CN106776911A - WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统 - Google Patents

WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统，该方法包括：步骤一，设置一BAN文件夹；步骤二，当该WAT机台报警，lot中途停止时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤四，否则则进入步骤三；步骤三，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传；步骤四，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；步骤五，选择剩下未测试的晶圆开始测试；步骤六，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器，本发明能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理。

Description

WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统
技术领域
本发明涉及一种lot异常处理优化方法及系统，特别是涉及一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统。
背景技术
目前，当WAT(Wafer Acceptance，晶圆验收测试)机台发生报警，lot(一个基本批量的晶圆组)中途停止，工程师晚上无法即时得知，MFG(Manufacturing，生产)会要求设备down机(停机)，设备维修机台，三个部门都无法即时得知当前lot测试至哪里，而且此时lot无法继续测试出货，必须工程师到场处理，甚至会发生在后续出货过程中，发现wafer(晶圆)数据有缺，工程师需要重新导出数据，合并数据，并重新上传，花费很多时间，严重影响出货进程。
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足，本发明之目的在于提供一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统，其能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理，有效地加速lot正常出货流程，在测试中途停止后，自动将测试完毕的数据存入文件夹，并提示未测试的wafer(晶圆)数量，并主动告知工程师，当全部测试完毕后，自动合并数据，上传系统。
为达上述目的，本发明提出一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，包括如下步骤：
步骤一，设置一BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中；
步骤二，当该WAT机台报警，lot中途停止时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤四，否则则进入步骤三；
步骤三，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传；
步骤四，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；
步骤五，选择剩下未测试的晶圆开始测试；
步骤六，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。
进一步地，于步骤一中，当机台测试中断，将数据保存在该BAN文件夹下，并存储中断日志文件。
进一步地，于步骤三中，将数据.ad5文件转成.lot后上传至该BAN文件夹。
进一步地，于步骤四中，启动邮件通知系统将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止。
进一步地，于步骤六中，于重测完毕将中断前后的数据合并后，清除中断日志下的相关内容。
为达到上述目的，本发明还提供一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，包括：
异常监测模块，于监测到WAT机台报警，lot中途停止时，启动判断模块；
判断模块，用于判断已测试的数据是否已发送；
分析处理模块，根据该判断模块的判断结果，对已测试数据进行相应处理，并更新用于存储测试中断数据的BAN文件夹，同时通知预设工程师lot中途停止，并选择剩下未测试的晶圆开始测试；
合并模块，于重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。
进一步地，该系统还包括一设置模块，用于设置该BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中，并保存中断日志文件。
进一步地，该分析处理模块于该判断模块判断出已测试的数据未发送时，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式后将其上传，并对该BAN文件夹进行更新，将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止。
进一步地，该合并模块于重测完毕将中断前后的数据合并后，清除中断日志下的相关内容。
进一步地，该分析处理模块将数据.ad5文件转成.lot后上传至该BAN文件夹。
与现有技术相比，本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理，有效地加速lot正常出货流程，在测试中途停止后，自动将测试完毕的数据存入ban文件夹，并提示未测试的wafer数量，并主动发出邮件告知工程师，当全部测试完毕后，自动合并数据，上传系统。
附图说明
图1为本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法的步骤流程图；
图2为本发明一具体实施例中之WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法的步骤流程图；
图3为本发明具体实施例中启动邮件通知工程师的示意图；
图4为本发明具体实施例之显示界面示意图；
图5为本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统的系统架构图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例并结合附图说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。
图1为本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法的步骤流程图，如图1所示，本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，包括如下步骤：
步骤101，设置一BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中。在本发明较佳实施例中，当机台测试中断，将数据保存在/WATSERV/EDA/RAWDATA/BAN下，并存储中断日志文件，中断LOG(日志)在/WATSERV/LOG/banlog.txt下可以查询。
步骤102，当该WAT机台报警，lot中途停止，数据中断时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤104，如数据未发送，则进入步骤103；
步骤103，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传，在本发明较佳实施例中，将数据.ad5文件转成.Lot后上传/WATSERV/EDA；
步骤104，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；
步骤105，选择剩下未测试的晶圆(wafer)开始测试；
步骤106，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器，同时，清除中断日志下的相关内容，即清除banlog.txt下的相关内容。
图2为本发明一具体实施例中之WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法的步骤流程图。在本发明具体实施例中，当机台报警，数据中断后，首先判断是否有需进行格式转换的数据(即.ad5格式转成.Lot格式)，若有，则将数据转换成.lot格式；将已测试的数据上传至ban文件下；对ban文件进行更新，并启动邮件自动通知工程师lot中途停止；选择剩下未测试的wafer进行测试，测试完毕后，将中断前后的数据进行合并并自动上传服务器；系统接收数据，根据出货流程正常出货。
图3为本发明具体实施例中启动邮件通知工程师的示意图，图4为本发明具体实施例之显示界面示意图。当WAT机台发生报警，lot发生中途停止时，ban文件会更新，则系统会根据ban文件的更新情况，自动发出邮件通知工程师，当merge完毕，ban文件也会更新，此时工程师也能收到通知邮件；当WAT机台发生报警，lot中途停止后，工程师可以打开软件图标，查看到显示结果，直接得知测试到底几片，还有几片未测试，当维修好机台后能够继续往下测试(图4)。
可见，本发明可以通过判断.lot文件是否测试完整，不完整则上传ban文件下，通过判断ban文件是否更新自动通知工程师，从而测试未测试的数据，最后进行合并。
图5为本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统的系统架构图。如图5所示，本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，包括：异常监测模块501、判断模块502、分析处理模块503以及合并模块504。
其中，异常监测模块501，于监测到WAT机台报警，lot中途停止，数据中断时，启动判断模块502；判断模块502，用于判断已测试的数据是否已发送；分析处理模块503根据判断模块502的判断结果，对已测试数据进行相应处理，并更新用于存储测试中断数据的BAN文件夹，同时启动邮件通知预设工程师lot中途停止，并选择剩下未测试的晶圆(wafer)开始测试；合并模块502，于重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器，同时，清除中断日志下的相关内容，即清除banlog.txt下的相关内容。
具体地，分析处理模块503，于判断模块判断出已测试的数据未发送时，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传，在本发明较佳实施例中，将数据.ad5文件转成.Lot后上传/WATSERV/EDA，并对BAN文件夹进行更新，将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通过邮件通知该预设的工程师lot中途停止。
较佳地，本发明之WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统还包括设置模块，该设置模块，用于设置一BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中。在本发明较佳实施例中，当机台测试中断，将数据保存在/WATSERV/EDA/RAWDATA/BAN下，并存储中断日志文件，中断LOG(日志)在/WATSERV/LOG/banlog.txt下可以查询。
综上所述，本发明一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法及系统能够有效解决WAT机台中途报警停货引起的lot异常处理，有效地加速lot正常出货流程，在测试中途停止后，自动将测试完毕的数据存入ban文件夹，并提示未测试的wafer数量，并主动发出邮件告知工程师，当全部测试完毕后，自动合并数据，上传系统。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (10)

