JPH05166462A - 平板型表示装置用真空容器の製造方法 - Google Patents
平板型表示装置用真空容器の製造方法Info
- Publication number
- JPH05166462A JPH05166462A JP3333002A JP33300291A JPH05166462A JP H05166462 A JPH05166462 A JP H05166462A JP 3333002 A JP3333002 A JP 3333002A JP 33300291 A JP33300291 A JP 33300291A JP H05166462 A JPH05166462 A JP H05166462A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- laser
- welding
- vacuum container
- display device
- container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Laser Beam Processing (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
- Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高気密性の維持できる、信頼性の高い平板型
表示装置用の真空容器を製造できる製造方法を提供す
る。 【構成】 フェースガラス１と、その周辺部にフリット
ガラス３によって接着された被接合部材２、フェースガ
ラス１に対向する金属容器４とから構成された真空容器
において、金属容器４のフランジ部４ａと被接合部材２
とをり密着化させ、レーザ加工ノズル５からレーザビー
ム６を照射してレーザ溶接することによって気密封止す
る。このとき形成されたレーザ溶接部７の表層に、１度
目のレーザ照射時より低く、かつレーザ溶接部７の再溶
融が可能なパワー密度でレーザビーム６を照射する。ク
ラックの発生していたレーザ溶接部７の表層は低パワー
で照射することにより、クラックを発生することなく再
溶融層８を形成する。
表示装置用の真空容器を製造できる製造方法を提供す
る。 【構成】 フェースガラス１と、その周辺部にフリット
ガラス３によって接着された被接合部材２、フェースガ
ラス１に対向する金属容器４とから構成された真空容器
において、金属容器４のフランジ部４ａと被接合部材２
とをり密着化させ、レーザ加工ノズル５からレーザビー
ム６を照射してレーザ溶接することによって気密封止す
る。このとき形成されたレーザ溶接部７の表層に、１度
目のレーザ照射時より低く、かつレーザ溶接部７の再溶
融が可能なパワー密度でレーザビーム６を照射する。ク
ラックの発生していたレーザ溶接部７の表層は低パワー
で照射することにより、クラックを発生することなく再
溶融層８を形成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は電子ビームを用いた平板
型表示装置用真空容器の製造方法に関するものである。
型表示装置用真空容器の製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、電子ビームを用いた平板型表示装
置用の真空容器の製造方法としてはフリットガラス（低
融点ガラス）によって約450 ℃で封着する方法が一般的
であった。しかし、真空容器全体がこのような熱プロセ
スを経ると、電極構体の精度が維持できず、面質面に大
きな影響が及ぼされる。このような観点から、特開昭60
-97531号公報では溶接手段によって真空容器を気密封止
する方法が提案されている。
置用の真空容器の製造方法としてはフリットガラス（低
融点ガラス）によって約450 ℃で封着する方法が一般的
であった。しかし、真空容器全体がこのような熱プロセ
スを経ると、電極構体の精度が維持できず、面質面に大
きな影響が及ぼされる。このような観点から、特開昭60
-97531号公報では溶接手段によって真空容器を気密封止
する方法が提案されている。
【０００３】以下、図面を参照しながら、上記した従来
の溶接手段によって気密封止する真空容器の製造方法の
一例について説明する。図７は従来の溶接手段によって
気密封止する真空容器を示すものである。図７におい
て、21は平板型表示装置の表容器である。22は裏容器の
一構成要素である枠体、23は裏容器の一構成要素である
裏板で、枠体22と裏板23は電極構体からの電極を引き出
すためのリード線24を挟んで封着用粉末ガラス25によっ
て封着されている。26は表容器21と裏容器の枠体22が溶
接などで封着されている封着部である。これらの金属板
27,28 は封着用粉末ガラス25によって表容器21や枠体22
に封着されている。
の溶接手段によって気密封止する真空容器の製造方法の
一例について説明する。図７は従来の溶接手段によって
気密封止する真空容器を示すものである。図７におい
