JP4139939B2 - 比抵抗調整水製造設備の管理システム - Google Patents

比抵抗調整水製造設備の管理システム Download PDF

Info

Publication number
JP4139939B2
JP4139939B2 JP2001337906A JP2001337906A JP4139939B2 JP 4139939 B2 JP4139939 B2 JP 4139939B2 JP 2001337906 A JP2001337906 A JP 2001337906A JP 2001337906 A JP2001337906 A JP 2001337906A JP 4139939 B2 JP4139939 B2 JP 4139939B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
specific resistance
water
resistance adjustment
production facility
adjustment water
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2001337906A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2003136052A (ja
Inventor
明和 山本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kurita Water Industries Ltd
Original Assignee
Kurita Water Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kurita Water Industries Ltd filed Critical Kurita Water Industries Ltd
Priority to JP2001337906A priority Critical patent/JP4139939B2/ja
Publication of JP2003136052A publication Critical patent/JP2003136052A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4139939B2 publication Critical patent/JP4139939B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Treatment Of Water By Ion Exchange (AREA)
  • Water Treatment By Sorption (AREA)

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、製缶検査等に用いられる比抵抗調整水を製造する比抵抗調整水製造設備における活性炭やイオン交換樹脂、更には炭酸ガス等からなる消耗品の交換・補充を適切に指示し、比抵抗調整水の安定した製造を効果的に支援することのできるの比抵抗調整水製造設備の管理システムに関する。
【0002】
【関連する背景技術】
例えば製缶工場においては製造した缶の品質を検査して、腐食等の欠陥があるものを排除することが不可欠である。この種の製缶検査は、専ら、図5に示すように缶Cに比抵抗調整水Wを充填し、比抵抗調整水Wに浸漬した第1のプローブP1と缶Cの表面に接触させた第2のプローブP2とを用いて、その間の導電率(抵抗値)を計測することによってなされる。この為、製缶検査に用いられる比抵抗調整水としては、その比抵抗が一定(既知)であることが重要である。
【0003】
ちなみにこの種の比抵抗調整水は、一般的には製缶工場等に付随して設けられた比抵抗調整水製造設備により製造されて製缶検査等に供せられる。この比抵抗調整水製造設備は、例えば概略的には活性炭槽を用いて原水中に含まれる全有機炭素(TOC)成分を除去した後、イオン交換樹脂槽を用いて上記原水を脱イオン処理して比抵抗が12〜18MΩ・cmの純水を製造し、その後、その処理水(純水)に炭酸ガス(CO2)を溶解させて比抵抗を調整し、比抵抗が0.5〜2.5MΩ・cmの比抵抗調整水を製造するように構成される。尚、この比抵抗調整水の空気との接触を防ぐべく、その貯留槽に不活性ガスとして、例えば窒素ガス(N2)を封入することも行われる。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
ところで比抵抗調整水製造設備の運転に伴い、上述した活性炭槽における活性炭やイオン交換樹脂槽におけるイオン交換樹脂の性能が次第に劣化することが否めない。従って処理水(比抵抗調整水)の比抵抗を一定に保つには、処理性能の劣化した活性炭やイオン交換樹脂を交換したり、再生することが必要となる。また炭酸ガスや窒素ガスについても、その使用によって消費されるので、適宜、補充することが必要である。
【0005】
