JPS6138500A - 照射窓 - Google Patents
照射窓Info
- Publication number
- JPS6138500A JPS6138500A JP15958684A JP15958684A JPS6138500A JP S6138500 A JPS6138500 A JP S6138500A JP 15958684 A JP15958684 A JP 15958684A JP 15958684 A JP15958684 A JP 15958684A JP S6138500 A JPS6138500 A JP S6138500A
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- water
- irradiation window
- water cooling
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の分野）
この発明は、主に電子線照射装置に用いられる照射窓に
関する。
関する。
（先行技術の説明）
第１図は、電子線照射装置の加速装置部を示す概略図で
ある。ケーブル１には直流電源（図示省略）が接続され
ており、加速管２で加速された電子線は、スキャナ３に
より走査され、照０１窓４を経て大気中にある被照射物
に照射される。
ある。ケーブル１には直流電源（図示省略）が接続され
ており、加速管２で加速された電子線は、スキャナ３に
より走査され、照０１窓４を経て大気中にある被照射物
に照射される。
第２図は、照射窓に用いられる水冷グリッドを示ず斜？
Ｊ２図である。水冷グリッド５は、桟５３がロー付けさ
れた銅（無酸素銅）パイプ５２を複数本枠５１に差し込
み銀ロー付けして構成されている。桟５３の材質は例え
ばニッケルであり、枠５１の材質は例えばステンレスま
たはニッケルである。枠５１内には一通水路が形成され
ており、一方の水路穴５４から入った冷却水は、複数本
の銅バ１′ブ５２を並列に流れ、他方の水路穴５４から
外部に出る。これにより真空側と大気側とを分ｉする窓
箔（図示省略）等の冷却が行なわれる。
Ｊ２図である。水冷グリッド５は、桟５３がロー付けさ
れた銅（無酸素銅）パイプ５２を複数本枠５１に差し込
み銀ロー付けして構成されている。桟５３の材質は例え
ばニッケルであり、枠５１の材質は例えばステンレスま
たはニッケルである。枠５１内には一通水路が形成され
ており、一方の水路穴５４から入った冷却水は、複数本
の銅バ１′ブ５２を並列に流れ、他方の水路穴５４から
外部に出る。これにより真空側と大気側とを分ｉする窓
箔（図示省略）等の冷却が行なわれる。
この場合、もし照射窓４の長さＬが３０ ｃｍ程度以下
の場合は、第２図のような水冷グリッドをそのまま照射
窓４に用いればよい。しかしながら、照射窓４の長さし
が３０ ｃｍ程度以上の長尺になる場合、例えば６０
ｃｍとか９０ｃｍとかになる場合、長さが６０ ｃｍと
か９０ｃＩｎとかの長尺の水冷グリッド５を製作するこ
とは容易ではなく、そのためには特別な大型の設備を要
Ｊる。また、歪が大ぎくなることにより製品の歩留す悪
い。
の場合は、第２図のような水冷グリッドをそのまま照射
窓４に用いればよい。しかしながら、照射窓４の長さし
が３０ ｃｍ程度以上の長尺になる場合、例えば６０
ｃｍとか９０ｃｍとかになる場合、長さが６０ ｃｍと
か９０ｃＩｎとかの長尺の水冷グリッド５を製作するこ
とは容易ではなく、そのためには特別な大型の設備を要
Ｊる。また、歪が大ぎくなることにより製品の歩留す悪
い。
（発明の目的）
この発明は、製作が容易でかつ歩留の良い長尺の照射窓
を提供することを目的とする。
を提供することを目的とする。
（発明の構成）
この発明は、ユニット化された水冷グリッドを複数個ホ
ルダに固定することによって構成したことを特徴とする
照射窓である。
ルダに固定することによって構成したことを特徴とする
照射窓である。
（実施例の説明）
第３図ないし第８図は、それぞれ、この発明の実施例に
係る照射窓を部分的に示す図である。
係る照射窓を部分的に示す図である。
この内、第３図はユニット化された水冷グリッドを固定
するホルダの一部分を示す斜視図であり、第４図はその
ホルダに水冷グリッドを固定した状態を部分的に委す平
面図であり、第５図は第４図の線ｖ−■に沿う部分的な
断面図である。この実施例では、長さＭが２５ ｃｍな
いし３０α程度の第２図に示したような水冷グリッド５
