SE0900317A1 - Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner - Google Patents

Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner

Info

Publication number
SE0900317A1
SE0900317A1 SE0900317A SE0900317A SE0900317A1 SE 0900317 A1 SE0900317 A1 SE 0900317A1 SE 0900317 A SE0900317 A SE 0900317A SE 0900317 A SE0900317 A SE 0900317A SE 0900317 A1 SE0900317 A1 SE 0900317A1
Authority
SE
Sweden
Prior art keywords
window
foil
electrons
frame
support plate
Prior art date
Application number
SE0900317A
Other languages
English (en)
Other versions
SE533567C2 (sv
Inventor
Paolo Benedetti
Luca Poppi
Original Assignee
Tetra Laval Holdings & Finance
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tetra Laval Holdings & Finance filed Critical Tetra Laval Holdings & Finance
Priority to SE0900317A priority Critical patent/SE533567C2/sv
Priority to JP2011553330A priority patent/JP5650672B2/ja
Priority to CN201080010765.3A priority patent/CN102341884B/zh
Priority to PCT/EP2010/001376 priority patent/WO2010102757A1/en
Priority to EP10707476.7A priority patent/EP2406807B1/en
Priority to ES10707476.7T priority patent/ES2532983T3/es
Publication of SE0900317A1 publication Critical patent/SE0900317A1/sv
Publication of SE533567C2 publication Critical patent/SE533567C2/sv
Priority to US13/255,303 priority patent/US9159522B2/en
Priority to US14/849,373 priority patent/US10032596B2/en

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H01J9/26—Sealing together parts of vessels
    • H01J9/263—Sealing together parts of vessels specially adapted for cathode-ray tubes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
    • B23K20/00—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating
    • B23K20/02—Non-electric welding by applying impact or other pressure, with or without the application of heat, e.g. cladding or plating by means of a press ; Diffusion bonding
    • G—PHYSICS
    • G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
    • G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
    • G21K5/00—Irradiation devices
    • G21K5/04—Irradiation devices with beam-forming means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
    • H01J33/02—Details
    • H01J33/04—Windows
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/16—Vessels; Containers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J5/00—Details relating to vessels or to leading-in conductors common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J5/02—Vessels; Containers; Shields associated therewith; Vacuum locks
    • H01J5/18—Windows permeable to X-rays, gamma-rays, or particles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/24—Manufacture or joining of vessels, leading-in conductors or bases
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/04—Means for controlling the discharge
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/16—Vessels
    • H01J2237/164—Particle-permeable windows
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
    • H01J2237/16—Vessels
    • H01J2237/166—Sealing means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T156/00—Adhesive bonding and miscellaneous chemical manufacture
    • Y10T156/10—Methods of surface bonding and/or assembly therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
    • Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • High Energy & Nuclear Physics (AREA)
  • Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Description

