SE453403B - Alster overdraget med hoggradigt hart material, forfarande for dess framstellning samt anvendning av alstret - Google Patents

Alster overdraget med hoggradigt hart material, forfarande for dess framstellning samt anvendning av alstret

Info

Publication number
SE453403B
SE453403B SE8102717A SE8102717A SE453403B SE 453403 B SE453403 B SE 453403B SE 8102717 A SE8102717 A SE 8102717A SE 8102717 A SE8102717 A SE 8102717A SE 453403 B SE453403 B SE 453403B
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
coated
substrate
hard material
diffraction
peak
Prior art date
Application number
SE8102717A
Other languages
English (en)
Other versions
SE8102717L (sv
Inventor
M Kobayashi
Y Doi
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries filed Critical Sumitomo Electric Industries
Publication of SE8102717L publication Critical patent/SE8102717L/sv
Publication of SE453403B publication Critical patent/SE453403B/sv

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24Vacuum evaporation
    • C23C14/32Vacuum evaporation by explosion; by evaporation and subsequent ionisation of the vapours, e.g. ion-plating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
    • C23C30/005Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process on hard metal substrates
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10STECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10S428/911Penetration resistant layer
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/24Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
    • Y10T428/24942Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
    • Y10T428/24983Hardness
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/31504Composite [nonstructural laminate]
    • Y10T428/31678Of metal

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)