しかしながら比抵抗調整水製造設備の設置現場において、常時、その運転状況を監視して活性炭やイオン交換樹脂を交換・再生したり、炭酸ガスや窒素ガスを補充するには多大な管理労力(負担)が伴うことが否めない。また交換用の活性炭やイオン交換樹脂、更には補充用の炭酸ガスや窒素ガス等を予備用の備品(消耗品)として準備しておくにしても、その保管場所等において問題が生じることが否めない。
【0006】
本発明はこのような事情を考慮してなされたもので、その目的は、比抵抗調整水製造設備の運転状態に応じて、その設備におけるイオン交換樹脂や炭酸ガス等の消耗品の交換・補充を適切に指示し、比抵抗調整水の安定した製造を効果的に支援することのできるの比抵抗調整水製造設備の管理システムを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上述した目的を達成すべく本発明に係る比抵抗調整水製造設備の管理システムは、活性炭槽およびイオン交換樹脂槽を備え、原水を脱イオン処理して所定の比抵抗を有する処理水(比抵抗調整水)を製造する比抵抗調整水製造設備に組み込まれて該製造設備の運転状態を監視する状態監視装置と、この状態監視装置により検出される前記比抵抗調整水製造設備の運転状態を所定の通信回線を介して収集する管理センタと、この管理センタに設けられて前記比抵抗調整水製造設備の仕様を予め登録したデータベースとを備えたものであって、
前記管理センタにおいては、前記原水の流量を減らした場合における前記処理水の流量とその比抵抗の値から活性炭およびイオン交換樹脂の性能劣化を判断すると共に、前記データベースを参照して前記比抵抗調整水製造設備の運転状態から該製造設備における消耗品の補充・交換の要否を判断し、前記比抵抗調整水製造設備を保守を担うメンテナンス会社に対して前記活性炭、イオン交換樹脂および消耗品の補充・交換を指示することを特徴としている。
【0008】
即ち、比抵抗調整水製造設備に設けた状態監視装置を介して該製造設備の運転状態を管理センタにおいて遠隔的に監視し、この管理センタ側においてはデータベース補参照することで、該データベースに予め登録されている上記比抵抗調整水製造設備の仕様に従って上記運転状態から該製造設備における消耗品の補充・交換の要否を判断し、この判断結果に従って所定のメンテナンス会社に対して前記消耗品の補充・交換を指示することで、前記比抵抗調整水製造設備の設置現場における管理労力(負担)を軽減すると共に、比抵抗調整水の安定した製造を効果的に支援することを特徴としている。
【0009】
ちなみに前記比抵抗調整水製造設備における消耗品は、請求項2に記載するように処理水に溶解させてその比抵抗の安定化に用いられる炭酸ガスであって、前記管理センタにおける第2の判断手段は、前記炭酸ガスの供給に用いられる炭酸ガスボンベの残量圧力から炭酸ガスの使用量または残量を判断することを特徴としている。
また請求項3に記載するように前記管理センタにおける第1の判断手段は、前記比抵抗調整水製造設備にて製造される処理水の流量および該処理水の比抵抗を監視し、該比抵抗の値が所定の仕様に達しないときには前記比抵抗調整水製造設備にて製造される処理水の流量を減らし、このときの前記比抵抗の値から前記活性炭および前記イオン交換樹脂の性能劣化を判断することを特徴としている。
【0010】
尚、前記比抵抗調整水製造設備は、例えば請求項4に記載するように製缶検査に用いられる処理水(比抵抗調整水)のように、その比抵抗が高精度に調整された比抵抗調整水の製造に供せられるものからなる。
【0011】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照して本発明の一実施形態に係る比抵抗調整水製造設備の管理システムについて説明する。
図1はこの管理システムの概略構成を示すもので、図中1は比抵抗調整水製造設備、2はこの比抵抗調整水製造設備1に設けられて該製造設備1の運転状態を監視する状態監視装置である。この管理システムは、上記状態監視装置2により監視されている前記比抵抗調整水製造設備1の運転状態を、所定の通信回線(ネットワーク)3を介して収集する管理センタ4を主体として構成される。そして管理センタ4においては、該管理センタ4に付随して設けられたデータベース5を参照し、該データベース5に予め登録してある前記比抵抗調整水製造設備1の仕様等に従って前記比抵抗調整水製造設備1の運転状態から該製造設備1における消耗品の交換・補充の要否を判断し、メンテナンス会社6に対して上記製造設備1に対する消耗品の交換・補充を指示するものとなっている。
【0012】
先ず比抵抗調整水製造設備1について簡単に説明すると、この比抵抗調整水製造設備1は並列に設けられて選択的に交互に使用される2系統の比抵抗調整水系11,12を備え、これらの比抵抗調整水系11,12にて製造された処理水(比抵抗調整水)を水質検査部13を介して水質(比抵抗)検査した後、例えば製缶工場における缶検査部14に供給する如く構成される。この際、上記処理水(比抵抗調整水)は、その貯留槽(図示せず)において窒素ガスボンベ15から供給される窒素ガス(N2)を用いて封入され、空気から遮断した状態で前記缶検査部14に供給されて製缶検査に供される。また缶検査部14にて使用された処理水(比抵抗調整水)は、前記比抵抗調整水系11,12への供給水(原水)を蓄える原水貯槽16に戻されて原水と共に再使用されるようになっている。
【0013】