て、21は平板型表示装置の表容器である。22は裏容器の
一構成要素である枠体、23は裏容器の一構成要素である
裏板で、枠体22と裏板23は電極構体からの電極を引き出
すためのリード線24を挟んで封着用粉末ガラス25によっ
て封着されている。26は表容器21と裏容器の枠体22が溶
接などで封着されている封着部である。これらの金属板
27,28 は封着用粉末ガラス25によって表容器21や枠体22
に封着されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、封着部
26のように平板型表示装置用の真空容器を溶接手段で気
密封止しようとする場合、以下のような課題が残されて
いた。
26のように平板型表示装置用の真空容器を溶接手段で気
密封止しようとする場合、以下のような課題が残されて
いた。
【０００５】一般に薄板同士を溶接する場合、気密性確
保および強度の観点から、このレーザ溶接部は完全溶け
込み形状が望ましい。完全溶け込み溶接とするためには
レーザビームを照射するときのパワー密度は高くする必
要がある。しかしながら、パワー密度を大きくした場
合、高温割れによるクラックが発生し易くなる。このク
ラックは特にレーザ溶接部の表層で顕著であり、このク
ラック部分が経路となってリークするという問題があっ
た。
保および強度の観点から、このレーザ溶接部は完全溶け
込み形状が望ましい。完全溶け込み溶接とするためには
レーザビームを照射するときのパワー密度は高くする必
要がある。しかしながら、パワー密度を大きくした場
合、高温割れによるクラックが発生し易くなる。このク
ラックは特にレーザ溶接部の表層で顕著であり、このク
ラック部分が経路となってリークするという問題があっ
た。
【０００６】本発明は上記問題を解決するもので、高気
密性の維持できる、信頼性の高い平板型表示装置用真空
容器を製造できる製造方法を提供することを目的とする
ものである。
密性の維持できる、信頼性の高い平板型表示装置用真空
容器を製造できる製造方法を提供することを目的とする
ものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記問題を解決する手段
は以下の通りである。すなわち、少なくとも開口周縁に
フランジ部が形成された金属容器と、この金属容器に接
合される被接合部材とを有する平板型表示装置用の真空
容器の気密封止をレーザ溶接によって行うに際し、前記
真空容器の外周をレーザ溶接した後に、以下の(1) 〜
(4) に示す何れかの方法を用いる。
は以下の通りである。すなわち、少なくとも開口周縁に
フランジ部が形成された金属容器と、この金属容器に接
合される被接合部材とを有する平板型表示装置用の真空
容器の気密封止をレーザ溶接によって行うに際し、前記
真空容器の外周をレーザ溶接した後に、以下の(1) 〜
(4) に示す何れかの方法を用いる。
【０００８】(1) 前記レーザ溶接を施したときよりも低
パワー密度で同一部分に再度レーザビームを照射する。 (2) 前記レーザ溶接部表面に別途の金属層を設け、前記
金属層が溶融可能なパワー密度でレーザ照射する。
パワー密度で同一部分に再度レーザビームを照射する。 (2) 前記レーザ溶接部表面に別途の金属層を設け、前記
金属層が溶融可能なパワー密度でレーザ照射する。
【０００９】(3) 前記レーザ溶接部表面を別途の金属部
材で覆うようにして内周と外周とをレーザ溶接すること
により、前記レーザ溶接表面を気密封止する。 (4) 前記レーザ溶接を施した箇所より内周の部分を前記
レーザ溶接条件よりも低パワー密度でレーザ溶接する。
材で覆うようにして内周と外周とをレーザ溶接すること
により、前記レーザ溶接表面を気密封止する。 (4) 前記レーザ溶接を施した箇所より内周の部分を前記
レーザ溶接条件よりも低パワー密度でレーザ溶接する。
【００１０】
【作用】本発明の作用は以下の通りである。気密封止の
ための１度目のレーザ溶接でレーザ溶接部の表層にクラ
ックなどの溶接欠陥が発生していた場合、 (1) １度目のレーザ溶接時よりも低パワー密度でレーザ
照射することにより、表層部がクラックなどを発生せず
に再溶融する。 (2) 金属層にレーザを照射することにより、この金属層
が溶融し、その溶融金属がレーザ溶接部表層に発生した
クラックなどに流れ込むことによってクラックなどが塞
止される。 (3) １度目のレーザ溶接部を覆うようにして内周と外周
とをレーザ溶接することにより、１度目のレーザ溶接部
が金属部材で気密封止される。 (4) １度目の外周のレーザ溶接を完全とけ込み溶接とす
ることにより、気密性と強度が確保される。さらに、そ
の内周を１度目のレーザ溶接時よりも低パワー密度で溶
接することで、クラックなどの溶接欠陥のない高気密性
が確保できる。つまり、異なった溶接条件で得られた二
種類のレーザ溶接部を有することによって信頼性が向上
する。
ための１度目のレーザ溶接でレーザ溶接部の表層にクラ