20 25 30 35 _ 2 _ fläns 104 som bär de komponenter som sammanhänger med utloppet av elektronstrålen, såsom en fönsterfolie 106 och en foliesupportplatta 108 som förhindrar att föns- terfolien 106 kollapsar, eftersom vakuum genereras in- uti anordningen 100. Under drift av elektronstrålean- ordningen är dessutom folien 106 utsatt för stark vär- me. Därför har foliesupportplattan 108 också det vikti- ga syftet att vid drift leda bort den värme som genere- ras i folien 106 från anordningens folie. Genom att hålla folietemperaturen måttlig, kan man uppnå en ökad livslängd på folien 106.
Vid tillverkning förbinds supportplattan 108, som är av koppar, med flänsen 104, som är skild från rörkroppen 102 i detta skede. Flänsen 104 är i allmänhet gjord av rostfritt stål. Fönsterfolien 106 förbinds sedan med foliesupportplattan 108 längs en linje som sträcker sig utefter omkretsen på foliesupportplattan 108 och över- skottet av fönsterfolie 106 trimmas bort. Folien 106 kan därefter beläggas för att förbättra dess egenskaper när det till exempel gäller värmeöverföring. Belägg- ningen görs på den sida av folien 106 som vetter mot utsidan av den elektronstrålegenererande anordningen 100. Flänsen 104 fästs därefter på rörkroppen 102 för att åstadkomma ett tätt hölje.
Sammanfattning av uppfinningen Uppfinnarna av föreliggande uppfinning har upptäckt att denna lösning enligt känd teknik inte är optimal när elektronstråleanordningen till exempel används i syre- innehållande omgivningar. Under dessa betingelser kom- mer de accelererade elektronerna att generera ozon, ett ämne som är kraftigt korrosivt. Ozonet kan korrodera kopparsupporten, vilket i sin tur kan påverka höljets täthet och funktionen för den elektronstrålegenererande anordningen. I förpackningsmaskiner som producerar livsmedelsförpackningar används dessutom ofta väteper- oxid för att sterilisera maskindelar innan produktionen av förpackningarna startar. Följaktligen kan kopparsup- 10 15 20 25 30 35 _3_ porten också komma i kontakt med väteperoxid. Väteper- oxid är också mycket korrosivt för kopparsupporten.
Den känsligaste platsen är kopparvolymen vid förbind- ningslinjen med folien 106. Här behöver bara korrosio- nen arbeta under förbindningslinjen, som bara är några få tiondels millimeter, för att ge upphov till det olyckliga resultat som beskrivits ovan.
Föreliggande uppfinning syftar till att lösa detta pro- blem genom att erbjuda ett förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner i en elektronstrå- legenererande anordning, varvid förfarandet innefattar stegen med att: anordna en foliesupportplatta på ett hölje till den elektronstrålegenererande anordningen, förbinda en fönsterfolie med en ram längs minst en kon- tinuerlig förbindningslinje, för att på så sätt åstad- komma en fönster-subenhet för utgående elektroner och fästa fönster-subenheten för utgående elektroner på höljet.
En annan fördel med detta monteringsförfarande är att folien kan beläggas på insidan, d.v.s. den sida som kommer att vara belägen mot insidan av den elektron- strålegenererande anordningen. Från ett slitageperspek- tiv är det en fördel att ha beläggningen på insidan där den skyddas från till exempel plasma. Om dessutom en beläggning skall anbringas på folien, behöver bara sub- enheten innefattande folien och ramen placeras i be- läggningsmaskinen.
