CN112789502A - 水质管理方法、离子吸附装置、信息处理装置以及信息处理系统 - Google Patents

Abstract

一种水质管理方法，对分析对象水中含有的杂质离子的浓度进行管理，具有：将设置有离子吸附体(24)和累计流量计(26)的离子吸附装置(20)连接到供分析对象水流动的流通管(11)的工序；以及对离子吸附装置(20)遍及规定的期间从流通管(11)向离子吸附体(24)通水分析对象水，使分析对象水中含有的离子吸附而成为离子吸附体试样的工序。在离子吸附装置(20)中，在离子吸附体(24)的分析对象水的流动方向的下游侧设置累计流量计(26)。

Description

水质管理方法、离子吸附装置、信息处理装置以及信息处理 系统

技术领域

本发明涉及对超纯水中的杂质浓度进行管理的水质管理方法，特别涉及对超纯水中的极微量金属杂质进行定量的水质管理方法、在该水质管理方法中使用的离子吸附装置及信息处理装置、以及使用它们的信息处理系统。

背景技术

超纯水一般是通过在前处理工序中对河水、地下水及工业用水等被处理水进行处理而除去被处理水中的悬浮物和有机物的大半而制成前处理水，接着，通过1次系统纯水制造装置及2次系统纯水制造装置(子系统)对该前处理水依次进行处理而制造的。所制造的超纯水例如在半导体器件制造工厂中被供给至进行晶片清洗等的使用点。超纯水在医药品制造工序等中也被广泛使用。“纯水”和“超纯水”的用语一般没有明确定义划分，但在本说明书中，通常将用“纯水”、“超纯水”等用语说明的高纯度水统称为“超纯水”。

超纯水具有其中所含的杂质的定量也困难的程度的较高的纯度，但并非完全不含有杂质。而且，超纯水中所含的超微量成分对半导体器件等产品造成的影响即使到器件中的集成度变高的程度也无法忽视。因此，还研究了具有比以往的超纯水更高的纯度的超纯水的必要性。

在半导体器件制造工厂等中，由子系统制造的超纯水经由配管供给到使用点，但子系统与使用点之间的配管长度长时，有时达到数百米。因此，存在微粒(颗粒)、金属离子成分等杂质从配管稍微存在但混入超纯水中而对所制造的半导体器件的特性造成不良影响的情况。作为一例，超纯水中的金属杂质有时会使器件的电气特性恶化，颗粒有时会引起图案缺陷、断线、绝缘耐压降低等不良。进而，在超纯水制造装置中未被去除的成分、或因来自超纯水制造装置的某种理由而在瞬间或某期间发生了杂质的泄漏的情况下，也同样会对所制造的器件的特性产生不良影响。因此，对向使用点供给的超纯水的水质进行管理是极为重要的。

作为超纯水的水质分析项目，可举出电阻率(或其倒数的电导率)、微粒数、活菌数、进而TOC(Total Organic Carbon；总有机碳)、溶解氧(DO)、过氧化氢、二氧化硅、阳离子、阴离子、重金属等各项目的浓度。对于电阻率、微粒数、TOC及溶解氧等，使用在线测量的设备。对离子性杂质也进行基于测量器的在线测量，但在其浓度为在线测量器的检测下限以下的情况下，需要通过某种方法进行该杂质的浓缩后进行定量。对于金属离子，例如要求以0.01ppt的等级进行定量，但只要不进行超纯水中的杂质的浓缩，就无法通过现行的分析方法进行定量。对杂质进行浓缩而进行定量的方法之一是在无尘室内通过特殊的装置对分析对象水进行蒸馏而浓缩，然后进行通常的定量的方法(蒸馏法)。但是，在蒸馏法中，离子性杂质浓度越低，应蒸发的分析对象水的量越增加，操作也变得繁杂，因此引起污染的可能性变高。另外，在具有挥发性的元素的情况下，有时得不到正确的定量结果。

作为浓缩杂质而进行定量的其他方法，有将分析对象水通水于具有离子交换功能的多孔性膜或离子交换树脂等离子交换体，然后，利用洗脱液将回收离子交换体而捕捉的离子性杂质洗脱，对转移至洗脱液的离子性杂质进行定量的方法(浓缩法)。专利文献1公开了使用具有离子交换功能的多孔性膜的浓缩法的分析方法。另外，专利文献2公开了如下的杂质浓度监测方法：为了连续地监视超纯水中的极微量的离子性杂质的浓度，反复对具有离子交换功能的多孔膜每隔规定期间在该期间通入分析对象水，按每个期间对被多孔膜捕捉的离子性杂质进行定量，由此求出该期间中的分析对象水中的离子性杂质浓度。

作为浓缩超纯水中的离子性杂质的又另一方法，专利文献3提出了如下方法：将分析对象水的pH调整为酸性后，向反渗透(RO)膜供给分析对象水，连续地监视反渗透膜的浓缩水即未透过反渗透膜的水中含有的金属离子。但是，在专利文献3所公开的方法中，由于使用反渗透膜而导致的离子性杂质的浓缩率并不那么高，因此无法实现分析对象水中的0.01ppt的等级下的杂质金属的定量，无法满足为了进行超纯水的水质管理而目前要求的请求。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平5-45351号公报

专利文献2：日本特开2001-153854号公报

专利文献3：日本特开2009-156692号公报

发明内容

(发明要解决的课题)

作为对超纯水中的极微量的离子性杂质进行定量的方法，浓缩法不需要复杂的操作，污染的可能性也小，也能够进行容易挥散的元素的定量。这样的分析技术以包含于超纯水中的极微量的杂质的定量为目的而改善，在超纯水制造装置的竣工后或维护后，为了判断超纯水的水质是否满足其规格而承担重要的作用。但是，在专利文献2所记载的杂质浓度监测方法中，在由于对分析对象水进行送水的配管系统中的压力变动等而在多孔质膜中流动的分析对象水的流量发生变化的情况下，由于未考虑该变化来计算分析对象水的杂质浓度，因此作为结果，定量精度降低。

然而，在发现经过使用超纯水的工序而制造的制品产生不良等的情况下，作为该不良分析的一环，考虑超纯水的水质有降低的可能性，从所使用的超纯水进行试样采集并执行分析。在该情况下，即使假设超纯水中含有的污染物质为不良的原因，由于一般会产生成为不良原因的现象后至样品采集为止经过相当的时间，因此在调查阶段中，该污染物质已经在超纯水中不存在，尽管调查中花费大量的时间和劳力，有时也会成为原因不明的状态。

本发明的目的在于提供一种能够事后执行分析对象水中的极微量的离子性杂质的准确的定量而容易执行不良分析的水质管理方法、在该水质管理方法中使用的离子吸附装置及信息处理装置、以及使用它们的信息处理系统。

(用于解决课题的技术方案)

本发明的水质管理方法是对分析对象水中含有的杂质离子的浓度进行管理的水质管理方法，其特征在于，将设置有离子吸附体和累计流量计的离子吸附装置连接到供分析对象水流动的流通管的工序；以及对离子吸附装置遍及规定的期间从流通管向离子吸附体通水分析对象水，使所述离子吸附体吸附分析对象水中含有的离子而成为离子吸附体试样的工序，在离子吸附装置中，累计流量计设置在离子吸附体的分析对象水的流动方向的下游侧。

本发明的离子吸附装置以能够拆卸的方式与供分析对象水流动的流通管连接，所述离子吸附装置的特征在于，具有：离子吸附体，其以能够拆卸的方式设置，被通水有分析对象水且对分析对象水的离子进行吸附；累计流量计，其设置于离子吸附体的分析对象水的流动方向的下游侧，对离子吸附体的通水量的累计值进行计测；以及第一阀芯，其设置于离子吸附体的分析对象水的流动方向的下游侧，进行分析对象水的导通以及切断，并且能够进行分析对象水的流量的调整。

本发明的信息处理装置具有：输入部，其基于从外部接受的操作，对输入信息进行输入；数据库，其将表示在被通水有分析对象水并吸附所述分析对象水的离子的离子吸附体被安装于供所述分析对象水流动的流通管的时期的期间信息与对该离子吸附体固有地赋予的吸附体识别信息建立对应并进行存储；检索部，其基于所述输入部输入的输入信息中包含的日期时间信息，从所述数据库中对所述吸附体识别信息进行检索；以及输出部，其对所述检索部检索到的吸附体识别信息进行输出。

本发明的信息处理系统具有离子吸附装置、定量装置以及信息处理装置，所述离子吸附装置具有：离子吸附体，其以能够拆卸的方式设置于供分析对象水流动的流通管，被通水有所述分析对象水且对所述分析对象水的离子进行吸附；以及累计流量计，其设置于所述离子吸附体的所述分析对象水的流动方向的下游侧，对所述离子吸附体的通水量的累计值进行计测，所述定量装置使用所述累计流量计所计测到的累计值来进行吸附有所述离子的离子吸附体的定量分析，所述信息处理装置具有：输入部，其基于从外部接受到的操作，对输入信息进行输入；数据库，其将表示所述离子吸附体被安装于所述流通管的期间的期间信息与对该离子吸附体固有地赋予的吸附体识别信息建立对应并进行存储；检索部，其基于所述输入部输入的输入信息中包含的日期时间信息，从所述数据库中对所述吸附体识别信息进行检索；以及输出部，其对基于所述定量装置对被赋予了所述检索部检索出的吸附体识别信息的所述离子吸附体进行的定量分析的结果的提供信息进行输出。

(发明效果)

根据本发明，能够事后执行分析对象水中的极微量的离子性杂质的准确的定量，能够使不良解析的执行变得容易。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的离子吸附装置的图。

图2是对水质管理方法进行说明的流程图。

图3是表示本发明的另一实施方式的离子吸附装置的图。

图4是说明具有使用超纯水的工序的工厂中的离子吸附装置的连接场所的例子的图。

图5是表示利用了图1所示的离子吸附装置的信息处理系统的第一例的图。

图6是表示图5所示的信息处理装置的内部结构的一例的图。

图7是表示图6所示的数据库中存储的、期间信息与吸附体识别信息的对应关系的一例的图。

图8是表示图6所示的数据库中存储的、设置信息与吸附体识别信息的对应关系的一例的图。

图9是用于说明图5所示的信息处理系统中的信息处理方法中的、离子吸附装置中的处理的一例的流程图。

图10是用于说明图5所示的信息处理系统中的信息处理方法中的、信息处理装置中的检索处理的一例的流程图。

图11是表示利用了图1所示的离子吸附装置的信息处理系统的第二例的图。

图12是表示图11所示的信息处理装置的内部结构的一例的图。

图13是用于说明图11所示的信息处理系统中的信息处理方法的一例的时序图。

图14是用于说明使用图13所示的时序图进行了说明的步骤S4的详细的处理的一例的流程图。

图15是用于说明使用图13所示的时序图进行了说明的步骤S8的详细的处理的一例的流程图。

具体实施方式

以下，参照附图对本发明的优选实施方式进行说明。图1表示本发明的一个实施方式的离子吸附装置。在此，分析对象水在半导体器件等产品的制造过程中被使用，是与产品接触的超纯水，但本发明的离子吸附装置或水质管理方法作为适用对象的分析对象水并不限定于此。

流通管11从用于向使用点供给超纯水的超纯水供给配管10分支，在流通管11设有开闭阀12。离子吸附装置20经由配管连接器21可拆卸地安装于流通管11的前端。为了在离子吸附装置20的安装及拆卸时超纯水供给配管10内的超纯水不会被污染，优选相对于从超纯水供给配管10分支的配管(流通管11等)安装离子吸附装置20。

在离子吸附装置20的内部，1个或多个内部配管22与配管连接器21连接，作为分析对象水的超纯水从流通管11经由配管连接器21在各内部配管22中流动。在设置多个内部配管22的情况下，这些内部配管22相互并列设置。在图示的结构中，设置有2个内部配管22。在每个内部配管22上可拆卸地设置有离子吸附体24。在各内部配管22中，在其内部配管22中的分析对象水的流动方向上考虑，在离子吸附体24的入口侧设置有开闭阀23，在离子吸附体24的出口侧设置有流量调整阀25，进而在其下游侧设置有对在离子吸附体24中流动的分析对象水的累计流量进行计测的累计流量计26。各内部配管22的出口与排出配管27连接。流量调整阀25是进行分析对象水的导通以及切断，并且能够进行分析对象水的流量的调整的第一阀芯，开闭阀23是进行分析对象水的导通以及切断的第二阀芯。经由配管连接器21供给并经由各内部配管22流过离子吸附体24的分析对象水最终经由排出配管27作为排出水而排出到外部。

本实施方式的离子吸附装置20用于通过上述的浓缩法执行分析对象水中的离子性杂质的定量，从流通管11流入内部配管22的分析对象水中的金属离子等离子性杂质被离子吸附体24捕捉。作为离子吸附体24，可以使用具有离子交换功能的多孔膜、填充有粒状的离子交换树脂的柱等。然而，为了即使以高流速通水，入口与出口之间的差压也不会变大，并且不会引起分析对象水短路而流过离子交换体这样的短路路径，作为离子吸附体24，优选使用整体式有机多孔离子交换体。作为整体式有机多孔离子交换体，例如可以使用具有日本特开2009-62412号公报中公开的连续气泡结构、日本特开2009-67982号公报中公开的共连续结构、日本特开2009-7550号公报中公开的颗粒聚集型结构、日本特开2009-108294号公报中公开的颗粒复合型结构等结构的离子交换体。通过使用整体式有机多孔离子交换体减小离子吸附体24中的压差，能够增大向离子吸附体24的分析对象水的流量，由此，即使分析对象水中的离子性杂质的浓度相同，也能够增大向离子吸附体24的离子性杂质的吸附量，因此能够将离子性杂质的定量下限设为更低浓度侧。

分析对象水中含有的金属离子根据其种类，有良好地吸附于阳离子交换体的金属离子和良好地吸附于阴离子交换体的金属离子。在作为离子性杂质而成为检测对象的金属离子不限定于特定的离子性杂质的情况下，例如若是进行使用超纯水制造的产品的不良解析等的情况，则优选在离子吸附装置20设置包含阳离子交换体的离子吸附体24和包含阴离子交换体的离子吸附体24这两者。

遍及规定的期间将分析对象水通水至离子吸附体24后，接着，利用洗脱液洗脱被离子吸附体24捕捉的离子性杂质，对转移到洗脱液中的离子性杂质的浓度进行定量。在洗脱液中浓缩分析对象水中的离子性杂质，其浓缩倍率是将相对于离子吸附体24的通水的累计流量除以洗脱液的体积而得到的值。因此，分析对象水中的离子性杂质的定量精度也依赖于流过离子吸附体24的累计流量。由于相对于离子吸附体24的通水量也根据分析对象水的压力变动而变化，因此，即使在通水开始时调整流量而将该流量乘以通水时间，也未必与实际的累计流量一致。因此，在本实施方式的离子吸附装置20中，为了求出在离子吸附体24中流动的分析对象水的实际的累计流量，在内部配管22设置累计流量计26，能得到准确的累计流量值。在关于分析对象水的流动方向在离子吸附体24的下游侧设置累计流量计26是因为为了避免来自累计流量计26的污染的影响和避免后述的发泡的影响。另外，在向各离子吸附体24通水分析对象水时，由于存在适合通水的流量，因此为了在向各离子吸附体24的分析对象水的流量的调整时使用，优选累计流量计26也能够测量瞬时流量。在流量的调整时，一边参照瞬时流量的测量值一边调整流量调整阀25的开度。

为了提高长时间连续进行分析时的可靠性，优选在离子吸附装置20上设置多个离子吸附体24，使分析对象水与这些离子吸附体24并联地流动。在该情况下，为了进行离子性杂质的定量，需要每个离子吸附体24的累计流量，因此需要对每个离子吸附体24设置累计流量计26。另外，也可以在离子吸附装置20上以相互并列的方式设置多个离子吸附体24，使分析对象水同时流向这些多个离子吸附体24。由此，能够同时得到多个相互相同的试样(吸附有分析对象水的吸附体)，因此如果对得到的多个试样进行分析，则能够提高其分析结果的可靠性。另外，由于能够得到多个彼此相同的试样，因此也能够得到作为试样而回收的离子吸附体24的一部分的丢失、分析装置不良情况导致的定量失败等意外情况的应对。

然而，在用于半导体器件制造的超纯水中，需要使溶解氧(DO)浓度降低至极限，因此，在设置于在超纯水中循环的路径上的罐等中，以超纯水与氧气不接触的方式填充氮气，在循环的超纯水中大多将氮气溶解至分压0.1MPa左右。超纯水通常被加压输送，因此在作为分析对象水的超纯水的压力降低时，会产生溶解的氮的气泡。在使用本实施方式的离子吸附装置20进行半导体器件制造用的超纯水中的离子性杂质的定量的情况下，若在离子吸附装置20内产生气泡而其蓄积于离子吸附体24内，则在离子吸附体24的内部产生局部的堵塞，用于吸附离子性杂质的表面积减少，其结果是，无法完全捕捉分析对象水中的离子性杂质。在不能完全捕捉离子性杂质的情况下，从此处产生的定量结果也变得不准确。因此，优选地，在离子吸附装置20中在内部产生较大的压力下降的部件、即流量调整阀25以及累计流量计26在分析对象水的流动方向上观察时设置在比离子吸附体24更靠下游侧的位置。另外，为了即使产生了气泡也容易将该气泡排出到体系外，优选在离子吸附装置20的特别是内部配管22中，使分析对象水通过向上流而流动。

本实施方式的离子吸附装置20遍及规定的期间将分析对象水通水后，从流通管11卸下。如后所述，被离子吸附体24捕捉的离子性杂质的定量既可以在取下后立即进行，也可以在经过某种程度的时间后或者根据事后的要求进行。优选的是，能够将离子吸附体24的入口侧和出口侧完全关闭，以便不会在从卸下到进行定量为止的期间离子吸附体24被污染，或者离子性杂质从离子吸附体24流出。因此，在本实施方式的离子吸附装置20中，在离子吸附体24的入口侧设置有上述的开闭阀23。流量调整阀25也为了完全关闭离子吸附体24的出口侧而发挥功能。

接着，使用图2对使用了该离子吸附装置20的水质管理方法进行说明。在此，作为分析对象水，对在超纯水供给配管10中流动的超纯水进行作为杂质含有的金属离子的定量来进行水质管理。首先，在离子吸附装置20与流通管11连接之前，打开开闭阀12，将流通管11内残存的滞留水等吹出，暂时关闭开闭阀12，之后，如步骤101所示，经由配管连接器21将离子吸附装置20与流通管11连接。然后，打开开闭阀12，在各内部配管22中打开开闭阀23和流量调整阀25，如步骤102所示，开始向离子吸附体24的分析对象水的通水。此时，通过使用累计流路计26的瞬时流量测量功能测量瞬时流量并调整流量调整阀25的开度，将流过离子吸附体24的分析对象水的流量设定为规定值。然后，遍及规定的期间进行向离子吸附体24的分析对象水的通水后，关闭开闭阀23和流量调整阀25，开闭阀12也关闭，从流通管11卸下离子吸附装置20，如步骤103所示那样回收离子吸附装置20。将通过对分析对象水进行通水而吸附了离子性杂质(在此为金属离子)的离子吸附体24也称为离子吸附体试样。图2是着眼于特定的离子吸附装置20的流程图，在步骤103中卸下离子吸附装置20后，在该时间点，通过将更换用的离子吸附装置20与流通管11连接(步骤101)，能够遍及连续的期间进行水质的管理。另外，开闭阀12在离子吸附装置20未与流通管11连接时，除了对流通管11内的滞留水进行吹出时之外完全关闭。另外，在离子吸附装置20未与流通管11连接时，优选以流通管11的端部或内部不被污染的方式堵塞流通管11的前端。

在回收了离子吸附装置20之后，在步骤104中，进行通水于该离子吸附装置20的期间(例如，从几月几日的什么时间到几月几日的什么时间为止)的记录。该记录例如可以是在物理标签(例如手写的标签、印字的标签或IC(集成电路)芯片)填写或记录通水期间并安装到离子吸附装置20的记录，也可以是在离子吸附装置20被赋予了序列号等的情况下，在数据库上管理序列号和通水期间的记录。优选具备累计流量计26中的数据消失，还记录在该时间点的累计流量。之后，在步骤105中，判断是否需要在当前时间点进行金属离子的定量。如果正在进行例程的分析业务，则认为需要定量而进入步骤107。在当前时间点不需要定量但为了不良解析而有可能在日后进行定量的这种情况下，在步骤106中保管该离子吸附装置20，返回步骤105。另外，在步骤106中说明了保管离子吸附装置20的情况，但也可以从离子吸附装置20取出离子吸附体24，保管离子吸附体24。

在步骤107中，例如在洁净室中等从离子吸附装置20卸下离子吸附体24，对卸下的离子吸附体24通入强酸或强碱等洗脱液，进行吸附金属的洗脱，接着，在步骤108中将含有被洗脱的金属的洗脱液作为试样进行金属的定量。作为定量方法，可以使用一般的定量分析法，例如有等离子体质谱分析(ICP-MS)法、等离子体发光分光分析(ICP)法、原子吸光法、离子色谱法等，但并不限定于这些。

通过进行步骤108中的金属的定量，针对某1个离子吸附装置20的一系列的处理结束，但离子吸附装置20和离子吸附体24自身能够再利用。为了再利用，如步骤111所示，清洗定量后的离子吸附体24，如步骤112所示，将清洗后的离子吸附体24安装于离子吸附装置20，作为更换用的离子吸附装置20。通过该新的更换用的离子吸附装置20，能够再次执行从步骤101开始的处理。

有时会在使用作为分析对象水的超纯水制造的产品等中产生不良，怀疑该不良的原因是超纯水的水质。例如，在半导体设备制造中，在半导体清洗工序中使用超纯水清洗晶片后，经过数种工序后进行晶片的检查，其结果是，在检测到晶片的不良的情况下，作为该不良的原因，有时怀疑是晶片清洗时的超纯水中含有的离子。即，在产品产生问题时，判断为需要与产品使用水的时期对应的通水期间的离子吸附体试样的定量分析，并进行定量分析。在发生了怀疑由这样的超纯水引起的现象的情况下，对于将在步骤106中保管的离子吸附装置20中的至少与该现象对应的期间作为通水期间的离子吸附装置20，在步骤105中判断为需要定量，对该离子吸附装置20的离子吸附体试样实施步骤107中的吸附金属的洗脱和步骤108的金属的定量。其结果是，能够进行该不良等现象的原因是否为相应的期间中的超纯水中的金属离子的判断。进而，能够根据进行了定量的离子吸附体试样的吸附体信息(后述)，确定在产品等中产生的不良等现象的原因是哪个位置。例如，如图4(详情后述)所示，若在超纯水制造装置30的超滤装置37的出口、超纯水制造装置30与供给配管47的连接位置、制造栋50的主配管51、52、从主配管51、52与超纯水使用装置55连接的分支配管56等设置离子吸附装置20，则能够根据定量结果和吸附体信息，确定在产品等中产生的不良等现象的原因是哪个装置、哪个部件。另外，例如，如果如图4的供给配管46或供给配管47那样相对于较长的配管以规定间隔设置多个离子吸附装置20，则同样地，也能够确定在产品等中产生的不良等现象的原因是供给配管46或供给配管47的哪个位置。将与现象对应的期间作为通水期间的离子吸附装置20是指，在发生了现象的产品的制造工序中在过去的任意时间点与分析对象水接触时，包含该已接触的期间的通水期间的离子吸附装置20。另外，这里的通水期间是表示能够确定已通水的日期时间的时期的信息(以下的说明相同)。例如，通水期间是包含向离子吸附装置20开始通水的日期时间和结束通水的日期时间中的至少一方的信息。

在本实施方式中，由于按每个离子吸附装置20记录通水期间，因此即使在事后判明了不良的发生的情况下，也能够容易地从保管中的离子吸附装置20找出与不良对应的通水期间的离子吸附装置20并进行分析。为了更精密地进行不良分析，不仅对与发生了不良的期间对应的通水期间的离子吸附装置20进行定量，还优选对与发生了不良的期间的前后的期间对应的通水期间的离子吸附装置20进行定量。

根据本实施方式，能够将超纯水中的极微量金属离子作为每个规定的期间的连续的定量值进行管理，在产生了制造品的成品率降低等时，通过该产品的制造工序履历与向离子吸附体的通水期间以及金属离子的定量结果的对照，能够迅速地判断成品率降低原因是否来自超纯水。

接着，使用图3对本发明的另一实施方式的离子吸附装置进行说明。在图1及图2所示的例子中，打开开闭阀12而将残存于流通管11内的滞留水等吹出之后将离子吸附装置安装于流通管11。但是，也存在根据现场不同而难以直接进行流通管11的吹出的情况。图3所示的离子吸附装置通过用三通阀28置换图1所示的离子吸附装置20中的开闭阀23，能够经由离子吸附装置自身来执行流通管11的吹出。三通阀28的一方的出口与离子吸附体24的入口连接，另一方的出口与排出配管27直接连接，能够在离子吸附体24侧与排出配管27侧之间切换经由配管连接器21供给的分析对象水的送水目的地。在使用图3所示的离子吸附装置20的情况下，在关闭开闭阀12的状态下将离子吸附装置20与流通管11连接，将三通阀28向排出配管27侧切换，之后打开开闭阀12，使滞留水经由排出配管27排出。若滞留水的吹入结束，则暂时关闭三通阀28，接着，将三通阀28切换至离子吸附体24侧，开始向离子吸附体24的分析对象水的通水。之后，执行使用图2说明的步骤即可。

接着，对将上述水质管理方法应用于半导体器件制造工厂的例子进行说明。图4是表示半导体器件制造工厂中的超纯水的制造及消耗的部分的流程图，表示半导体器件制造工厂中的离子吸附装置20的连接场所的例子。

在图示的半导体器件制造工厂中，供给一次纯水而制造超纯水的超纯水制造装置(2次系纯水制造装置)30即子系统与实际使用超纯水的场所即制造栋50分离地设置。超纯水制造装置30具备：罐31，接受一次纯水并暂时储存；泵(P)32，设置在罐31的出口；热交换器(HE)33，设置在泵32的出口；紫外线氧化装置(UV)34，分别实施用于超纯水制造的工序；膜脱气装置(DG)35；非再生型离子交换装置(CP)37；以及超滤装置(UF)38。紫外线氧化装置34、膜脱气装置35、非再生型离子交换装置37及超滤装置38依次串联连接于热交换器33的出口。在膜脱气装置35连接有真空泵(VP)36。超滤装置38的出口水为超纯水，其一部分经由供给配管46、47供给到制造栋50，未供给到制造栋50的剩余的超纯水经由循环配管39返回到罐31。在循环配管39中，例如为了将超纯水循环的路径中的水压控制为恒定等而设置有阀40。为了将超纯水中的溶解氧减少至极限，在罐31中为了吹扫氧而供给有氮气(N₂)气体。为了除去氧并进行氮扫描，所以膜脱气装置35也被供给氮气。超纯水制造装置30的结构及其配置并不限定于图示的结构或其配置。

在向制造栋50供给的供给配管46、47中的供给配管46的超纯水制造装置30侧的位置，为了捕捉超纯水中的极微量的离子性杂质而设置有离子吸附体41。也可以不设置该离子吸附体41。

在制造栋50中，设置有分别与供给配管46、47连接的主配管51、52，多个超纯水使用装置55分别经由支配管56与主配管51、52连接。超纯水使用装置55例如是清洗装置、蚀刻装置、曝光装置等。在主配管51、52的入口侧设置有捕捉从供给配管46、47分别供给来的超纯水中所含的极微量的离子性杂质的离子吸附体53。该离子吸附体53也可以不必设置。

能够设置离子吸附装置20的场所的例子在图4中用符号M表示。即，在超纯水制造装置30中，既可以设置于超滤装置37的出口，也可以设置于与供给配管47的连接位置。在制造栋50中，既可以设置于各主配管51、52，也可以设置于与各个超纯水使用装置55连接的分支配管56。离子吸附装置20的设置场所、设置数并不限定于图示的设置场所、设置数，能够在任意的位置设置离子吸附装置20。各离子吸附装置20与图1所示的装置同样地经由开闭阀12与超纯水所流动的配管连接，在安装离子吸附装置20时或拆卸时将开闭阀12设为全闭，在安装离子吸附装置20之后将开闭阀12开阀。优选在安装离子吸附装置20之前打开开闭阀21来吹出滞留水。优选地，在半导体设备工厂设置有回收水的系统时，来自离子吸附装置20的排出水返回到回收水的系统。

表1表示使用本实施方式的离子吸附装置20执行的水质管理的结果的例子。在用于半导体器件的清洗的超纯水的配管上设置离子吸附装置20，按每5天的通水而更换/回收离子吸附装置20，进行金属离子的定量。每5天的各期间的累计流量分别为1000L，按各期间在表中对由“清洗处理品批次编号”表示的批次的中间加工品进行清洗处理。然后，求出从各批次的中间加工品得到的产品的良品率。另外，对于清洗处理中使用的超纯水，在线进行TOC、电阻率、溶解氧浓度和微粒个数的测量。在此所示的例子中，从5月16日到5月20日的5天内进行了清洗处理的中间加工品得到的产品的良品率比其他期间的产品的良品率差。这样的良品率的降低有时也在制造工序的中间检查中判明，但有时根据情况得到最终产品，或者将产品出厂后判明，因此例如是从清洗处理数周后。在线测量的结果可知，虽然没有发现成为不良发生的原因的征兆，但根据吸附于离子吸附体试样的金属的定量结果可知，在发生了较多不良的期间，超纯水中的钙和铁的浓度高，因此能够推测不良的原因是钙和铁。如果使用本实施方式的离子吸附装置20，则能够在判明不良的发生之后进行过去的离子吸附体试样的定量，因此能够容易地进行不良分析。

[表1]

[表1]

以下，举例说明上述离子吸附装置的利用方法。(第一系统例)

图5是表示利用了图1所示的离子吸附装置20的信息处理系统的第一例的图。

图5所示的信息处理系统包括离子吸附装置100、定量装置200和信息处理装置300。离子吸附装置100相当于图1或图3所示的离子吸附装置20。此外，在离子吸附装置100上连接有通知部110。通知部110在离子吸附装置100所具备的离子吸附体(图1或图3所示的离子吸附体24。以下相同)被安装于流通管(图1或图3所示的流通管11。以下相同)之后经过了规定的期间时，进行例如表示该主旨的通知等规定的通知。或者，通知部110在离子吸附装置100所具备的离子吸附体被安装于流通管之后，在离子吸附装置100所具备的累计流量计(图1或图3所示的累计流量计26。以下相同)测量出的累计值成为规定的值时，进行例如表示该主旨的通知等规定的通知。此时，通知部110进行催促将离子吸附体从流通管卸下的通知。另外，通知部110既可以具备在离子吸附装置100内部，也可以显示在具备信息显示功能的其他终端装置等装置中。另外，不一定必须具备通知部110。例如，也可以构成为，在离子吸附装置20上以相互并列的方式设置多个离子吸附体24，在离子吸附装置安装于流通管之后(具体而言，分析对象水从1个离子吸附体流动起)经过了规定的期间时，或者在离子吸附装置安装于流通管之后累计流量计测量出的累计值成为规定的值时，自动或者手动地切换开闭阀23，使分析对象水流过其他离子吸附体，在规定的时期将离子吸附体从流通管卸下。

定量装置200进行吸附有离子的离子吸附体的定量分析。定量分析的具体方法如上所述。关于作为定量分析的对象的离子吸附体的确定方法，在后面叙述。

图6是表示图5所示的信息处理装置300的内部结构的一例的图。如图6所示，图5所示的信息处理装置300包括输入部310、数据库320、检索部330和输出部350。另外，在图6中，仅示出了图5所示的信息处理装置300所具备的构成要素中的与本方式相关的主要要素。

输入部310基于从外部接受的操作将输入信息输入到信息处理装置300。具体而言，输入部310受理来自外部的规定的操作，并基于受理的操作来输入信息。作为输入部310输入的信息，例如可以举出在半导体器件制造工艺中检测到晶片的不良，在判断为需要进行与使用了晶片清洗水的时期对应的通水期间的离子吸附体试样的定量分析的情况下，指示离子吸附体试样的检索的信息。输入部310例如可列举键盘、鼠标、触摸面板等。另外，输入部310也可以显示促使输入规定的信息的GUI(Graphical User Interface：图形用户界面)，并基于按照该显示进行的操作来输入信息。另外，由离子吸附装置100记录的信息、通知部110通知的信息也可以向信息处理装置300发送，输入部310通过接收发送来的信息来输入。

数据库320将表示离子吸附体安装于流通管的期间(包含通水于离子吸附体的期间)的期间信息(包含向离子吸附体开始通水的日期时间、结束通水的日期时间等信息)与对离子吸附体固有地赋予的吸附体识别信息建立对应而作为吸附体信息进行存储。另外，数据库320将安装有(已安装)离子吸附体的离子吸附装置100的设置信息与吸附体信息建立对应并进行存储。另外，向数据库320的信息的登记方法没有特别限定。例如，在登记期间信息的情况下，也可以在开闭阀23开闭的时间点，向数据库320发送包含该日期时间的信息，作为期间信息进行存储(登记)。另外，在登记期间信息的情况下，也可以在分析对象水开始流过累计流量计26的时间点和流动结束的时间点，向数据库320发送包含该日期时间的信息，作为期间信息进行存储(登记)。另外，在登记吸附体识别信息的情况下，也可以对离子吸附体24标注条形码、二维码等识别用标签，读码器(读取装置)读取附加的识别用标签，将读取到的信息向数据库320发送，作为吸附体信息进行存储(登记)。

图7是表示图6所示的数据库320中存储的、设置信息与吸附体信息的对应关系的一例的图。在图6所示的数据库320中，如图7所示，将能够识别安装有离子吸附体的离子吸附装置100被设置的位置的“顾客编号(No.)”、“系统编号(No.)”以及“装置编号(No.)”与“吸附体信息”建立对应并进行存储。“顾客No.”、“系统No.”以及“装置No.”将它们合起来作为设置信息。“顾客No.”是设置有安装有离子吸附体的离子吸附装置100的顾客固有地赋予的顾客识别信息。“系统No.”是顾客的设施所构建的系统固有地赋予的系统识别信息。“装置No.”是表示离子吸附装置100设置于该系统内的哪个装置的装置的编号，是对所设置的装置固有地赋予的装置识别信息。这样，通过使用“顾客No.”、“系统No.”以及“装置No.”，能够确定安装有离子吸附体的离子吸附装置100的设置位置。关于“吸附体信息”的详细情况，将在后面叙述。

例如，如图7所示，将顾客No.“A001”、系统No.“1”、装置No.“1”、吸附体信息“A001-1-1”建立对应进行存储。这表示在赋予有顾客识别信息“A001”的顾客的设施中构建的系统识别信息“1”被赋予后的系统中设置的装置识别信息“1”被赋予后的装置中，安装(已安装)有吸附体信息“A001-1-1”表示的离子吸附体。另外，将顾客No.“A001”、系统No.“1”、装置No.“2”、吸附体信息“A001-1-2”建立对应进行存储。这表示在赋予有顾客识别信息“A001”的顾客的设施中构建的系统识别信息“1”被赋予后的系统中设置的装置识别信息“2”被赋予后的装置中，安装(已安装)有吸附体信息“A001-1-2”所示的离子吸附体。另外，将顾客No.“A001”、系统No.“2”、装置No.“1”、吸附体信息“A001-2-1”建立对应进行存储。这表示在赋予有顾客识别信息“A001”的顾客的设施中构建的系统识别信息“2”被赋予后的系统中设置的装置识别信息“1”被赋予后的装置中，安装(已安装)有吸附体信息“A001-2-1”表示的离子吸附体。另外，将顾客No.“A001”、系统No.“2”、装置No.“2”、吸附体信息“A001-2-2”建立对应进行存储。这表示在赋予有顾客识别信息“A001”的顾客的设施中构建的系统识别信息“2”被赋予后的系统中设置的装置识别信息“2”被赋予后的装置中，安装(已安装)有吸附体信息“A001-2-2”所示的离子吸附体。

图8是表示图6所示的数据库320中存储的、期间信息与吸附体识别信息的对应关系的一例的图。该对应关系是上述的吸附体信息。图8所示的吸附体信息是图7所示的吸附体信息的1个(吸附体信息“A001-1-1”)，如图7所示，在数据库320中存储有9个吸附体信息的情况下，在数据库320中存储9个如图8所示的对应关系的吸附体信息。因此，例如，图8所示的吸附体信息相当于图7所示的吸附体信息的1个“A001-1-1”。

在图6所示的数据库320中，如图8所示，将表示离子吸附体安装于离子吸附装置100的期间的期间信息即“期间”、作为该期间中的通水的累计量的“流量[L]”、作为对该离子吸附体固有地赋予的吸附体识别信息的“吸附体No.”建立对应，作为1个吸附体信息进行存储。另外，流量是在该期间累计流量计测量出的累计值。

例如，如图8所示，将期间“2019/5/1～2019/5/5”、流量“1000[L]”和吸附体No.“A00010001”建立对应进行存储。这表示被赋予了吸附体识别信息“A00010001”的离子吸附体在2019年5月1日到2019年5月5日的5天被安装于离子吸附装置100，在该期间，流过该离子吸附体的分析对象水的通水量为1000[L]。另外，将期间“2019/5/6～2019/5/10”、流量“980[L]”、吸附体No.“A00020001”建立对应进行存储。这表示被赋予了吸附体识别信息“A00020001”的离子吸附体在2019年5月6日到2019年5月10日的5天被安装于离子吸附装置100，在该期间，流过该离子吸附体的分析对象水的通水量为980[L]。另外，将期间“2019/5/11～2019/5/15”、流量“1000[L]”和吸附体No.“A00030001”建立对应进行存储。这表示被赋予了吸附体识别信息“A00030001”的离子吸附体在2019年5月11日到2019年5月15日的5天被安装于离子吸附装置100，在该期间，流过该离子吸附体的分析对象水的通水量为1000[L]。另外，将期间“2019/5/16～2019/5/20”、流量“990[L]”和吸附体No.“A00040001”建立对应进行存储。这表示被赋予了吸附体识别信息“A00040001”的离子吸附体在2019年5月16日到2019年5月20日的5天被安装于离子吸附装置100，在该期间，流过该离子吸附体的分析对象水的通水量为990[L]。这些对应关系在各个离子吸附体被从离子吸附装置100取下后被登记并存储。该登记方法可以是从离子吸附装置100向信息处理装置300发送这些信息并进行登记的方法，也可以是经由其他介质进行登记的方法。另外，在图6所示的例子中，作为期间信息的“期间”仅表示对日期进行表示的信息，但也包含表示包含时刻(时间)的日期时间的信息。即，期间信息包含表示离子吸附体安装于离子吸附装置100的日期时间的信息和表示离子吸附体从离子吸附装置100卸下的日期时间的信息。

检索部330基于输入部310输入的输入信息中包含的日期时间信息(在产品产生了问题时，与产品使用了水的时期有关的信息)，从数据库320检索吸附体识别信息。具体而言，检索部330从数据库320检索包含输入部310输入的输入信息所包含的日期时间信息所表示的日期时间的期间，从数据库320检索与检索出的期间建立了对应的吸附体识别信息。此时，检索部330基于输入部310输入的输入信息中包含的离子吸附装置的设置信息，从数据库320检索吸附体信息，基于检索到的吸附体信息和日期时间信息，从数据库320检索吸附体识别信息。例如，在输入信息中包含的设置信息的顾客No.为“A001”、系统No.为“1”、装置No.为“1”、日期时间信息为“2019年5月3日”的情况下，检索部330从数据库320检索顾客No.为“A001”、系统No.为“1”、装置No.为“1”的吸附体信息，从检索出的吸附体信息“A001-1-1”的对应关系中，检索与作为包含日期时间信息“2019年5月3日”的期间的期间“2019/5/1～2019/5/5”建立了对应的吸附体No.“A00010001”。