しかして上記各比抵抗調整水系11,12は、活性炭槽A、イオン交換樹脂槽B、および炭酸ガス溶解槽Cをそれぞれ備える。そして原水貯槽16から供給される原水中に含まれる全有機炭素(TOC)成分を活性炭槽Aにて除去した後、このTOC成分を除去した原水をイオン交換樹脂槽Bにて脱イオン処理することで比抵抗が12〜18MΩ・cmの純水を製造し、更に炭酸ガス溶解槽Cにて上記純水に炭酸ガス(CO2)を溶解させてその比抵抗を調整し、例えば比抵抗が1MΩ・cmの比抵抗調整水(処理水)を製造するように構成される。
【0014】
尚、各比抵抗調整水系11,12にて製造される処理水(比抵抗調整水)の比抵抗は、前記水質検査部13にて検査された処理水(比抵抗調整水)の水質(比抵抗値)に応じて流量調整装置Dを作動させて、前記活性炭槽Aからイオン交換樹脂槽Bに亘って通水する原水の流量を調整することによってなされる。また前記炭酸ガス溶解槽Cへの炭酸ガス(CO2)の供給は、炭酸ガスボンベEから行われる。
【0015】
さて概略的には上述した如く構成される比抵抗調整水製造設備1の運転状態を監視する状態監視装置2は、例えば前記活性炭槽Aおよびイオン交換樹脂槽Bを順に通水される原水または処理水の流量を監視する流量監視部21と、前記水質検査部13において検査される処理水の比抵抗を監視する比抵抗監視部22、更には炭酸ガスボンベEの残量圧力から炭酸ガスの使用量または残量を監視する炭酸ガスボンベ圧力監視部23、および前記窒素ガスボンベ15の残量圧力から窒素ガスの使用量または残量を監視する窒素ガスボンベ圧力監視部24を備えている。その他にも状態監視装置2は、前記2系統の比抵抗調整水系11,12のいずれを使用して比抵抗調整水を製造しているか等を監視する機能を備える。
【0016】
そして状態監視装置2は、パーソナルコンピュータや携帯電話端末等の通信ユニット25を介して、例えば所定時間毎にその監視結果である前記比抵抗調整水製造設備1の運転状態を、前述したネットワーク3を介して管理センタ4に通知するものとなっている。換言すれば管理センタ4は、その管理対象とする比抵抗調整水製造設備1の運転状態を、その製造設備1に組み込まれた状態監視装置2からネットワーク3を介してそれぞれ収集している。
【0017】
ちなみに状態監視装置2における通信ユニット25は、例えば図2に示すように、予め設定された比抵抗調整水製造設備1に固有な設備番号31と、当該設備1における運転状態の監視対象部位に付した子機ID番号32およびその監視対象部位における運転状態を示す計測データ33の組とからなる一連の情報系列として、その監視情報(運転状態を示す計測データ)を前記管理センタ4に対して通知する。
【0018】
一方、管理センタ4においては、例えば図3に示す手順に従って前記比抵抗調整水製造設備1の運転状態をモニタし、該製造設備1における比抵抗調整水の安定した製造を支援している。即ち、管理センタ4は、状態監視装置2からネットワーク3を介して比抵抗調整水製造設備1の前述した流量等からなる運転状態を示す情報を収集したとき、その通信データ中から先ず設備番号31を取得し[ステップS1]、取得した設備番号31に従ってデータベース5を検索する[ステップS2]。
【0019】
このデータベース5には、例えば図4に示すように、管理対象とする比抵抗調整水製造設備(顧客)毎にその住所や連絡先、IPアドレス等によって示される設備番号、更には設備の種類やその全体的な仕様が予め登録されている。またこのデータベース5には、更に子機ID番号32毎に分類して、その監視対象部位を特定する機器の種類やその形式(仕様)、メンテナンス対象の内容とメンテナンスの実行条件等がそれぞれ登録されている。
【0020】
管理センタ4は、このようなデータベース5を参照することで当該比抵抗調整水製造設備1の上述したメンテナンス対象の内容とそのメンテナンス条件等を含む仕様を取得し[ステップS3]、前述した子機ID番号32に従ってその運転状態を判定する。具体的にはID番号32に従ってその監視対象部位を特定し、その監視対象部位における消耗品に対するメンテナンス条件を取得する[ステップS4,S5]。そしてこのメンテナンス条件に従って前記状態監視装置2から通知された運転条件(計測データ)を判定することで、その消耗品に対する交換・補充の要否を判定する[ステップS6]。このような判定処理は、上述したID番号に基づく管理と制御の下で、複数の消耗品のそれぞれに対して実行される[ステップS7]。
【0021】
ちなみに前記活性炭およびイオン交換樹脂の性能劣化は、処理水(比抵抗調整水)の流量とその比抵抗の値から判断される。具体的にはその流量を減らして活性炭槽Aやイオン交換樹脂槽Bの処理能力に見合う量の処理水(比抵抗調整水)を製造するようにその製造条件(運転条件)を変化させた場合であっても、その処理水の比抵抗が所定の仕様(目標とする比抵抗値)に達しない場合、活性炭およびイオン交換樹脂の性能が大幅に劣化しており、その交換が必要であると判断される。また炭酸ガスや窒素ガスに対する補充の判断は、そのガスボンベE,15の残量圧力が予め設定された所定の圧力まで低下したとき、上記各ガスの残量が不足しつつあり、その補充が必要であると判断される。
【0022】