ックなどの溶接欠陥が発生していた場合、 (1) １度目のレーザ溶接時よりも低パワー密度でレーザ
照射することにより、表層部がクラックなどを発生せず
に再溶融する。 (2) 金属層にレーザを照射することにより、この金属層
が溶融し、その溶融金属がレーザ溶接部表層に発生した
クラックなどに流れ込むことによってクラックなどが塞
止される。 (3) １度目のレーザ溶接部を覆うようにして内周と外周
とをレーザ溶接することにより、１度目のレーザ溶接部
が金属部材で気密封止される。 (4) １度目の外周のレーザ溶接を完全とけ込み溶接とす
ることにより、気密性と強度が確保される。さらに、そ
の内周を１度目のレーザ溶接時よりも低パワー密度で溶
接することで、クラックなどの溶接欠陥のない高気密性
が確保できる。つまり、異なった溶接条件で得られた二
種類のレーザ溶接部を有することによって信頼性が向上
する。
【００１１】以上のように、１度目のレーザ溶接でレー
ザ溶接部の表層にクラックなどの溶接欠陥が発生してい
た場合でも高気密性を維持できる信頼性の高い真空容器
を得ることができる。
ザ溶接部の表層にクラックなどの溶接欠陥が発生してい
た場合でも高気密性を維持できる信頼性の高い真空容器
を得ることができる。
【００１２】
【実施例】以下、本発明の一実施例の平板型表示装置用
真空容器の製造方法について、図面を参照しながら説明
する。
真空容器の製造方法について、図面を参照しながら説明
する。
【００１３】図２および図３は本発明の各実施例に係る
平板型表示装置用真空容器の製造方法を示すものであ
り、図２は平板型表示装置用真空容器のレーザ溶接部の
斜視図、図３はレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
図１において、１はフェースガラス、２はフェースガラ
ス１の周辺部に接着された被接合部材、３は被接合部材
２をフェースガラス１に接着するためのフリットガラ
ス、４はフェースガラス１に対向する金属容器、４ａは
金属容器４の開口周縁に形成されたフランジ部である。
このように構成された平板型表示装置用の真空容器にお
いて、フランジ部４ａと被接合部材２とを固定治具によ
り密着化させ、レーザ加工ノズル５からレーザビーム６
を照射してレーザ溶接することによって気密封止する。
平板型表示装置用真空容器の製造方法を示すものであ
り、図２は平板型表示装置用真空容器のレーザ溶接部の
斜視図、図３はレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
図１において、１はフェースガラス、２はフェースガラ
ス１の周辺部に接着された被接合部材、３は被接合部材
２をフェースガラス１に接着するためのフリットガラ
ス、４はフェースガラス１に対向する金属容器、４ａは
金属容器４の開口周縁に形成されたフランジ部である。
このように構成された平板型表示装置用の真空容器にお
いて、フランジ部４ａと被接合部材２とを固定治具によ
り密着化させ、レーザ加工ノズル５からレーザビーム６
を照射してレーザ溶接することによって気密封止する。
【００１４】図１は本発明の第１の実施例に係る平板型
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。上記のごとく真空容器の外周をレーザ溶接するこ
とにより、まずレーザ溶接部７が形成される。一般に薄
板同士を溶接する場合、気密性確保および強度の観点か
ら、このレーザ溶接部７は完全溶け込み形状が望まし
い。完全溶け込み溶接とするためにはレーザビーム６を
照射するときのパワー密度は高くする必要がある。しか
しながら、パワー密度を大きくした場合、高温割れによ
るクラックが発生し易くなる。このクラックは特にレー
ザ溶接部７の表層で顕著であり、これが経路となってリ
ークするという問題があった。
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。上記のごとく真空容器の外周をレーザ溶接するこ
とにより、まずレーザ溶接部７が形成される。一般に薄
板同士を溶接する場合、気密性確保および強度の観点か
ら、このレーザ溶接部７は完全溶け込み形状が望まし
い。完全溶け込み溶接とするためにはレーザビーム６を
照射するときのパワー密度は高くする必要がある。しか
しながら、パワー密度を大きくした場合、高温割れによ
るクラックが発生し易くなる。このクラックは特にレー
ザ溶接部７の表層で顕著であり、これが経路となってリ
ークするという問題があった。
【００１５】そこで、気密封止のための１度目のレーザ
照射で形成されたレーザ溶接部７の表層に、１度目のレ
ーザ照射時より低く、かつレーザ溶接部７の再溶融が可
能なパワー密度でレーザビーム６を照射する。クラック
の発生していたレーザ溶接部７の表層は低パワー密度で
照射することにより、クラックを発生することなく再溶
融層８を形成することが可能である。たとえば、１度目
のレーザ溶接をＣＯ2レーザで出力300 Ｗで行った結
果、レーザ溶接部７の表層に幅10μｍ程度のクラックが
