JPH0735565B2 - 耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法 - Google Patents
耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法Info
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- JPH0735565B2 JPH0735565B2 JP63280857A JP28085788A JPH0735565B2 JP H0735565 B2 JPH0735565 B2 JP H0735565B2 JP 63280857 A JP63280857 A JP 63280857A JP 28085788 A JP28085788 A JP 28085788A JP H0735565 B2 JPH0735565 B2 JP H0735565B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法に関
し、更に詳しくは、耐食性に優れた窒化クロム被覆鋼材
及びその製造方法に関するものである。
し、更に詳しくは、耐食性に優れた窒化クロム被覆鋼材
及びその製造方法に関するものである。
工具や金型などの鋼材の耐摩耗性及び耐食性を向上させ
るために、その表面にイオンプレーティング法により窒
化クロムの被膜を被覆することは知られている。このイ
オンプレーティング法は、低温で処理することができる
ので上記鋼材を熱で変質させることなく、平滑で寸法変
形のない被覆を行い得て、有用な方法である。
るために、その表面にイオンプレーティング法により窒
化クロムの被膜を被覆することは知られている。このイ
オンプレーティング法は、低温で処理することができる
ので上記鋼材を熱で変質させることなく、平滑で寸法変
形のない被覆を行い得て、有用な方法である。
しかしながら、従来このようにして製造された被覆鋼材
は、充分な耐食性を有するものではなかった。
は、充分な耐食性を有するものではなかった。
本発明は、上記問題点に鑑み、耐食性が一段と向上した
被覆鋼材及びその鋼材を製造する方法（イオンプレーテ
ィング法）を提供することを目的としている。
被覆鋼材及びその鋼材を製造する方法（イオンプレーテ
ィング法）を提供することを目的としている。
上記目的を達成するものとして、本発明の耐食耐摩耗性
被覆鋼材は、鋼材上に、Ｘ線回折測定による最大の回折
強度をCrNの（220）面に持つCrの窒化物の被膜が形成さ
れてなるものである。例えば、用いられる鋼材として
は、S15Cなどの肌焼鋼,S45Cなどの構造用鋼,SUP10など
のバネ鋼,SUJ2などの軸受鋼,SACM1などの窒化物,SKD6な
どの熱間加工用工具鋼、SKD11などの冷間加工用工具鋼,
SKH51などの高速度鋼,SUS310Sなどの耐熱鋼,SUS410など
の耐食耐酸鋼などが挙げられる。このような鋼材上にＸ
線回折測定によりCrNの（220）面が最大の回折強度を持
つCrの窒化物の被膜が被覆される。このCrの窒化物の被
膜は、結晶が微細で緻密であるため、耐食性が一段と向
上する。この被膜の膜厚は0.2〜20μｍであることが好
ましい。0.2μｍ未満では被覆する効果が希薄で耐食性
が充分向上せず、一方20μｍを超えると被覆した被膜が
剥離し易くなる。
被覆鋼材は、鋼材上に、Ｘ線回折測定による最大の回折
強度をCrNの（220）面に持つCrの窒化物の被膜が形成さ
れてなるものである。例えば、用いられる鋼材として
は、S15Cなどの肌焼鋼,S45Cなどの構造用鋼,SUP10など
のバネ鋼,SUJ2などの軸受鋼,SACM1などの窒化物,SKD6な
どの熱間加工用工具鋼、SKD11などの冷間加工用工具鋼,
SKH51などの高速度鋼,SUS310Sなどの耐熱鋼,SUS410など
の耐食耐酸鋼などが挙げられる。このような鋼材上にＸ
線回折測定によりCrNの（220）面が最大の回折強度を持
つCrの窒化物の被膜が被覆される。このCrの窒化物の被
膜は、結晶が微細で緻密であるため、耐食性が一段と向
上する。この被膜の膜厚は0.2〜20μｍであることが好
ましい。0.2μｍ未満では被覆する効果が希薄で耐食性
が充分向上せず、一方20μｍを超えると被覆した被膜が
剥離し易くなる。
本発明の耐食耐摩耗性被覆鋼材において、上記のＸ線回
折測定による最大の回折強度をCrNの（220）面にもつCr