そして消耗品(活性炭、イオン交換樹脂、炭酸ガス、および窒素ガス)に対する交換・補充が必要であると判断された場合には、管理センタ4は、前記比抵抗調整水製造設備1の保守管理を担うメンテナンス会社6に対してその消耗品の交換・補充を指示し[ステップS8]、更には前記比抵抗調整水製造設備1の運転管理者8に対してその旨を報告している[ステップS9]。尚、消耗品の交換・補充が不要な場合には、その監視結果の上記運転管理者8への報告だけが行われる[ステップS9]。
【0023】
しかして管理センタ4から消耗品の交換・補充が指示されたメンテナンス会社6においては、該管理センタ4から同時に通知される比抵抗調整水製造設備1に関す情報(住所や設備仕様等)に従って、指定された消耗品の交換・補充を実行することになる。この際、交換した消耗品が、前述した活性炭槽Aに充填される活性炭や、イオン交換樹脂槽Bに充填されるイオン交換樹脂等の再生可能なものである場合には、メンテナンス会社1は交換により回収した消耗品(活性炭やイオン交換樹脂)を再生処理工場7に移送することで、その再生を委託する。
【0024】
かくして上述した如く構成された管理システムによれば、常時は比抵抗調整水製造設備1において、その比抵抗調整水系11,12を交互に使用して運転し、休止中にある比抵抗調整水系の活性炭槽Aに充填される活性炭やイオン交換樹脂槽Bに充填されるイオン交換樹脂を再生処理しながら比抵抗調整水を製造するといえども、長期間に亘る運転に伴って徐々に性能が劣化する活性炭やイオン交換樹脂の状態を、当該比抵抗調整水製造設備1の運転管理者8に代わって確実に監視することができる。換言すれば休止中にある比抵抗調整水系11,12における活性炭やイオン交換樹脂を再生処理して上記比抵抗調整水系11,12の切り換えに待機させるが故に、その現場において活性炭やイオン交換樹脂の特性劣化を把握し難いといえども、管理センタ4においてその特性劣化を確実に監視することができる。そして特性の劣化した活性炭やイオン交換樹脂の交換を確実に指示することができ、更にメンテナンス会社6にその指示を与えることで、運転管理者8を煩わすことなく活性炭やイオン交換樹脂の交換作業を実施することが可能となる。また炭酸ガスや窒素ガスの補充に対しても、運転管理者8による管理作業を伴うことなしに、適切にその補充作業を実施することができる。
【0025】
これ故、運転管理者8の管理作業負担を大幅に軽減し得ると共に、比抵抗調整水製造設備1の運転環境を常に安定に維持することが可能となるので、比抵抗調整水の安定した製造を効果的に支援することが可能となる。そして比抵抗調整水製造設備1においては、所定の比抵抗を有する処理水(比抵抗調整水)を缶検査部14に対して常に安定に供給することが可能となる等の効果が奏せられる。
【0026】
尚、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。ここでは製缶検査用の比抵抗調整水を製造する比抵抗調整水製造設備1を管理するシステムを例に説明したが、各種工場にて用いられる比抵抗調整水を製造する設備に対しても同様に適用可能である。またここではイオン交換樹脂槽Bを用いて原水を脱イオン処理する比抵抗調整水系11,12を例に説明したが、逆浸透膜を用いた脱イオン処理装置や、電気脱イオン処理装置を用いた比抵抗調整水製造設備に対しても同様に適用可能である。更には状態監視装置2と管理センタ4との間の情報通信についても、インターネット等の通信手段や公衆電話回線等を適宜採用することが可能である。その他、本発明はその要旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【0027】
【発明の効果】
以上説明したように本発明によれば、比抵抗調整水製造設備において原水を脱イオン処理に用いられる活性炭やイオン交換樹脂等の性能劣化を管理センタにおいて的確に判断し、また炭酸ガス等の消費量を判断して、メンテナンス会社に対してその交換・補充を指示することができるので、比抵抗調整水製造設備の運転管理者を煩わせることなく、その消耗品の交換・補充を実行することができる。従って比抵抗調整水製造設備の運転環境を常に安定に維持し、比抵抗調整水の安定した製造を効果的に支援することが可能となる等の実用上多大なる効果が奏せられる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係る比抵抗調整水製造設備の管理システムの概略構成を示す図。
【図2】図1に示す管理システムにおける比抵抗調整水製造設備の運転状態を示す情報の通信形態の例を示す図。
【図3】図1に示す管理システムにおける管理センタでの概略的な処理手順を示す図。
【図4】図1に示す管理システムにおけるデータベースの登録情報の例を示す図。
【図5】製缶検査の例を示す図。
【符号の説明】
1 比抵抗調整水製造設備
2 状態監視装置
3 通信回線
4 管理センタ
5 データベース
6 メンテナンス会社
11,12 比抵抗調整水系
13 水質検査部
14 缶検査部
15 窒素ガスボンベ
21 流量監視部
22 比抵抗監視部
23 炭酸ガスボンベ圧力監視部
24 窒素ガスボンベ圧力監視部
25 通信ユニット
A 活性炭槽
B イオン交換樹脂槽
C 炭酸ガス溶解槽
D 流量調整装置
E 炭酸ガスボンベ