生じたが、他条件は同一で出力のみ100 Ｗにして再度レ
ーザ照射することにより新たなビードが形成され発生し
たクラックはなくなった。
照射で形成されたレーザ溶接部７の表層に、１度目のレ
ーザ照射時より低く、かつレーザ溶接部７の再溶融が可
能なパワー密度でレーザビーム６を照射する。クラック
の発生していたレーザ溶接部７の表層は低パワー密度で
照射することにより、クラックを発生することなく再溶
融層８を形成することが可能である。たとえば、１度目
のレーザ溶接をＣＯ2レーザで出力300 Ｗで行った結
果、レーザ溶接部７の表層に幅10μｍ程度のクラックが
生じたが、他条件は同一で出力のみ100 Ｗにして再度レ
ーザ照射することにより新たなビードが形成され発生し
たクラックはなくなった。
【００１６】したがって、１度目のレーザ溶接でレーザ
溶接部７の表層にクラックなどの溶接欠陥が発生してい
た場合でも高気密性を維持できる信頼性の高い真空容器
を得ることができる。
溶接部７の表層にクラックなどの溶接欠陥が発生してい
た場合でも高気密性を維持できる信頼性の高い真空容器
を得ることができる。
【００１７】図４は本発明の第２の実施例に係る平板型
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。第１の実施例と同様に真空容器の外周をレーザ溶
接することにより、まず完全溶け込み形状のレーザ溶接
部７が形成される。次にレーザ溶接部７を覆うように別
途の金属層９を載置する。この金属層９は金属箔でも金
属粉末層でもよいが、少なくとも金属容器４および被接
合部材２よりも融点が低く、濡れ性が良好なものを使用
する。この金属層９にレーザビーム６を照射すれば、こ
の金属層９が溶融し、その溶融金属がレーザ溶接部７の
表層に発生したクラックなどに流れ込み塞止する。した
がって、１度目のレーザ溶接でレーザ溶接部７の表層に
クラックなどの溶接欠陥が発生していた場合でも高気密
性を維持できる信頼性の高い真空容器を得ることができ
る。
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。第１の実施例と同様に真空容器の外周をレーザ溶
接することにより、まず完全溶け込み形状のレーザ溶接
部７が形成される。次にレーザ溶接部７を覆うように別
途の金属層９を載置する。この金属層９は金属箔でも金
属粉末層でもよいが、少なくとも金属容器４および被接
合部材２よりも融点が低く、濡れ性が良好なものを使用
する。この金属層９にレーザビーム６を照射すれば、こ
の金属層９が溶融し、その溶融金属がレーザ溶接部７の
表層に発生したクラックなどに流れ込み塞止する。した
がって、１度目のレーザ溶接でレーザ溶接部７の表層に
クラックなどの溶接欠陥が発生していた場合でも高気密
性を維持できる信頼性の高い真空容器を得ることができ
る。
【００１８】図５は本発明の第３の実施例に係る平板型
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。第１の実施例と同様に真空容器の外周をレーザ溶
接することにより、まず完全溶け込み形状のレーザ溶接
部７が形成される。次にレーザ溶接部７を覆うように別
途の金属部材10を載置し、固定治具により金属容器４の
フランジ部４ａと密着化させ、レーザ加工ノズル５から
レーザビーム６を照射してレーザ溶接することによって
気密封止する。このとき形成されるレーザ溶接部11ａ，
11ｂにクラックなどの溶接欠陥を発生させないために、
フランジ部４ａの下部まで貫通させず、また、金属部材
10には金属容器４と同じ材質のものを使用することが望
ましい。
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。第１の実施例と同様に真空容器の外周をレーザ溶
接することにより、まず完全溶け込み形状のレーザ溶接
部７が形成される。次にレーザ溶接部７を覆うように別
途の金属部材10を載置し、固定治具により金属容器４の
フランジ部４ａと密着化させ、レーザ加工ノズル５から
レーザビーム６を照射してレーザ溶接することによって
気密封止する。このとき形成されるレーザ溶接部11ａ，
11ｂにクラックなどの溶接欠陥を発生させないために、
フランジ部４ａの下部まで貫通させず、また、金属部材
10には金属容器４と同じ材質のものを使用することが望
ましい。
【００１９】このような構成にすれば、１度目のレーザ
溶接でレーザ溶接部７の表層にクラックなどの溶接欠陥
が発生していた場合でも、二重に封止されているので高
気密性を維持できる信頼性の高い真空容器を得ることが
できる。
溶接でレーザ溶接部７の表層にクラックなどの溶接欠陥
が発生していた場合でも、二重に封止されているので高
気密性を維持できる信頼性の高い真空容器を得ることが
できる。
【００２０】図６は本発明の第４の実施例に係る平板型
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。第１の実施例と同様に真空容器の外周をレーザ溶