Description

under SOOOC. Den s.k. fysikaliska ångutfällningsmetoden innefattar ångutfällningsmetoden, förstoftningsmetoden, metoden med aktiverad reaktiv ångutfällning (ARE-metoden), metoden med ångutfällning med ihålig katodurladdning (HCD-metoden), jonpläteringsmetoden och liknande, men framför allt föredrages jonpläteringsmetoden, där ett material, som skall ångutfällas, göres högenergetiädzsom positiv jon genom anbringande av en negativ accelererande spänning över ett sub- strat, för ökning av vidhäftningshållfastheten mellan beläggnings- filmen och substratet. Denna jonpläteringsmetod kan klassificieras i två slag bestående av högtryckstypen (lågvakuumtypen), där jonise- ringen utföres genom en glödurladdning i en*omgivande gas under ett tryck av 0,5-3 Pa, och lågtryckstypen (högvakuumtypen), där jonise- ringen utföres genom en intermediär elektrod, elektronbestrålning eller ett högfrekvent elektriskt fält under ett tryck av 0,1 Pa el- ler mindre. Emellertid medför jonpläteringsmetoden av högtrycksty- pen nackdelen att beläggningsfilmen av titankarbid eller titannit- rid på grund av dess höga omgivningstryck har benägenhet att vara svag och någon tillfredsställande vidhäftningshållfasthet erhålles icke, eftersom accelerationen av joner utföres huvudsakligen vid den mörka katoddelen kring basmaterialet. Vid fallet av lâgtrycks- typen kan å andra sidan en beläggningsfilm av god kvalitet lätt er- hållas och det är möjligt att accelerera tillräckligt mycket joner med en väsentligen homogen potentialgradient, vilket resulterar i en hög vidhäftningshållfasthet, men filmkvaliteten och vidhäftnings- hållfastheten påverkas i hög grad genom joniseringseffektiviteten och accelerationsspänningen. Den ordinära jonpläteringsmetoden är icke så effektiv för ökning av vidhäftningshållfastheten, eftersom joniseringseffektiviteten är generellt låg och energin, som tillfö- res till ett material som skall ångutfällas, icke kan ökas i så hög grad även om accelerationsspänningen ökas. Följaktligen har en HCD-metod och ARE-metod föreslagits, varigenom vidhäftningshåll- fastheten ökas genom upphettning av ett substrat utan anbringande av en accelererande spänning, varvid emellertid vidhäftningshållfast- heten icke är tillfredsställande vid låga temperaturer och förde- larna med den fysikaliska ångutfällningsmetoden, såsom beskrivits ovan, förloras vid höga temperaturer. Vid anbringande av en acce- lererande spänning med användning av den ordinära jonpläteringsan- ordningen med en låg joniseringseffektivitet, är t.ex. strömmen, som går genom en accelerationselektrod (vanligen substrat) mycket 3 liten, dvs ca 0,01-0,2 A, till och med då accelerationsspänningen är tämligen hög.
Vid tidigare försök inom ramen för denna uppfinning har en sådan jonpläteringsprocess hittills använts vid studium av beläggning av hârdmetallinsatser med ett skikt av TiN eller TiC för jämförelse med den kemiska ångutfällningsprocessen, såsom beskrives i "Thin Solid Films" 54 (1978) sid. 67-74. I enlighet med denna undersökning framgår att slitbeständigheten för karbider, anbringade genom jon- plätering, är liknande den för karbider anbringade genom kemisk ång- utfällning, men den genom jonplätering erhållna segheten är överläg- sen den för överdrag erhållna genom den kemiska ångutfällningsmeto- den. Dessutom har även föreslagits ett överdraget verktygsstål, in- nefattande ett verktygsstålsubstrat och en överdragen film därpå, bestående av minst en av titan-, zirkonium- och hafniumkarbider, -nitrider och -karbonitrider, som har en större halvvärdesbredd, såsom beskrives i amerikanska patentskriften 4 169 913. Emellertid är dessa överdragna alster icke tillfredsställande ifråga om vid- häftningshållfasthet mellan substratet och beläggningen.
Ett ändamål med föreliggande uppfinning är erhållande av ett alster överdraget med höggradigt hårt material, som uppvisar utmärkt slit- beständighet, värmebeständighet och korrosionsbeständighet.
Ett annat ändamål med föreliggande uppfinning är erhållande av skär- verktyg, slitbeständiga verktyg, Slitdetaljer och dekorationsartik- lar med en förbättrad slitbeständighet, värmebeständighet och kor- rosionsbeständighet.
Vidare är ett ändamål med uppfinningen erhållande av ett belagt als- ter med en förbättrad vidhäftningshållfasthet mellan substratet och beläggningen genom användning av jonpläteringsmetoden.
För uppnâende av detta ändamål hänför sig uppfinningen till ett als- ter överdraget med höggradigt hårt material, vilket innefattar ett substrat bestående av ett verktyg eller en detalj, som består av en kermet, hårdmetall, verktygsstål eller rostfritt stål, och åt- minstone ett höggradigt hårt maierial anbringat på ytan därav, valt från gruppen bestående av karbider, nitrider och karbonitrider av minst en av titan, zirkonium och hafnium samt fasta lösningar därav och sådana, vari syre är upplöst, vilket alster enligt uppfinningen , 43* 403 kännetecknas av att kristallerna i beläggningsfilmen är kraftigt orienterade så att förhållandet mellan diffraktionsintensiteten för den näst starkaste diffraktionstoppen och den för toppen från f2203- planet vid röntgendiffraktion med användning av Cu-Kßpstrålning är 15% eller mindre och att halvvärdesbredden för diffraktionstop- pen från {2201-planet för beläggningsfilmen är 0,80 eller mera på 2 6-skalan.
Då ett kristallplan bestrålas med röntgenstrålar, utsändes reflek- terade röntgenstrålar genom interferens med kristallplanet. Inten- siteten för de reflekterade röntgenstrålarna benämnes "diffraktions- intensitet". Ett sätt att mäta intensiteten är att avläsa höjden (i mm) för en diffraktionslinje, som registrerats av en registre- ringsapparat. Kristallplanen benämnes med Miller-index såsom t.ex. {22d}-planet och {11fš-planet. Se "Elements of X-ray Diffraction", utgiven av Addison-Wesley Publishing Co., Inc., Reading, Massachu-' setts, USA.
Vidare hänför sig uppfinningen till ett sätt för framställning av ett alster enligt uppfinningen, varvid substratet överdrages med åtminstone ett höggradigt hårt material till en tjocklek av 1-20 pm, varvid överdragningen enligt uppfinningen utföres genom en jonplä- teringsmetod innefattande anbringande av en negativ accelerations- spänning av 0,5-5 kV på substratet i början, följt av sänkning av den negativa accelerationsspänningen till 0,1-0,5 kV efter ca 5-10 minuter, i en reaktiv gas.
Slutligen hänför sig uppfinningen till en användning av ett alster enligt uppfinningen som en engångsinsats för fräsning, vilken be- står av en kermet eller hårdmetall, eller som kuggfräs.
Det har visat sig att ett alster överdraget med höggradigt hårt ma- terial med utmärkt vidhäftningshâllfasthet mellan substratet och beläggningen erhålles under de angivna betingelserna för jonpläte- ringsmetoden enligt uppfinningen.
