CN103196922A - 缺陷检查负载统计系统及方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种缺陷检查负载统计系统及方法，该方法包括如下步骤：利用缺陷检测机台检测缺陷信号；通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录；对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；于该缺陷检测系统正确导入数据的同时将相应的文件备份到相应机台；连接至相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；查询缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果，本发明可解决目前缺陷检测系统不能够方便准确的统计缺陷检查机台的负载的问题。

Description

缺陷检查负载统计系统及方法
技术领域
本发明关于一种缺陷检查负载统计系统及方法，特别是涉及一种基于KlarityDefect系统的缺陷检查负载统计系统及方法。
背景技术
Klarity Defect系统是一种缺陷检测系统，广泛用于半导体的制造与生产中。缺陷检测机台检测到缺陷信号后，对于缺陷数量超标的晶圆需要在缺陷检查机台做进一步的检查，获得缺陷的具体照片并进行分类。通常的做法是线上工程师在缺陷检测机台检测到缺陷信号后通过Klarity Defect系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，然后线上工程师会操作缺陷检查机台做进一步的检查，所有缺陷检查机台在做完进一步检查以后会自动生成同名的KLA文件和图片文件传输到Klarity Defect系统
然而，当前Klarity Defect系统只保存了晶圆和工艺相关的缺陷信息和缺陷图片，但没有提供直接根据缺陷图片生成设备进行查询的功能，所以很难统计缺陷检查机台的负载；另外KLA文件格式中无法保存和操作者相关的信息，所以也没有办法根据操作者来统计每个助理工程师的日常的工作量。
发明内容
为克服上述现有技术存在的不足，本发明之目的在于提供一种缺陷检查负载统计系统及方法，其可以解决目前Klarity Defect系统不能够方便准确的统计缺陷检查机台的负载的问题，另外，在统计机台负载的同时，本发明还解决了对线上助理工程师日常工作量的统计和检查，便于相关负责人合理安排工作量和人员配置。
为达上述及其它目的，本发明提出一种缺陷检查负载统计系统，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，至少包括：
缺陷检测模组，利用缺陷检测机台检测缺陷信号；
导出模组，通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息；
再次检测模组，用于对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；
KLA/图片文件生成及传输模组，于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；
备份模组，于该缺陷检测系统正确导入数据时将相应的文件备份到相应机台；
获取模组，连接到相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；
解析模组，根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；
查询模组，根据解析出的信息，查询该缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果。
进一步地，该系统还包括报告生成模组，该报告生成模组根据该查询模组的查询结果生成相应的报告。
进一步地，该报告生成模组自动生成缺陷检查机台的负载报告和对线上助理工程师日常工作量的统计报告。
进一步地，该晶圆文件文件名遵循以下规则：
LOTID_LayerID_EmployeeID_OtherInfomation，
其中，LOTID为晶圆产品批次名，LayerID为层号，EmployeeID为操作者信息，OtherInformation为其他相关信息。
进一步地，该获取模组通过FTP方式连接到相应机台获取对应缺陷检测机台所有的文件列表。
进一步地，该缺陷检测系统为Klarity Defect系统。
为达到上述及其他目的，本发明还提供一种缺陷检查负载统计方法，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，包括如下步骤：
步骤一，利用缺陷检测机台检测缺陷信号；
步骤二，通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息；
步骤三，对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；
步骤四，于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；
步骤五，于该缺陷检测系统正确导入数据的同时将相应的文件备份到相应机台；
步骤六，连接至相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；
步骤七，根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；以及