接することにより、まず完全溶け込み形状のレーザ溶接
部７が形成される。この１度目の外周のレーザ溶接は完
全とけ込み溶接とすることにより気密性と強度が確保さ
れる。さらにレーザ溶接部７より内周を１度目のレーザ
溶接時よりも低パワー密度で溶接し、完全溶け込み形状
ではないレーザ溶接部12を得る。これにより、クラック
などの溶接欠陥のない高気密性が確保できる。つまり、
異なった溶接条件で得られた二種類のレーザ溶接部７お
よび12を有することによって信頼性が向上する。
表示装置用真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図で
ある。第１の実施例と同様に真空容器の外周をレーザ溶
接することにより、まず完全溶け込み形状のレーザ溶接
部７が形成される。この１度目の外周のレーザ溶接は完
全とけ込み溶接とすることにより気密性と強度が確保さ
れる。さらにレーザ溶接部７より内周を１度目のレーザ
溶接時よりも低パワー密度で溶接し、完全溶け込み形状
ではないレーザ溶接部12を得る。これにより、クラック
などの溶接欠陥のない高気密性が確保できる。つまり、
異なった溶接条件で得られた二種類のレーザ溶接部７お
よび12を有することによって信頼性が向上する。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明による平板型
表示装置用真空容器の製造方法によれば、気密封止のた
めの１度目のレーザ溶接でレーザ溶接部の表層にクラッ
クなどの溶接欠陥が発生していたとしても、 (1) １度目のレーザ溶接時よりも低パワー密度でレーザ
照射すれば、表層部はクラックなどを発生せずに再溶融
する。
表示装置用真空容器の製造方法によれば、気密封止のた
めの１度目のレーザ溶接でレーザ溶接部の表層にクラッ
クなどの溶接欠陥が発生していたとしても、 (1) １度目のレーザ溶接時よりも低パワー密度でレーザ
照射すれば、表層部はクラックなどを発生せずに再溶融
する。
【００２２】(2) 金属層にレーザを照射すれば、この金
属層が溶融し、その溶融金属がレーザ溶接部表層に発生
したクラックなどに流れ込み塞止する。 (3) １度目のレーザ溶接部を覆うようにして内周と外周
とをレーザ溶接することにより、１度目のレーザ溶接部
が金属部材で気密封止される。
属層が溶融し、その溶融金属がレーザ溶接部表層に発生
したクラックなどに流れ込み塞止する。 (3) １度目のレーザ溶接部を覆うようにして内周と外周
とをレーザ溶接することにより、１度目のレーザ溶接部
が金属部材で気密封止される。
【００２３】(4) １度目の外周のレーザ溶接は完全とけ
込み溶接とすることにより気密性と強度が確保される。
さらにその内周を１度目のレーザ溶接時よりも低パワー
密度で溶接することで、クラックなどの溶接欠陥のない
高気密性が確保できる。つまり、異なった溶接条件で得
られた二種類のレーザ溶接部を有することによって信頼
性が向上する。
込み溶接とすることにより気密性と強度が確保される。
さらにその内周を１度目のレーザ溶接時よりも低パワー
密度で溶接することで、クラックなどの溶接欠陥のない
高気密性が確保できる。つまり、異なった溶接条件で得
られた二種類のレーザ溶接部を有することによって信頼
性が向上する。
【００２４】以上の作用により、レーザ溶接部表層から
リークすることのない、高気密性の維持できる、信頼性
の高い平板型表示装置用真空容器を製造できる。
リークすることのない、高気密性の維持できる、信頼性
の高い平板型表示装置用真空容器を製造できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例に係る平板型表示装置用
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
【図２】本発明の各実施例に係る平板型表示装置用真空
容器の斜視図である。
容器の斜視図である。
【図３】本発明の各実施例に係るレーザ溶接部近傍の断
面拡大図である。
面拡大図である。
【図４】本発明の第２の実施例に係る平板型表示装置用
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
【図５】本発明の第３の実施例に係る平板型表示装置用
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
【図６】本発明の第４の実施例に係る平板型表示装置用
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
真空容器のレーザ溶接部近傍の断面拡大図である。
【図７】従来の平板型表示装置用真空容器の断面図であ
る。
る。
【図８】従来の平板型表示装置用真空容器の要部断面拡
大図である。
大図である。
１ フェースガラス ２ 被接合部材 ３ フリットガラス ４ 金属容器 ４ａ フランジ部 ６ レーザビーム ７ レーザ溶接部 ８ 再溶融層 ９ 金属層 10 金属部材 11ａ レーザ溶接部 11ｂ レーザ溶接部 12 レーザ溶接部