をユニット化し、これを複数個ホルダに固定することに
より照口・ｊ窓４を構成している。叩ら、枠５１の水路
穴５４の所に通水パイプ７を溶接し、このような水冷グ
リッド５を上下２分割されているボルダ６で複数個挟み
込み、通水パイプ７をホルダ６に溶接すると共に、合せ
目６１の全周を気密溶接している。
するホルダの一部分を示す斜視図であり、第４図はその
ホルダに水冷グリッドを固定した状態を部分的に委す平
面図であり、第５図は第４図の線ｖ−■に沿う部分的な
断面図である。この実施例では、長さＭが２５ ｃｍな
いし３０α程度の第２図に示したような水冷グリッド５
をユニット化し、これを複数個ホルダに固定することに
より照口・ｊ窓４を構成している。叩ら、枠５１の水路
穴５４の所に通水パイプ７を溶接し、このような水冷グ
リッド５を上下２分割されているボルダ６で複数個挟み
込み、通水パイプ７をホルダ６に溶接すると共に、合せ
目６１の全周を気密溶接している。
第５図に示すように、ホルダ６には箔押え板１０により
、真空側■Ｓと大気側ＡＳとを分＋１１１１Ｔ＋’る窓
箔９が固定されている。ホルダ６とスキャナ３との間、
およびボルダ６と窓箔９（箔押え板１０）との間は、そ
れぞれ、０リング１７および１８により真空シールされ
ている。尚、符号２０．２１は溶接箇所を示す。
、真空側■Ｓと大気側ＡＳとを分＋１１１１Ｔ＋’る窓
箔９が固定されている。ホルダ６とスキャナ３との間、
およびボルダ６と窓箔９（箔押え板１０）との間は、そ
れぞれ、０リング１７および１８により真空シールされ
ている。尚、符号２０．２１は溶接箇所を示す。
以上のように水冷グリッドをユニット化して複数個ホル
ダに固定することにより、長さが３０ｃｍ程度以上の長
尺の照射窓を製作、する場合にも、特別な大型の設備を
要することなく容易に製作できる。また、水冷グリッド
が長尺にならないため製品の歩留ら良い。
ダに固定することにより、長さが３０ｃｍ程度以上の長
尺の照射窓を製作、する場合にも、特別な大型の設備を
要することなく容易に製作できる。また、水冷グリッド
が長尺にならないため製品の歩留ら良い。
ただ、以上のような照射窓においては、ボルダ６が全周
気密溶接であるため製缶歪が大きく、通水パイプ７との
１■合が難しい等の問題が残る。また、製作後の気密性
テスｌ−で漏れが発見された場合とか、使用中にどれか
の水冷グリッドの一部にＪａｉｌ Ｉｇｌを受けた場合
、例えば銅パイプ５２の内の一部が詰っｌこり、桟５３
の内の１つが曲ったすした場合とかにＪ３いてＣま、溶
接（１４造で一体化されているために、照射窓一式を新
たに製作しなければならないという面しある。
気密溶接であるため製缶歪が大きく、通水パイプ７との
１■合が難しい等の問題が残る。また、製作後の気密性
テスｌ−で漏れが発見された場合とか、使用中にどれか
の水冷グリッドの一部にＪａｉｌ Ｉｇｌを受けた場合
、例えば銅パイプ５２の内の一部が詰っｌこり、桟５３
の内の１つが曲ったすした場合とかにＪ３いてＣま、溶
接（１４造で一体化されているために、照射窓一式を新
たに製作しなければならないという面しある。
そこで、これらを解決できる他の構造の照射窓を次に説
明する。第６図はユニット化さ屯た水冷グリッドを固定
ツる伯の（１４造のホルダの一部分を示す斜視図であり
、第７図はそのホルダに水冷グリッドを固定した状態を
部分的に示す平面図であり、第８図は第７図の線■−■
に沿う部分的な断面図である。以下、上述した照射窓と
の相違点を主に説明する。
明する。第６図はユニット化さ屯た水冷グリッドを固定
ツる伯の（１４造のホルダの一部分を示す斜視図であり
、第７図はそのホルダに水冷グリッドを固定した状態を
部分的に示す平面図であり、第８図は第７図の線■−■
に沿う部分的な断面図である。以下、上述した照射窓と
の相違点を主に説明する。
ホルダ１１は、上述のような上下２分ｕＪ ８４ ａで
はなく一体形であり、このホルダ１１にユニット化され
た水冷グリッド５を固定ボルト１１１，１１１′を用い
て、言わば吊り下げるような形で固定している。ホルダ
１１の側面にはパイプ穴１１２が聞けられており、パイ
プ穴１１２の周囲はシール面とされている。一方、通水
パイプ１３には固定板１２が気密溶接されており（第８
図の溶接箇所１９参照）、この固定板１２には１１１′
ｉ加工が施されてそこにパツキンとしてのＯリング１５
が１１１Ｉ人されている。そのような通水パイプ１３を
パイプ穴１１２に差し込み、ボルト１４で固定して、０