步骤八，根据解析出的信息，查询该缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果。
进一步地，于步骤八之后，还包括根据该查询模组的查询结果生成相应的报告的步骤。
进一步地，该根据该查询模组的查询结果生成相应的报告的步骤自动生成缺陷检查机台的负载报告和对线上助理工程师日常工作量的统计报告。
进一步地，该晶圆文件文件名遵循以下规则：
LOTID_LayerID_EmployeeID_OtherInfomation，
其中，LOTID为晶圆产品批次名，LayerID为层号，EmployeeID为操作者信息，OtherInformation为其他信息，如时间等信息。
与现有技术相比，本发明一种缺陷检查系统及方法通过导出模组导出包含便于查询的信息的晶圆文件，并于缺陷检测系统正确导入数据时将相应文件备份到相应机台，使得获取模组可以连接相应机台获取相应的查询信息，并通过报告生成模组可以自动生成生成缺陷检查机台的负载报告和对线上助理工程师日常工作量的统计报告，解决了目前Klarity Defect系统不能够方便准确的统计缺陷检查机台的负载的问题，本发明在统计机台负载的同时，也解决了对线上助理工程师日常工作量的统计和检查，便于相关负责人合理安排工作量和人员配置。
附图说明
图1为本发明一种缺陷检查负载统计系统的系统架构图；
图2为本发明一种缺陷检查负载统计方法的步骤流程图。
具体实施方式
以下通过特定的具体实例并结合附图说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本发明的其它优点与功效。本发明亦可通过其它不同的具体实例加以施行或应用，本说明书中的各项细节亦可基于不同观点与应用，在不背离本发明的精神下进行各种修饰与变更。
图1为本发明一种缺陷检查负载统计系统的系统架构图。如图1所示，本发明一种缺陷检查负载统计系统，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，在本发明较佳实施例中，缺陷检测系统为Klarity Defect系统，该缺陷检查负载统计系统包括：缺陷检测模组101、导出模组102、再次检测模组103、KLA/图片文件生成及传输模组104、备份模组105、获取模组106、解析模组107、查询模组108及报告生成模组109。
其中，缺陷检测模组101利用缺陷检测机台检测缺陷信号；导出模组102通过缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息，如操作者及时间等相关信息，在本发明较佳实施例中，导出的晶圆文件文件名遵循以下规则：
LOTID_LayerID_EmployeeID_OtherInfomation。
其中，LOTID为晶圆产品批次名，LayerID为层号，EmployeeID为操作者信息，OtherInformation为其他信息，如时间等信息。
再次检测模组103用于对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；KLA/图片文件生成及传输模组104于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给缺陷检测系统，如KlarityDefect；备份模组105则于缺陷检测系统(Klarity Defect)正确导入数据的同时将相应的文件备份到相应机台，具体地说，备份模组将相应的文件备份到相应机台的备份文件夹中；获取模组106则连接到相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表，在本发明较佳实施例中，获取模组106通过FTP方式连接到备份文件夹获取对应缺陷检测机台所有的文件列表；解析模组107根据文件列表解析出包含查询信息的所有信息，如LOT ID，Layer ID，Employee ID和文件保存时间等；查询模组108根据这些信息，查询缺陷检测系统(Klairy Defect)系统对应的数据库，查询出和文件保存时间最接近的相关晶圆的缺陷检查结果，包含晶圆数量，生成的图片数量等；报告生成模组109根据查询模组108的查询结果生成相应的报告。
图2为本发明一种缺陷检测负载统计方法的步骤流程图。如图2所示，本发明一种缺陷检测负载统计方法，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，包括如下步骤：
步骤201，利用缺陷检测机台检测缺陷信号；
步骤202，通过缺陷检测系统(Klairy Defect)直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息，如操作者及时间等相关信息，在本发明较佳实施例中，导出的晶圆文件文件名遵循以下规则：
LOTID_LayerID_EmployeeID_OtherInfomation。
其中，LOTID为晶圆产品批次名，LayerID为层号，EmployeeID为操作者信息，OtherInformation为其他信息，如时间等信息。
步骤203，对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查。
步骤204，于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给缺陷检测系统，如Klarity Defect。
步骤205，于缺陷检测系统(Klarity Defect)正确导入数据的同时将相应的文件备份到相应机台，具体地说，备份模组将相应的文件备份到相应机台的备份文件夹中。