Claims (4)
- 【請求項１】 少なくとも開口周縁にフランジ部が形成
された金属容器と、この金属容器に接合される被接合部
材とを有する平板型表示装置用の真空容器の気密封止を
レーザ溶接によって行うに際し、前記真空容器の外周を
レーザ溶接した後、前記レーザ溶接を施したときよりも
低パワー密度で同一部分に再度レーザビームを照射する
平板型表示装置用真空容器の製造方法。 - 【請求項２】 少なくとも開口周縁にフランジ部が形成
された金属容器と、この金属容器に接合される被接合部
材とを有する平板型表示装置用の真空容器の気密封止を
レーザ溶接によって行うに際し、前記真空容器の外周を
レーザ溶接した後、前記レーザ溶接部表面に金属層を設
け、前記金属層が溶融可能なパワー密度でレーザ照射す
る平板型表示装置用真空容器の製造方法。 - 【請求項３】 少なくとも開口周縁にフランジ部が形成
された金属容器と、この金属容器に接合される被接合部
材とを有する平板型表示装置用の真空容器の気密封止を
レーザ溶接によって行うに際し、前記真空容器の外周を
レーザ溶接した後、前記レーザ溶接部表面を金属部材で
覆うようにして内周と外周とをレーザ溶接することによ
り、前記レーザ溶接表面を気密封止する平板型表示装置
用真空容器の製造方法。 - 【請求項４】 少なくとも開口周縁にフランジ部が形成
された金属容器と、この金属容器に接合される被接合部
材とを有する平板型表示装置用の真空容器の気密封止を
レーザ溶接によって行うに際し、前記真空容器の外周を
レーザ溶接した後、前記レーザ溶接を施したときよりも
内周を、前記レーザ溶接を施したときよりも低パワー密
度でレーザ溶接する平板型表示装置用真空容器の製造方
法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3333002A JPH05166462A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 平板型表示装置用真空容器の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3333002A JPH05166462A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 平板型表示装置用真空容器の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05166462A true JPH05166462A (ja) | 1993-07-02 |
Family
ID=18261192
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3333002A Pending JPH05166462A (ja) | 1991-12-17 | 1991-12-17 | 平板型表示装置用真空容器の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05166462A (ja) |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2009150975A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガラス溶着方法 |
| WO2011065106A1 (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガラス溶着方法及びガラス層定着方法 |
| EP2388101A1 (de) * | 2010-04-26 | 2011-11-23 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Fügenverfahren von metallischen und/oder keramischen Werkstoffen mit Hilfe eines glaskeramischen Zusatzwerkstoffes |
| JP2013139775A (ja) * | 2012-01-04 | 2013-07-18 | General Electric Co <Ge> | シール組立体及びタービンの組み立て方法 |
| US9016091B2 (en) | 2009-11-25 | 2015-04-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9021836B2 (en) | 2009-11-25 | 2015-05-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9045365B2 (en) | 2008-06-23 | 2015-06-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Fusion-bonding process for glass |
