫酸を更に含む、[5]に記載の方法。
[7] 前記放置時間は、5〜60分である、[1]〜[6]のいずれかに記載の方法。
[半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法]
本発明の半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法は、半導体ウェーハ収納容器内に、シリコン板ならびにHFガスおよびHNO3ガス発生源を配置した後に前記容器を密閉し、ただし前記シリコン板は前記ガス発生源外に配置し、前記ガス発生源からHFガスおよびHNO3ガスを発生させて所定時間放置し、上記発生したHFガスおよびHNO 3 ガスにより前記シリコン板の気相分解反応を行い、前記放置後に、前記気相分解反応により発生した水蒸気が結露することで前記容器の内壁に付着した液滴を回収し、次いで、回収された液滴中の金属成分を分析することを含む。
シリコンは、HFガスおよびHNO3ガスと接触すると、下記式(1)に示すHNO3ガスによるSiの酸化と、下記式(2)に示すHFガスによる前記反応により発生したSiO2の除去が同時に起こる。
SiO2+4HF→SiF4+2H2O ・・・(2)
本発明では、例えば図1に示すように、容器中央部にシリコン板を配置し、シリコン板の両側にガス発生源を配置することができる。このように配置することは、シリコン板の気相分解により発生した水蒸気を容器内に均一に行き渡らせることができるため好ましい。但し、シリコン板およびガス発生源の配置位置は上記態様に限定されない。また、ガス発生源の配置数も上記態様に限定されず、少なくとも1つ配置すればよい。
[実施例1]
図1に示すように、φ5インチウェーハ用の収納ケースの中央に、シリコンウェーハ(φ5インチ、厚さ625mm)を配置し、ウェーハの左右にガス発生用溶液(HF/HNO3/H2SO4=4/1/2)50mlを満たした100mlテフロンビーカーを配置した。次いで、両ビーカーに0.1g程度のシリコンウェーハ片を投入した後、ケースの蓋を閉め、室温で30分間放置した。30分放置した後、ケース内部から水滴を回収した。回収された水滴は、約3mlであった。この水滴中の金属成分を、原子吸光分析装置によって分析した。結果を図2に示す。
実施例1において分析した収納容器と同一ロット内の他の収納容器について、2%HF/2%H2O2溶液3mlにてケース内壁を走査させ、回収された溶液中の金属成分を、原子吸光分析装置によって分析した。結果を図2に示す。
実施例1において分析した収納容器と同一ロット内の他の収納容器について、12%HF/45%HNO3溶液3mlにてケース内壁を走査させ、回収された溶液中の金属成分を、原子吸光分析装置によって分析した。結果を図2に示す。
同一容器に対して実施例1と同様の操作を2回繰り返して、原子吸光分析装置によって回収された溶液中の金属成分を分析し、金属成分の回収率を求めた。結果を表1に示す。金属不純物の回収率は以下のように算出した。
回収率(%)=(実施例1記載の方法での1回目の分析濃度)/(実施例1記載の方法での1回目の分析濃度+実施例1記載の方法での2回目の分析濃度)×100
放置時間を表2に示すように変更した以外は実施例1と同様の操作を行いケース内部から水滴を回収した。回収された水滴量を表2に示す。
容器内にシリコンウェーハを配置せずに実施例3と同様の操作を行いケース内部から水滴を回収した。回収された水滴量を表2に示す。
ウェーハ収納ケースの洗浄工程には、洗浄剤洗浄→DIWにて洗浄剤を洗う→DIWにて洗い流す→DIWに漬けてすすぐ→DIWに漬けてすすぐ(オーバーフロー)→DIWシャワー→乾燥の各工程がある。そこで、上記洗浄工程の(a)ケース洗浄前(洗浄無し)、(b)DIWを洗い流した後(洗浄途中)、(c)ケース洗浄終了後(洗浄後)のケース内の金属汚染レベルを、実施例1と同様の方法で評価した。結果を図3に示す。図3から、洗浄前では非常に多量の汚染が見られるが、洗浄途中ではケースの汚染レベルが低くなっており、洗浄後では検出下限値に近いレベルにまで汚染が除去出来ていることがわかる。このように、本発明の方法によれば、ケース洗浄工程の洗浄レベルの評価を行うことができる。
Claims (7)
- 半導体ウェーハ収納容器内に、シリコン板ならびにHFガスおよびHNO3ガス発生源を配置した後に前記容器を密閉し、ただし前記シリコン板は前記ガス発生源外に配置し、
前記ガス発生源からHFガスおよびHNO3ガスを発生させて所定時間放置し、上記発生したHFガスおよびHNO 3 ガスにより前記シリコン板の気相分解反応を行い、
前記放置後に、前記気相分解反応により発生した水蒸気が結露することで前記容器の内壁に付着した液滴を回収し、次いで、
回収された液滴中の金属成分を分析することを含む、
半導体ウェーハ収納容器の金属汚染分析方法。 - 前記シリコン板は、シリコンウェーハである、請求項1に記載の方法。
- 前記ガス発生源は、フッ化水素酸、硝酸および硫酸を含む溶液である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記ガス発生源は、シリコン片を含むフッ化水素酸および硝酸を含む溶液である、請求項1または2に記載の方法。
- 前記シリコン片は、シリコンウェーハ片である、請求項4に記載の方法。
- 前記溶液は、硫酸を更に含む、請求項5に記載の方法。
- 前記放置時間は、5〜60分である、請求項1〜6のいずれか1項に記載の方法。
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