Bifogade ritning är en schematisk vy av ett jonpläteringssystem, som användes vid föreliggande uppfinning.
I en jonpläteringsanordning, som användes vid föreliggande uppfin- ning, är joniseringseffektiviteten hög och den elektriska strömmen, som går genom en accelerationselektrod, är synnerligen hög, dvs minst 1-20 A, även om accelerationsspänningen är låg. På grund av den höga joniseringseffektiviteten kan energin för den individu- ella jonen av ett material, som skall ångutfällas, ökas genom ök- ning av accelerationsspäningen, vilket resulterar i en beläggnings- film med en hög vidhäftningshållfasthet. Kristallerna för belägg- ningsfilmen, som erhålles på detta sätt, är starkt orienterade i riktningen för (220) för ytan på substratet. I enlighet med resul- taten av de för uppfinningen grundläggande undersökningarna har det visat sig att vidhäftningshållfastheten är tillräckligt stor för praktisk användning då förhållandet mellan diffraktionsinten- siteten för den näst starkaste diffraktionstoppen och den för top- pen í;2Ö3 -planet är högst 15%. I detta område kan t.ex. det be- lagda verktyget användas för oavbruten svarvning. Då detta förhål- lande är mindre än 10%, uppvisar det belagda verktyget en hög vid- häftningshållfasthet och ger goda resultat vid användning vid fräs- ning, där verktyg överdragna enligt tidigare teknik icke med fram- gång kan användas.
Vid föreliggande uppfinning är emellertid den elektriska strömmen, som passerar genom ett substrat, hög, dvs 1-20 A, så att om acce- lerationsspänningen är t.ex. 1,5 kV, så är den elektriska energin, som tillföres till substratet, 1,5-30 kV och temperaturen för sub- stratet ökas markant. Sålunda föreligger en möjlighet till för- sämring av fördelen med den fysikaliska ångutfällningsmetoden att beläggningen kan åstadkommas vid låg temperatur.
Vidare har det även genom dessa undersökningar visat sig, att då överdragningen genomföres med användning av en jonpläteringsanord- ning med en hög joniseringseffektivitet, så ökar den kristallina oordningen för beläggningsfilmen med sänkning av temperaturen och halvvärdesbredden för diffraktionstoppen vid röntgendiffraktionen är stor. Här torde det sålunda noteras, att ju större halvvärdes- bredden är, desto mera förbättras slitbeständigheten för belägg- ningsfilmen. Då t.ex. halvvärdesbredden för diffraktionstoppen från í22Ö]-planet för beläggningsfilmen vid röntgendiffraktion med användning av Cu-Kßkstrålning är åtminstone 0,80 på 2 9-skalan, erhålles en utmärkt slitbeständighet och då den är minst 10 sa är slitbeständigheten ännu mera förbättrad.
Detta innebär att föreliggande överdragna alster har utmärkt vid- häftningshållfasthet för beläggningen, tillsammans med en hög ass ,ir4 u z ^- slitbeständighet.
För att sänka diffraktionsintensitetsförhållandet till 15% eller mindre är det emellertid nödvändigt att öka accelerationsspän- ningen, som anbringas över ett substrat, medan det för ökning av halvvärdesbredden är nödvändigt att sänka accelerationsspänningen.
Försök har gjorts att lösa detta motsatsförhållande och det har så- lunda visat sig att diffraktionsintensitetsförhållandet bestämmes av spänningen vid början för överdragningen och halvvärdesbredden beror på den elektriska energin. Baserat på detta faktum ökas acce- lerationsspänningen enligt uppfinningen vid början av påförandet av beläggningen och därefter sänkes accelerationsspänningen, varigenom man erhåller ett överdraget alster med ett diffraktionsintensitets- förhållande av 15% eller mindre och en halvvärdesbredd av 0,80 eller mera. Om tjockleken för en beläggningsfilm är mindre än 1 pm, är generellt effekten därav alltför liten, medan om tjockleken är mer än 20 pm, avflagning och försprödning av beläggningsfilmen ofta sker.
Då accelerationsspänningen ändras såsom beskrivits ovan, förändras diffraktionsintensitetsförhållandet och halvvärdesbredden på motsva- rande sätt, men kvantiteten eller graden av förändringar beror på slaget av, formen och dimensionen för substrat, den inre dimensio- nen eller mekanismen för jonpläteringsanordningen och joniserings- effektiviteten. Dessutom föreligger skillnader beroende på materia- let, som skall ångutfällas, t.ex. om detta består av titankarbid eller titannitrid, och det är sålunda svårt att generellt bestämma diffraktionsintensitetsförhållandet och halvvärdesbredden i motsva- righet till acceleratinnsspänningen. Vid överdragning av titannit- rid genom användning av titan som material, som skall ångutfällas, och kväve som reaktiv gas genomföres sättet enligt tidigare teknik genom anbringande av en accelerationsspänning av 0-2 kV över belägg- ningen och upphettning av substratet till en temperatur av 500-700OC för erhållande av ett diffraktionsintensitetsförhållande (I/Imax) av 25-80% och en halvvärdesbredd (2 9) av 0,1-0,50, medan vid före- liggande uppfinning accelerationsspänningen inställes på 0,5-5 kV i början och sänkes till OJ-0,5kV efter ca 5-10 minuter för erhål- lande av ett diffraktionsintensitetsförhållande av mindre än 15% och en halvvärdesbredd av mer än 0,80.
I ett exempel enligt föreliggande uppfinning belägges en ändfräs (10 mm diameter) av snabbstål (JIS SKH 55, motsvarande AISI M35) med TiN med en tjocklek av 2,3 Pm genom upprätthållande av en acce- lerationsspänning av 0,5 kV i början och Säflfiüflg till 012 kV ef' ter att 5 minuter förlöpt, så att beläggningen genomföres under 25 minuter. Resultaten av röntgendiffraktion visar att förhållandet mellan diffraktionsintensitet för den näst starkaste toppen från ïH13-planet och för toppen från {220}-planet är 13%.
I ett annat exempel belägges en engångsinsats (insatstyp: SNG 533) av kermet av TiCN-TaN-Mo2C-WC-Ni-Co-typ med TiN med en tjocklek av 9,m1genom upprätthållande av en accelerationsspänning av 5 kV i början och sänkning till 0,5 kV efter att 5 minuter förlöpt, så att beläggningen genomföres under 110 minuter. Resultaten av röntgen- diffraktion visar att förhållandet mellan diffraktionsintensiteten för den näst starkaste diffraktionstoppen från {20d3-planet och den för den högsta toppen från í220š-planet är 1,3%.
Beläggningsfilmen för alstret överdraget med höggradigt hårt mate- rial enligt föreliggande uppfinning kan bestå av en multifilm eller kan vara förenad med en film av aluminiumoxid eller kiselnitrid.
En utföringsform för beläggning med hjälp av en jonpläteringsanord- ning, som användes vid föreliggande uppfinning, beskrives med hän- visning till bifogade ritning.