Det finns flera fördelar med förfarandet enligt uppfin- ningen varav en är att förbindningen mellan folien och den korrosionsbeständiga ramen, som i sin tur är för- bunden med en fläns till höljet, kommer att utgöra en tätning, som kommer att skydda foliens kopparsupport- platta från att utsättas för sådana korrosiva ämnen som kan förorsaka korrosion och bristande täthet. lO l5 20 25 30 35 _ 4 _ En annan fördel är komponentkostnaderna och foliens be- ständighet. Att montera en anordning för elektronbe- strålning är en komplex tillverkningsmetod med många kritiska steg, varav till exempel ett är bindningen av folien till ramen och ett är den eventuella beläggning- en av folien. Dessutom är rörkroppen och flänsen dyra komponenter jämfört med folien. Genom att fästa folien på en ram, och genom att fästa nämnda ram på resten av den elektronstrålegenererande anordningen i ett sent skede av tillverkningsprocessen, kan man spara pengar om något av stegen vid tillverkningen av folien miss- lyckas.
Föredragna utföringsformer av förfarandet definieras av de beroende kraven.
Uppfinningen omfattar också en fönsterenhet för utgåen- de elektroner till en elektronstrålegenererande anord- ning innefattande en foliesupportplatta och en fönster- folie, vari foliesupportplattan är fäst på ett hölje till den elektronstrålegenererande anordningen, varvid nämnda fönsterfolie är förbunden med en ram längs minst en kontinuerlig förbindningslinje och bildar en föns- ter-subenhet för utgående lektroner, och nämnda föns- ter-subenhet är fäst vid ett hölje.
De fördelar som diskuterats i samband med förfarandet gäller också för fönsterenheten för utgående elektro- ner .
Föredragna utföringsformer av fönsterenheten för utgå- ende elektroner definieras av de beroende kraven.
Kort ritningsbeskrivning Nedan kommer ett exempel på en utföringsform av uppfin- ningen att beskrivas mera detaljerat med hänvisning till bifogade ritningar vari: 10 15 20 25 30 35 _5_ Fig. 1 är en schematisk sektionssvy i perspektiv av en elektronstráleanordning enligt känd teknik.
Fig. 2 är en schematisk delvy i sektion av anordningen i Fig. 1, visad som en sprängvy.
Fig. 3 är en schematisk delvy i sektion av en anordning enligt en första utföringsform av uppfinningen, för jämförelse med tvärsnittsvyn i Fig. 2, visad som en sprängvy.
Fig. 4 är en schematisk delvy i sektion liknande Fig. 3, men visad i monterat tillstànd, och Fig. 5 är en schematisk delvy i sektion av en folie försedd med en beläggning enligt en utföringsform av föreliggande uppfinning.
Beskrivning av föredragna utföringsformer Fig. 1 och 2, som visar en lösning enligt känd teknik, I ett exempel på en utföringsform 3 och 4, är en foliesupportplatta 208 anordnad pà höljet till har redan beskrivits. enligt föreliggande uppfinning, som visas i Fig. en elektronstràlegenererande anordning. Foliesupport- plattan 208 är lämpligen gjord av koppar och är förbun- den med en fläns 204 pà höljet. En möjlig förbindnings- teknik är hàrdlödning. Foliesupportplattan 208 är för- bunden med en kant 210 i en öppning 212 i flänsen 204.
I ett separat steg, eller i samma tillverkningssteg, plasmasvetsas nämnda fläns 204 på den rörkropp 202 som utgör nämnda hölje till den elektronsträlegenererande som ej visas, anordningen. I en annan utföringsform, görs rörkroppen 202 och flänsen 204 i ett stycke.
I ett separat steg binds fönsterfolien 206 pá en ram 214 för att åstadkomma en fönster-subenhet 216 för ut~ Ordet skall här tolkas som ett gående elektroner. "ram" element som har en konfiguration med ett centralt häl. 10 15 20 25 30 35 _ 6 _ Folien 206 är lämpligen gjord av titan och nämnda ram 214 är lämpligen gjord av rostfritt stål. Möjliga bind- ningstekniker kan till exempel vara lasersvetsning, hårdlödning, ning, diffusionsbindning och limning. I den exemplifie- elektronstrålesvetsning, ultraljudsvets- rade utföringsformen är folien 206 diffusionsbunden på ramen 214 längs en kontinuerlig förbindningslinje 218 som delvis visas i Fig. 4. Förbindningslinjen 218 är kontinuerlig för att man skall kunna bibehålla ett va- kuum inuti elektronstràleanordningen. Ordet "kontinuer- lig" används för att definiera att linjen är ändlös el- ler sluten. Dessutom bör det definieras att förbind- ningslinjen 218 sträcker sig längs hela konfigurationen av ramen 214, men innanför ramens 214 omkrets. Lämpli- gen har förbindningslinjen 218 ett avstånd från omkret- sen på ramen 214. Dessutom görs minst en förbindnings- linje 218. Följaktligen kan två eller flera förbind- ningslinjer göras. Till exempel kan en inre och en ytt- re förbindningslinje göras på ramen 214 och de två lin- jerna kan t.ex. vara koncentriska i förhållande till varandra.
I detta skede kan folien 206 eventuellt beläggas och i beläggningsprocessen behöver bara fönsterenheten 216 för utgående elektroner processas. Enligt denna utfö- ringsform kan folien 206 beläggas på båda sidorna, men lämpligen på insidan, d.v.s. på den sida av folien 206 som kommer att vara belägen mot insidan av den elek- tronstrålegenererande anordningen när den väl monte- rats.
I Fig. 5 visas folien 206 med en beläggning som benämns 206C.
Beläggningen 206C har till uppgift att öka värmeled- ningsförmågan för att öka livslängden på folien 206.
Såsom nämnts ovan är en fördel med föreliggande uppfin- ning att det är möjligt att anordna beläggningen 206C l0 15 20 25 30 35 _ 7 _ på insidan av folien 206. Plasma, som byggs upp utanför fönstret för utgående elektroner under drift av elek- tronstråleanordningen, kan nöta ner beläggningen på ett sådant fönster. På insidan av folien 206 kommer emel- lertid beläggningen 206C att vara skyddad från effek- terna av plasmat. Med föreliggande uppfinning finns det följaktligen möjligheter att välja mellan flera värme- ledande beläggningsmaterial, till exempel DLC (diamant- liknande kol), guld. koppar, aluminium, grafit, silver och Därefter kan ramen 214 och därmed fönster-subenheten 216 för utgående elektroner fästas på flänsdelen 204 av höljet.
Steget med att fästa fönster-subenheten 216 för utgåen- de elektroner på höljet genomförs så att den bildar ett skydd för foliesupportplattan 208 som tillförsäkrar att foliesupportplattan 208 inte exponeras för omgivningen utanför den elektronstràlegenererande anordningen. Så- som framgår av Fig. 3 och Fig. 4 anordnas ramen 214 i en fördjupning 220 som delvis bildas av flänsen 204 till höljet och delvis bildas av foliesupportplattan 208. fördjupningen för att ta emot ramen utformas i endast höljet.
I en alternativ utföringsform som ej visas, kan Ramen 214 i fönster-subenheten 216 för utgående elek- troner svetsas lämpligen på höljet.
Det framgår av Fig. 4 att ingen del av foliesupport- plattan 208 är exponerad för den omgivande atmosfären efter fästandet av fönster-subenheten 216 för utgående elektroner på höljet, varför eventuell korrosion av kopparsupportplattan 208 för folien förhindras.
När det gäller fördelarna kan man också nämna att föns- ter-subenheten 216 för utgående elektroner kan testas separat, så att den hermetiska tätningen i förbindning- 10 15 _ 8 _ en längs förbindningslinjen 218, mellan folien 206 och ramen 214 kan verifieras innan fönster-subenheten 216 för utgående elektroner svetsas pá flänsen 204. Om tät- ningen skulle ha brister kan fönster-subenheten 216 för utan att detta påverkar kostnaden eller produktionstiden i någon stör- utgående elektroner bara kastas bort, re utsträckning. Ramen 214 har i detta exempel på en utföringsform en tjocklek pá 3 mm och är gjord av rost- fritt stål.
Det finns ytterligare en fördel med lösningen enligt uppfinningen pá så sätt att fönsterfolien 206 blir ut- satt för färre processteg. Med hänsyn till tjockleken på folien 206 bör det noteras att allt bearbetningsar- bete pá eller nära folien 206 kan äventyra foliens 206 integritet.

Claims (15)

10 15 20 25 30 35 _ 9 _ PATENTKRAV
1. Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner till en elektronstrålegenererande anordning, varvid förfarandet innefattar stegen med att: anordna en foliesupportplatta (208) på ett hölje till den elektronstrålegenererande anordningen, (206) minst en kontinuerlig förbindningslinje (218) (216) elektroner och fästa fönster-subenheten (216) (214) längs och på så förbinda en fönsterfolie med en ram sätt åstadkomma en fönster-subenhet för utgående för utgå- ende elektroner pà höljet. innefattande steget med (216) elektroner på höljet på ett sådant sätt att den bildar ett skydd för foliesupportplattan (208) ler att foliesupportplattan (208)
2. Förfarande enligt krav 1, att fästa nämnda fönster-subenhet för utgående som säkerstäl- inte exponeras för omgivningen utanför den elektronstrálegenererande an- ordningen.
3. Förfarande enligt något av de föregående kraven, (216) ende elektroner innefattar steget med att anordna dess ram (214) höljet, dels formas av foliesupportplattan (208). varvid fästandet av fönster-subenheten för utgå- i en fördjupning (220) som dels formas av
4. Förfarande enligt något av de föregående kraven, in- nefattande steget med att diffusionsbinda nämnda föns- (206) (214). terfolie till ramen
5. Förfarande enligt något av de föregående kraven, in- nefattande steget med att förse fönsterfolien (206) med (216) för en beläggning (206C) innan fönster-subenheten utgående elektroner fästs på höljet.
6. Förfarande enligt krav 5, innefattande steget med att anordna nämnda beläggning (206C) på den sida av 10 15 20 25 30 35 _10- fönsterfolien (206) som kommer att vara vänd mot insi- dan av den elektronstrålegenererande anordningen när denna väl monterats.
7. Förfarande enligt något av de föregående kraven, varvid steget med att fästa fönster-subenheten (216) för utgående elektroner innefattar svetsning av ramen (214) på höljet.
8. Fönsterenhet för utgående elektroner till en elek- tronstrålegenererande anordning innefattande en folie- supportplatta och en fönsterfolie, vari (208) je till den elektronstrålegenererande anordningen, (206) (208) längs minst en kontinuerlig förbindningslinje (218) och (216) nämnda foliesupportplatta är anordnad på ett höl- nämnda fönsterfolie är förbunden med en ram bildar en fönster-subenhet för utgående elektro- ner och nämnda fönster-subenhet (216) för utgående elektroner är fäst på höljet.
9. Fönsterenhet för utgående elektroner enligt krav 8, (216) troner är fäst på höljet på så sätt att den utgör ett för att tillförsäk- vari nämnda fönster-subenhet för utgående elek- skydd för foliesupportplattan (208) (208) givningen utanför den elektronstrålegenererande anord- ra att foliesupportplattan inte exponeras för om- ningen.
10. Fönsterenhet för utgående elektroner enligt något till för utgående elektroner är an- av de föregående kraven 8-9, vari ramen (214) fönster-subenheten (216) ordnad i en fördjupning (220) som dels bildas av höl- jet, dels bildas av foliesupportplattan (208).
11. ll. Fönster-subenhet för utgående elektroner enligt nå- got av de föregående kraven 8-10, vari fönsterfolien (206) är diffusionsbunden till ramen (214). 10 15 _ 11 _
12. Fönster-subenhet för utgående elektroner enligt nå- got av de föregående kraven 8-11, vari fönsterfolien (206) är försedd med en beläggning (206C) innan föns- ter-subenheten (216) för utgående elektroner fästs på höljet.
13. Fönsterenhet för utgående elektroner enligt krav 12, vari nämnda beläggning (206C) är anordnad på den (206) den elektronstrålegenererande anordningen. sida av fönsterfolien som vetter mot insidan av
14. Fönster-subenhet för utgående elektroner enligt nå- got av de föregående kraven 8-13, vari ramen (214) är svetsad till höljet.
15. Fönster-subenhet för utgående elektroner enligt nå- got av de föregáende kraven 8-14, vari ramen (214) är gjord av rostfritt stål.
SE0900317A 2009-03-11 2009-03-11 Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner SE533567C2 (sv)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900317A SE533567C2 (sv) 2009-03-11 2009-03-11 Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner
JP2011553330A JP5650672B2 (ja) 2009-03-11 2010-03-05 電子出口窓の組立て方法および電子出口窓組立体
CN201080010765.3A CN102341884B (zh) 2009-03-11 2010-03-05 用于组装电子出射窗的方法和电子出射窗组件
PCT/EP2010/001376 WO2010102757A1 (en) 2009-03-11 2010-03-05 Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly
EP10707476.7A EP2406807B1 (en) 2009-03-11 2010-03-05 Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly
ES10707476.7T ES2532983T3 (es) 2009-03-11 2010-03-05 Método para montar una ventana de salida de electrones y conjunto de ventana de salida de electrones
US13/255,303 US9159522B2 (en) 2009-03-11 2011-09-08 Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly
US14/849,373 US10032596B2 (en) 2009-03-11 2015-09-09 Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SE0900317A SE533567C2 (sv) 2009-03-11 2009-03-11 Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner

Publications (2)

Publication Number Publication Date
SE0900317A1 true SE0900317A1 (sv) 2010-09-12
SE533567C2 SE533567C2 (sv) 2010-10-26

Family

ID=42224185

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SE0900317A SE533567C2 (sv) 2009-03-11 2009-03-11 Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner

Country Status (7)

Country Link
US (2) US9159522B2 (sv)
EP (1) EP2406807B1 (sv)
JP (1) JP5650672B2 (sv)
CN (1) CN102341884B (sv)
ES (1) ES2532983T3 (sv)
SE (1) SE533567C2 (sv)
WO (1) WO2010102757A1 (sv)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5886550B2 (ja) * 2011-07-14 2016-03-16 浜松ホトニクス株式会社 電子線照射装置及び電子線透過ユニット
JP5797037B2 (ja) * 2011-07-14 2015-10-21 浜松ホトニクス株式会社 電子線照射装置
JP6320414B2 (ja) 2012-12-20 2018-05-09 テトラ ラバル ホールディングス アンド ファイナンス エス エイ 電子線により包装容器を照射するための装置及び方法
DE102018001168B3 (de) * 2018-02-05 2019-05-16 Emz-Hanauer Gmbh & Co. Kgaa Haushaltskühlgerät mit einem Wand-Leuchtmodul
US10751549B2 (en) * 2018-07-18 2020-08-25 Kenneth Hogstrom Passive radiotherapy intensity modulator for electrons
CN111010794A (zh) * 2019-12-26 2020-04-14 北京机电工程研究所 一种等离子体产生单元及使用方法
EP4279403A3 (en) * 2022-04-26 2024-04-03 Tetra Laval Holdings & Finance S.A. Sterilization apparatus having an irradiation beam emitting device and packaging machine having a sterilization apparatus

Family Cites Families (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE333700A (sv) * 1925-04-28
US3211937A (en) * 1962-04-20 1965-10-12 Ross E Hester Carbon-coated electron-transmission window
US4045699A (en) * 1973-06-19 1977-08-30 Siemens Aktiengesellschaft Use of light-metal panes as x-ray transmissive windows
DE2606169C2 (de) * 1976-02-17 1983-09-01 Polymer-Physik GmbH & Co KG, 2844 Lemförde Elektronenaustrittsfenster für eine Elektronenstrahlquelle
DE2619293C3 (de) * 1976-04-30 1979-02-01 Siemens Ag, 1000 Berlin Und 8000 Muenchen Strahlendurchgangsfenster, insbesondere für Röntgenbildverstärker
JPS5836817B2 (ja) * 1976-05-17 1983-08-11 株式会社東芝 Ｘ線けい光増倍管
US4333036A (en) * 1980-04-28 1982-06-01 Rpc Industries Anode foil holder for broad beam electron gun
WO1981003597A1 (en) 1980-05-30 1981-12-10 M Fedotov Vacuum chamber of charged particle accelerator
JPS587010B2 (ja) * 1980-06-05 1983-02-08 株式会社東芝 放射線透過用窓を有する真空容器の製造方法
DE3022127A1 (de) * 1980-06-10 1982-01-07 Hahn-Meitner-Institut für Kernforschung Berlin GmbH, 1000 Berlin Strahlendurchtrittsfenster mit einer in einen rahmen gefassten duennen metallfolie
DE3108006A1 (de) 1981-03-03 1982-09-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Strahlenaustrittsfenster
JPS60131729A (ja) * 1983-12-19 1985-07-13 Toshiba Corp 真空容器及びその製造方法
JPS6138500A (ja) * 1984-07-30 1986-02-24 日新ハイボルテ−ジ株式会社 照射窓
DE3439190A1 (de) 1984-10-26 1986-04-30 Polymer-Physik GmbH & Co KG, 7400 Tübingen Niederenergetischer elektronenstrahler mit hoher leistung zur entschwefelung und/oder denitrierung von rauchgasen
DE3569850D1 (en) * 1984-12-10 1989-06-01 Siemens Ag X-ray image intensifier
US4591756A (en) 1985-02-25 1986-05-27 Energy Sciences, Inc. High power window and support structure for electron beam processors
US5161179A (en) * 1990-03-01 1992-11-03 Yamaha Corporation Beryllium window incorporated in X-ray radiation system and process of fabrication thereof
JPH04363700A (ja) * 1990-08-01 1992-12-16 Canon Inc Ｘ線透過窓およびその取付け方法
JPH052100A (ja) * 1990-10-12 1993-01-08 Toshiba Corp 電子ビーム照射装置および電子ビーム透過膜の製造方法
JP3492777B2 (ja) * 1993-10-29 2004-02-03 株式会社東芝 放射線イメージ増強管及びその製造方法
JP3580879B2 (ja) * 1995-01-19 2004-10-27 浜松ホトニクス株式会社 電子管デバイス
DE19518623C2 (de) 1995-05-24 2002-12-05 Igm Robotersysteme Ag Wiener N Vorrichtung zum Bestrahlen von Oberflächen mit Elektronen
US5751784A (en) * 1996-09-27 1998-05-12 Kevex X-Ray X-ray tube
JP3756681B2 (ja) * 1997-11-21 2006-03-15 東芝電子エンジニアリング株式会社 放射線イメージ管およびその製造方法
EP1028448A4 (en) * 1998-07-27 2004-03-10 Toshiba Kk X-RAY TUBE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR
JP2000306533A (ja) * 1999-02-19 2000-11-02 Toshiba Corp 透過放射型ｘ線管およびその製造方法
JP2001013300A (ja) * 1999-06-30 2001-01-19 Nissin High Voltage Co Ltd 照射窓
US7265367B2 (en) 2001-03-21 2007-09-04 Advanced Electron Beams, Inc. Electron beam emitter
EP1775752A3 (de) 2005-10-15 2007-06-13 Burth, Dirk, Dr. Herstellung eines Elektronenaustrittsfensters mittels eines Ätzprozesses
JP4584851B2 (ja) * 2006-03-10 2010-11-24 浜松ホトニクス株式会社 電子線発生装置
JP2008079891A (ja) * 2006-09-28 2008-04-10 Japan Ae Power Systems Corp 電子線照射装置
JP2008128977A (ja) * 2006-11-24 2008-06-05 Hamamatsu Photonics Kk 電子線照射装置
SE534156C2 (sv) * 2009-03-11 2011-05-17 Tetra Laval Holdings & Finance Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner
CN103503110A (zh) * 2011-06-08 2014-01-08 康姆艾德控股公司 X射线发射器
JP2015111504A (ja) * 2013-12-06 2015-06-18 株式会社東芝 Ｘ線管及びｘ線管の製造方法
JP2017168216A (ja) * 2016-03-14 2017-09-21 株式会社島津製作所 Ｘ線ターゲットおよびそれを備えたｘ線発生装置