Claims (4)

  1. 活性炭槽およびイオン交換樹脂槽を備え、原水を脱イオン処理して所定の比抵抗を有する処理水を製造する比抵抗調整水製造設備に組み込まれて製造設備の運転状態を監視する状態監視装置と、
    この状態監視装置により検出される前記比抵抗調整水製造設備の運転状態を所定の通信回線を介して収集する管理センタと、
    この管理センタに設けられて前記比抵抗調整水製造設備の仕様を予め登録したデータベースとを備えてなり、
    前記管理センタは、前記処理水の流量とその比抵抗の値から活性炭およびイオン交換樹脂の性能劣化を判断する第1の判断手段と、前記データベースを参照して前記比抵抗調整水製造設備の運転状態から該製造設備における消耗品の補充・交換の要否を判断する第2の判断手段と、これらの第1および第2の判断手段による判断結果に従って前記比抵抗調整水製造設備を保守を担うメンテナンス会社に対して前記活性炭、イオン交換樹脂および消耗品の補充・交換を指示する手段とを具備することを特徴とする比抵抗調整水製造設備の管理システム。
  2. 前記比抵抗調整水製造設備における消耗品は、処理水に溶解させてその比抵抗の安定化に用いられる炭酸ガスであって、
    前記管理センタにおける第2の判断手段は、前記炭酸ガスの供給に用いられる炭酸ガスボンベの残量圧力から炭酸ガスの使用量または残量を判断するものである請求項1に記載の比抵抗調整水製造設備の管理システム。
  3. 前記管理センタにおける第1の判断手段は、前記比抵抗調整水製造設備にて製造される処理水の流量および該処理水の比抵抗を監視し、該比抵抗の値が所定の仕様に達しないときには前記比抵抗調整水製造設備にて製造される処理水の流量を減らし、このときの前記比抵抗の値から前記活性炭および前記イオン交換樹脂の性能劣化を判断するものである請求項1に記載の比抵抗調整水製造設備の管理システム。
  4. 前記比抵抗調整水製造設備が製造する所定の比抵抗を有する処理水は、製缶検査に用いられるものである請求項1に記載の比抵抗調整水製造設備の管理システム。
JP2001337906A 2001-11-02 2001-11-02 比抵抗調整水製造設備の管理システム Expired - Fee Related JP4139939B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001337906A JP4139939B2 (ja) 2001-11-02 2001-11-02 比抵抗調整水製造設備の管理システム

