JP2010170871A - 気密容器及び画像表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】貫通孔を蓋部材で封止する工程を含む気密容器の製造方法において、シール性を確保すると共に、シール材の貫通孔内への流入を抑制する。
【解決手段】気密容器の製造方法は以下の工程を有している。(a)容器1の内部を、容器に設けられた貫通孔5を通して排気する工程。(b)内部が排気された容器1の外面6に、板厚方向に貫通する溝部100を周縁部に有する板状部材8を、貫通孔5を塞ぐように配置する工程。(c)シール材12を介して板状部材8を覆うように蓋部材13を配置し、蓋部材13と容器1の外面6とを、シール材12を介して接合する工程。そして、封止する工程は、板状部材8を蓋部材13で押付けながら、シール材12が溝部100を介して蓋部材13と容器1の外面6との間に位置するようにシール材12を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。
【選択図】図1
【解決手段】気密容器の製造方法は以下の工程を有している。(a)容器1の内部を、容器に設けられた貫通孔5を通して排気する工程。(b)内部が排気された容器1の外面6に、板厚方向に貫通する溝部100を周縁部に有する板状部材8を、貫通孔5を塞ぐように配置する工程。(c)シール材12を介して板状部材8を覆うように蓋部材13を配置し、蓋部材13と容器1の外面6とを、シール材12を介して接合する工程。そして、封止する工程は、板状部材8を蓋部材13で押付けながら、シール材12が溝部100を介して蓋部材13と容器1の外面6との間に位置するようにシール材12を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。
【選択図】図1
Description
本発明は、気密容器の製造方法に関する。特に、本発明は、平面型画像表示装置に用いる真空気密容器(外囲器)の製造方法に関する。
リアプレートに画像信号に応じて電子を放出する多数の電子放出素子が設けられ、フェースプレートに電子の照射を受けて発光し画像を表示する蛍光膜が設けられ、内部が真空に維持される画像表示装置が知られている。このような画像表示装置では、フェースプレートとリアプレートとを支持枠を介して接合し、外囲器を形成する構成が一般的である。このような画像表示装置を製造する場合、外囲器の内部を排気し真空にする必要がある。この工程はいくつかの方法によって実施することができる。その一つとして、容器の内部を、容器の表面に設けられた貫通孔を通して排気し、その後貫通孔を蓋部材で封止する方法が知られている。
蓋部材で貫通孔を封止する場合、封止効果を得るために、貫通孔の周りにシール材を配置することが必要である。このシール材の配置方法にはいくつかの方法が知られているが、真空気密容器に適用する場合には、シール材が貫通孔の内部に流入しない構造が望ましい。なぜなら、シール材を貫通孔の周囲に均一に形成するためにはシール材を加熱し軟化または溶融させる必要があるが、この時、容器内外の気圧差によってシール材が貫通孔の内部に流入するおそれがあるためである。特に画像表示装置の外囲器の場合、貫通孔の内部に流入したシール材は放電現象の原因となる。
特許文献1には、蓋部材の貫通孔と対向する面をテーパ形状に形成する技術が開示されている。テーパ状の面は貫通孔の周縁部から離れるに従って、貫通孔が形成された面との間隔が広がるように形成されている。溶融したシール材は自身の重みによって変形し、テーパ部の方へ移動していき、貫通孔の内部への流入が抑制される。
特許文献2には、円形の貫通孔を球体状の金属キャップ等で閉鎖し、貫通孔とキャップとの当接部に外側からシール材を充填し貫通孔を封止する技術が開示されている。テーパ状の貫通孔にキャップが嵌る構造のため、容器の内部が真空であるとキャップが容器の内側を向く力を受け、貫通孔により密着しやすくなり、その結果シール材が流入しにくくなる。
特開2003−192399号公報
米国特許第6261145号明細書