Also Published As

Publication number Publication date
ES2532983T3 (es) 2015-04-06
EP2406807B1 (en) 2015-01-14
US9159522B2 (en) 2015-10-13
JP5650672B2 (ja) 2015-01-07
CN102341884B (zh) 2015-04-15
EP2406807A1 (en) 2012-01-18
JP2012519947A (ja) 2012-08-30
US20150380197A1 (en) 2015-12-31
US10032596B2 (en) 2018-07-24
CN102341884A (zh) 2012-02-01
US20120269997A1 (en) 2012-10-25
WO2010102757A1 (en) 2010-09-16
SE533567C2 (sv) 2010-10-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE0900317A1 (sv) Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner
EP2034288B1 (en) Manufacturing Method of Pressure Sensor and Pressure Sensor
EP3208588B1 (en) Pressure detection unit and pressure sensor using the same
SE0900316A1 (sv) Förfarande för montering av ett fönster för utgående elektroner och en fönsterenhet för utgående elektroner
US9831060B2 (en) X-ray generating apparatus and radiography system using the same
EP3128255B1 (en) Method of manufacturing a solar heat collecting device
JP5137914B2 (ja) 温度センサ一体型圧力センサ装置
JP2007234629A (ja) 半導体装置用パッケージ部品とこれを用いた半導体装置
JP2006220430A (ja) 圧力センサ及びその製造方法
JP2017146136A (ja) 圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ
US9027823B2 (en) Workpiece arrangement
JP2020008306A (ja) 圧力検出ユニット及びこれを用いた圧力センサ
WO2017187630A1 (ja) タンク、ターゲット生成装置、及び、極端紫外光生成装置
JP2000155062A (ja) 圧力検出器
US20190064023A1 (en) Sensor
JP2005062031A (ja) 静電容量型のサファイヤダイヤフラム圧力センサおよびその製造方法
CN218098045U (zh) 红外热成像传感器及其吸气剂封装组件
US9209100B2 (en) Housing having separate getter chamber for device operating under vacuum
JP2017058171A (ja) Ｘ線検出器及びその製造方法
JP2007225360A (ja) 圧力センサ

Legal Events

Date Code Title Description
NUG Patent has lapsed