リング１５で真−空シ、−ルを行っている。
はなく一体形であり、このホルダ１１にユニット化され
た水冷グリッド５を固定ボルト１１１，１１１′を用い
て、言わば吊り下げるような形で固定している。ホルダ
１１の側面にはパイプ穴１１２が聞けられており、パイ
プ穴１１２の周囲はシール面とされている。一方、通水
パイプ１３には固定板１２が気密溶接されており（第８
図の溶接箇所１９参照）、この固定板１２には１１１′
ｉ加工が施されてそこにパツキンとしてのＯリング１５
が１１１Ｉ人されている。そのような通水パイプ１３を
パイプ穴１１２に差し込み、ボルト１４で固定して、０
リング１５で真−空シ、−ルを行っている。
一方、パイプ穴１１２に通水パイプ１３を差し込むと、
枠５１の水路穴５４と通水パイプ１３とは連通して水が
通るようになっている。しがも水路穴５４の周囲はシー
ル面とされており、通水パイプ１３の先端にも溝加工が
施されてそこにパツキンとしての０リング１６が挿入さ
れていて、このＯリング１６が押しつぶされることによ
り連通部が水シールされている。このように、溶接は通
水パイプ１３と固定板１２との間のみであり、２ｍシー
ルＩＭ造によって水系統と真空系統とを同時にシールす
るようになっている。
枠５１の水路穴５４と通水パイプ１３とは連通して水が
通るようになっている。しがも水路穴５４の周囲はシー
ル面とされており、通水パイプ１３の先端にも溝加工が
施されてそこにパツキンとしての０リング１６が挿入さ
れていて、このＯリング１６が押しつぶされることによ
り連通部が水シールされている。このように、溶接は通
水パイプ１３と固定板１２との間のみであり、２ｍシー
ルＩＭ造によって水系統と真空系統とを同時にシールす
るようになっている。
尚、水冷グリッドの各ユニットの組立て誤差により、通
水パイプ１３の先端の当り面である水路シール面にばら
つきが出る場合があるが、パイプ穴１１２の直径に余裕
を１３だせ、固定板１２の穴をタイトにしてここを支点
とすることにより調整することができる。その時、枠５
１の位置を同時に調整して固定ボルト１１１，１１１’
で固定する。この場合、固定ボルト１１１，１１１’の
内、２〜４本のｖＪｌ定ボルト１１１′のみをタイトに
し、残り−０ボルトにガタを持たせておくと容易にシー
ル面の調整をすることができる。以上のようにすること
により、一旦ユニットを取外しても同位置を容易に再現
することができる。
水パイプ１３の先端の当り面である水路シール面にばら
つきが出る場合があるが、パイプ穴１１２の直径に余裕
を１３だせ、固定板１２の穴をタイトにしてここを支点
とすることにより調整することができる。その時、枠５
１の位置を同時に調整して固定ボルト１１１，１１１’
で固定する。この場合、固定ボルト１１１，１１１’の
内、２〜４本のｖＪｌ定ボルト１１１′のみをタイトに
し、残り−０ボルトにガタを持たせておくと容易にシー
ル面の調整をすることができる。以上のようにすること
により、一旦ユニットを取外しても同位置を容易に再現
することができる。
また、通水パイプ１３の挿入長さは各ユニットごとに差
が生じる場合があるが、初めに調整した箇所で使用する
限り、外部からのボルト１４による固定だけで、内部の
水路シールと外部の真空シールとを同時に行うことがで
き、しかも、再現性も備えている。
が生じる場合があるが、初めに調整した箇所で使用する
限り、外部からのボルト１４による固定だけで、内部の
水路シールと外部の真空シールとを同時に行うことがで
き、しかも、再現性も備えている。
このような照射窓においては、ユニットの部分的な損傷
に対しては、上述のような溶接１１４造を採用していな
いので、損傷を受電プたユニットのみを交換するだけで
対処することができる。また、１１１ルダの製作におい
て溶接歪みが生じないので、照射窓を殆ど曙械加工精度
に近い高精疫で製作することができる。これによって、
溶接者個人のスキルに頼ることなく、製作時間と技術と
を予め規定することができ、工程管理および品質管理が
極めて容易になる。
に対しては、上述のような溶接１１４造を採用していな
いので、損傷を受電プたユニットのみを交換するだけで
対処することができる。また、１１１ルダの製作におい
て溶接歪みが生じないので、照射窓を殆ど曙械加工精度
に近い高精疫で製作することができる。これによって、
溶接者個人のスキルに頼ることなく、製作時間と技術と
を予め規定することができ、工程管理および品質管理が
極めて容易になる。
尚、以上においては、この発明を電子線照射装置用の照
射窓を例に説明したが、この発明はそれに限られること
はなく、真空中から大気中に荷電粒子を照射するための
照ｒＪ３窓に広く適用することができる。
射窓を例に説明したが、この発明はそれに限られること
はなく、真空中から大気中に荷電粒子を照射するための
照ｒＪ３窓に広く適用することができる。
（発明の効果）
以上のように、この発明によれば、長尺の照射窓を容易
に製作することがでさ、しがも製品の歩留も良い。
に製作することがでさ、しがも製品の歩留も良い。
第１図は、電子線照射装置の加速装置部を示す概略図で
ある。第２図は、照射窓に用いられる水冷グリッドを示
ず斜視図である。第３図ないし第８図は、それぞれ、こ
の発明の実施例に係る照射窓を部分的に示す図である。 第３図は水冷グリッドを固定するホルダの一部分を示寸
概略図であり、第４図はホルダに水冷グリッドを固定し
た状態を部分的に示ず平面図であり、第５図は第４図の
線■−■に沿う部分的な断面図である。第６図は水冷グ
リッドを固定する他の１？’Ｓｎのホルダの一部分を示
す斜視図であり、第７図はそのホルダ製水冷グリッドを
固定した状態を部分的に示す平面図であり、第８図は第
７図の線■−■に冶う部分的な断面図である。 ５・・・水冷グリッド、５４・・・水路穴、６．１１・
・・ボルダ、１２・・・固定板、１３・・・通水パイプ
、１５゜１６・・・０リング 第３図 第４図 第５図 第６図
ある。第２図は、照射窓に用いられる水冷グリッドを示
ず斜視図である。第３図ないし第８図は、それぞれ、こ
の発明の実施例に係る照射窓を部分的に示す図である。 第３図は水冷グリッドを固定するホルダの一部分を示寸
概略図であり、第４図はホルダに水冷グリッドを固定し
た状態を部分的に示ず平面図であり、第５図は第４図の
線■−■に沿う部分的な断面図である。第６図は水冷グ
リッドを固定する他の１？’Ｓｎのホルダの一部分を示
す斜視図であり、第７図はそのホルダ製水冷グリッドを
固定した状態を部分的に示す平面図であり、第８図は第
７図の線■−■に冶う部分的な断面図である。 ５・・・水冷グリッド、５４・・・水路穴、６．１１・
・・ボルダ、１２・・・固定板、１３・・・通水パイプ
、１５゜１６・・・０リング 第３図 第４図 第５図 第６図
Claims (2)
- （１）真空中から大気中に荷電粒子を照射するために用
いられる照射窓であって、ユニット化された水冷グリッ
ドを複数個ホルダに固定することによって構成したこと
を特徴とする照射窓。 - （２）真空中から大気中に荷電粒子を照射するために用
いられる照射窓であって、ユニット化された水冷グリッ
ドを複数個ホルダに取外し可能に固定し、固定板が気密
溶接された通水パイプをホルダのパイプ穴に差し込み、
固定板とホルダとの間をパッキンで真空シールし、水冷
グリッドの水路穴と通水パイプとを連通させかつ連通部
をパッキンで水シールしたことを特徴とする照射窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15958684A JPS6138500A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 照射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15958684A JPS6138500A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 照射窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6138500A true JPS6138500A (ja) | 1986-02-24 |
| JPH0531760B2 JPH0531760B2 (ja) | 1993-05-13 |
Family
ID=15696945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15958684A Granted JPS6138500A (ja) | 1984-07-30 | 1984-07-30 | 照射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6138500A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6270273B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-08-07 | Suzuno Kasei Kabushiki Kaisha | Liquid cosmetic container |