步骤206，连接至相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表，在本发明较佳实施例中，则通过FTP方式连接到备份文件夹获取对应缺陷检测机台所有的文件列表。
步骤207，根据文件列表解析出包含查询信息的所有信息，如LOT ID，LayerID，Employee ID和文件保存时间等。
步骤208，根据解析出的信息，查询缺陷检测系统(Klairyt Defect)对应的数据库，查询出和文件保存时间最接近的相关晶圆的缺陷检查结果，包含晶圆数量，生成的图片数量等；
步骤209，根据查询结果生成相应的报告。
综上所述，本发明一种缺陷检查系统及方法通过导出模组导出包含便于查询的信息的晶圆文件，并于缺陷检测系统正确导入数据时将相应文件备份到相应机台，使得获取模组可以连接相应机台获取相应的查询信息，并通过报告生成模组可以自动生成生成缺陷检查机台的负载报告和对线上助理工程师日常工作量的统计报告，解决了目前Klarity Defect系统不能够方便准确的统计缺陷检查机台的负载的问题，本发明在统计机台负载的同时，也解决了对线上助理工程师日常工作量的统计和检查，便于相关负责人合理安排工作量和人员配置。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何本领域技术人员均可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰与改变。因此，本发明的权利保护范围，应如权利要求书所列。

Claims (10)

1.一种缺陷检查负载统计系统，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，至少包括：
缺陷检测模组，利用缺陷检测机台检测缺陷信号；
导出模组，通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息；
再次检测模组，用于对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；
KLA/图片文件生成及传输模组，于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；
备份模组，于该缺陷检测系统正确导入数据时将相应的文件备份到相应机台；
获取模组，连接到相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；
解析模组，根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；
查询模组，根据解析出的信息，查询该缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果。
2.如权利要求1所述的一种缺陷检查负载统计系统，其特征在于：该系统还包括报告生成模组，该报告生成模组根据该查询模组的查询结果生成相应的报告。
3.如权利要求2所述的一种缺陷检查负载统计系统，其特征在于：该报告生成模组自动生成缺陷检查机台的负载报告和对线上助理工程师日常工作量的统计报告。
4.如权利要求3所述的一种缺陷检查负载统计系统，其特征在于，该晶圆文件文件名遵循以下规则：
LOTID_LayerID_EmployeeID_OtherInfomation，
其中，LOTID为晶圆产品批次名，LayerID为层号，EmployeeID为操作者信息，OtherInformation为其他相关信息。
5.如权利要求1所述的一种缺陷检查负载统计系统，其特征在于：该获取模组通过FTP方式连接到相应机台获取对应缺陷检测机台所有的文件列表。
6.如权利要求1所述的一种缺陷检查负载统计系统，其特征在于：该缺陷检测系统为Klarity Defect系统。
7.一种缺陷检查负载统计方法，用于对缺陷检测系统中的缺陷检查负载进行统计，包括如下步骤：
步骤一，利用缺陷检测机台检测缺陷信号；
步骤二，通过该缺陷检测系统直接将晶圆文件导出到服务器的固定目录，导出的晶圆文件文件名中至少包含便于查询及统计的信息；
步骤三，对缺陷数量超标的晶圆利用缺陷检测机台做进一步检查；
步骤四，于所有缺陷检测机台做完进一步检查后自动生成同名的KLA文件和图片文件，并将其传输给该缺陷检测系统；
步骤五，于该缺陷检测系统正确导入数据的同时将相应的文件备份到相应机台；
步骤六，连接至相应机台获取对应缺陷检查机台所有的文件列表；
步骤七，根据文件列表解析出包含查询及统计信息的所有信息；以及
步骤八，根据解析出的信息，查询该缺陷检测系统对应的数据库，获得相应的统计结果。
8.如权利要求7所述的一种缺陷检查负载统计方法，其特征在于：于步骤八之后，还包括根据该查询模组的查询结果生成相应的报告的步骤。
9.如权利要求8所述的一种缺陷检查负载统计方法，其特征在于：该根据该查询模组的查询结果生成相应的报告的步骤自动生成缺陷检查机台的负载报告和对线上助理工程师日常工作量的统计报告。
10.如权利要求7所述的一种缺陷检查负载统计方法，其特征在于，该晶圆文件文件名遵循以下规则：
LOTID_LayerID_EmployeeID_OtherInfomation，
其中，LOTID为晶圆产品批次名，LayerID为层号，EmployeeID为操作者信息，OtherInformation为其他相关信息。
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