Substrat 5 är fäst till substrathållare 6 och vakuumkammare 1 evaku- eras till ett tryck av 8 x 10-3 Pa eller mindre med hjälp av evaku- eringsanordning 2. Argongas införes i vakuumkammaren 1 till ett tryck av ca 3 Pa från gasinmatningssystem 3. En negativ spänning av ca 1,5 kV anbringas över substratet 5 genom energikälla 4 för bildning av glödurladdning och för uppvärmning av substratet 5 och därige- nom rengöres ytan på substratet 5. Inmatningen av argongas stoppas och vakuumkammaren 1 evakueras återigen.
Metall 13 av titan, zirkonium, hafnium eller en legering bestående av två eller flera av dessa metaller i vattenkyld koppardegel 12 bestrålas med elektronstråle 11, som emitterar från elektronkanon 9 genom påverkan av energikällan 10 för elektronkanonen 9, och smäl- tes och förångas. En positiv spänning av 20-100 V anbringas över joniseringselektrod 7 genom energikälla 8 och mellan joniserings- elektroden 7 och smält metall 13 bildas en urladdning genom sekun- dära elektroner emitterade genom bombardering med elektronstrålen 11 och smält metall 13 och den metalliska ångan, som förångas från ytan på den smälta metallen 13. Åtminstone en gas, vald från grup- pen bestående av kvävgas, acetylengas och syrgas samt blandningar därav, införes som en reaktiv gas i vakuumkammaren 1 från gasin- mâtningssystem 3 så att man uppnår ett tryck av 2,5 x 10-2 till 9,5 x 1052 Pa. Substratet 5 bringas att rotera genom mekanism 14, över vilken en negativ spänning av 0,5-5 kV anbringas genom energi- källan 4 för substratacceleration.
I detta fall kan en accelerationsspänning tillföras genom accelera- tionselektrod 15 genom energikälla 16 trots anbringande av en~spän- ning över substratet 5. Lucka 17 öppnas och beläggning av substra- tet 5 startar därefter. Efter att 5-10 minuter förlöpt, sänkes acce- lerationsspänningen till en negativ spänning av 0,1-0,5 kV. Om sub- stratet 5 är jordat eller uppvisar den lägre potentialen och acce- lereras genom accelerationselektrod 15, så överhettas icke substra- tet och det är sålunda icke nödvändigt att sänka accelerationsspän- ningen. På detta sätt erhålles ett alster överdratet med ett hög- gradigt hårt material enligt föreliggande uppfinning.
\ Följande exempel presenteras för att illustrera uppfinningen mera detaljerat utan begränsning av densamma.
Exempel 1 Med användning av den ovan beskrivna jonpläteringsanordningen över- drogs ett substrat (insats typ: SPG 422) bestående av hårdmetalle- gering P 30 under olika betingelser, såsom visas i följande tabell, och utsattes för bedömning (tabell 1 och tabell 2). c i ê r- mnmoona|Q>m _ xfizxw» wpmwfiøfip .ficw Nfi Q @.O Qfl Q 0.» Nz @.~ um wfl Qom m.m fl.@ ofi m.m H.Q Nz @.~ Wu mfl mmmoonm|n>m xfinxw» mnwwfiufip .dum zfl Q @.@ Ofi Q @.fi Nmwv n pN nfl Omfl @.m «.Q ofi 0.» «.o _~m~v M »N Nfi mmmoonn|Q>m xficxw» wnmwfiufiv .Ham Hfl om Q mflo m O o.~ ~o+~m~u+~z 1 _ fla OH gm w.fi fi.o m w.« HÅO ~o+~m~0+~z Q wa Q mwwoonQ|Q>m _ xficxwu mnmmfivfl» .flcm fw 9 om 0 mnø w O o.~ wz m.q _ fie _ ß Om @.~ fi.@ w o.~ fl.Q Nz m.= fis w mmwuonQ|o>o xficxmp wnmwfinwa .acw m mmmuonanQ>m xflcxmp mnmmfiwfiu .Ham = gm Q m.@ m O m.fl mmm lwz = we M Om _m.fi fi.@ m m.fi H.o ~m~u+Nz 3 wa N 1 1 1 | 1 | mmumfim »wmHmn|mxoH « ^=fisv_ ^>xV wfi ^>xv = Acfiev ^>x wfiv ^>xv = www Amm ~|ofl xv flmfipmpmzf .fiz mfiflmx wfifiwx mfifimx mfifimx |wm:fi=>«meo _ _. wcfi=»wc=ø>< www Ipwwpx |»@@pm wfia |»«@~x -pumum xuæpu uwwfiwwcwuwn mnmcowuwpm nmmflmwcfiuwn .hawnb |mw:fic>flwEo w Hflmßmß 10 ._0002 __ __ __ 00.0 0.2 __ A003 0.0. zë es 3.0 __ __ __ ofifi mi. Üå ._ 0.* zum se 2.0 __ 00 __ oïw i» A003 ïmå NJ Få næmmfim : m __ omflo m.wm : Ûowv n.= omm ___š 3.0 __ __ __ ømå 0,0 TSV __ 0.0 0.3 se 005 __ 00. __ 00.~ 0.” A003 A33 0A 0.5 _3002 _. 0 __ 00.0 0.00 A30» ^00~v NJ 8233.. se 00.0 __ __ __ ofiå mi. __ __ m; 202003. å. 3.0 __ 00. __ må Ûm 300V A003 m; 82003 äwæfiw __ 0 __ 00.0 0.00 __ ^00- m; 23 se 3.0 __ __ __ ofiå ä» __ __ 0:0 zä. es Sá __ 0m __ 00.0 10 __ __ 0.0 z? _8093 __ fi __ 00.0 ïä __ _ __ må 2602. ._0002 __ 3 __ 00.0 0.2 __ __ må 2,802. ______ E10 __ __ __ ONÅ 0.0 Giv __: 0.0 2003. se 00.0 __ ___ ___ 00.0 0.0 ^00- GNNV m; :S020 se 00.0 ie 00 ._0000 1 1 | .. | 1 - 3 NV 800 x S »m5 CQEH 000.2..
Awømunmocflcuwcxcmfiw» øø@nnwwøum> xmEH\Hv nfimcwucfiv :maa ncwucfiv cøfia Åslæ uu»fl~m>x ääpfim 13mm: 003 000030; åcoflxmnmufi. |mc00ßx9rrfimø xøñxoo? -EE wwwnucmm nmcofiuxmhmmwø Ifiæwmumu mummxhmum umwz wuwmähøum lëflfim Lowww ncmumfiflww _ :maa ^ømmv |«mcmu:H ^.wuhOuv H Hfimnmfi 11 Tabell 2 Betingelser för egenskapsbedömning_ Skärmetod Ytfräsning Arbetsstycke Material - SCM 3 (JIS) Hårdhet - Hs 32 Dimension - “breda 1oo mm: längd 300 mm Verktyg Fräs med en insats (fräsdiameter 160 mm) Fräsbetingelser Hastighet 180 m/min.
Urfräsning- 3 mm Q Inmatning _ 0,2 mm/varv.' Testresultaten av de erhållna proverna visar att de belagda alstren enligt föreliggande uppfinning har höggradigt mera utmärkta egenska- per eller ger bättre resultat än belagda alster enligt tidigare tek- nik, och i jämförelse med det icke-överdragna alstret är nötnings- beständigheten 1,8-3,2 gånger bättre. Då de överdragna alstren en- ligt föreliggande uppfinning jämföres med varandra, ger prover, vars röntgendiffraktionsintensitetsförhållande (I/Imax) x 100 är litet och vars halvvärdesbredd för i2203-planets diffraktionstopp är stor, mycket bättre resultat.
Exempel 2 Med användning av jonpläteringsanordningen enligt exempel 1 upphet- tades titan och förångades genom en elektronstråle, joniserades vid en joniseringspotential av +40V och utfälldes på en rundfräs med modul 1 och 200 i-tryckvinkel (JIS SKH 57) vid en substratpo- tential av -0,8 kV under 5 minuter och -0,5 kV under 25 minuter i en blandad gas under ett totalt tryck av 5'x 10f4 torr, där partial- trycket för acetylen var 2 x 10-4 torr och partialtrycket för kväve var 3 x 10-4 torr, så att en överdragen produkt med ett intensitets- förnaiianae (1200/izzo) av 9,7% och en nalvväraesbreaa av 1,o° på 2_9-skalan erhölls. Den sålunda behandlade rundfräsen utsattes för kuggfräsning på ett arbëtsstycke av JIS S50C med en fräshastighet av 106 m/min. och 1061 varv/min. i närvaro av skärolja. 230 stycken kunde framställas. Å andra sidan var livslängden för ett konventio- nellt fräsverktyg endast 100 arbetsstycken.
För skärverktyg, Slitbeständiga verktyg, slitdetaljer eller dekora- 12- tionsartiklar överdragna med höggradiskt hårda material enligt föreliggande uppfinning, väljes ett material för en detalj, var- vid erfordras åtminstone slitbeständignet, värmebeständighet och korrosionsbeständighet, bland kermeter, hårdmetaller, verktygsstål och rostfritt stål. Exempelvis uppvisar en engångsinsats av en ker- met eller hårdmetall överdragen med ett höggradigt hårt material enligt föreliggande uppfinning utmärkta resultat, isynnerhet för fräsning.