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001337906A JP4139939B2 (ja) 2001-11-02 2001-11-02 比抵抗調整水製造設備の管理システム

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2003136052A JP2003136052A (ja) 2003-05-13
JP4139939B2 true JP4139939B2 (ja) 2008-08-27

Family

ID=19152475

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001337906A Expired - Fee Related JP4139939B2 (ja) 2001-11-02 2001-11-02 比抵抗調整水製造設備の管理システム

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4139939B2 (ja)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006026572A (ja) * 2004-07-20 2006-02-02 Shimizu Corp 井水プラント監視システム
JP6256143B2 (ja) * 2014-03-26 2018-01-10 三浦工業株式会社 イオン交換装置の遠隔管理制御システム
CN112789502A (zh) * 2018-10-17 2021-05-11 奥加诺株式会社 水质管理方法、离子吸附装置、信息处理装置以及信息处理系统

Also Published As

Publication number Publication date
JP2003136052A (ja) 2003-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102605237B1 (ko) 반도체 제조 장치, 반도체 제조 장치의 고장 예지 방법 및 기억 매체
US10633757B2 (en) Plating apparatus, plating method, and recording medium
KR102303998B1 (ko) 니켈 전기도금 욕 내의 ph 를 유지하기 위한 장치 및 방법
US20090127119A1 (en) Electronic components associated and apparatus for deionization and electrochemical purification and regeneration of electrodes
US20100108535A1 (en) System for generating hydrogen and method thereof
JP4139939B2 (ja) 比抵抗調整水製造設備の管理システム
KR20190022112A (ko) 자동화 설비의 고장 예측 장치, 이를 이용한 고장 예측 시스템 및 고장 예측 방법
US20060118428A1 (en) System for generating hydrogen and method thereof
US20200308724A1 (en) Removal of electroplating bath additives
JP6502967B2 (ja) 反応物質純度を判定するための装置
CN102222526A (zh) 用于对电子装置的处理过程进行控制的方法和装置
KR20130143534A (ko) 액체 파티클 카운터 모듈들을 이용한 전기도금 장치들 및 방법들
JP7059424B2 (ja) めっき装置
JP4846201B2 (ja) めっき装置及びめっき方法
CN104837777B (zh) 电去离子控制系统
JP4139938B2 (ja) 軟水設備の運用支援システム
JPH10277405A (ja) 軟化装置の再生異常検出装置
JP6536714B2 (ja) オゾン発生装置
JP2020094962A (ja) 水質測定システムおよびメンテナンス方法決定方法
JP7194305B1 (ja) 基板ホルダ、めっき装置、及びめっき方法
CN117313019B (zh) 一种基于深度强化学习的数据异常检测方法
JP2003027289A (ja) メッキ装置、メッキ方法、および半導体装置の製造方法
KR102026608B1 (ko) 빅데이터를 활용한 tro센서 모듈 에러유형별 검출 및 진단 방법
WO2019176707A1 (ja) 水処理設備の管理装置
US20040254739A1 (en) Life prediction for gas purifiers

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20040915

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20070620

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070807

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20080514

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20080527

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110620

Year of fee payment: 3

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120620

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130620

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140620

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees