TW200920589A

TW200920589A - Mold release film

Info

Publication number: TW200920589A
Application number: TW097135922A
Authority: TW
Inventors: Masahiro Tsuchiya; Hirotake Matsumoto; Yasushi Goto; Nobuhiro Mori
Original assignee: Sekisui Chemical Co Ltd
Priority date: 2007-09-21
Filing date: 2008-09-19
Publication date: 2009-05-16
Also published as: JP4332204B2; TWI318599B; CN101678605B; CN101678605A; JP2009090647A; WO2009038118A1; KR20100090728A; KR20090120519A; KR101018621B1

Description

200920589 九、發明說明：【發明所屬之技術領域】本發明係關於兼顧防皺性與離型性之離型獏。【先前技術】向來之做法，係將印刷基板、熱硬化型接著劑、覆蓋膜或補強板、離型膜、緩衝膜、熱壓板依序積層而成之積層體以熱加壓壓合，來製造以覆蓋膜或補強板保護形成有電路之印刷基板本體之電路面之積層基板。此種製造方法，尤其於可撓性印刷基板之製造中廣為使用。近年來，於製造印刷基板時，於離型臈產生之皺痕於壓合時容易轉印，導致印刷基板之良率變差，是其問題。、對於離型膜產生皺痕此一問題，例如’於專利文獻中曾圮載藉由對離型膜表面賦予凹凸形狀以防止皺痕產生的方法：例如，於專利文獻2中曾記載，以滿足表面粗糙度（Ra)等一定條件之具有凹凸形狀之表面粗糙化之膜作為離型膜使用時，可防止皺痕產生。然@，若賦予離型膜表面凹凸形狀，會有離型性降低之問題。專利文獻1 :曰本專利特開平6_2384〇號公報專利文獻2 :日本專利特開2〇〇7_83459號公報專利文獻3 :曰本專利特開平2_23891丨號公報專利文獻4 :曰本專利特開平3_6丨〇丨丨號公報【發明内容】本發明之目的在於提供一種兼顧防皺性與離型性之離型膜。 5 200920589 本發明為-種離型膜，其係至少一側之表面的表面性狀依據m B0601:顺之方法，使用前端半徑2心、錐錐角6〇。之觸針、於測定力0.75mN、切斷（cut〇ff)u

Ac = 〇.8mm之條件下所測得之粗糙度曲線的最大向度粗輪度心為〇.5〜2〇“，且粗糖度曲線參數之平均長度RSm為50〜500 /2 m。以下’就本發明詳加敘述。通常，作為提高離型臈之離型性的方法，周知者為. 在膜表面塗佈或散佈離型劑、或在膜表面施行化學性，、物理性處理等施行離型處理的方法。然@，即使於專利文獻、二中„己载之㈣予凹凸形狀之膜施行此等離型處理，亦無 V J所要的離型性能，其原因，吾人發現原因在於於膜 f面所：予之凹凸形狀的間隔太細，無法充分施行離型處、P之底以及因凹凸導致離型膜與被離型物的接觸 ▲又本發明者等發現：凹凸間隔愈大離型性愈提冋m表面之平坦部分愈多離型處理效果愈提高。 ▲ 口而著眼於臈表面之凹凸形狀之粗链度曲線，發現於 :度方向的參數即最大高度粗糖度Rz與橫方向的參數即粗二又曲線參數平均長度RSm在—定範圍内的情況下，才可兼顧高防皺性與離型性，故本發心焉得以完成。本务明之離型膜，至少—側之表面（以下稱為「離型面」）的性狀為依據mB0601:2001之方法，使用前端半二用圓錐錐角60。之觸針、於測定力〇.75mN、切斷值 m = 〇.8rnm之條件下所測得之粗糙度曲線的最大高度 6 200920589 粗輪度Rz之下pn & π ς ‘、、、.从m、上限為20以m。上述粗糙度曲線的取大兩度粗糙度汉右未滿〇.5〆m，則防皺性差，若超過20 // m，則離型性述粗輪度曲線之最大高度粗輪度

Rz之較佳上限為10// m。又，上述離型®可為纟發明<離型冑的至少一側的表面，亦可為雙面。 ”上述離型面，依據ns B0601:2〇〇1之方法，使用前端 +徑2"m、用圓錐錐角6〇。之觸針、於測定力〇 75mN、切斷值h-2,5#m、Ac = 〇.8_之條件下所測得之粗糖度曲線多數之平均長度RSm之下限為5〇“瓜 ' 上限為5〇〇"爪。粗糙度曲線參數之平均長度RSm若未滿5〇㈣，則離型性差右超過500 // m，則防鈹性差。上述粗糖度曲線參數之平均長度RSm之較佳下限為· ”、較佳上限為伽㈣依據爪B〇60 1:2001之方法，使用前端半徑2心、圓錐錐角60。之觸針、於測定力〇75mN、切斷值又s=2心m、 λ c = 〇.8mm之條件下所測得之粗糙度曲線之偏斜度 (SkeW+ness)Rsk以超過〇.〇5為佳。上述粗糙度曲線之偏斜^ Rsk若為〇.〇5以下，則因為表面粗糙度曲線的分布為均等或偏於正側，會有接觸面積增加、或產生離型處理之效果不充分的部分，而有無法得到充分離型性之情形。較佳者為粗縫度曲線之偏斜度Rsk超過〇, 1。上述離型面依據JIS B0601..1994之方法，於以原子力顯微鏡（AFM. Atomic Force MiCroscope，以下稱為 afm) 測定之谷部以50 # m四方觀察所測得之表面粗糙度 7 200920589

Rz(AFM)以卿㈣以下為佳。上述表面粗链度rz(afm)若超過—’會有無法得到充分離型性之情形。上述表面粗糙度Rz(AFM)之較佳上限為1〇〇nm。本發明之離型Μ，可& β ^ # 了為由早層所構成者，亦可為積層有複數層之積層膜。當本發明之離型腹或士 gg a 膜為由皁層所構成者時，於單層膜之一面或雙面上係形成有、、装g 底有滿足上述要件之凹凸形狀(以下亦稱為「早層膜」）。 *本毛明之離型膜為積層膜時，可舉出例如：一種2 層構造體，其係於單面开彡早囟形成有滿足上述要件之凹凸形狀的膜（以下亦稱為「離型岸 w > 層」）之未形成凹凸形狀那一側層有其他樹脂膜（以下刃®積方％為知ί月曰層」）而成、或—種3 a 構造體，其係在上述拋日t a ^^ ^ 有上述凹凸形狀之—側i層之开/成等。側成為最外側的方式進行積層所成又胃纟發明之離型膜為由上述離型層與樹脂層所椹成時，上述離型層與相”細層所構曰兴树知層可猎由熱熔融而過接著劑而積層。積層亦可透作為構成上述單屏贈 s膜或離型層之樹脂並無特別限定， ~Τ用通吊之離型膜所田a i 1膜所用之樹脂。言聚酯樹脂、聚苯乙烯料J举出例如. 脂、聚烯烴樹脂等。又明之離型膜之樹脂構成本發成之單體混合物加以為人將由2種以上之單體成分所構獨使用，亦可併m成之共聚物。此等樹脂可單種以上。其中，就耐熱性優異之考量， 200920589 以聚對苯二甲酸丁二醇醋系樹脂、聚對苯二甲酸萃酿卿hthalene terephthalate)系樹脂、間規聚苯乙稀 (—ta心pGl卿ene)系樹脂、聚丙稀系樹脂等為佳。 —當構成上述單層膜或離型層之樹脂含有結晶成分時，猎由提向該結晶成分之結晶，可提高離型性、防敵性。又’由於結晶性經提高後之膜的透明性低且呈乳白色故將可錢基板、覆蓋膜、離型膜進行積層並熱壓時，較透明膜容易對準位置。提高上述結晶成分之結晶性的方法可舉出例如·併用結晶核劑等促進結晶化之添加劑的方法；於製造離型膜時’使溶融成形時之膜冷魏的溫度、賦予形狀之概的溫度設定成樹脂之玻璃轉化溫度以上或樹脂之結晶化溫度附近的方法等。上述冷卻親與賦予形狀之輥的表面溫度可舉出例如 70〜160°C之範圍，可依所使用之樹脂等設定。構成上述單層膜或離型層之樹脂，亦可含有彈性體成分。藉由含有彈性體成分可提高本發明之離型膜之可撓性’並可減少氣泡（v〇id)。上述彈性體成分，可以單獨樹脂的形態調配，亦可以共聚物之成分的形態調配。上述彈性體成分並無特別限定，可舉出例如：天然橡膠、苯乙烯-丁二烯共聚物、聚丁二烯、聚異戊二烯、丙烯腈-丁一烯共聚物、乙烯-丙稀共聚物（EPM、EPDM)、聚氣丁二烯（p〇lyChl〇r〇prene)、丁基橡膠、丙烯酸橡膠、矽橡膠、 9 200920589 氨酉旨橡膠、烯烴系熱塑性彈性氯乙烯系熱塑性彈性體、醋系熱塑性彈性糸熱塑性彈性體、性彈性體等。 ’、、、體、醯胺系熱塑上述彈性體成分之調配上述單層膜㈣型層之抖、’ ‘、、、特別”，相對於構成 %，較佳上限為50重量％。上述彈性：:八下限為5重量滿5重量％，合有盔法俨5丨+ 體成刀之調配量若未 «有無法侍到減少氣泡的效 5〇重量。/。，會有離型膜 “ ’右超過性降低之情形。㈣U而使用性變差、或離型上=脂層並無特別限定，以具有可撓性之膜所構成為^猎由使用具有可撓性之朗構成之樹脂層，將接者劑之覆蓋膜積層於使用本發明之離型膜而具有凹凸之配線基板時，可減少氣泡之產生。上述具有可撓性之膜可舉出：石夕橡耀、氨酷系橡膠、丙婦酸糸橡膠等之耐熱橡膠製之膜；氨醋系彈性體、聚酿樹脂系彈性體、丙烯酸樹脂系彈性體等之彈性體製之膜；乙烯-甲基丙燁酸甲I系樹脂、乙烯_乙缔醇系樹脂、聚乙烯系树月曰、1丙烯系樹脂等稀烴系樹脂之膜等。本發明之離型膜之厚度並無特別限定’較佳之下限為 10# m’較佳之上限為200 "m。離型膜之厚度若未滿… m，會有皺痕增加、或因強度不足導致離型性降低、容易破裂導致使用性降低之情形。離型膜之厚度若超過·“爪，則將附有接著齊丨之覆蓋膜等積層於具有凹凸之配線基板時，會有產生氣泡之情形，且離型膜之製造成本會提高至 10 200920589 超過預期。離型臈 120 // m。之厚度之較佳下限為20# m，較佳上限為 ^ t離型膜為由上述離型層與上述樹腊層所卞’目對於上述離型層之上述樹脂層之厚度的較佳 …、0·5倍，較佳上限為6倍。上述樹脂層之厚度限倍’會無法得到減少氣泡之效果’ ^超過6倍，會有壓0人5 之麼力過高’製造成本過高之情形。上：更佳下限為2倍，更佳上限為4倍。之厚度的

本發明之離型膜之製造方法並無特別限定，

BngineeHng J GM30-28(螺紋徑3Gmm、L/D28))將上述樹脂由了模擠出而成形來製作樹脂膜’對所得之樹脂膜之表面轉印上加工於冷卻輥表面之圖案，藉此對表面賦予凹凸的方法。、、上述加工有圖案之冷卻輥可藉由在平滑的輥之表面形成凹凸圖案後，調整該輥之平滑部分的粗糙度來製造。藉由將樹脂膜壓抵於此種冷卻輥來轉印圖案，可得到 -種離型臈’其所具有之表面性狀如τ :上述粗糙度曲線的最大高度粗糙度Rz為〇_5〜2〇/zm，且粗糙度曲線參數之平均長度RSm為50〜500 Mme又，可得到離型面之粗糙度曲線之偏斜度Rsk超過〇.05之離型膜。再者，藉由調整上述冷卻輥平滑部分之精加工度（平滑性），可得到離型面之表面粗糙度Rz(AFM)為5 00nm以下之離型膜。又，加工於上述冷卻輥之圖案，除了單一形狀之凹凸圖案之外，可舉出藉由較大之喷砂材作成之於凹凸圖案重 11 200920589 疊有細凹凸而成之複數形狀之凹凸圖案等。本發明之離型膜，為提高離行離型處理為佳。 …目的’以於表面施上述離型處理之具體方法，可使用面塗佈或I古取在離沒膜表 ' 一 Λ氧系或氟系等離型劑的方法、施行埶卢理或摩擦處理等方法等公一使用，亦可併用2種以上。 ^離型處理可單獨加執方法並無特別限定’可舉出例如··使通過法等V處理溫度之輥間的方法、或置入加熱爐中的方 =處理溫度只要是在構成上述單層臈或離型層之樹知的玻璃轉化溫度以上且熔點之下® A〗1…、特別限定，較佳 12〇t，幾伞、’ ^圭之上限為2〇〇°C °熱處理溫度若未滿 ^ 、’、乎無法得到因熱處理所造成之離型性提言效果，右超過200。(：，於熱處理時單層無法製造。孰處理、”…土易變形，導致 190t。 λ皿度之較佳T限為17代’較佳上限為屬丄 =處理方法並無特別限定’可舉㈣如··用金 =㈣物'料、_布摩擦上料相或離型面上述摩擦時之速度並無㈣限定，相對度之較佳下限為30m/分鐘。 t面之速本發明之離型膜可較佳地使用於例如··於印刷配線基可撓性印刷配線基板或多層印刷配線板之製造步驟 12 200920589 中，透過預浸物或耐熱臈對形時。覆銅積層板或銅箔進行熱壓成 =明之離可較佳地使用於例如：於可挽性印赦二卜Γ製造步驟中，11由熱壓成形將覆蓋膜或補強板以 ”、、更化性接熱硬純接f #接著時。 (發明之效果）依據本發明’可提供兼顧防皺性與離型性之離型膜【實施方式】、以下揭不實施例就本發明更詳細地做說明，並非僅限定於此等實施例。本發月 (實施例1) 於由可進行3層共擠壓之模具與3具擠壓機所構成之成1裝置中，用擠壓機（Gm Engineering公司_ ’

GM30-28(螺紋徑30mm、L/D28))將聚酯樹脂與烯烴樹脂，以T膜寬度40〇mm進行共擠壓成形，藉此得到厚度8〇心之烯烴層（樹脂層）之表裏以厚度2〇 μ m之聚酯樹脂（離型層）包夾的構造且全厚度為iSOym之乳白色3層樹脂膜。接著，藉由將加工於冷卻輥表面之圖案轉印於所得之3 層樹脂膜之表面，在3層樹脂膜表面形成凹凸，得到Rz = 0-5"m、RSm = 50"rn 之離型膜。再藉由於此表面塗佈矽酮系離型劑以施行離型處理。 (實施例2〜12、比較例ι〜18) 除了改變凹凸之形狀外，係以與實施例丨同樣的做法製作離型膜。 13 200920589

Rz、RSm之值如表1。 [表i]

Rz( μ m) RSm( μ m) 實施例1 0.5 50 實施例2 0.5 200 實施例3 0.5 400 實施例4 0.5 500 實施例5 10 50 實施例6 10 200 實施例7 10 400 實施例8 10 500 實施例9 20 50 實施例10 20 200 實施例11 20 400 實施例12 20 500 比較例1 0.2 40 比較例2 0.2 50 比較例3 0.2 200 比較例4 0.2 400 比較例5 0.2 500 比較例6 0.2 550 比較例7 0.5 40 比較例8 0.5 550 比較例9 10 40 比較例10 10 550 比較例11 20 40 比較例12 20 550 比較例13 30 40 比較例14 30 50 比較例15 30 200 比較例16 30 400 比較例17 30 500 比較例18 30 550 14 200920589 〈評價> 對實施例1〜12及比較例1〜18所得到之離型膜進行下述評價。結果示於表2〜4。 (1) 表面形狀評價將離型膜裁切成1 〇cm X 10cm之大小，依據jig B0601:2001的方法，用三豐公司製Surf_test SJ_3〇1測定Rz 及 RSm。 (2) 皺痕性能評價自下往上依序疊合CCL(20cmx20cm，聚醯亞胺厚度25 Vm、銅箔35/zm)、覆蓋層（2〇cmx20cm，聚醯亞胺厚度j 5 // m、環氧系樹脂接著劑層25 # m)、以及所得之離型膜，用滑動式真空熱壓機（MKP_3〇〇〇V-WH_ST，Mikad〇 Techn〇s 公司製），放置於預先加熱至i 8〇〇c之加壓模具間對準位置後開始壓合（自設置開始至實際施加壓力為止約1〇秒），以 5〇kg/cm進行壓合2分鐘，藉此製作由CCL與覆蓋層所構成之可撓性印刷基板（FPC)評價用試樣。然後取出FPC評價試樣及離型膜，將離型膜剝離後測定轉印於覆蓋層表面上之皺痕的個數。、又於皺痕的個數為3 0個以内之情況，可謂具有作為製造印刷基板時之離型膜所需之充分防敵性。較佳者為敵痕個數為5個以内。另—方面，於敏痕個數超過個之情況’作為製造印刷基板時双于 < 離型膜所需之防皺性不足。 (3)離型性評價自下往上依序疊合CCL(2〇cmx2〇cm，聚醯亞胺厚度Μ 15 200920589 // m、鋼箔35 μ m)、覆蓋層（2〇cmx25cm，聚醯亞胺厚度h # m、％氧系樹脂接著劑層25 " 、以及所得之離型膜，用滑動式真空熱壓機（MKP_3〇〇〇v_WH_ST，Mikad〇 Tab⑽ 公司製），放置於預先加熱至18〇t2加壓模具間對準位置後開始壓合（自設置開始至實際施加壓力為止約1〇秒卜以 5〇kgW進行壓合2分鐘，藉此製作由咖與覆蓋層所構成之FPC評價用試樣。

:K —然後取出FPC評價試樣及離型膜，放置於機器上，測疋離型膜自FPC評價用試樣剝離為止之時間。離型膜自FPC評價用試樣剝離之指標如下所述。 *尸由於從離型膜與FPC評價用試樣為密合之狀態開始，空氣會滲入至離型膜與FPC評價用試樣之間，因而從離型膜側所觀察到之色調會改變，故以由取出Fpc評價用試樣及離型膜之時開始至前述色調改變終了為止的時間作為剝、當到離型膜從F P C評價用試樣剝離為止的時間為3 〇秒以内時，可謂具有充分之在製造印刷基板時作為離型膜= 離=性。較佳者為，到離型膜從FPC評㈣試樣剝離為止，時間為1〇秒以内。另一方面，當到離型膜從Fpc評價用式樣剝離為止的時間超過3G秒時，作為製造印刷基板離型膜之離型性不足。 (4)接著劑流出量評價自下往 M m、鋼箱上依序疊合CCL(20cmx20 35 μ m)、覆蓋層（20cmx20 cm’聚醯亞胺厚度25 em ’聚醯亞胺厚度25 16 200920589 // m、環氧系樹脂接著劑層3 5 /z m)、以及所得之離型膜，用滑動式真空熱壓機（MKP-3000V-WH-ST，Mikado Technos 公司製），放置於預先加熱至1 80°C之加壓模具間對準位置後開始壓合（自設置開始至實際施加壓力為止約10秒），以 5 0kg/cm2進行壓合2分鐘，製作成由CCL與覆蓋層所構成之FPC評價用試樣。又，於覆蓋層中，預先製作出接著劑流出量評價用孔（φ 1 mm)。然後取出FPC評價用試樣及離型膜，以顯微鏡觀察覆蓋層上之接著劑流出量評價用孔，測定流出之接著劑之長度。流出之接著劑之長度為未滿1 00 # m時評價為「〇」，為100/zm以上、未滿120/zm時評價為「△」，120/zm以上時評價為「X」。 [表2] 皺痕數(個)

Rz( β m) 0.2 0.5 10 20 30 RSm (/zm) 40 比較例1 70 比較例7 10 比較例9 0 比較例11 0 比較例13 0 50 比較例2 90 實施例1 20 實施例5 0 實施例9 0 比較例14 0 200 比較例3 100以上實施例2 20 實施例6 0 實施例10 0 比較例15 0 400 比較例4 100以上實施例3 20 實施例7 0 實施例11 0 比較例16 0 500 比較例5 100以上實施例4 20 實施例8 10 實施例12 0 比較例17 0 550 比較例6 100以上比較例8 100以上比較例10 50 比較例12 30 比較例18 0 17 200920589 [表3] 剝離時間(秒)

Rz( β m) 0.2 0.5 10 20 30 40 比較例1 比較例7 比較例9 比較例11 比較例13 30 50 100秒以上 100秒以上未能剝離 50 比較例2 實施例1 實施例5 實施例9 比較例14 30 10 20 20 100 200 比較例3 實施例2 實施例6 實施例10 比較例15 RSm 20 0 0 0 50 (/zm) 400 比較例4 實施例3 實施例7 實施例11 比較例16 20 0 0 0 30 500 比較例5 實施例4 實施例8 實施例12 比較例17 10 0 10 0 20 550 比較例6 比較例8 比較例10 比較例12 比較例18 10 0 0 0 10 [表4] 接著劑流出量評價

Rz( μ m) 0.2 0.5 10 20 30 40 比較例1 比較例7 比較例9 比較例11 比較例13 〇〇〇〇 Δ 50 比較例2 實施例1 實施例5 實施例9 比較例14 〇〇〇〇 Δ 200 比較例3 實施例2 實施例6 實施例10 比較例15 RSm 〇〇〇〇 Δ (/Wm) 400 比較例4 實施例3 實施例7 實施例11 比較例16 〇〇〇〇 X 500 比較例5 實施例4 實施例8 實施例12 比較例17 〇〇〇〇 X 550 比較例6 比較例8 比較例10 比較例12 比較例18 〇〇〇〇 X 18 200920589 (實施例13〜21、比較例19〜24) 使用擠壓機（GM Engineering公司製，GM3〇_28(螺紋徑 30mm、L/D28))將聚酯樹脂與烯烴樹脂以τ模具寬度4〇〇mm 進仃共擠壓成形，藉此得到烯烴層（樹脂層，8〇从…之表裏以聚酯樹脂（離型層，20#m)包夾之3層樹脂膜（120//111)。接著，藉由將加工於冷卻輥表面之圖案轉印於此3層樹月曰膜之表面，在3層樹脂膜表面形成凹凸。得到Rz= 0.5 # m、RSm=50 # m之離型膜。

Rz、RSm及Rz(AFM)之值如表5。 <評價> 對實施例1 3〜2 1及比較例1 9〜24中得到之離型膜進行下述之評價。結果不於表5。 (1)表面形狀評價

將離型膜裁切成10cm X 1〇cm之大小，依據jIS B0601:2001的方法’用三豐公司製SUrf-test SJ_301測定Rz 及 RSm 〇 I 將離型膜裁切成1 Ocmx 10cm之大小，用原子力顯微鏡 (AFM)選定相當於谷底部之區域。然後，用keyence VN-8000系列’依據JIS B0601:1994測定表面粗糙度 Rz(AFM)。測定係於膜的谷底部中，於長度5〇 # m、測定間隔0.0976#m、無切斷值的條件下進行。又，當基準長产及測定長度未滿依據JIS Β0601··1994之長度時，係與測定方向平行偏離約2ym進行測定’將數據相加得到相當於必要長度之數據。 19 200920589 (2) 皺痕性能評價藉由與上述相同的方法製作成由CCL與覆蓋層所構成之可撓性印刷基板（FPC)評價用試樣。然後，取出FCP評價用試樣及離型膜，將離型膜剝離後測定轉印於覆蓋層表面上之皺痕的個數。 (3) 離型性評價藉由與上述相同的方法製作成由CCL與覆蓋層所構成之FPC評價用試樣。然後，取出FCP評價用試樣及離型膜，放置於機器上，測定離型膜從FPC評價用試樣剝離為止之時間。 [表5]

Rz( β m) Rz(AFM)(nm) RSm( μ, m) 皺痕數(個）剝離時間 (秒）實施例13 0.5 100 300 5 0 實施例14 0.5 500 300 5 5 實施例15 5 100 300 0 0 實施例16 5 500 300 0 5 實施例17 10 100 300 0 0 實施例18 10 500 300 0 5 實施例19 0.5 600 300 3 10 實施例20 5 600 300 0 10 實施例21 10 600 300 0 10 比較例19 0.2 100 300 100以上 0 比車交例20 0.2 500 300 100以上 5 比較例21 0.2 600 300 80 10 比較例22 30 100 300 0 未能剝離比較例23 30 500 300 0 未能剝離比較例24 30 600 300 0 未能剝離 20 200920589 (實施例22、實施例23) 使用擠壓機（GM Engineering公司製，GM3〇_28(螺紋徑 30mm、L/D28))將聚酯樹脂與烯烴樹脂以τ模具寬度4〇〇mm 進行共擠壓成形，藉此得到烯烴層（樹脂層，80 a m)之表裏以聚醋樹脂（離型層，20//m)包夹的3層樹脂膜（12〇/zm)。接著藉由將加工於冷卻親表面之圖案轉印於此3層樹月曰膜之表面，在3層樹脂膜表面形成凹凸。

Rz、RSm及Rsk之值如表6。〈評價> 對實裇例22及實施例23得到之離型膜進行下述之評價。結果示於表6。 (1) 表面形狀評價將離型膜裁切成10cmxl〇cm之大小，依據Jis B〇601:2GGl的方法，用三f公司製Sui<f_test st3gi測定 Rz、RSm 及 Rsk 〇 (2) 皺痕性能評價 ' 藉由與上述相同的方法製作成由CCL·與覆蓋層所構成之可撓性印刷基板（FPC)評價用試樣。然後，取出Fcp評價用試樣及離型膜，將離型膜剝離後測定轉印於覆蓋層表面上之皺痕的個數。 (3) 離型性評價精由與上述相同的方法製作成由CCL與覆蓋層所構成之FPC評價用試樣。然後，取出FCp評價用試樣及離型膜，放置於機益上，測定離型膜從Fpc評價用試樣剝離為止之 21 200920589 時間。 [表6]

Rz( β m) RSm(//m) Rsk 鈹痕數(個）剝離時間 (秒）實施例22 10 300 0.05 0 0 實施例23 10 300 0 0 30 (產業利用性）依據本發明可提供兼顧防皺性與離型性之離型膜。【圖式簡單說明】無【主要元件符號說明】無 22

Claims

200920589 十、申請專利範圍： 1· 一種離型膜，其特徵在於，至少—側之表面的表面性狀依據JISB〇⑷：2001之方法，使用前端半徑、圓錐錐角60。之觸針、於測定力ο·、切斷值又m”、又c-0.8mm之條件下所測得之粗糙度曲線的最大高度粗輪又為$ 2〇私m’且粗糙度曲線參數之平均長度RSm為 50~500 # m。 2. 如申請專利範圍第！項之離型膜，其中，粗链度曲線之最大高度粗糙度1^為05〜1〇#m。 3. 如申6月專利範圍帛！或2項之離型臈，其中，粗糙度曲線參數之平均長度RSm為2〇〇〜4〇〇 # m。 4. 如申請專利範圍第丨項之離型膜，其粗糙度曲線之最大高度粗糙度Rz為〇.5〜2〇em、且粗糙度曲線參數之平均長度RSm為50〜500 #m之表面性狀，依據ns b〇6〇1:2〇〇1 之方法，使用前端半徑2 # m、圓錐錐角60。之觸針、於測定力〇.75mN、切斷值As = 2.5#m、Ac=〇 8mm之條件下所測知之粗糖度曲線之偏斜度Rsk超過〇 . 〇 5。 5 ·如申請專利範圍第1項之離型膜，其粗糙度曲線之最大尚度粗糙度RZ為0.5〜20# m、且粗糙度曲線參數之平均長度RSm為50〜500 # m之表面性狀，依據JIS b〇6〇1:1994 之方法，於以原子力顯微鏡測定之谷部以5〇 " m四方觀察所測得之表面粗糙度Rz(AFm)為500nm以下。 6·如申請專利範圍第5項之離型膜，其表面粗糙度 Rz(AFM)為 i〇〇nm 以下。 23 200920589 罾 7. 如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之離型膜，其係單層構造物。 ' 8. 如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之離型膜，其係由離型層與積層於該離型層單面之樹脂層所構成之2 層構造物，該離型層具有粗糙度曲線之最大高度粗糙度Rz 為〇·5 20 # m、且粗糙度曲線參數之平均長度RSm為 50~500 // m 之表面。 9. 如申請專利範圍第1、2、3、4、5或6項之離型膜，其係於樹脂層的雙面積層有離型層之3層構造物，該離型層具有粗糙度曲線之最大高度粗糙度Rz為0.5〜20…且粗糙度曲線參數之平均長度RSm為5〇〜5〇〇/z m之表面。 1〇·如申请專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8或9項之離型膜，其係於印刷基板之製造中將預浸物與銅加以熱壓成形時’用以防止熱壓板與預浸物接著，或預浸物彼此接著者。 11.如申請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8或9項 " 之離Ϊ•膜其係於印刷基板之製造中將熱硬化性樹脂膜與銅名加以熱壓成开> 時，用以防止熱壓板與熱硬化性樹脂膜接著，或熱硬化性樹脂膜彼此接著者。 12 ·如巾請專利範圍第1、2、3、4、5、6、7、8或9項之離型膜，其係於印刷基板之製造中藉由熱壓成形將覆蓋膜以熱硬化性接著劑接著時’用以防止覆蓋膜與熱壓板接著，或覆蓋膜彼此接著者。 24