Claims (3)

10 15 20 25 30 35 Patentkrav
1. Alster överdraget med höggradigt hårt materiak vilket inne- fattar ett substrat bestående av ett verktyg eller en detalj, som består av kermet, hårdmetall, verktygsstål eller rostfritt stål, och åtminstone ett höggradigt hårt material, överdraget därpå, valt från gruppen bestående av karbider, nitrider och karbonitrider av minst en av titan, zirkonium och hafnium och fasta lösningar därav samt sådana, i vilka syre är upplöst, k ä n n e t e c k n a t av att kristallerna i beläggnings- filmen är kraftigt orienterade så att förhållandet mellan diffraktionsintensiteten för den näst starkaste diffraktions- toppen och den för toppen från {220} -planet vid röntgendif- fraktion med användning av Cu-Ku-strålning är högst 15% och att halvvärdesbredden för diffraktionstoppen från {220} -pla- net för beläggningsfilmen är minst 0,80 på 2 9-skalan.
2. Sätt för framställning av ett alster överdraget med ett höggradigt hårt material, varvid ett substrat bestående av ett verktyg eller en detalj, bestående av kermet, hårdmetall, verktygsstål eller rostfritt stål, överdrages med åtminstone ett höggradigt hårt material valt från gruppenàbestående av karbider, nitrider och karbonitrider av åtminstone en av titan, zirkonium och hafnium och fasta lösningar därav samt sådana, i vilka syre är upplöst, med en tjocklek av 1-20/um, k ä n - n e t e c k n a t av att överdragningen utföres genom en jon- pläteringsmetod innefattande anbringande av en negativ accele- rationsspänning av 0,5-5 kV på substratet i början, följt av sänkning av den negativa accelerationsspänningen till 0,1- 0,5 kV efter ca 5-10 minuter, i en reaktiv gas.
3. Användning av ett alster överdraget med höggradigt hårt material, vilket innefattar ett substrat bestående av ett verktyg eller en detalj, som består av kermet, hårdmetall, verktyggstål eller rostfritt stål, och åtminstone ett höggra- digt hårt material, överdraget därpå, valt från gruppen bestå- ende av karbider, nitrider och karbonitrider av minst en av titan, zirkonium och hafnium och fasta lösningar därav samt sådana, i vilka syre är upplöst, varvid kristallerna i belägg- 453 403 M ningsfilmen är kraftigt orienterade så att förhållandet mellan diffraktionsintensiteten för den“näst starkaste diffraktions- toppen och den för toppen från {220§ -planet vid röntgendif- fraktion med användning av Cu-Ka-strålning är högst 15% och att halvvärdesbredden för diffraktionstoppen från {220} -pla- net för beläggningsfilmen är minst 0,80 på 2 6-skalan som en engångsinsats för fräsning, vilken består av en kermet eller hårdmetall, eller som kuggfräs.
SE8102717A 1980-05-02 1981-04-29 Alster overdraget med hoggradigt hart material, forfarande for dess framstellning samt anvendning av alstret SE453403B (sv)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP5777080A JPS56156767A (en) 1980-05-02 1980-05-02 Highly hard substance covering material

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE8102717L SE8102717L (sv) 1981-11-03
SE453403B true SE453403B (sv) 1988-02-01

Family

ID=13065105

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE8102717A SE453403B (sv) 1980-05-02 1981-04-29 Alster overdraget med hoggradigt hart material, forfarande for dess framstellning samt anvendning av alstret

Country Status (7)

Country Link
US (2) US4401719A (sv)
JP (1) JPS56156767A (sv)
DE (1) DE3117299C3 (sv)
FR (1) FR2481632A1 (sv)
GB (1) GB2075068B (sv)
MX (1) MX155241A (sv)
SE (1) SE453403B (sv)

Families Citing this family (121)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AT385058B (de) * 1946-07-17 1988-02-10 Vni Instrument Inst Verfahren zur verfestigung von schneidwerkzeugen
JPS58141249A (ja) * 1982-02-15 1983-08-22 Nippon Paint Co Ltd 水性塗料組成物
DE3216456A1 (de) * 1982-05-03 1983-11-03 Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart Verfahren zum einbetten von hartstoffen in die oberflaeche von spanabhebenden werkzeugen
SE453265B (sv) * 1983-02-14 1988-01-25 Vni Instrument Inst Skerverktyg med slitbestendig beleggning samt forfarande for framstellning av detta
US4468309A (en) * 1983-04-22 1984-08-28 White Engineering Corporation Method for resisting galling
WO1985000999A1 (en) * 1983-08-25 1985-03-14 Vsesojuzny Nauchno-Issledovatelsky Instrumentalny Cutting tool and method of manufacture thereof
US4716083A (en) * 1983-09-23 1987-12-29 Ovonic Synthetic Materials Company Disordered coating
JPS60129483A (ja) * 1983-12-14 1985-07-10 Diesel Kiki Co Ltd 電磁弁
US4554208A (en) * 1983-12-27 1985-11-19 General Motors Corporation Metal bearing surface having an adherent score-resistant coating
GB8405170D0 (en) * 1984-02-28 1984-04-04 Atomic Energy Authority Uk Titanium alloy hip prosthesis
JPS6126769A (ja) * 1984-07-13 1986-02-06 Katsuhiro Okubo 有色硬質被膜の形成方法
JPS61111981A (ja) * 1984-11-05 1986-05-30 株式会社豊田中央研究所 セラミツク部品と金属部品との結合方法
JPS61170559A (ja) * 1985-01-21 1986-08-01 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆超硬合金
JPS61183458A (ja) * 1985-02-08 1986-08-16 Citizen Watch Co Ltd 黒色イオンプレ−テイング膜
DE3506726A1 (de) * 1985-02-26 1986-08-28 Reifenhäuser GmbH & Co Maschinenfabrik, 5210 Troisdorf Verschleisswiderstandserhoehende beschichtung am zylinder und an der schnecke einer kunststoff-schneckenpresse
DE3506668A1 (de) * 1985-02-26 1986-08-28 Reifenhäuser GmbH & Co Maschinenfabrik, 5210 Troisdorf Verschleisswiderstandserhoehende beschichtung am zylinder und an der schnecke einer kunststoff-schneckenpresse
JPS61266844A (ja) * 1985-05-18 1986-11-26 Honda Motor Co Ltd トルク伝導装置用積層金属ベルト
US4990233A (en) * 1985-06-14 1991-02-05 Permian Research Corporation Method for retarding mineral buildup in downhole pumps
CH665428A5 (de) * 1985-07-26 1988-05-13 Balzers Hochvakuum Verfahren zur beschichtung von mikrovertiefungen.
JPS6256564A (ja) * 1985-09-06 1987-03-12 Mitsubishi Metal Corp 耐摩耗性のすぐれた表面被覆硬質部材
US4895765A (en) * 1985-09-30 1990-01-23 Union Carbide Corporation Titanium nitride and zirconium nitride coating compositions, coated articles and methods of manufacture
JPS62116762A (ja) * 1985-11-15 1987-05-28 Citizen Watch Co Ltd 外装部品の製造方法
CH664377A5 (de) * 1986-01-16 1988-02-29 Balzers Hochvakuum Dekorative schwarze verschleissschutzschicht.
FR2595572B1 (fr) * 1986-03-12 1989-06-16 France Implant Procede de fabrication d'implants chirurgicaux au moins partiellement revetus d'une couche en un compose metallique, et implants realises conformement audit procede
JPS6365064A (ja) * 1986-09-05 1988-03-23 Mitsutoyo Corp マイクロメ−タ
KR920002168B1 (ko) * 1986-09-25 1992-03-19 유니온 카바이드 코포레이션 질화지르코늄 피복제품과 그 제조방법
JPS63109151A (ja) * 1986-10-27 1988-05-13 Hitachi Ltd 高硬度複合材およびその製造方法
JPH0745707B2 (ja) * 1986-11-25 1995-05-17 三菱マテリアル株式会社 高速切削用表面被覆炭窒化チタン基サ−メツト
JP2535866B2 (ja) * 1987-02-10 1996-09-18 三菱マテリアル株式会社 表面被覆硬質合金製切削工具
JPH0774426B2 (ja) * 1987-08-10 1995-08-09 株式会社神戸製鋼所 耐摩耗性被覆膜の製造方法
US4863810A (en) * 1987-09-21 1989-09-05 Universal Energy Systems, Inc. Corrosion resistant amorphous metallic coatings
US4936959A (en) * 1987-12-16 1990-06-26 Ford Motor Company Method of making cutting tool for aluminum work pieces having enhanced crater wear resistance
GB8801366D0 (en) * 1988-01-21 1988-02-17 Secr Defence Infra red transparent materials
JPH01255657A (ja) * 1988-04-02 1989-10-12 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆硬質合金およびその製造方法
US5079089A (en) * 1988-07-28 1992-01-07 Nippon Steel Corporation Multi ceramic layer-coated metal plate and process for manufacturing same
US5192410A (en) * 1988-07-28 1993-03-09 Nippon Steel Corporation Process for manufacturing multi ceramic layer-coated metal plate
JPH0735565B2 (ja) * 1988-11-07 1995-04-19 住友金属鉱山株式会社 耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法
US5066553A (en) * 1989-04-12 1991-11-19 Mitsubishi Metal Corporation Surface-coated tool member of tungsten carbide based cemented carbide
US5075181A (en) * 1989-05-05 1991-12-24 Kennametal Inc. High hardness/high compressive stress multilayer coated tool
US5304417A (en) * 1989-06-02 1994-04-19 Air Products And Chemicals, Inc. Graphite/carbon articles for elevated temperature service and method of manufacture
JP2876132B2 (ja) * 1989-06-19 1999-03-31 京セラ株式会社 被覆切削工具
JP2619838B2 (ja) * 1989-09-08 1997-06-11 新日本製鐵株式会社 セラミックスコーティング金属板
US5264297A (en) * 1990-03-09 1993-11-23 Kennametal Inc. Physical vapor deposition of titanium nitride on a nonconductive substrate
EP0518879A4 (en) * 1990-03-09 1993-09-01 Kennametal Inc. Physical vapor deposition of titanium nitride on a nonconductive substrate
US5123972A (en) * 1990-04-30 1992-06-23 Dana Corporation Hardened insert and brake shoe for backstopping clutch
US5232318A (en) * 1990-09-17 1993-08-03 Kennametal Inc. Coated cutting tools
US5250367A (en) * 1990-09-17 1993-10-05 Kennametal Inc. Binder enriched CVD and PVD coated cutting tool
US5325747A (en) * 1990-09-17 1994-07-05 Kennametal Inc. Method of machining using coated cutting tools
US5266388A (en) * 1990-09-17 1993-11-30 Kennametal Inc. Binder enriched coated cutting tool
WO1992005296A1 (en) * 1990-09-17 1992-04-02 Kennametal Inc. Cvd and pvd coated cutting tools
JPH04189401A (ja) * 1990-11-20 1992-07-07 Mitsubishi Materials Corp 硬質層被覆炭化タングステン基超硬合金製切削工具
US5356661A (en) * 1990-11-21 1994-10-18 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Heat transfer insulated parts and manufacturing method thereof
DE4210910C1 (de) * 1992-04-02 1993-11-11 Verschleis Technik Dr Ing Hans Verschleißgefährdetes Formteil, insbesondere Maschinenteil
JP2909361B2 (ja) * 1993-09-21 1999-06-23 大阪府 チタン金属の表面処理方法
US5920760A (en) * 1994-05-31 1999-07-06 Mitsubishi Materials Corporation Coated hard alloy blade member
US6802457B1 (en) * 1998-09-21 2004-10-12 Caterpillar Inc Coatings for use in fuel system components