另外，也可以在数据库320中预先登记顾客的设施中的系统的结构，检索部330基于该系统的结构进行检索。即，例如，如果认为顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“1”的装置与顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“2”的装置有可能从该系统的结构相互影响，则即使输入信息中包含的设置信息的顾客No.为“A001”，系统No.为“1”，装置No.为“1”，检索部330也可以检索关于顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“2”的装置的吸附体信息。在此，为了判定是否相互影响，也可以基于系统的结构和过去的判定结果，使用机器学习来生成判定模型，使用该判定模型进行判定。例如，也可以是，在将顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“1”的装置与顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“2”的装置串联排列设置的情况下、或根据过去的分析结果确认到相互的分析结果有关联性的情况等，判定为相互有影响。这样，通过对相互有影响的装置进行分析，在产品不良的原因是包含于超纯水中的污染物质的情况下，能够确定系统的设置于系统的多个装置中的哪个装置产生污染物质、即产生污染物质的装置。

输出部350输出检索部330检索到的吸附体识别信息。输出部350进行的吸附体识别信息的输出方法例如可以是向其他装置的发送，也可以是画面显示、声音输出、印刷。

以下，对图5所示的信息处理系统中的信息处理方法进行说明。图9是用于说明图5所示的信息处理系统中的信息处理方法中的离子吸附装置100中的处理的一例的流程图。

首先，安装有离子吸附体的离子吸附装置100安装于流通管11(步骤S11)。接着，向流通管11开始通水(步骤S12)。此时，在离子吸附装置100安装于流通管11之后，打开图1或图3所示的开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28以及开闭阀12，开始向离子吸附体通水。

之后，判定是否成为通水结束的定时(步骤S13)。在此，在从通水的开始经过了规定的期间的情况下，或者在通水量的累计值达到了规定的值的情况下，判定为已成为通水结束的定时。规定的期间的经过也可以使用计时器来进行。另外，通水量的累计值的测量也可以使用累计流量计来进行。在成为这些定时的情况下，通知部110也可以通过显示等向系统的管理者、运用者、维护人员(以下，称为管理者等)通知检测到该定时的意思。之后，向流通管11的通水结束(步骤14)。此时，图1或图3所示的开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28及开闭阀12关闭。另外，接收到通知的人关闭阀。然后，将离子吸附装置100从流通管11取下(步骤S15)。此时，新的离子吸附装置100安装于流通管11。另外，计时器或累计流量计在离子吸附装置100安装(更换)于流通管11时被复位。另外，离子吸附装置100的取下的定时和新的离子吸附装置100的安装的定时以能够确保相对于离子吸附体的通水期间的连续性的方式尽量变短。

将所拆卸的离子吸附装置所具备的离子吸附体的通水期间等信息存储于信息处理装置300的数据库320。所存储的信息是图8所示的信息，针对每1个离子吸附体，将多个信息分别相互对应地存储。该存储经由信息处理装置300的输入部310进行。另外，拆卸后的离子吸附装置所具备的离子吸附体被赋予吸附体识别信息而保管于规定的保管场所。

之后，若需要定量分析，则对信息处理装置300进行检索请求。在此，在使用作为分析对象水的超纯水制造的产品等中产生不良，确认该不良的原因是否处于超纯水的水质的情况下，需要进行定量分析。在此，需要检索并取出作为对象的离子吸附体试样(即，在产品中产生了问题时与产品使用了水的时期对应的通水期间中通水的离子吸附体试样)。

图10是用于说明图5所示的信息处理系统中的信息处理方法中的信息处理装置300中的检索处理的一例的流程图。

输入部310判定是否存在离子吸附体的检索的请求(步骤S21)。该请求可以是系统的管理者等对输入部310进行用于请求离子吸附体的检索的规定的操作，并基于输入部310受理的操作的请求。在该规定的操作中包含成为对象的装置(不良发生的装置)的设置信息和日期时间信息。输入部310将输入的信息中的设置信息和日期时间信息输出到检索部330。检索部330基于从输入部310输出的设置信息和日期时间信息，从数据库320检索吸附体识别信息(步骤S22)。具体而言，例如，检索部330基于从输入部310输出的设置信息，从数据库320检索吸附体信息，并从数据库320检索与检索出的吸附体信息中的、包含从输入部310输出的日期时间信息的期间建立了对应的吸附体识别信息。于是，输出部350输出检索部330检索到的吸附体识别信息(步骤S23)。

之后，管理者等从保管场所确保被赋予了从输出部350输出的吸附体识别信息的离子吸附体，使用定量装置200进行定量。然后，使用定量分析的结果和累计流量计测量出的累计值来计算分析对象水中的杂质离子浓度。定量的结果、分析对象水中的杂质离子浓度从管理者等向期望的提供目的地提供。

这样，在进行水质管理的系统中，在规定的定时更换具备离子吸附体的离子吸附装置，保管卸下的离子吸附装置所具备的离子吸附体，从保管的离子吸附体中检索在指定的设置场所及期间安装的离子吸附装置的离子吸附体，进行检索到的离子吸附体的定量分析，提供其结果。因此，能够识别被指定的场所以及日期时间的分析对象水的处理状态。(第二系统例)

图11是表示利用了图1所示的离子吸附装置20的信息处理系统的第二例的图。

图11所示的信息处理系统包括离子吸附装置101、定量装置201和信息处理装置301。离子吸附装置101相当于图1或图3所示的离子吸附装置20。另外，离子吸附装置101将离子吸附体向流通管安装的日期时间信息、从流通管拆卸的日期时间信息、离子吸附体的识别信息向信息处理装置301发送。此外，在离子吸附装置101上连接有通知部110。通知部110在离子吸附装置101所具备的离子吸附体安装于流通管之后经过了规定的期间时，例如进行表示该意思的通知等规定的通知。或者，通知部110在离子吸附装置101所具备的离子吸附体安装于流通管之后，在离子吸附装置101所具备的累计流量计所计测的累计值成为规定的值时，例如进行表示该意思的通知等规定的通知。此时，通知部110进行催促将离子吸附体从流通管卸下的通知。另外，通知部110既可以具备在离子吸附装置101内部，也可以显示在具备信息显示功能的其他终端装置等装置中。

定量装置201对吸附于离子吸附体的离子进行定量分析。定量分析的具体方法如上所述。关于作为定量分析的对象的离子吸附体的确定方法，在后面叙述。定量装置201将进行了定量分析的结果提供给信息处理装置301。该提供方法可以从定量装置201向信息处理装置301发送表示分析结果的信息，也可以经由其他介质提供。

图12是表示图11所示的信息处理装置301的内部结构的一例的图。如图12所示，图11所示的信息处理装置301包括输入部311、数据库321、检索部331、提取部341和输出部351。另外，在图12中，仅示出了图11所示的信息处理装置301所具备的构成要素中的与本方式相关的主要要素。

输入部311基于从外部接受的操作将输入信息输入到信息处理装置301。具体而言，输入部311受理来自外部的规定的操作，并基于受理的操作来输入信息。作为输入部311输入的信息，例如可以举出在半导体器件制造工艺中检测到晶片的不良，在判断为需要进行与使用了晶片清洗水的时期对应的通水期间的离子吸附体试样的定量分析的情况下，指示离子吸附体试样的检索的信息。输入部311例如可列举键盘、鼠标、触摸面板等。另外，输入部311也可以显示促使输入规定的信息的GUI，并基于按照该显示进行的操作来输入信息。另外，由离子吸附装置101记录的信息、通知部110通知的信息也可以向信息处理装置301发送，输入部311通过接收发送来的信息来输入。

数据库321将表示通水期间(包括向离子吸附体开始通水的日期时间、结束通水的日期时间等)的期间信息与被赋予离子吸附体固有的吸附体识别信息建立对应并作为吸附体信息进行存储。另外，数据库321将安装有(已安装)离子吸附体的离子吸附装置101的设置信息与吸附体信息建立对应并进行存储。这些信息的存储方式与图7及图8所示的方式相同。另外，数据库321例如也可以在产品产生问题时判断为需要与产品使用水的时期对应的通水期间的离子吸附体试样的定量分析而进行定量分析的情况下，存储从定量装置201发送来的分析结果。此时，从定量装置201发送来的分析结果经由输入部311存储于数据库321。