特許文献1に記載の技術は、シール材が貫通孔に直接面しているため、シール材の溶融時に、シール材が貫通孔に流れ込む可能性が大きい。すなわち、シール材の大半はテーパ部に流入するとしても、一部のシール材は、容器内部の真空にも影響され、貫通孔の内部に流入する可能性がある。特許文献2の技術は、シール材をキャップの周辺にシール材が塗布されているだけで、特許文献1のようにシール材を押付ける工程がないため、シール材を均等に分布させることが難しい。このため、十分なシール性を得ることが困難となる可能性がある。
本発明は、貫通孔を蓋部材で封止する工程を含む気密容器の製造方法を提供することを目的とする。より具体的には、本発明は、シール性を確保すると共に、シール材の貫通孔内への流入を抑制することのできる構造を提供し、シール材を所定の位置である貫通孔の周りに効率よく充填できる気密容器の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、かかる気密容器の製造方法を用いた画像表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の気密容器の製造方法は以下の工程を有している。(a)容器の内部を、容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程。(b)内部が排気された容器の外面の、貫通孔の周縁部に沿ってスペーサ部材を配置する工程。(c)板厚方向に貫通する溝部を周縁部に有する板状部材を、板状部材がスペーサ部材及び貫通孔を覆い、かつ板状部材と容器の外面との間にスペーサ部材の側面に沿った空隙部が形成されるように配置する工程。(d)シール材を介して板状部材を覆うように蓋部材を配置し、蓋部材と容器の外面とを、シール材を介して接合し、容器を封止する工程。そして、封止する工程は、板状部材を蓋部材で押付けながらシール材が溝部を介して蓋部材と容器の外面との間に位置するとともに空隙部に充填されるようにシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。
本発明の他の気密容器の製造方法は以下の工程を有している。(a)容器の内部を、容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程。(b)内部が排気された容器の外面の、貫通孔の周縁部に沿ってスペーサ部材を配置する工程。(c)板厚方向に貫通する溝部を周縁部に有する板状部材を、板状部材がスペーサ部材及び貫通孔を覆い、かつ板状部材と容器の外面との間にスペーサ部材の側面に沿った空隙部が形成されるように配置する工程。(d)板状部と、板状部の周縁部に沿って位置する側壁であって側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備えた蓋部材を、シール材を介して板状部材を覆うように配置し、蓋部材と容器の外面とを、シール材を介して接合し、容器を封止する工程。そして、封止する工程は、板状部材を蓋部材で押付けながらシール材が溝部を介して蓋部材と容器の外面との間に位置するとともに空隙部に充填されるようにシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。
本発明の他の気密容器の製造方法は以下の工程を有している。(a)容器の内部を、容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程。(b)スペーサ部材と板状部材と蓋部材とが板状部材と蓋部材との間にシール材を挟んで積層された積層体を準備する工程。(c)内部が排気された容器の外面に、板状部材が貫通孔を覆うように積層体を押付け、蓋部材と容器の外面とをシール材を介して接合し、容器を封止する工程。蓋部材は、板状部と、板状部の周縁部に沿って延びる側壁であって側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備えている。封止する工程は、板状部材と容器の外面との間にスペーサ部材の側面に沿った空隙部が形成されるように配置することを含んでいる。封止する工程は、さらに、板状部材を蓋部材で押付けながら、シール材が溝部を介して蓋部材と容器の外面との間に位置するとともに空隙部に充填されるようにシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。
本発明の画像表示装置の製造方法は、上記の気密容器の製造方法を用いて、内部が真空にされた外囲器を製造する工程を有している。