US6983718B1 (en) * 1999-08-04 2006-01-10 General Electric Company Electron beam physical vapor deposition apparatus
RU2161661C1 (ru) * 1999-08-16 2001-01-10 Падеров Анатолий Николаевич Способ нанесения износостойких покрытий и повышения долговечности деталей
US6715693B1 (en) * 2000-02-15 2004-04-06 Caterpillar Inc Thin film coating for fuel injector components
US6602800B2 (en) 2001-05-09 2003-08-05 Asm Japan K.K. Apparatus for forming thin film on semiconductor substrate by plasma reaction
DE102004019061B4 (de) * 2004-04-20 2008-11-27 Peter Lazarov Selektiver Absorber zur Umwandlung von Sonnenlicht in Wärme, ein Verfahren und eine Vorrichtung zu dessen Herstellung
US20090078893A1 (en) * 2005-04-27 2009-03-26 Masahiro Umemura Image reading apparatus
US20080166561A1 (en) * 2005-08-16 2008-07-10 Honeywell International, Inc. Multilayered erosion resistant coating for gas turbines
DE102005057299A1 (de) * 2005-12-01 2007-06-06 Schaeffler Kg Hülsenfreilauf
DE102006026774A1 (de) 2006-06-07 2007-12-13 Ringspann Gmbh Reibschlüssige Freilaufkupplung
JP2008240079A (ja) * 2007-03-28 2008-10-09 Tungaloy Corp 被覆部材
EP2231351A4 (en) * 2007-12-06 2012-03-21 Arcam Ab APPARATUS AND METHOD FOR MANUFACTURING THREE-DIMENSIONAL OBJECT
US8992816B2 (en) * 2008-01-03 2015-03-31 Arcam Ab Method and apparatus for producing three-dimensional objects
CN102099138B (zh) * 2008-07-14 2013-06-05 株式会社图格莱 覆盖构件及其制造方法、包括该覆盖构件的覆盖切削工具
US8308466B2 (en) 2009-02-18 2012-11-13 Arcam Ab Apparatus for producing a three-dimensional object
CN102470439B (zh) 2009-07-15 2016-03-02 阿卡姆股份公司 制造三维物体的方法和设备
KR20130041325A (ko) * 2010-09-07 2013-04-24 스미또모 덴꼬오 하드메탈 가부시끼가이샤 표면 피복 절삭 공구
RU2553796C2 (ru) 2011-01-28 2015-06-20 Аркам Аб Способ изготовления трехмерного тела
US8741428B2 (en) * 2011-04-21 2014-06-03 Sumitomo Electric Hardmetal Corp. Surface-coated cutting tool and manufacturing method thereof
JP5865014B2 (ja) * 2011-06-24 2016-02-17 株式会社リケン ピストンリング
JP5348223B2 (ja) * 2011-11-08 2013-11-20 株式会社タンガロイ 被覆部材
EP2797730B2 (en) 2011-12-28 2020-03-04 Arcam Ab Method and apparatus for detecting defects in freeform fabrication
JP6101707B2 (ja) 2011-12-28 2017-03-22 ア−カム アーベー 積層造形法による三次元物品の解像度を向上させるための方法および装置
CN104066536B (zh) 2011-12-28 2016-12-14 阿卡姆股份公司 用于制造多孔三维物品的方法
WO2013167194A1 (en) 2012-05-11 2013-11-14 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing
US9561542B2 (en) 2012-11-06 2017-02-07 Arcam Ab Powder pre-processing for additive manufacturing
US9718129B2 (en) 2012-12-17 2017-08-01 Arcam Ab Additive manufacturing method and apparatus
DE112013006029T5 (de) 2012-12-17 2015-09-17 Arcam Ab Verfahren und Vorrichtung für additive Fertigung
US9550207B2 (en) 2013-04-18 2017-01-24 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9676031B2 (en) 2013-04-23 2017-06-13 Arcam Ab Method and apparatus for forming a three-dimensional article
US9415443B2 (en) 2013-05-23 2016-08-16 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9468973B2 (en) 2013-06-28 2016-10-18 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US9505057B2 (en) 2013-09-06 2016-11-29 Arcam Ab Powder distribution in additive manufacturing of three-dimensional articles
US9676033B2 (en) 2013-09-20 2017-06-13 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10434572B2 (en) 2013-12-19 2019-10-08 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9802253B2 (en) 2013-12-16 2017-10-31 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10130993B2 (en) 2013-12-18 2018-11-20 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US9789563B2 (en) 2013-12-20 2017-10-17 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9789541B2 (en) 2014-03-07 2017-10-17 Arcam Ab Method for additive manufacturing of three-dimensional articles
US20150283613A1 (en) 2014-04-02 2015-10-08 Arcam Ab Method for fusing a workpiece
TWI519681B (zh) * 2014-08-14 2016-02-01 國立交通大學 具有優選排列方向之奈米雙晶金膜、其製備方法、及包含其之接合結構
US9341467B2 (en) 2014-08-20 2016-05-17 Arcam Ab Energy beam position verification
US10786865B2 (en) 2014-12-15 2020-09-29 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US9406483B1 (en) 2015-01-21 2016-08-02 Arcam Ab Method and device for characterizing an electron beam using an X-ray detector with a patterned aperture resolver and patterned aperture modulator
US11014161B2 (en) 2015-04-21 2021-05-25 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10807187B2 (en) 2015-09-24 2020-10-20 Arcam Ab X-ray calibration standard object
US11571748B2 (en) 2015-10-15 2023-02-07 Arcam Ab Method and apparatus for producing a three-dimensional article
US10525531B2 (en) 2015-11-17 2020-01-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10610930B2 (en) 2015-11-18 2020-04-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
CN105234439B (zh) * 2015-11-23 2017-11-10 江苏切剀刀具有限公司 一种刀具刀片及其制备方法
US11247274B2 (en) 2016-03-11 2022-02-15 Arcam Ab Method and apparatus for forming a three-dimensional article
US11325191B2 (en) 2016-05-24 2022-05-10 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10549348B2 (en) 2016-05-24 2020-02-04 Arcam Ab Method for additive manufacturing
US10525547B2 (en) 2016-06-01 2020-01-07 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US10792757B2 (en) 2016-10-25 2020-10-06 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US10987752B2 (en) 2016-12-21 2021-04-27 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US11059123B2 (en) 2017-04-28 2021-07-13 Arcam Ab Additive manufacturing of three-dimensional articles
US11292062B2 (en) 2017-05-30 2022-04-05 Arcam Ab Method and device for producing three-dimensional objects
US20190099809A1 (en) 2017-09-29 2019-04-04 Arcam Ab Method and apparatus for additive manufacturing
US10529070B2 (en) 2017-11-10 2020-01-07 Arcam Ab Method and apparatus for detecting electron beam source filament wear
US11072117B2 (en) 2017-11-27 2021-07-27 Arcam Ab Platform device
US10821721B2 (en) 2017-11-27 2020-11-03 Arcam Ab Method for analysing a build layer
US11517975B2 (en) 2017-12-22 2022-12-06 Arcam Ab Enhanced electron beam generation
US11458682B2 (en) 2018-02-27 2022-10-04 Arcam Ab Compact build tank for an additive manufacturing apparatus
US11267051B2 (en) 2018-02-27 2022-03-08 Arcam Ab Build tank for an additive manufacturing apparatus
US11400519B2 (en) 2018-03-29 2022-08-02 Arcam Ab Method and device for distributing powder material

