JP3933090B2 - シリコン基板からの金属不純物の回収方法 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、シリコン基板表面及び基板表面に形成された表面酸化膜にそれぞれ存在する金属不純物を回収する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
シリコン基板の表面に存在する不純物は、デバイス特性を劣化させ、デバイスの製造歩留りに大きな影響を与える。このうち金属不純物は、デバイス工程中の例えば酸化、拡散、エピタキシャル成長などの各種熱処理過程において、シリコン基板の内部へ容易に拡散して、析出物、転位、酸素誘起積層欠陥などの結晶欠陥を誘起したり、少数キャリアのライフタイムの低下、リーク電流の増大、酸化膜の絶縁破壊電圧の劣化などを引き起こすおそれがある。
【0003】
金属不純物、その中でもニッケルはシリコン基板表面及び基板表面に形成された表面酸化膜の両方に存在した場合に、これらのニッケルを除去して回収することが難しいことが知られている。
表面酸化膜に存在するニッケルは酸化膜を形成する酸素と結合しており、この結合状態はシリケイト(silicate)と呼ばれる。一方基板表面に存在するニッケルは基板材質であるケイ素と結合しており、この結合状態はシリサイド(silicide)と呼ばれる。シリケイトは酸素原子とニッケル原子とが電気的な結合をしているためフッ化水素酸(以下、HFという。)のような比較的軽い酸を用いて回収することができる。しかしシリサイドはシリケイトに比べ強固な金属結合(NiSi2)によって形成されているためHF、過酸化水素(以下、H2O2という。)やオゾン等単体の試薬では溶けない。従ってシリサイドに存在するニッケルを回収するためには混酸のような強酸を用いなければならない。
【0004】
シリコン基板表面及び基板表面に形成された表面酸化膜に存在する金属不純物を回収する方法として、HFと硝酸(以下、HNO3という。)と塩酸を含む回収液を用いてニッケルを溶解させて回収する方法が開示されている(例えば、特許文献1参照。)。特許文献1に示される方法には、DE法(one Drop Etching Method)が用いられている。図3に示すように、DE法はシリコン基板13表面の端部に回収液18を数滴滴下し、図4(a)〜図4(c)に示すように、この液滴18を基板13表面全体に行き渡らせて、相対向する端部に再び液滴の形態で集めることにより、基板13表面を清浄化して金属不純物を回収する方法である。
【0005】
また、HFを供給してシリコンウェーハ表面から二酸化シリコン膜を除去した後に、HFとHNO3との混合液をシリコンウェーハ表面に供給して混合液を回収し、この混合液を分析する方法が開示されている(例えば、特許文献2参照)。特許文献2に示される回収方法には、DSE法(one Drop Sandwich Etching Method)が用いられている。図5に示すように、DSE法は混合液を清浄なポリテトラフルオロエチレン(商品名:テフロン、以下、PTFEという。)製等の耐食性のプレート19上に滴下し、この滴下した混合液を挟むようにウェーハ13表面を下にしてプレート19に載せてウェーハ13表面をエッチングする。即ち、混合液をプレート19とウェーハ13表面との間に挟むサンドイッチ状として5分間程度保持し、その反応を促進させる。反応終了と考えられる5分後にウェーハ13をプレート19より除去し、プレート19に残った混合液を回収する方法である。
【0006】
【特許文献1】
特開2001−198544号公報
【特許文献2】
特開平7−130808号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、上記特許文献1に示された方法では、強い酸を用いた液滴により基板表面をエッチングしながら金属不純物を回収していくため、一定箇所に必要以上の時間がかかってしまうとその箇所だけが深くエッチングされてしまい、液滴が基板全体に回らなくなる問題点があった。また強い酸での金属不純物の回収では、回収液中に強酸が存在するだけでなく、シリコンが液中に混入してしまうため、誘導結合プラズマ質量分析(ICP−MS)では直接測定することが困難であった。また、上記特許文献2に示された方法では、分析に手間がかかる、上記文献1と同様に強酸を用いていることと、Siが多く存在しているため感度が低減する等の理由によりICP−MSに適応することができないため、検出の感度が上がらない問題があった。