本発明によれば、貫通孔を蓋部材で封止する工程を含む気密容器の製造方法において、効率よくシール性を確保すると共に、シール材の貫通孔内への流入を抑制することのできる気密容器の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、かかる気密容器の製造方法を用いた画像表示装置の製造方法を提供することができる。
本発明の気密容器の製造方法は、内部が真空に排気される気密容器の製造方法に広く適用できる。本発明は特に、内部が真空に排気される平面型画像表示装置の外囲器の製造方法に好適に適用できる。
(第1の実施形態)
図1を参照して、本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、気密容器の貫通孔が外囲器の上面に設置されている状態で貫通孔を封止する場合に、特に好適に用いることのできる封止工程を示す概略ステップ図である。図2(a)は、スペーサ部材、板状部材、及び蓋部材の平面図(容器外面6側から見た見上げ図)、図2(b)は、図2(a)のA−A’線に沿った断面図、図2(c)は、図2(a)のB−B’線に沿った断面図である。
図1を参照して、本発明の第1の実施形態を説明する。図1は、気密容器の貫通孔が外囲器の上面に設置されている状態で貫通孔を封止する場合に、特に好適に用いることのできる封止工程を示す概略ステップ図である。図2(a)は、スペーサ部材、板状部材、及び蓋部材の平面図(容器外面6側から見た見上げ図)、図2(b)は、図2(a)のA−A’線に沿った断面図、図2(c)は、図2(a)のB−B’線に沿った断面図である。
(ステップS1)まず、容器1の内部Sを、容器1の表面に設けられた貫通孔5を通して排気する。容器1は所望の材質及び構成を有することができる。平面画像表示装置の場合、容器1の一部はガラスで製造されることが多い。本実施形態では、図1(a)に示すように、容器1は、フェースプレート2と、リアプレート3と、支持枠4とからなり、ガラスフリット等の適宜の手段で相互に接合されて、気密容器を形成している。リアプレート3には、画像信号に応じて電子を放出する多数の電子放出素子(図示せず)が設けられている。フェースプレート2には、電子の照射を受けて発光し画像を表示する蛍光膜(図示せず)が設けられている。リアプレート3にはさらに、概ね円形の開口である貫通孔5が設けられている。貫通孔5の位置及び大きさは、容器1の所望の真空度、所望の排気時間等を考慮して適宜設定される。本実施形態では貫通孔5は1箇所だけ設けているが、複数個設置しても構わない。後述するシール材12との密着性や濡れ性を向上させるために、容器1の外面6の、貫通孔5の周囲の部分を、超音波洗浄などを用いて表面処理してもよいし、金属膜を成膜してもよい。
容器1の排気手段は、容器1の内部が所望の真空度になるように選択される。排気手段は、容器1の内部が貫通孔5を通して排気され、以降に述べる工程が実施できれば特に限定されない。容器1全体を真空排気用チャンバー内に入れた状態で排気すると、後述する各部材(板状部材8、蓋部材13等)の移動機構(実施例における回転上下機構20,23)も同一チャンバー内に設けることができるため、望ましい。
(ステップS2)図1(b)に示すように、内部Sが排気された容器1の外面6の、貫通孔5の周縁部9に沿ってスペーサ部材32を配置する。次に、板状部材8を、板状部材8がスペーサ部材32及び貫通孔5を覆い、かつ板状部材8と容器1の外面6との間にスペーサ部材32の側面に沿った空隙部14bが形成されるように配置する。具体的には、まず、貫通孔5の周縁部に沿った容器1の外面とスペーサ部材32が当接するようにスペーサ部材32を配置する。さらに、容器1の外面と板状部材8の間にスペーサ部材32が挟みこまれ、貫通孔5が板状部材8で覆われるように、板状部材8を配置する。
板状部材8は板厚方向に貫通する溝部100を周縁部に有している。溝部100は、板状部材8の周縁部に所望の間隔で複数個設けられている。本実施形態では、板状部材8は、貫通孔5より大きな寸法を有している円形部材であり、溝部100は一定の角度間隔(90°ピッチ)で設けられている。溝部100は、貫通孔5の中心から見て貫通孔5の周縁部よりも外側にある。図1(b)〜図1(g)に示された断面図は、溝部100を通るように切断した際の断面図を示している。この溝部100を設けることによって、溝部100が起点となってシール材12が積極的に流れ込むため、シール材12を所望の位置に偏りなく充填することができる。また、溝部100の無い部分で、板状部材8と蓋部材13の相対的な位置決めをすることができる。