1.一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，包括如下步骤：
步骤一，设置一BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中；
步骤二，当该WAT机台报警，lot中途停止时，判断已测试的数据是否已发送，如数据已发送，则进入步骤四，否则则进入步骤三；
步骤三，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式，并将其上传；
步骤四，对BAN文件夹进行更新，并将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止；
步骤五，选择剩下未测试的晶圆开始测试；
步骤六，重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。
2.如权利要求1所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，其特征在于：于步骤一中，当机台测试中断，将数据保存在该BAN文件夹下，并存储中断日志文件。
3.如权利要求2所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，其特征在于：于步骤三中，将数据.ad5文件转成.lot后上传至该BAN文件夹。
4.如权利要求2所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，其特征在于：于步骤四中，启动邮件通知系统将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止。
5.如权利要求2所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化方法，其特征在于：于步骤六中，于重测完毕将中断前后的数据合并后，清除中断日志下的相关内容。
6.一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，包括：
异常监测模块，于监测到WAT机台报警，lot中途停止时，启动判断模块；
判断模块，用于判断已测试的数据是否已发送；
分析处理模块，根据该判断模块的判断结果，对已测试数据进行相应处理，并更新用于存储测试中断数据的BAN文件夹，同时通知预设工程师lot中途停止，并选择剩下未测试的晶圆开始测试；
合并模块，于重测完毕后将中断前后的数据合并，并自动上传至服务器。
7.如权利要求6所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，其特征在于：该系统还包括一设置模块，用于设置该BAN文件夹，以于该WAT机台测试中断，将数据保存于该BAN文件夹中，并保存中断日志文件。
8.如权利要求7所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，其特征在于：该分析处理模块于该判断模块判断出已测试的数据未发送时，将已测试的数据进行格式转换，转换成该BAN文件夹下的文件格式后将其上传，并对该BAN文件夹进行更新，将该BAN文件夹发送给预设的工程师，通知该预设的工程师lot中途停止。
9.如权利要求7所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，其特征在于：该合并模块于重测完毕将中断前后的数据合并后，清除中断日志下的相关内容。
10.如权利要求8所述的一种WAT机台报警引起的lot异常处理优化系统，其特征在于：该分析处理模块将数据.ad5文件转成.lot后上传至该BAN文件夹。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109390246A (zh) * 2018-10-24 2019-02-26 上海华力微电子有限公司 一种wat测试方法及系统
CN112798998A (zh) * 2020-12-31 2021-05-14 杭州广立微电子股份有限公司 一种晶圆测试探针卡状态异常处理方法
CN112989141A (zh) * 2021-03-15 2021-06-18 上海华力微电子有限公司 一种查询中断晶圆批次lot的方法及系统