| US9073778B2 (en) | 2009-11-12 | 2015-07-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method |
| US9181126B2 (en) | 2008-05-26 | 2015-11-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass fusion method |
| US9227871B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-01-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9236213B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-01-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9233872B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-01-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9887059B2 (en) | 2009-11-25 | 2018-02-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method |
| US9922790B2 (en) | 2009-11-25 | 2018-03-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method |
| US10322469B2 (en) | 2008-06-11 | 2019-06-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Fusion bonding process for glass |
| US11740029B2 (en) | 2018-11-16 | 2023-08-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vapor chamber |
-
1991
- 1991-12-17 JP JP3333002A patent/JPH05166462A/ja active Pending
Cited By (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9181126B2 (en) | 2008-05-26 | 2015-11-10 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass fusion method |
| CN102066277A (zh) * | 2008-06-11 | 2011-05-18 | 浜松光子学株式会社 | 玻璃熔接方法 |
| US10322469B2 (en) | 2008-06-11 | 2019-06-18 | Hamamatsu Photonics K.K. | Fusion bonding process for glass |
| WO2009150975A1 (ja) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガラス溶着方法 |
| US8839643B2 (en) | 2008-06-11 | 2014-09-23 | Hamamatsu Photonics K.K. | Fusion bonding process for glass |
| US9045365B2 (en) | 2008-06-23 | 2015-06-02 | Hamamatsu Photonics K.K. | Fusion-bonding process for glass |
| US9073778B2 (en) | 2009-11-12 | 2015-07-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method |
| US9701582B2 (en) | 2009-11-25 | 2017-07-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9021836B2 (en) | 2009-11-25 | 2015-05-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9016091B2 (en) | 2009-11-25 | 2015-04-28 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| CN102666418A (zh) * | 2009-11-25 | 2012-09-12 | 浜松光子学株式会社 | 玻璃熔接方法及玻璃层固定方法 |