本発明の目的は、簡便な方法で金属不純物を回収し、かつ高い感度で検出し得る、シリコン基板からの金属不純物の回収方法を提供することにある。
【0008】
【課題を解決するための手段】
請求項1に係る発明は、シリコン基板表面及び基板表面に形成された表面酸化膜にそれぞれ存在する金属不純物を回収する方法の改良である。
その特徴ある構成は、基板表面に50重量%HFと68重量%HNO 3 と98重量%H 2 SO 4 がHF:HNO 3 :H 2 SO 4 =1〜2:0.5〜1:0.5〜1の容積比で混合して調製された混酸から発生する蒸気を接触させて基板表面をエッチングする工程と、基板表面に希薄な酸の液滴を滴下させ、液滴を表面全体に行きわたらせて表面全体に残留する金属不純物を液滴内に溶解させ、金属不純物を溶解した液滴を回収する工程と、回収した液滴に含まれる金属不純物を定量分析する工程とを含むところにある。
請求項1に係る発明では、上記範囲を満たす混酸から発生する蒸気を接触させてSiF4の形でシリコンを気化させ、希薄な酸により金属不純物を回収するため、ICP−MSのような検出下限の低い高感度の分析が可能となる。
【0009】
請求項2に係る発明は、請求項1に係る発明であって、基板表面に混酸から発生する蒸気を10秒〜1分間接触させる方法である。
混酸から発生する蒸気に10秒〜1分間接触させることで基板表面の厚さ100Å〜1000Åのみをエッチングする。
請求項3に係る発明は、請求項1又は2に係る発明であって、混酸に少量のシリコン片を混入させる方法である。
混酸に少量のシリコン片を混入することで、より多くのNOが発生されるため、蒸気への接触時間を短縮できる。
【0010】
請求項4に係る発明は、請求項1に係る発明であって、金属不純物がニッケルであるとき、希薄な酸が0.1重量%〜0.2重量%HF溶液である方法である。
請求項5に係る発明は、請求項1に係る発明であって、金属不純物が銅を含むとき、希薄な酸が2重量%HF及び2重量%H2O2を含む溶液である方法である。
金属不純物が銅を含む場合、H2O2を含む溶液により金属不純物を回収することで、基板表面からパーティクルが除去し易くなる。
請求項6に係る発明は、請求項1に係る発明であって、定量分析を原子吸光分析(AAS)又はICP−MSにより行う方法である。
【0011】
【発明の実施の形態】
本発明のシリコン基板は基板表面に酸化膜を有する。この表面酸化膜としては、自然酸化膜、熱酸化膜、又は洗浄処理により化学的に形成される酸化膜が挙げられる。またシリコン基板表面及び表面酸化膜には金属不純物が存在する。本発明における回収可能な金属不純物としては、Ni、Cu、Feが挙げられるが、本発明の方法では特にNiが好適である。
【0012】
まず、基板表面にHF、HNO3及びH2SO4を含む混酸から発生する蒸気を接触させて基板表面を蒸気によってエッチングする。混酸は50重量%HFと68重量%HNO3と98重量%H2SO4がHF:HNO3:H2SO4=1〜2:0.5〜1:0.5〜1の容積比で混合して調製される。上記範囲を満たさない混酸はSi表面エッチングが不十分となる不具合を生じる。
図1に示すように、HFに耐え得るケース10を用意し、このケース10内にPTFE製のステージ12を設置する 。このステージ12上にシリコン基板13を載せる。混酸14aを貯えたビーカー14をケース10内に設置し、ケース10に上蓋11をして密閉空間を形成する。混酸14aから発生する蒸気をケース10内に充満させる。基板13表面と蒸気とを10秒〜1分間程度接触させて基板12表面を100Å〜1000Åエッチングする。
【0013】
この実施の形態ではケース内に蒸気を発生させて基板表面を処理する例を示したが、図2に示すように、保持具16でシリコン基板13を混酸14aの入ったビーカー14上に間隔をあけて保持し、基板13表面を蒸気に晒すことにより、シリコン基板13表面を処理してもよい。
【0014】
混酸より発生する蒸気をシリコン基板に接触させると下記式(1)及び(2)の反応が連続的に起こる。
Si + 4HNO3↑ → SiO2 + 4NO2 + 2H2O ……(1)
SiO2 + 6HF↑ → H2SiF6 + 2H2O ……(2)
この混酸より発生する蒸気では、まずHFが式(2)に示すように表面酸化膜を溶解除去し、表出した基板表面を式(1)に示すようにHNO3が酸化させ、更にこの酸化物をHFにより溶解除去する。式(2)に示されるH2SiF6はSiF4となって気化する。混酸中のHF濃度が高い場合では酸化力が弱いので、Siの酸化には触媒としてNOを必要とする。NOはHNO3の分解生成物で自己触媒反応により供給される。混酸に少量のシリコン片を混入させることで、より多くのNOが発生させることができる。一方、HNO3濃度が高い場合では酸化速度が大きく、HFのSiO2の溶解除去速度が小さくなる。
この蒸気によるエッチング工程により、シリコン基板表面及び表面酸化膜に存在する金属不純物、例えばニッケルの場合はNiF2としてパーティクルの状態で基板表面に残留する。
【0015】
次に蒸気によるエッチングを施したシリコン基板に希薄な酸の液滴を滴下させ、液滴を表面全体に行き渡らせて表面に残留する金属不純物を液滴内に溶解させ、金属不純物を溶解した液滴を回収する。ここでの工程では前述したDE法を用いて基板表面に残留する金属不純物を回収する。
図3に示すように、表面を蒸気に接触させたシリコン基板13をプレート17に載置し、このシリコン基板13表面に希薄な酸の液滴18を滴下する。希薄な酸は、回収する金属不純物によって以下のように選択される。金属不純物がニッケルであるときは、0.1重量%〜0.2重量%のHF溶液とし、金属不純物が銅を含むときは、2重量%HF及び2重量%H2O2を含む溶液とする。液滴18の滴下位置は、基板13表面全体に行き渡らせ易い基板の端部が好ましい。
続いて、滴下した液滴18をシリコン基板13表面全体に行き渡らせて液滴により金属不純物を溶解し、溶解後にこの液滴を回収する。基板表面全体に液滴を行き渡らせる方法としては、端部から表面横方向に移動して基板表面の金属不純物を溶解する方法(図4(a))、縦方向に液滴を移動する方法(図4(b))、端部より螺旋状に中心部に向けて液滴を移動させる方法(図4(c))があり、これらを単独に行うか、又は組み合わせることで基板表面全体に行き渡らせる。
【0016】
更に、回収した液滴に含まれる金属不純物を定量分析する。定量分析にはAAS又はICP−MSを用いる。
本発明の回収方法は、希薄な酸を用いて金属不純物を基板表面及び表面酸化物より回収するため、回収した液をICP−MSにより測定することができるため、高い精度で簡便に検出することができる。
【0017】
また本発明の方法は、以下の調査や判別に利用することができる。
熱処理炉において高温中にシリコン基板内部に入ったニッケルは、冷却の際に基板表面でシリサイドを形成する。そこでバルク内にゲッタリング源がないシリコン基板に所定の熱処理を施し、その後に本発明の方法を用いてシリコン基板に含まれるニッケルを測定する。この方法により、熱処理炉でのニッケル汚染の有無を調査することができる。
また、ゲッタリング源を有するシリコン基板をサンプルとして用意し、金属不純物によりこの基板表面を強制汚染させた後に拡散熱処理を施し、金属不純物を基板内部に拡散させた後、本発明の方法を用いて評価を行うことによってニッケルが検出されなければ、そのサンプル基板は実用上十分なゲッタリング効果を有すると判別することができる。
【0018】
【実施例】
次に本発明の実施例を比較例とともに説明する。
<実施例1〜4>
先ず、29重量%のアンモニア水(以下、NH4OHという。)と30重量%のH2O2と純水をNH4OH:H2O2:水=1:1:5の容積比で混合したSC−1溶液にニッケルのイオン濃度が10ppbとなるように硝酸ニッケル溶液を添加した溶液を調製した(実施例1)。同様に、SC−1溶液の容積比をNH4OH:H2O2:水=0.25:1:5とした溶液(実施例2)、SC−1溶液の容積比をNH4OH:H2O2:水=1:0.1:5とした溶液(実施例3)及びSC−1溶液の容積比をNH4OH:H2O2:水=0.25:0.1:5とした溶液(実施例4)をそれぞれ調製した。通常の研磨工程を終えた直径150mmのシリコン基板を4枚用意し、80℃に保持した4種類のSC−1溶液に10分間浸漬してシリコン基板をニッケルで強制的に汚染させた。
次いで、50重量%のHFと68重量%のHNO3と98重量%のH2SO4がHF:HNO3:H2SO4=2:1:1の容積比で混合した混酸を調製し、この混酸をビーカー内に合計400ml用意した。この混酸から発生する蒸気にニッケルを強制汚染させたシリコン基板表面を10秒間接触させて基板表面をエッチングした。
次に、エッチングを終えたシリコン基板を図2に示すプレート上に載置し、基板上に0.1重量%HF溶液を滴下し、DE法により基板表面の洗浄を施し、液滴を回収した。回収した液滴はICP−MSにより分析を行い、液滴に含まれるニッケルの濃度を測定した。
【0019】
<比較例1〜4>
