CN102446337A - 一种缺陷通报系统 - Google Patents

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邵雄
娄晓祺
顾晓芳
陈旭
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Abstract

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种缺陷通报系统，通过本发明将设计一个针对缺陷异常情况的处理平台，利用系统控制的方式记录、追踪异常的缺陷状况；并考虑各不同系统之间的整合，以及不同时段发生的缺陷异常状态之间的关联；同时还可以归纳和观看各类指标来指导缺陷检测的重点方向，合理安排检测设备的产能。

Description

一种缺陷通报系统
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种缺陷通报系统。
背景技术
随着集成电路生产制造工艺技术的发展，由于线宽越来越小，致使线上缺陷的检测越发显得重要，相应的对于缺陷检测部门的各类要求也越来越严格，如提高检测精度、采用多样性的分析手法以及对于缺陷异常情况的记录、追踪、整理和归纳等。
由于在目前情况下，业界内使用的类似缺陷通报系统主要是通过记录和office报告来记录下缺陷异常情况以及相关所追踪到的各类资料，不仅相应的填写较为繁琐，还因为缺少自动通知的机制，需要人工负责通知、追踪、提醒等工作，尤其对于长时间区间内各异常状况的汇总，如各个设备的异常状况的次数、严重度的比较等，由于采用人工进行数据记录，不仅记录分析繁琐且容易产生一定的偏差，从而使在缺陷改善方向上的指导性失真；如记录被填写错误，Excel记录被误修改等造成的数据失真，都会造成记录数据的偏差，从而使得数据的安全性也难以得到保证；同时，现今业界内使用的类似的缺陷通报系统与其他各类系统之间的整合也不尽人意。
制造执行系统（Manufacturing Execution System，简称MES）是美国AMR公司(Advanced Manufacturing Research，Inc．)在90年代初提出的，旨在加强MRP计划的执行功能，把MRP计划同车间作业现场控制，通过执行系统联系起来。
统计过程控制（Statistical Process Control，简称SPC）指利用统计的方法来监控过程的状态，确定生产过程在管制的状态下，以降低产品品质的变异。
发明内容
本发明公开了一种缺陷通报系统，其中，包括：服务平台、记录模块、追踪模块、系统整合模块、查询模块和归纳整理模块；
记录模块：记录缺陷组在集成电路制造过程中缺陷检测时发现的缺陷及其相关产品信息，并存储至服务平台中；其中，服务平台存储有前期的缺陷及其相关产品信息； 
追踪模块：追踪工艺组根据缺陷组提供的缺陷及其相关产品信息，检查相关设备并处理相关产品后，缺陷信息的后续变化及其影响，并存储至服务平台中，以更新缺陷信息； 
系统整合模块：从制造执行系统（Manufacturing Execution System，简称MES）、产量管理系统（Yield Management System，简称YMS）和统计过程控制（Statistical Process Control，简称SPC）系统中调取缺陷及其相关产品信息与服务平台中的缺陷及其相关产品信息进行比对，以保证缺陷及其相关产品信息数据不失真，并将该比对结果信息反馈给各个相关的系统；
查询模块：通过设置各种查询条件从服务平台中调取相关或类似的缺陷及其相关产品信息；
归纳整理模块：定期对存储在服务平台里的信息进行汇总报表，以指导后期相关工艺流程。
上述的缺陷通报系统，其中，所述缺陷及其相关产品信息包含有产品批次信息、缺陷信息、怀疑设备信息和后续处理意见等。
上述的缺陷通报方法，其中，缺陷组在产品制造过程中缺陷检测时发现缺陷及其相关产品信息后，撰写缺陷通报，并通知工艺组；其中，工艺组和缺陷组收集后续数据，并通过查询模块查询存储在服务平台中前期的缺陷及其相关产品信息作为参考，以将收集的后续数据更新至所述缺陷报告。
上述的缺陷通报方法，其中，所述缺陷报告包含有良率的影响、返工的效果、影响的范围、产品的处置、原因的分析和验证、设备的处理、防范措施的采用等信息。
上述的缺陷通报系统，其中，所述服务平台为后台服务器及数据库。
上述的缺陷通报系统，其中，所述服务平台针对不同的系统设置有不同的管理权限，该管理权限包含有修改、增加数据和查看等。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种缺陷通报系统，通过本发明将设计一个针对缺陷异常情况的处理平台，利用系统控制的方式记录、追踪异常的缺陷状况；并考虑各不同系统之间的整合，以及不同时段发生的缺陷异常状态之间的关联；同时还可以归纳和观看各类指标来指导缺陷检测的重点方向，合理安排检测设备的产能。
附图说明
图1是本发明缺陷通报系统模块示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步的说明：
图1是本发明缺陷通报系统模块示意图。如图1所示，本发明一种缺陷通报系统：
在集成电路制造过程中，缺陷组工程师将经过缺陷检测发现的异常状况，即缺陷及其相关产品信息，如产品批次的信息、缺陷的信息、怀疑的设备、后续处理意见等均通过记录模块2存储至统一的服务平台1上，该服务平台1一般为后台服务器及数据库；其中，服务平台1上针对不同的系统设置有不同的管理权限，如修改、增加数据或是单纯的查看等。
当缺陷组在发现缺陷信息时，在第一时间撰写缺陷通报，并通知相关的工艺组工程师根据定义的流程检查设备、处理受影响的产品批次等，并同时利用追踪模块3追踪缺陷信息的后续变化及其影响，并存储至服务平台1中，以更其中储存的缺陷信息。同时，缺陷组工程师和工艺组工程师通过查询模块4从服务平台1中调取与发现的缺陷相关或类似的缺陷及其产品信息，如类似的检测站点、缺陷类别、工艺设备和技术产品等，以作为撰写或更新缺陷通报的参考；在发出缺陷通报后，缺陷组工程师和工艺组工程师通过查询模块4继续收集后续的各类数据，并同时更新到缺陷通报中。其中，缺陷通报包含有良率的影响、返工的效果、影响的范围、产品的处置、设备的处理、原因的分析和验证、防范措施的采用及举一反三的建议等信息，以保证异常状况记录的完整性，同时一个异常状况的处理也是一个经验积累的过程，合理、合适、完整的追踪可以最大程度的避免今后类似状况的再次发生，且当数据记录不完整时，该记录就不能结案，从而能有效的避免不完整的异常状况记录的出现。
进一步的，从制造执行系统5（Manufacturing Execution System，简称MES）中获取产品批次和设备的信息、产量管理系统6（Yield Management System，简称YMS）中获取缺陷的信息、统计过程控制（Statistical Process Control，简称SPC）系统7中读取监控数据等相关的系统调取缺陷及其相关产品信息与服务平台1中存储的缺陷及其相关产品信息在系统整合模块8中进行比对，以保证缺陷及其相关产品信息数据在数据收集和整理阶段没有人为的失误，从而保证数据不失真，并将该比对结果信息反馈给各个相关的系统，如由于缺陷异常高可能造成产品的死货，可以通过MES系统5自动暂停被怀疑设备的运作，从而能有效的保证处理的时效性，也可通过邮件系统通知想伏案的人员异常的情况，联系异常产品处理系统等。
进一步的，通过设置各种查询条件快捷的通过查询模块4从服务平台1中调取相关或类似的缺陷及其相关产品信息，如类似的检查站点、缺陷类别、工艺设备、技术产品等。由于数据都保留在服务平台1的后台服务器端，所以数据的安全性、记录的完整性等都能够得到保障，同时，不仅能为各类查询提供便捷，也为类似的异常状况的对比提供了方便。
其中，归纳整理模块9通过定期对存储在服务平台1中的信息进行汇总报表，根据过去的记录指出异常发生频率较高或问题较严重的设备、站点，以指导缺陷检测的重点方向，如重点站点、重点设备等，以能更合理的安排检测设备的产能；即定期的汇总报表可以快捷的为缺陷良率工程师指导工作的重点方向。
综上所述，由于采用了上述技术方案，本发明提出一种缺陷通报系统，通过本发明将设计一个针对缺陷异常情况的处理平台，利用系统控制的方式记录、追踪异常的缺陷状况；并考虑各不同系统之间的整合，以及不同时段发生的缺陷异常状态之间的关联；同时还可以归纳和观看各类指标来指导缺陷检测的重点方向，合理安排检测设备的产能。
通过说明和附图，给出了具体实施方式的特定结构的典型实施例，基于本发明精神，还可作其他的转换。尽管上述发明提出了现有的较佳实施例，然而，这些内容并不作为局限。
对于本领域的技术人员而言，阅读上述说明后，各种变化和修正无疑将显而易见。因此，所附的权利要求书应看作是涵盖本发明的真实意图和范围的全部变化和修正。在权利要求书范围内任何和所有等价的范围与内容，都应认为仍属本发明的意图和范围内。