板状部材8は貫通孔5より大きな寸法を有し、本実施形態では貫通孔5の直径より大きな直径の円形部材である。スペーサ部材32は、板状部材8よりも小さな平面積(リング部外周の内側面積)を有し、本実施形態では板状部材8より小さな外径、貫通孔5の直径より大きな内径のリング形部材である。板状部材8とスペーサ部材32は貫通孔5とほぼ同心に配置されることが望ましい。板状部材8とスペーサ部材32との当接面10a、スペーサ部材32と容器1の外面との当接面10bは、シール材12が貫通孔5の内部に流入することを防止する。従って、当接面10a、10bでの各部材間の間隙(リークパス)が少なくなるように、板状部材8、スペーサ部材32、容器1の外面の形状及び表面粗さが定められていることが望ましい。板状部材8およびスペーサ部材32の厚さは、シール材12のシール性能や変形性を考慮して適宜定められる。本実施形態において、第2の実施形態で述べるような突起構造(突起部18)を備えた板状部材を用いることもできる。
(ステップS3)図1(c)に示すように、板状部材8のスペーサ部材32との当接面10bの反対側の面11(図1(b)参照)にシール材12を設ける。シール材12は、板状部材8の外まで張り出して板状部材8を覆い、かつ、板状部材8よりも大きな厚みとなるように、十分な量を設ける。シール材12の材料は、所望のシール性及び接着特性が得られるものであれば特に限定されない。本実施形態では、平面画像表示装置に用いられるガラス製の容器1を対象としているため、シール材12としての高いシール性や加熱時の応力を考慮して、ガラスフリットやIn、InSnといったIn合金やSn合金が使用される。
(ステップS4)図1(d)に示すように、シール材12上に蓋部材13を配置する。この結果、蓋部材13は板状部材8を覆うように配置される。図2に示すように、蓋部材13は、板状部131と、板状部131の周縁部に沿って位置する円筒形状の側壁132と、を備えている。シール材12のシール特性に応じて、板状部材8の周囲で十分なシール幅が得られるように、板状部材8の平面積よりも大きな平面積を有する蓋部材13を用いることが望ましい。
次に、図1(e)〜(g)に示すように、シール材12を蓋部材13で鉛直方向下向き(白抜き矢印)に押付け、シール材が板状部材8の外周部15に沿って、蓋部材と容器1の外面6との間の空隙部14a,更には14bを埋めるように、シール材を変形させる。この際、溝部100を設けたことによって、溝部100のある部分が起点となってシール材が積極的に流れ込むため、シール材を所望の位置に偏りなく充填することができる。具体的には、図1(e)に示すように、シール材12が変形しながら、溝部100を起点にその一部が板状部材8の側方に移動する。また、シール材12の一部は蓋部材13に沿って横方向にも広がる。さらに蓋部材13でシール材12を押付けると、図1(f)、(g)に示すように、複数の溝部100から充填されたシール材12は、隣接した溝部100からのシール材12と互いに繋がり、切れ目の無い円状となる。さらに空隙部14bはシール材12で完全に充填され、蓋部材13とほぼ同じ幅まで広がる。その後、シール材12を加熱固化させる。
ただし、シール材12は必ずしもこのような状態に変形する必要は無い。例えば、所定のシール幅が確保されていれば、蓋部材13と同じ幅まで広がる必要はない。また、図1では板状部材8と蓋部材13の間にはシール材12が残存していないが、シール材12の一部が蓋部材13と容器1の外面6との間の空間に残存していてもよい。
蓋部材13でシール材12を押付ける際には、シール材12の特性に応じて、シール材12が溶融する温度まで加熱することが望ましい。これによって、シール材12の変形性能が高められる。なお、本実施形態では容器1全体を真空排気用チャンバーに入れているため、加熱の際の対流が期待できず、加熱効率が低下することも考えられる。そこで、シール材12を溶融温度まで加熱する際の加熱時間の短縮を目的として、シール材12を変形させる工程の前に、シール材12が溶融しない範囲で板状部材8、蓋部材13、及びスペーサ部材32の少なくとも1つを加熱しておいてもよい。板状部材8、蓋部材13、またはスペーサ部材32からの熱がシール材12に伝達し、シール材12の加熱効果が得られる。加熱温度は、板状部材8または蓋部材13が急激な温度変化で破壊されないように定めることが望ましい。