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3371649A (en) * 1960-09-23 1968-03-05 Technical Ind Inc Means for controlled deposition and growth of polycrystalline films in a vacuum
US3962988A (en) * 1973-03-05 1976-06-15 Yoichi Murayama, Nippon Electric Varian Ltd. Ion-plating apparatus having an h.f. electrode for providing an h.f. glow discharge region
JPS5757553B2 (sv) * 1975-02-05 1982-12-04 Shinko Seiki
JPS51119686A (en) * 1975-04-14 1976-10-20 Nachi Fujikoshi Corp A method for forming a film on the metal surface
JPS51120985A (en) * 1975-04-15 1976-10-22 Nachi Fujikoshi Corp Method of ion plating a metal surface
JPS51136584A (en) * 1975-05-21 1976-11-26 Shinko Seiki Kk Apparatus for forming high-hardness film on metal surfaces
DE2705225C2 (de) * 1976-06-07 1983-03-24 Nobuo Tokyo Nishida Ornamentteil für Uhren usw.
US4169913A (en) * 1978-03-01 1979-10-02 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Coated tool steel and machining tool formed therefrom

Also Published As

Publication number Publication date
JPS56156767A (en) 1981-12-03
DE3117299C2 (sv) 1994-10-20
US4402994A (en) 1983-09-06
GB2075068B (en) 1984-02-15
SE8102717L (sv) 1981-11-03
FR2481632A1 (fr) 1981-11-06
JPS6319590B2 (sv) 1988-04-23
DE3117299A1 (de) 1982-04-15
DE3117299C3 (de) 1994-10-20
MX155241A (es) 1988-02-09
GB2075068A (en) 1981-11-11
FR2481632B1 (sv) 1984-02-10
US4401719A (en) 1983-08-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE453403B (sv) Alster overdraget med hoggradigt hart material, forfarande for dess framstellning samt anvendning av alstret
KR100236995B1 (ko) 하드코팅, 하드코팅에 의해 피복되는 공작물 및 하드코팅에 의해 공작물을 피복하는 코팅방법
Nakamura et al. Applications of wear-resistant thick films formed by physical vapor deposition processes
US6824601B2 (en) Hard film for cutting tools, cutting tool coated with hard film, process for forming hard film, and target used to form hard film
Randhawa Cathodic arc plasma deposition technology
US4507189A (en) Process of physical vapor deposition
US5318840A (en) Wear resistant coating films and their coated articles
US20090252973A1 (en) Coated body
JPH0567705B2 (sv)
EP3662093B1 (en) Coated cutting tool and a process for its manufacture
KR20010053390A (ko) Pvd 코팅된 절삭공구 및 이의 제조방법
JP2001524391A (ja) 切削工具上に微細結晶粒アルミナを堆積する方法
CN111279011B (zh) 沉积Al2O3的PVD工艺和具有至少一层Al2O3的被涂覆过的切削工具
WO2022172954A1 (ja) 被覆工具
Vereschaka et al. Investigation of the structure and phase composition of the microdroplets formed during the deposition of PVD coatings
JP2002544379A (ja) Pvd酸化アルミニウムで被覆された切削工具の製造方法
JPH0911004A (ja) 硬質層被覆切削工具
JPH0356675A (ja) 超硬合金基体の被覆法および該被覆法によって作製される超硬工具
JP2008284637A (ja) 被覆切削工具
Bohlmark et al. Evaluation of arc evaporated coatings on rounded surfaces and sharp edges
JPH0250983B2 (sv)
KR860000016B1 (ko) 고경도 물질 피복품
JPS5918475B2 (ja) 被覆高速度鋼
Diechle et al. PVD process for the deposition of Al 2 O 3 and a coated cutting tool with at least one layer of Al 2 O 3
JPH0250948A (ja) 複合超硬材料

Legal Events

Date Code Title Description
NAL Patent in force

Ref document number: 8102717-9

Format of ref document f/p: F

NUG Patent has lapsed

Ref document number: 8102717-9

Format of ref document f/p: F