実施例1〜4と同様にニッケルで強制的に汚染させた基板を用い、50重量%のHF及び68重量%のHNO3がHF:HNO3=2:3の容積比で含む混合液1mlを用意した。図5に示すように、プレート19上に混合液を滴下し、この液滴を挟むように汚染基板13表面を下にしてプレート上に載せた。この状態で5分程度保持して基板表面をエッチングし、基板を除去してプレートの残った混合液を回収した。回収液はICP−MSにより分析を行い、回収液に含まれるニッケルの濃度を測定した。
<比較例5〜8>
実施例1〜4と同様にニッケルで強制的に汚染させた基板を用い、この基板を図2に示すプレート上に載置し、基板上に6重量%HF及び8重量%H2O2を含む混酸液を滴下し、DE法により基板表面の洗浄を施し、液滴を回収した。回収した液滴はICP−MSにより分析を行い、液滴に含まれるニッケルの濃度を測定した。
<比較例9〜12>
実施例1〜4と同様にニッケルで強制的に汚染させた基板を用い、この基板を図2に示すプレート上に載置し、基板上に2重量%HFを含む混酸液を滴下し、DE法により基板表面の洗浄を施し、液滴を回収した。回収した液滴はICP−MSにより分析を行い、液滴に含まれるニッケルの濃度を測定した。
【0020】
<比較評価>
実施例1〜4及び比較例1〜12のシリコン基板から回収した回収液の回収率を測定した。その結果を表1に示す。また図6にICP−MSによるニッケルの汚染濃度を示す。
【0021】
【表1】
【0022】
図6及び表1より明らかなように、比較例5〜8及び比較例9〜12では回収濃度が1011atoms/cm2レベルであり、SC−1溶液中の水の割合が高くなると、5%未満の回収率となった。これに対して、実施例1〜4では汚染させたニッケル濃度とほぼ同等の濃度が測定でき、100%の回収率となった。
なお、DSE法を用いた比較例1〜4は実施例1〜4と同様の結果を示していたが、この方法を用いた場合、検出にICP−MSを用いて測定できないため、汚染濃度が低い高感度での測定には適さない。
【0023】
【発明の効果】
以上述べたように、本発明によれば、所定の範囲の容積比を満たす混酸から発生する蒸気を接触させてSiF4の形でシリコンを気化させ、希薄な酸により金属不純物を回収するため、ICP−MSのような検出下限の低い高感度の分析が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態を示すシリコン基板表面に混酸から発生する蒸気を接触させた状態を示す図。
【図2】本実施の別の形態を示すシリコン基板表面に混酸から発生する蒸気を接触させた状態を示す図。
【図3】シリコン基板表面に希薄な酸の液滴を滴下させた図。
【図4】(a) シリコン基板端部から相対向する端部へと表面横方向に液滴を移動させた状態を示す図。
(b) シリコン基板端部から相対向する端部へと表面縦方向に液滴を移動させた状態を示す図。
(c) シリコン基板端部から中心部へと螺旋状に液滴を移動させた状態を示す図。
【図5】DSE法を用いたシリコン基板表面及び表面酸化膜からの金属不純物の回収を示す工程図。
【図6】実施例1〜4及び比較例1〜12の基板表面汚染濃度を示す図。
Claims (6)
- シリコン基板表面及び前記基板表面に形成された表面酸化膜にそれぞれ存在する金属不純物を回収する方法において、
前記基板表面に50重量%HFと68重量%HNO 3 と98重量%H 2 SO 4 がHF:HNO 3 :H 2 SO 4 =1〜2:0.5〜1:0.5〜1の容積比で混合して調製された混酸から発生する蒸気を接触させて前記基板表面をエッチングする工程と、
前記基板表面に希薄な酸の液滴を滴下させ、前記液滴を表面全体に行きわたらせて表面全体に残留する金属不純物を液滴内に溶解させ、前記金属不純物を溶解した液滴を回収する工程と、
前記回収した液滴に含まれる金属不純物を定量分析する工程と
を含むシリコン基板からの金属不純物の回収方法。 - 基板表面に混酸から発生する蒸気を10秒〜1分間接触させる請求項1記載の方法。
- 混酸に少量のシリコン片を混入させる請求項1又は2記載の方法。
- 金属不純物がニッケルであるとき、希薄な酸が0.1重量%〜0.2重量%フッ化水素酸溶液である請求項1記載の方法。
- 金属不純物が銅を含むとき、希薄な酸が2重量%フッ化水素酸及び2重量%過酸化水素を含む溶液である請求項1記載の方法。
- 定量分析を原子吸光分析又は誘導結合プラズマ質量分析により行う請求項1記載の方法。
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