荷重(押付け力)の印加方法は適宜選択することができる。例えばバネ材を用いたり、機械的に押付け力を印加したり、重りを配置するなどの手段が挙げられる。また、本実施形態では蓋部材13の位置を保持するための荷重の引加と、シール材12を変形させるための荷重の印加とが、同一の荷重によって実現されるが、別々の手段を用いてもよい。なお、この際の荷重については、少なくともシール材が気密性を保つように十分押しつぶされる力が必要である。シール材12を変形させる際に、図1(e)に示すように、シール材12を押付ける方向と平行な軸(例えば蓋部材13の中心軸C)を中心として蓋部材13を回転させながら、シール材12を蓋部材13で押付けてもよい。シール材12がより効率的に変形し、空隙部14a、14b内に均一に充填される。
本実施形態によれば、板状部材8が蓋部材13で押付けられながらシール材12が変形し、その後シール材12が固化されて封着接合が行われる。つまり、シール材12が溶融して変形する際に、板状部材8が下向きの力で貫通孔5に対して押されながら、貫通孔5を塞いでいる。従って、スペーサ部材32の当接面10a,10bでのシール性が高められ、溶融したシール材12が貫通孔5に流れにくくなる。これにより、平面型画像表示装置においては、画像表示のための高電圧印加時に、流れ込んだシール材12によって引き起こされる放電現象を防止することが容易となる。また、シール材12の材質によっては、シール材12がガスを発生する場合もあるが、本実施形態では、シール材12が容器1内部に流れ込むことがほとんどないため、ガスによる電子放出素子等への悪影響も生じにくい。
また、本実施形態では、容器外面6と蓋部材13の間に設けられた空隙部14aにおけるシール材12によるシール効果と、板状部材8と容器1の外面6との間に設けられた空隙部14bにおけるシール材12によるシール効果の両者が期待できる。このように、2つのシール部が直列配置されるため、シール性能自体も向上し、気密不良を防止することが容易となる。
また、本実施形態では、板状部材8の厚さがシール材12の厚さの最小値を規定することになる。従って、押付け荷重が多少大きくてもシール材12が板状部材8の厚さ以下まで変形することが防止され、気密性の信頼性の向上につながる。ただし、容器1、板状部材8、及び蓋部材13の破壊を防止するため、押付け荷重をあまり大きくすることは望ましくない。
以上の実施形態では、シール材12は板状部材8の裏面11に配置していた。しかし、板状部材8の脇にシール材12を厚めに塗布し、これらを蓋部材13で押さえつけながら(潰しながら)封着するようにしてもよい。つまり、蓋部材13と容器1の外面6とが、最終的に蓋部材13と容器1の外面6との間に位置するシール材12を介して接合されれば、シール材12を最初に設ける位置は適宜に定めることができる。
上記実施形態においては、蓋部材13が、板状部材8を収める凹部を有しているが、これに限るものではない。図3に示すように、蓋部材が平板状であっても、板状部材8の周縁部に溝部(切り欠き)があることによって、シール材が変形する際に、溝部を起点として、シール材が積極的に容器外面に向けて流れ出す(シール材が変形する。)。従って、シール材の偏りが少なく、結果、気密性の高い容器を形成しえる。なお、図3(a)は、スペーサ部材、板状部材、及び蓋部材の平面図(容器外面6側から見た図)、図3(b)は、図3(a)のA−A’線に沿った断面図、図3(c)は、図3(a)のB−B’線に沿った断面図である。
(第2の実施形態)
本実施形態は、スペーサ部材32と板状部材8aとシール材12と蓋部材13とからなる積層体を貫通孔の下方から貫通孔に当接させて、貫通孔の封止をおこなう点が第1の実施形態と異なっており、その他の点については第1の実施形態と同様である。従って、以下の説明では第1の実施形態と異なる点を主に述べ、説明のない事項に関しては第1の実施形態の説明を参照されたい。
本実施形態は、スペーサ部材32と板状部材8aとシール材12と蓋部材13とからなる積層体を貫通孔の下方から貫通孔に当接させて、貫通孔の封止をおこなう点が第1の実施形態と異なっており、その他の点については第1の実施形態と同様である。従って、以下の説明では第1の実施形態と異なる点を主に述べ、説明のない事項に関しては第1の実施形態の説明を参照されたい。