| JP2012519947A (ja) * | 2009-03-11 | 2012-08-30 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 電子出口窓の組立て方法および電子出口窓組立体 |
| EP3540744A4 (en) * | 2016-11-09 | 2019-11-06 | Hitachi Zosen Corporation | ELECTRON IRRADIATION DEVICE |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP3122385B2 (en) | 2014-03-24 | 2022-06-15 | Tetra Laval Holdings & Finance SA | Electron beam emitter |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5290798A (en) * | 1976-01-26 | 1977-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | Exit window for charged particles |
| JPS5299763A (en) * | 1976-02-17 | 1977-08-22 | Polymer Physik Gmbh | Electron emission source |
-
1984
- 1984-07-30 JP JP15958684A patent/JPS6138500A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5290798A (en) * | 1976-01-26 | 1977-07-30 | Mitsubishi Electric Corp | Exit window for charged particles |
| JPS5299763A (en) * | 1976-02-17 | 1977-08-22 | Polymer Physik Gmbh | Electron emission source |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6270273B1 (en) | 1998-03-02 | 2001-08-07 | Suzuno Kasei Kabushiki Kaisha | Liquid cosmetic container |
| JP2012519947A (ja) * | 2009-03-11 | 2012-08-30 | テトラ ラバル ホールデイングス エ フイナンス ソシエテ アノニム | 電子出口窓の組立て方法および電子出口窓組立体 |
| US9159522B2 (en) | 2009-03-11 | 2015-10-13 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly |
| US10032596B2 (en) | 2009-03-11 | 2018-07-24 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly |
| EP3540744A4 (en) * | 2016-11-09 | 2019-11-06 | Hitachi Zosen Corporation | ELECTRON IRRADIATION DEVICE |
| US10720256B2 (en) | 2016-11-09 | 2020-07-21 | Hitachi Zosen Corporation | Electron beam irradiating device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0531760B2 (ja) | 1993-05-13 |
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