检索部331根据输入部311输入的输入信息中包含的日期时间信息，从数据库321检索吸附体识别信息。具体而言，检索部331从数据库321中检索包含输入部311输入的输入信息所包含的日期时间信息所表示的日期时间的期间，并从数据库321中检索与检索出的期间建立了对应的吸附体识别信息。此时，检索部331根据输入部311输入的输入信息中包含的离子吸附装置的设置信息，从数据库321中检索吸附体信息，根据检索到的吸附体信息和日期时间信息，从数据库321中检索吸附体识别信息。例如，在输入信息中包含的设置信息的顾客No.为“A001”、系统No.为“1”、装置No.为“1”、日期时间信息为“2019年5月3日”的情况下，检索部331从数据库321检索顾客No.为“A001”、系统No.为“1”、装置No.为“1”的吸附体信息，根据检索出的吸附体信息“A001-1-1”的对应关系，检索与作为包含日期时间信息“2019年5月3日”的期间的期间“2019/5/1～2019/5/5”建立了对应的吸附体No.“A00010001”。

另外，也可以在数据库321中预先登记顾客的设施中的系统的结构，检索部331根据该系统的结构进行检索。即，例如，如果认为顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“1”的装置与顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“2”的装置有可能从该系统的结构相互影响，则输入信息中包含的设置信息的顾客No.为“A001”，系统No.为“1”，即使装置No.为“1”，检索部331也可以检索关于顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“2”的装置的吸附体信息。在此，为了判定是否相互影响，也可以基于系统的结构和过去的判定结果，使用机器学习来生成判定模型，使用该判定模型进行判定。例如，也可以是，在将顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“1”的装置与顾客No.“A001”、系统No.“1”及装置No.“2”的装置串联排列设置的情况下，或根据过去的分析结果确认到相互的分析结果有关联性的情况等，判定为相互有影响。这样，通过对相互有影响的装置进行分析，在产品不良的原因是包含于超纯水中的污染物质的情况下，能够确定系统的设置于系统的多个装置中的哪个装置产生污染物质、即产生污染物质的装置。

提取部341针对由检索部331检索出的被赋予了吸附体识别信息的离子吸附体，从由定量装置201提供(发送)的定量分析的结果中，提取作为与输入信息相应的信息的提供信息。在此，输入信息例如也可以包含具体的分析内容。在该情况下，提取部341从定量装置201进行的定量分析的结果中提取与输入信息中包含的分析内容相应的结果。在数据库321中存储有从定量装置201提供(发送)的定量分析的情况下，提取部341从数据库321中存储的定量分析的结果中提取与输入信息对应的信息即提供信息。

输出部351输出检索部331检索到的吸附体识别信息。输出部351对被赋予了检索部331检索到的吸附体识别信息的离子吸附体，将定量装置201进行的定量分析的结果作为提供信息输出。另外，在提取部341从由定量装置201进行的定量分析的结果中提取了作为与输入信息相应的信息的提供信息的情况下，输出部351输出由提取部341提取出的提供信息。输出部351进行的提供信息的输出方法例如可以是向其他装置的发送，也可以是画面显示、声音输出、印刷、规定的灯点亮、闪烁。

图13是用于说明图11所示的信息处理系统中的信息处理方法的示例的序列图。

首先，安装有离子吸附体的离子吸附装置101安装于流通管11，向流通管11开始通水(步骤S1)。此时，在离子吸附装置101安装于流通管11之后，打开图1或图3所示的开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28以及开闭阀12，开始向离子吸附体通水。之后，若经过规定的期间，或者图1或图3所示的累计流量计26所测量的累计值达到规定的值，则向流通管11的通水结束。向该流通管11的通水的结束不是将规定的期间的经过或累计值达到规定的值的检测作为直接的触发来进行处理，而是这些检测启动该意思的通知处理，接受该通知的人关闭阀，由此向流通管11的通水结束。此时，图1或图3所示的开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28及开闭阀12关闭。在此，离子吸附装置101也可以具有计时器，测量从向离子吸附体的通水开始起的时间，在经过了预先设定的时间时，通知部110通知该情况，结束向流水管11的通水。另外，也可以是，在累计流量计测量出的累计值成为预先设定的值时，通知部110通知该情况，结束向流水管11的通水。通知部110进行的通知是对系统的管理者等的通知，这些人员也可以关闭开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28以及开闭阀12而结束通水。通知部110进行的通知是针对开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28以及开闭阀12的通知，也可以是开闭阀23、流量调整阀25、三通阀28以及开闭阀12自动关闭而结束通水的通知。然后，将离子吸附装置101从流通管11取下(步骤S2)。此时，新的离子吸附装置101安装于流通管11。另外，计时器或累计流量计在离子吸附装置101安装(更换)于流通管11时被复位。

之后，将安装在取下的离子吸附装置101上的离子吸附体的信息提供给信息处理装置301(步骤S3)。所提供的信息是安装于离子吸附装置101的离子吸附体的期间信息、累计流量计测量出的累计值、离子吸附体的吸附体识别信息以及安装有离子吸附体的离子吸附装置101的设置信息。这些信息的提供方法可以是离子吸附装置101向信息处理装置301发送这些信息并提供的方法，也可以经由其他介质提供。另外，向信息处理装置301提供离子吸附体的信息的定时也可以在步骤S1之后。在该情况下提供的信息是表示离子吸附装置101安装于流通管11、且流通管11开始通水的日期时间的信息。于是，由信息处理装置301进行存储处理(步骤S4)。另外，拆卸后的离子吸附体以能够使用该吸附体识别信息进行确定的方式保管在规定的场所。

接着，当信息处理装置301向定量装置201指示定量分析时(步骤S5)，定量装置201进行定量分析(步骤S6)。此时，信息处理装置301指定吸附体识别信息并对定量装置201指示定量分析，定量装置201对被赋予了所指示的吸附体识别信息的离子吸附体吸附的离子进行定量分析。该定量分析的指示方法既可以是信息处理装置301向定量装置201发送表示请求定量分析的意思的信息来进行指示的方法，也可以是经由其他的介质提供的。当定量分析结束时，定量装置201将其结果提供给信息处理装置301(步骤S7)。该定量分析的结果的提供方法既可以是定量装置201向信息处理装置300发送表示定量分析的结果的信息来提供，也可以经由其他的介质提供。于是，信息处理装置301进行输出处理(步骤S8)。另外，定量分析结束后的离子吸附体以能够再利用的方式被清洗并保管。

图14是用于说明使用图13所示的序列图说明的步骤S4的详细处理的一例的流程图。当在步骤S3中从离子吸附装置101提供信息时，数据库321将所提供的信息即期间信息(通水期间)、累计值、吸附体识别信息以及设置信息建立对应进行存储(步骤S41)。该对应关系以图8以及图9所示的方式存储。

之后，输入部311判定是否存在定量分析的请求(步骤S42)。此时，输入部311在与从外部接受的操作对应的信息、从与外部连接的其他装置发送来的信息中包含请求定量分析的意思、设置信息以及日期时间信息的情况下，判定为存在定量分析的请求。在存在定量分析的请求的情况下，输入部311将输入的信息中的设置信息和日期时间信息输出到检索部331。检索部331根据从输入部311输出的设置信息和日期时间信息，从数据库321中检索吸附体识别信息(步骤S43)。具体而言，例如，检索部331根据从输入部311输出的设置信息，从数据库321中检索吸附体信息，从数据库321中检索与检索出的吸附体信息中的、包含从输入部311输出的日期时间信息的期间建立了对应的吸附体识别信息。检索部331如果能够检索到吸附体识别信息，则指定检索到的吸附体识别信息并指示定量装置201进行定量分析(步骤S44)。

图15是用于说明使用图13所示的序列图说明的步骤S8的详细处理的一例的流程图。当输入部311接受来自定量装置201的定量分析的结果时(步骤S71)，提取部341从输入部311接受的定量分析的结果中提取作为与输入信息对应的信息的提供信息(步骤S72)。有时在输入信息中指定了定量分析的内容(例如，想要分析的金属离子的种类)，在该情况下，提取部341从定量装置201进行的定量分析的结果中提取输入信息中包含的分析内容。接着，输出部351输出提取部341提取出的提供信息(步骤S73)。另外，定量装置201也可以使用定量分析的结果和累计流量计测量出的累计值来计算分析对象水中的杂质离子浓度，输入部311接受分析对象水中的杂质离子浓度。