Claims (6)

1.一种缺陷通报系统，其特征在于，包括：服务平台、记录模块、追踪模块、系统整合模块、查询模块和归纳整理模块；
记录模块：记录缺陷组在集成电路制造过程中缺陷检测时发现的缺陷及其相关产品信息，并存储至服务平台中；其中，服务平台存储有前期的缺陷及其相关产品信息； 
追踪模块：追踪工艺组根据缺陷组提供的缺陷及其相关产品信息，检查相关设备并处理相关产品后，缺陷信息的后续变化及其影响，并存储至服务平台中，以更新缺陷信息； 
系统整合模块：从制造执行系统、产量管理系统和统计过程控制系统中调取缺陷及其相关产品信息与服务平台中的缺陷及其相关产品信息进行比对，以保证缺陷及其相关产品信息数据不失真，并将该比对结果信息反馈给各个相关的系统；
查询模块：通过设置各种查询条件从服务平台中调取相关或类似的缺陷及其相关产品信息；
归纳整理模块：定期对存储在服务平台里的信息进行汇总报表，以指导后期相关工艺流程。
2.根据权利要求1所述的缺陷通报系统，其特征在于，所述缺陷及其相关产品信息包含有产品批次信息、缺陷信息、怀疑设备信息和后续处理意见。
3.根据权利要求2所述的缺陷通报方法，其特征在于，缺陷组在产品制造过程中缺陷检测时发现缺陷及其相关产品信息后，撰写缺陷通报，并通知工艺组；其中，工艺组和缺陷组收集后续数据，并通过查询模块查询存储在服务平台中前期的缺陷及其相关产品信息作为参考，以将收集的后续数据更新至所述缺陷报告。
4.根据权利要求3所述的缺陷通报方法，其特征在于，所述缺陷报告包含有良率的影响、返工的效果、影响的范围、产品的处置、原因的分析和验证、设备的处理、防范措施的采用信息。
5.根据权利要求1所述的缺陷通报系统，其特征在于，所述服务平台为后台服务器及数据库。
6.根据权利要求1所述的缺陷通报系统，其特征在于，所述服务平台针对不同的系统设置有不同的管理权限，该管理权限包含有修改、增加数据和查看。
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