図4を参照して、本発明の第2の実施形態を説明する。図4は、気密容器の貫通孔が鉛直方向下向きに開口した状態で貫通孔を封止する場合に、特に好適に用いることのできる封止工程を示す概略ステップ図である。同図(c”)〜(e”)は各々、同図(c)〜(e)のC−C線、D−D線、及びE−E線から見た断面図である。同図(c)〜(e)は各々同図(c”)〜(e”)のc−c線、d−d線、及びe−e線から見た断面図であり、同図(d’)は同図(d”)のd’−d’線から見た断面図である。図5(a)は、スペーサ部材、板状部材、及び蓋部材の平面図(容器外面6側から見た図)、図5(b)は、図5(a)のA−A’線に沿った断面図、図5(c)は、図5(a)のB−B’線に沿った断面図である。
(ステップS51)図4(a)に示すように、容器1の内部を、容器1の表面に設けられた貫通孔5を通して排気する。本ステップは第1の実施形態と同様である。
(ステップS52)図4(b)に示すように、スペーサ部材32と、板状部材8aと、蓋部材13とが板状部材8aと蓋部材13との間にシール材12を挟んで積層された積層体16を準備する。蓋部材13は、板状部131と、板状部131の周縁部に沿って位置する円筒形状の側壁132と、を備えており、側壁132の内面には、側壁132の高さ方向に延びる溝部100を有している。溝部100は、蓋部材13の側壁132に一定の角度間隔(90°ピッチ)で複数個設けられている。蓋部材13は、中央に凹部分を持った円状部材であり、この凹部分にて板状部材8と蓋部材13の相対的な位置決めをすることができる。溝部100を設けることによって、溝部100からシール材が積極的に流れ込むため、シール材を所望の位置に偏りなく充填することが出来る。
本実施形態では、貫通孔5aの内部に挿入可能な円筒状または半球状の突起18を有する板状部材8aを用いている。また、本実施形態では、スペーサ部材32はリング形状を有したものを用いており、板状部材8aの突起18に挿入した状態で積層している。後述するように、板状部材8aを容器1の外面6方向に押付ける際に、突起18は貫通孔5aの内部に挿入される。すなわち、突起18は板状部材8aを貫通孔5aに押付ける際のガイドとして機能する。従って、突起18は、貫通孔5aに無理なく嵌る程度の大きさ(直径)を有していることが望ましい。シール材12は第1の実施形態と同じものを使うことができる。
(ステップS53)図4(c)に示すように、内部が排気された容器1の外面6に、積層体16を、貫通孔5aの周縁部9(図4(a)参照)に沿ってスペーサ部材32が当接するように、かつ貫通孔5aが板状部材8aで覆われるように、配置する。積層体16は、板状部材8aと容器1の外面6との間にスペーサ部材32の側面に沿った空隙部14bが形成されるように配置される。この操作は、上述のように、貫通孔5aが鉛直方向下向きに開口した状態で行われる。突起18が貫通孔5a、及びスペーサ部材32の内部に挿入された状態となるので、位置決めは容易である。このとき、シール材12の特性によっては、積層体16を形成する前段階で、シール材12が溶融しない範囲内で、スペーサ部材32と、板状部材8aと、蓋部材13の少なくとも1つを加熱しておいてもよい。
(ステップS54)図4(d)に示すように、シール材12を蓋部材13で鉛直方向上向き(白抜き矢印の方向)に押付ける。荷重を印加する手段は、第1の実施形態と同様に適宜選択することができる。この状態を保ちながら、シール材12が溶融する温度までシール材12を加熱する。溶融したシール材12はスペーサ部材32及び板状部材8の外周側面部15a、15bに沿って、蓋部材13と容器1の外面6との間の空隙部14a、板状部材8aと容器1の外面6との間の空隙部14bを埋めるように変形する。具体的には、蓋部材13でシール材12を押付けると、図4(d)に示すように、シール材12が変形しながら、その一部が板状部材8aの側方に移動する。また、シール材12の一部は蓋部材13に引きずられて横方向にも広がる。溝部100を設けたことによって、溝部100のある部分が起点となってシール材が積極的に流れ込むため、シール材を所望の位置に偏りなく充填することができる。具体的には、複数の溝部100から充填されたシール材12は、隣接した溝部100からのシール材12と互いに繋がり、よってシール材が偏ることなく切れ目の無い円状となる。さらに蓋部材13でシール材12を押付けると、図4(e)に示すように、シール材12は空隙部14a、14bを完全に充填し、蓋部材13とほぼ同じ幅まで広がる。その後、シール材12を加熱固化させる。