这样，在进行水质管理的系统中，在规定的定时更换具备离子吸附体的离子吸附装置，保管卸下的离子吸附装置所具备的离子吸附体，从保管的离子吸附体中检索在指定的设置场所及期间安装的离子吸附装置的离子吸附体，进行检索到的离子吸附体的定量分析，输出其结果。因此，能够识别被指定的场所以及日期时间的分析对象水的处理状态。

以上，对各构成要素分担各功能(处理)而进行了说明，但该分配并不限定于上述的分配。另外，关于构成要素的结构，上述的方式只不过是例子，并不限定于此。另外，本发明除了进行水处理的系统以外，还能够应用于对液体中的金属的含量进行控制、管理的系统。

上述信息处理装置300、301进行的处理也可以通过根据目的而分别制作的逻辑电路来进行。另外，也可以将以处理内容为顺序记述的计算机程序(以下，称为程序)记录在由信息处理装置300、301能够读取的记录介质中，使信息处理装置300、301读入并执行记录在该记录介质中的程序。在信息处理装置300、301中能够读取的记录介质是指软盘(注册商标)盘、光磁盘、DVD(Digital Versatile Disc)、CD(Compact Disc)、Blu-ray(注册商标)Disc、USB(Universal Serial Bus：通用串行总线)存储器等可移设的记录介质、以及内置于信息处理装置300、301的ROM(Read Only Memory：只读存储器)、RAM(Random AccessMemory：随机存取存储器)等存储器、HDD(Hard Disc Drive：硬盘驱动器)等。记录于该记录介质的程序由设置于信息处理装置300、301的CPU读入，通过CPU的控制，进行与上述相同的处理。在此，CPU作为执行从记录有程序的记录介质读入的程序的计算机而动作。

(标号说明)

10 超纯水供给配管

11 流通管

12、23 开闭阀

20、100、101 离子吸附装置

21 配管连接器

22 内部配管

24 离子吸附体

25 流量调整阀

26 累计流量计

27 排出配管

28 三通阀

110 通知部

200、201 定量装置

300、301 信息处理装置

310、311 输入部

320、321 数据库

330、331 检索部

341 提取部

350、351 输出部。

Claims (15)

1.一种水质管理方法，对分析对象水中含有的杂质离子的浓度进行管理，其特征在于，

所述水质管理方法具有：

将设置有离子吸附体和累计流量计的离子吸附装置连接到供所述分析对象水流动的流通管的工序；以及

对所述离子吸附装置遍及规定的期间从所述流通管向所述离子吸附体通水所述分析对象水，使所述离子吸附体吸附所述分析对象水中含有的离子而成为离子吸附体试样的工序，

在所述离子吸附装置中，所述累计流量计设置在所述离子吸附体的所述分析对象水的流动方向的下游侧。

2.根据权利要求1所述的水质管理方法，其中，

在所述规定的期间结束后，将所述离子吸附体试样的两端设为关闭的状态，将所述离子吸附装置从所述流通管卸下，

至进行所述离子吸附体试样的分析为止，都保持将所述离子吸附体试样的两端关闭的状态。

3.根据权利要求1或2所述的水质管理方法，其中，

通过反复进行将所述离子吸附装置从所述流通管卸下的同时将新的离子吸附装置连接到所述流通管并将分析对象水通水于该新的离子吸附装置，从而遍及多个期间连续地得到所述离子吸附体试样。

4.根据权利要求3所述的水质管理方法，其中，

针对多个所述离子吸附体试样的每一个，记录相对该离子吸附体试样的通水期间。

5.根据权利要求4所述的水质管理方法，其中，

在产品的制造过程中使用所述分析对象水后，在需要分析的情况下，进行与所述产品使用所述分析对象水的时期对应的通水期间的所述离子吸附体试样的定量分析。

6.根据权利要求5所述的水质管理方法，其中，

将向所述离子吸附装置开始了所述通水的日期和结束了所述通水的日期中的至少一方包含在所述通水期间并进行记录，将对所述离子吸附体试样固有地赋予的吸附体识别信息与所述通水期间建立对应地进行记录，在需要进行所述分析的情况下，进行与所述产品使用了所述分析对象水的时期所对应的所述通水期间建立对应地记录的所述离子吸附体试样的定量分析。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的水质管理方法，其中，

所述流通管是从超纯水制造装置分支并将超纯水供给到使用点的配管、或者从该配管分支的配管。

8.一种离子吸附装置，其以能够拆卸的方式与供分析对象水流动的流通管连接，所述离子吸附装置的特征在于，具有：

离子吸附体，其以能够拆卸的方式设置，被通水有所述分析对象水且对所述分析对象水的离子进行吸附；以及

累计流量计，其设置于所述离子吸附体的所述分析对象水的流动方向的下游侧，对所述离子吸附体的通水量的累计值进行计测。

9.根据权利要求8所述的离子吸附装置，其中，

所述离子吸附装置具备第一阀芯，该第一阀芯配置在所述离子吸附体与所述累计流量计之间，能够进行所述分析对象水的导通以及切断，并且能够进行所述分析对象水的流量的调整。

10.根据权利要求8或9所述的离子吸附装置，其中，

所述离子吸附装置在所述离子吸附体的所述分析对象水的流动方向的上游侧具备进行所述分析对象水的导通以及切断的第二阀芯。

11.一种信息处理装置，具有：

输入部，其基于从外部接受的操作，对输入信息进行输入；

数据库，其将表示在被通水有分析对象水并吸附所述分析对象水的离子的离子吸附体被安装于供所述分析对象水流动的流通管的时期的期间信息与对该离子吸附体固有地赋予的吸附体识别信息建立对应地进行存储；

检索部，其基于所述输入部输入的输入信息中包含的日期时间信息，从所述数据库检索所述吸附体识别信息；以及

输出部，其对所述检索部检索到的吸附体识别信息进行输出。

12.根据权利要求11所述的信息处理装置，其中，

在所述离子吸附体安装于所述流通管之后经过了规定的期间时、或者在所述离子吸附体安装于所述流通管之后所述累计流量计所计测到的累计值为规定的值时，所述输入部输入规定的信息。

13.一种信息处理系统，其具有离子吸附装置、定量装置以及信息处理装置，其中，

所述离子吸附装置具有：

离子吸附体，其以能够拆卸的方式设置于供分析对象水流动的流通管，并且被通水有所述分析对象水且对所述分析对象水的离子进行吸附；以及

累计流量计，其设置于所述离子吸附体的所述分析对象水的流动方向的下游侧，对所述离子吸附体的通水量的累计值进行计测，

所述信息处理装置具有：

输入部，其基于从外部接受的操作，对输入信息进行输入；

数据库，其将表示所述离子吸附体被安装于所述流通管的时期的期间信息与对该离子吸附体固有地赋予的吸附体识别信息建立对应地进行存储；

检索部，其基于所述输入部输入的输入信息中包含的日期时间信息，从所述数据库检索所述吸附体识别信息；以及

输出部，其对所述检索部检索出的吸附体识别信息进行输出，

所述定量装置对被赋予了所述输出部输出的吸附体识别信息的离子吸附体进行定量分析，

所述输出部对基于所述定量装置进行的定量分析的结果的提供信息进行输出。

14.根据权利要求13所述的信息处理系统，其中，

所述信息处理系统具有提取部，该提取部从由所述定量装置对被赋予了所述检索部检索出的吸附体识别信息的所述离子吸附体进行的定量分析的结果中，提取作为与所述输入信息对应的信息的提供信息，

所述输出部对所述提取部提取出的提供信息进行输出。

15.根据权利要求13或14所述的信息处理系统，其中，

所述信息处理系统具有通知部，在所述离子吸附体被安装于所述流通管后经过了规定的期间时、或者在所述离子吸附体被安装于所述流通管后所述累计流量计所计测到的累计值成为规定的值时，该通知部进行规定的通知。

Images