の窒化物の被膜は、鋼材上に（１）直接形成されても、
（２）鋼材植上に公知の、周期律表IVの族及びVa族の元
素の窒化物，炭化物及び酸化物のうちの少なくとも１種
から成る被膜が形成された後に形成されてもよい。
折測定による最大の回折強度をCrNの（220）面にもつCr
の窒化物の被膜は、鋼材上に（１）直接形成されても、
（２）鋼材植上に公知の、周期律表IVの族及びVa族の元
素の窒化物，炭化物及び酸化物のうちの少なくとも１種
から成る被膜が形成された後に形成されてもよい。
上記（１）で形成された上に、更に装飾などの目的で上
記（２）の窒化物、炭化物及び酸化物のうちの少なくと
も１種から成る被膜を形成してもよい。又、上記（２）
のように形成される場合、第１層としての、上記（２）
の窒化物，炭化物及び酸化物のうちの少なくとも１種か
ら成る被膜を、残留圧縮応力5GPa以下、厚み20μｍ以上
のTi,Zr及びHfの窒化物のうちの少なくとも１種からな
る被膜とすることにより、耐食性を最も好ましいものと
することができる。これは鋼材と第２層との間に第１層
を形成させ、厚膜化と積層化により、第２層の表面から
鋼材表面につながるピンホールなどを大幅に減少させ得
るためと推察される。
記（２）の窒化物、炭化物及び酸化物のうちの少なくと
も１種から成る被膜を形成してもよい。又、上記（２）
のように形成される場合、第１層としての、上記（２）
の窒化物，炭化物及び酸化物のうちの少なくとも１種か
ら成る被膜を、残留圧縮応力5GPa以下、厚み20μｍ以上
のTi,Zr及びHfの窒化物のうちの少なくとも１種からな
る被膜とすることにより、耐食性を最も好ましいものと
することができる。これは鋼材と第２層との間に第１層
を形成させ、厚膜化と積層化により、第２層の表面から
鋼材表面につながるピンホールなどを大幅に減少させ得
るためと推察される。
第１層の残留圧縮応力が5GPaを超えると、厚みが20μｍ
以上では第１層が剥離する傾向が生じる。又、厚みが20
μｍ未満では、上記第１層を形成した効果が充分発揮さ
れない。
以上では第１層が剥離する傾向が生じる。又、厚みが20
μｍ未満では、上記第１層を形成した効果が充分発揮さ
れない。
本発明における、Ｘ線回折測定による最大の回折強度を
CrNの（220）面に持つCrの窒化物の被膜は、金属クロム
及び窒素ガスを原料として、イオンプレーティング法に
より鋼材上に、該鋼材に印加されるバイアス電圧を−50
〜−500VとしてCrの窒化物の被膜を形成する方法におい
て、窒素圧を5mTorr以上とすることを特徴とする方法に
より製造される。このイオンプレーティング法は、
（１）金属を蒸発させる工程、（２）蒸発した金属をイ
オン化する工程、（３）イオン化した金属を加速する工
程、（４）反応性ガスを導入する工程よりなるが、工程
（４）において窒素圧を5mTorr以上、好ましくは100mTo
rr以下とすること以外は公知の方法によればよい。
CrNの（220）面に持つCrの窒化物の被膜は、金属クロム
及び窒素ガスを原料として、イオンプレーティング法に
より鋼材上に、該鋼材に印加されるバイアス電圧を−50
〜−500VとしてCrの窒化物の被膜を形成する方法におい
て、窒素圧を5mTorr以上とすることを特徴とする方法に
より製造される。このイオンプレーティング法は、
（１）金属を蒸発させる工程、（２）蒸発した金属をイ
オン化する工程、（３）イオン化した金属を加速する工
程、（４）反応性ガスを導入する工程よりなるが、工程
（４）において窒素圧を5mTorr以上、好ましくは100mTo
rr以下とすること以外は公知の方法によればよい。
バイアス電圧の絶対値が50V未満では、Crの窒化物の被
膜が柱状晶組織となり、耐食性が充分向上し難く、一
方、500Vを超えると、鋼材の温度が上昇し過ぎて鋼材が
変質し易くなる。
膜が柱状晶組織となり、耐食性が充分向上し難く、一
方、500Vを超えると、鋼材の温度が上昇し過ぎて鋼材が
変質し易くなる。
雰囲気ガス中に反応性ガスとしての窒素以外に、非反応
性のAr,Heなどのガスが含有される場合は、上記窒素圧
は分圧を意味する。これが5mTorr未満では、被膜の硬度
が未反応Crのために低下する。又、窒素圧が100mTorrを
超えると、製膜速度の低下が著しくなる。
性のAr,Heなどのガスが含有される場合は、上記窒素圧
は分圧を意味する。これが5mTorr未満では、被膜の硬度
が未反応Crのために低下する。又、窒素圧が100mTorrを
超えると、製膜速度の低下が著しくなる。
本発明における、前記残留圧縮応力5GPa以下、厚み20μ
ｍ以上のTi,Zr及びHgの窒化物のうちの少なくとも１種
から成る被膜は、（ａ）該鋼材に印加されるバイアス電
圧を０〜−50Vとし、且つ（ｂ）窒素圧を5mTorr以上と
して、厚み20μｍ以上の被膜を形成することにより製造
される。上記（ａ）及び（ｂ）以外は公知の方法によれ
ばよい。バイアス電圧の絶対値が50Vを超えると、形成
される窒化物被膜の残留圧縮応力が5GPaを超え、該被膜
が剥離し易くなる。
ｍ以上のTi,Zr及びHgの窒化物のうちの少なくとも１種
から成る被膜は、（ａ）該鋼材に印加されるバイアス電
圧を０〜−50Vとし、且つ（ｂ）窒素圧を5mTorr以上と
して、厚み20μｍ以上の被膜を形成することにより製造
される。上記（ａ）及び（ｂ）以外は公知の方法によれ
ばよい。バイアス電圧の絶対値が50Vを超えると、形成
される窒化物被膜の残留圧縮応力が5GPaを超え、該被膜
が剥離し易くなる。
雰囲気ガス中の窒素ガスの圧力が分圧であること、その
圧力が5mTorr未満又は100mTorrを超える場合問題がある
ことは前述と同様である。
圧力が5mTorr未満又は100mTorrを超える場合問題がある
ことは前述と同様である。
以下、本発明の実施例を比較例と共に説明する。
実施例１ 17mm角、厚み2mmのステンレス鋼（SUS304）基板を有機
溶剤で洗浄し、真空アーク放電型イオンプレーティング
装置に取付けた。
溶剤で洗浄し、真空アーク放電型イオンプレーティング
装置に取付けた。
まず、真空度を１×10-5Torr以上とした後、Crイオン衝
撃により基板の洗浄，加熱を行なった。次に、反応ガス
として窒素ガスを導入して装置内圧力を30mTorrとし、
またCrターゲットに70Aの電流を流し、真空アーク放電
でCrイオンを放出させて、−200Vのバイアス電圧が印加
された基板上にCrの窒化物の被膜を１時間形成した。形
成された膜の厚みは、螢光Ｘ線法により測定して３μｍ
であった。
撃により基板の洗浄，加熱を行なった。次に、反応ガス
として窒素ガスを導入して装置内圧力を30mTorrとし、
またCrターゲットに70Aの電流を流し、真空アーク放電
でCrイオンを放出させて、−200Vのバイアス電圧が印加
された基板上にCrの窒化物の被膜を１時間形成した。形
成された膜の厚みは、螢光Ｘ線法により測定して３μｍ
であった。
得られた被覆鋼材の被膜のＸ線回折測定を行った結果、
最大の回折強度を示すピークがCrNの（220）面である回
折チャートが得られた。尚、このＸ線回折測定はグラフ
ァイト（002）モノクロメーターを備えたディフラクト
メーターを使用し、CuKα線によった。又、この被覆鋼
材の耐食性を、常温の12重量％HCl水溶液に浸漬した後
の重量減（腐食面積15mm角）を求めることにより測定し
た。この結果を下記表に示す。
最大の回折強度を示すピークがCrNの（220）面である回
折チャートが得られた。尚、このＸ線回折測定はグラフ
ァイト（002）モノクロメーターを備えたディフラクト
メーターを使用し、CuKα線によった。又、この被覆鋼
材の耐食性を、常温の12重量％HCl水溶液に浸漬した後
の重量減（腐食面積15mm角）を求めることにより測定し
た。この結果を下記表に示す。
比較例１ 基板上に印加されたバイアス電圧を−25Vとした以外
は、実施例１と全く同様にして試験をした。
は、実施例１と全く同様にして試験をした。
被膜のＸ線回折測定の結果、最大の回折強度を示すピー
クがCrNの（200）面である回折チャートが得られた。
クがCrNの（200）面である回折チャートが得られた。
耐食性を測定した結果を下記表に示す。
実施例２ Tiターゲットを使用して基板上にTiの窒化物の被膜を２
μｍ形成した以外は、実施例１と同様に第１層を製膜し
た後、ターゲットをCrとし、更に第２層を２μｍ形成し
た。
μｍ形成した以外は、実施例１と同様に第１層を製膜し
た後、ターゲットをCrとし、更に第２層を２μｍ形成し
た。
得られた被覆鋼材の第２層被膜のＸ線回折及び耐食性を
実施例１と同様に測定した。その結果、前者は実施例１
と同様であった。又、後者の結果を下記表に示す。
実施例１と同様に測定した。その結果、前者は実施例１
と同様であった。又、後者の結果を下記表に示す。
実施例３ 基板上に印加されたバイアス電圧を−25Vとし基板上にT
iの窒化物の被膜を６時間形成した以外は、実施例１と
同様にして第１層を製膜した後、上記バイアス電圧を−
300Vとし、更に第２層を１時間形成した。膜の厚みは、
走査型電子顕微鏡により測定したところ第１層が23μ
ｍ、第２層が２μｍであった。
iの窒化物の被膜を６時間形成した以外は、実施例１と
同様にして第１層を製膜した後、上記バイアス電圧を−
300Vとし、更に第２層を１時間形成した。膜の厚みは、
走査型電子顕微鏡により測定したところ第１層が23μ
ｍ、第２層が２μｍであった。
得られた被覆鋼材の被膜のＸ線回折及び耐食性を実施例
１と同様に測定した。その結果、前者は第１層の残留圧
縮応力が1GPaで、第２層が実施例１と同様であった。
又、後者の結果を下記表に示す。
１と同様に測定した。その結果、前者は第１層の残留圧
縮応力が1GPaで、第２層が実施例１と同様であった。
又、後者の結果を下記表に示す。
比較例２ 基板上にCrの窒化物の被膜を５時間形成した以外は、実
施例１と同様に製膜した。膜の厚みは、走査型電子顕微
鏡により測定したところ22μｍであった。
施例１と同様に製膜した。膜の厚みは、走査型電子顕微
鏡により測定したところ22μｍであった。
得られた被覆鋼材の被膜のＸ線回折及び耐食性を実施例
１と同様に測定した。その結果、前者は実施例１と同様
であり、後者は下記表のようであった。尚、この鋼材の
被膜上には目視でチッピングが散在しているのが観察さ
れた。
１と同様に測定した。その結果、前者は実施例１と同様
であり、後者は下記表のようであった。尚、この鋼材の
被膜上には目視でチッピングが散在しているのが観察さ
れた。
従来例 17mm角、厚み2mmのステンレス鋼（SUS304）基板を有機
溶剤で洗浄し、電子銃加熱型イオンプレーティング装置
に取付けた。
溶剤で洗浄し、電子銃加熱型イオンプレーティング装置
に取付けた。
まず、真空度を１×10-5Torr以上とした後、Crイオン衝
撃により基板の洗浄，加熱を行った。次に、反応ガスと
して窒素ガスを導入して装置内圧力を0.5mTorrとし、ま
たイオン化電圧を40Vとし、Cr蒸発源から電子銃加熱でC
rイオンを放出させて、−100Vのバイアス電圧が印加さ
れた基板上にCrの窒化物の被膜を３μｍ形成した。
撃により基板の洗浄，加熱を行った。次に、反応ガスと
して窒素ガスを導入して装置内圧力を0.5mTorrとし、ま
たイオン化電圧を40Vとし、Cr蒸発源から電子銃加熱でC
rイオンを放出させて、−100Vのバイアス電圧が印加さ
れた基板上にCrの窒化物の被膜を３μｍ形成した。
得られた被覆鋼材の被膜のＸ線回折及び耐食性を実施例
１と同様に測定した。その結果、前者は最大の回折強度
を示すピークがCrNの（111）面である回折チャートが得
られ、後者は下記表のようであった。
１と同様に測定した。その結果、前者は最大の回折強度
を示すピークがCrNの（111）面である回折チャートが得
られ、後者は下記表のようであった。
〔発明の効果〕 以上から明らかなように、本発明による耐食耐摩耗性被
覆鋼材は耐食性が大幅に向上し、又本発明による製造方
法により該被覆鋼材を得ることができる。
覆鋼材は耐食性が大幅に向上し、又本発明による製造方
法により該被覆鋼材を得ることができる。
Claims (4)
- 【請求項１】鋼材とＸ線回折測定による最大の回折強度
をCrNの（220）面に持つCrの窒化物の被膜との間、又は
該Crの窒化物の被膜上に、周期律表IVa族及びVa族の元
素の窒化物，炭化物及び酸化物のうちの少なくとも１種
から成る被膜が形成された耐食耐摩耗性被覆鋼材。 - 【請求項２】金属クロム及び窒素ガスを原料として、イ
オンプレーティング法により鋼材上に、該鋼材に印加さ
れるバイアス電圧を−50〜−500VとしてCrの窒化物の被
膜を形成する方法において、窒素圧を5mTorr以上とする
ことを特徴とする請求項（１）に記載の耐食耐摩耗性被
覆鋼材の製造方法。 - 【請求項３】鋼材上に、第１層として、残留圧縮応力5G
Pa以下、厚み20μｍ以上の、Ti,Zr及びHfの窒化物のう
ちの少なくとも１種から成る被膜が形成され、第２層と
して、Ｘ線回折測定による最大の回折強度をCrNの（22
0）面に持つCrの窒化物の被膜が形成されてなる請求項
（１）に記載の耐食耐摩耗性被覆鋼材。 - 【請求項４】金属及び窒素ガスを原料として、イオンプ
レーティング法により鋼材上に窒化物の被膜を形成する
際、第１層として、（ａ）該金属をTi,Zr及びHfのうち
の少なくとも１種とし、（ｂ）該鋼材に印加されるバイ
アス電圧を０〜−50Vとして、且つ（ｃ）窒素圧を5mTor
r以上として厚み20μｍ以上の被膜を形成し、次に第２
層として、（ａ）該金属をCrとし、（ｂ）該鋼材に印加
されるバイアス電圧を−50〜−500Vとし、且つ（ｃ）窒
素圧を5mTorr以上とすることを特徴とする請求項（４）
に記載の耐食耐摩耗性被覆鋼材の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280857A JPH0735565B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63280857A JPH0735565B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02129360A JPH02129360A (ja) | 1990-05-17 |
| JPH0735565B2 true JPH0735565B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=17630943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63280857A Expired - Fee Related JPH0735565B2 (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 耐食耐摩耗性被覆鋼材及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735565B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021188628A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | 株式会社東芝 | 締結部材 |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02175858A (ja) * | 1988-12-27 | 1990-07-09 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 耐摩耗性被覆綱材及びその製造方法 |
| JP2608234B2 (ja) * | 1992-02-26 | 1997-05-07 | 東洋エンジニアリング株式会社 | 尿素合成プラント用減圧弁 |
| JP5824010B2 (ja) * | 2013-08-14 | 2015-11-25 | Ｄｏｗａサーモテック株式会社 | 硬質皮膜被覆部材 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56156767A (en) * | 1980-05-02 | 1981-12-03 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Highly hard substance covering material |
| JPS61257467A (ja) * | 1985-05-09 | 1986-11-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | セラミツク被膜 |
| JPS6324055A (ja) * | 1986-07-17 | 1988-02-01 | Kawasaki Steel Corp | 密着性および均質性に富む装飾品被膜のコ−テイング方法 |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP63280857A patent/JPH0735565B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021188628A (ja) * | 2020-05-26 | 2021-12-13 | 株式会社東芝 | 締結部材 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02129360A (ja) | 1990-05-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
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