| US9227871B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-01-05 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9236213B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-01-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9233872B2 (en) | 2009-11-25 | 2016-01-12 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method and glass layer fixing method |
| US9887059B2 (en) | 2009-11-25 | 2018-02-06 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method |
| US9922790B2 (en) | 2009-11-25 | 2018-03-20 | Hamamatsu Photonics K.K. | Glass welding method |
| WO2011065106A1 (ja) * | 2009-11-25 | 2011-06-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | ガラス溶着方法及びガラス層定着方法 |
| EP2388101A1 (de) * | 2010-04-26 | 2011-11-23 | Forschungszentrum Jülich GmbH | Fügenverfahren von metallischen und/oder keramischen Werkstoffen mit Hilfe eines glaskeramischen Zusatzwerkstoffes |
| JP2013139775A (ja) * | 2012-01-04 | 2013-07-18 | General Electric Co <Ge> | シール組立体及びタービンの組み立て方法 |
| US11740029B2 (en) | 2018-11-16 | 2023-08-29 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Vapor chamber |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05166462A (ja) | 平板型表示装置用真空容器の製造方法 | |
| JP4969851B2 (ja) | Ｘ線管 | |
| JP2012169255A (ja) | 二次電池及び二次電池の製造方法 | |
| US20190360760A1 (en) | Vapor chamber | |
| JPH08161881A (ja) | 気密封止容器および気密封止方法 | |
| JP4234546B2 (ja) | 真空密閉容器及びその製造方法 | |
| JP2010170871A (ja) | 気密容器及び画像表示装置の製造方法 | |
| CN114918538A (zh) | 一种用于高可靠集成电路气密性封装的激光封焊方法 | |
| JP2009199758A (ja) | 気密容器およびそれを用いた画像表示装置 | |
| JP2004241671A (ja) | 電子部品パッケージ及びその封止方法 | |
| JP2793123B2 (ja) | ステンレス製真空断熱容器の製造方法 | |
| JPH1043066A (ja) | 金属製真空二重容器 | |
| JP2550667B2 (ja) | ハーメチックシール蓋の製造方法 | |
| JPH0434252B2 (ja) | ||
| JPH061667B2 (ja) | 螢光表示管 | |
| JPS6011410B2 (ja) | 真空バルブの製造方法 | |
| JP2000040934A (ja) | 圧電デバイスの閉蓋構造及び閉蓋方法 | |
| JP3931888B2 (ja) | 真空パッケージの製造方法 | |
| JP2022118294A (ja) | 半導体パッケージ | |
| JP2637855B2 (ja) | 蛍光表示管の排気方法 | |
| JP2004179373A (ja) | 電子部品パッケ−ジとその封止方法 | |
| JPH09193967A (ja) | パッケージの封止方法及びその構造 | |
| JPH0414869B2 (ja) | ||
| JPS60127087A (ja) | ハ−メチツクシ−ル端子の溶接方法 | |
| JP2000059163A (ja) | 圧電振動子の製造方法 |