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1396625A (zh) * 2001-07-05 2003-02-12 大日本屏影象制造株式会社 管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统
US20040024722A1 (en) * 2000-10-17 2004-02-05 Martine Naillon Method for monitoring a decision-making process when pursuing an objective in a specific field of application, such as economic, technical, organisational or the like
CN101132315A (zh) * 2007-09-29 2008-02-27 中兴通讯股份有限公司 用于实现告警查询出错后定位出错原因的方法
CN101458514A (zh) * 2007-12-13 2009-06-17 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 检测可接受测试数据方法及晶圆可接受测试控制方法
CN101707632A (zh) * 2009-10-28 2010-05-12 浪潮电子信息产业股份有限公司 一种动态监控服务器集群性能并实时报警的方法
CN102446337A (zh) * 2011-10-12 2012-05-09 上海华力微电子有限公司 一种缺陷通报系统
CN102571909A (zh) * 2011-11-14 2012-07-11 北京安天电子设备有限公司 基于服务器文件夹访问量动态调整带宽的方法及装置
CN103196922A (zh) * 2013-04-09 2013-07-10 上海华力微电子有限公司 缺陷检查负载统计系统及方法
CN103257635A (zh) * 2013-04-09 2013-08-21 上海华力微电子有限公司 一种辅助工艺流程的实验控制系统及方法
CN103617109A (zh) * 2013-10-23 2014-03-05 上海华力微电子有限公司 探针机台日志文件的警告处理系统和方法
CN105183609A (zh) * 2015-09-16 2015-12-23 焦点科技股份有限公司 一种应用于软件系统的实时监控系统及方法

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040024722A1 (en) * 2000-10-17 2004-02-05 Martine Naillon Method for monitoring a decision-making process when pursuing an objective in a specific field of application, such as economic, technical, organisational or the like
CN1396625A (zh) * 2001-07-05 2003-02-12 大日本屏影象制造株式会社 管理衬底处理装置的装置信息的衬底处理系统
CN101132315A (zh) * 2007-09-29 2008-02-27 中兴通讯股份有限公司 用于实现告警查询出错后定位出错原因的方法
CN101458514A (zh) * 2007-12-13 2009-06-17 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 检测可接受测试数据方法及晶圆可接受测试控制方法
CN101707632A (zh) * 2009-10-28 2010-05-12 浪潮电子信息产业股份有限公司 一种动态监控服务器集群性能并实时报警的方法
CN102446337A (zh) * 2011-10-12 2012-05-09 上海华力微电子有限公司 一种缺陷通报系统
CN102571909A (zh) * 2011-11-14 2012-07-11 北京安天电子设备有限公司 基于服务器文件夹访问量动态调整带宽的方法及装置
CN103196922A (zh) * 2013-04-09 2013-07-10 上海华力微电子有限公司 缺陷检查负载统计系统及方法
CN103257635A (zh) * 2013-04-09 2013-08-21 上海华力微电子有限公司 一种辅助工艺流程的实验控制系统及方法
CN103617109A (zh) * 2013-10-23 2014-03-05 上海华力微电子有限公司 探针机台日志文件的警告处理系统和方法
CN105183609A (zh) * 2015-09-16 2015-12-23 焦点科技股份有限公司 一种应用于软件系统的实时监控系统及方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109390246A (zh) * 2018-10-24 2019-02-26 上海华力微电子有限公司 一种wat测试方法及系统
CN112798998A (zh) * 2020-12-31 2021-05-14 杭州广立微电子股份有限公司 一种晶圆测试探针卡状态异常处理方法
CN112798998B (zh) * 2020-12-31 2024-08-16 杭州广立测试设备有限公司 一种晶圆测试探针卡状态异常处理方法
CN112989141A (zh) * 2021-03-15 2021-06-18 上海华力微电子有限公司 一种查询中断晶圆批次lot的方法及系统
CN112989141B (zh) * 2021-03-15 2024-05-28 上海华力微电子有限公司 一种查询中断晶圆批次lot的方法及系统

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