このようにして、本実施形態では、板状部材8aが貫通孔5aを塞ぐように積層体16を押付け、蓋部材13と容器1の外面との間14aがシール材12を介して接合され、さらには、板状部材8aと容器1の外面との間14bもシール材12を介して接合される。このため、容器1が気密性の高い状態で封止される。また、封止する工程が、板状部材8aを蓋部材13で押付けながらシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいることも第1の実施形態と同様である。
本実施形態では、貫通孔5aが鉛直方向下向きに開口した状態で貫通孔5aを封止することができ、また、第1の実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、溶融したシール材12が貫通孔5aに流れにくくなり、平面型画像表示装置においては、流れ込んだシール材12によって引き起こされる放電現象を防止することが容易となる。ガスによる電子放出素子等への悪影響も生じにくい。シール性能自体も向上し、気密不良を防止することが容易となる。押付け荷重が多少大きくてもシール材12が板状部材8aとスペーサ部材32の厚さの合計以下まで変形することが防止され、気密性の信頼性の向上につながる。さらに、本実施形態では、スペーサ部材32と板状部材8とシール材12と蓋部材13とを順次設ける工程が不要であり、しかも積層体16を形成する工程は独立して行うこともできるので、封止工程を合理化できるという効果もある。
なお、上記実施形態では、スペーサ部材32、板状部材8a、シール材12、及び蓋部材13からなる積層体16を気密容器に下から当接させる例について述べたが、これに限らず、貫通孔5aの位置に応じて上側または側面から当接させても良い。尚、実施形態1で説明したように、本実施形態においても、シール材12を変形させる際に、シール材12を押付ける方向と平行な軸を中心として蓋部材13を回転させながら、シール材12を蓋部材13で押付けてもよい。また、シール材12を変形させる工程の前に、板状部材8aと蓋部材13とスペーサ部材32の少なくともひとつを加熱しておいてもよい。
また、上記実施形態ではスペーサ部材は板状部材とは別個の部材であるが、スペーサ部材と板状部材とを一体化しても上記実施形態と同様の効果が得られ、かつ作業工程の削減が可能となる。
以下、具体的な実施例を挙げて本発明を詳しく説明する。
(実施例1)
本実施例は、第1の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図6を参照して本実施例を説明する。
本実施例は、第1の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図6を参照して本実施例を説明する。
本実施例においては、容器1を真空排気用チャンバー31に格納し、ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段22を用いて、真空排気用チャンバー31を真空に排気した。真空排気用チャンバー31内には、加熱手段として加熱用ヒーター19a,19bが具備されている。容器1は上面に直径3mmの貫通孔5を備えている。スペーサ部材32と板状部材8と蓋部材13は図2に示されている。
板状部材8として、直径7mm、厚さ0.5mmのFe−Ni合金の円盤状の材料を準備した。板状部材8には、周縁部分に縦横2mm程度の溝部100を4箇所設置した。シール材12として、パンチングプレスによって直径7mm、厚さ0.4mmの円盤状に成型したSn合金を準備した。蓋部材13として、直径10mm、厚さ1mm、中央に直径8.5mm、深さ0.5mmの穴が掘られたFe−Ni合金の凹状の材料を準備した。さらに外径5mm、内径4mm、厚さ0.3mmのアルミニウムからなるスペーサ部材32を用意した。荷重印加用重り21として、SUS304からなる150gの重りを準備した。これらの各部材を、部材ごとに独立して上下移動及び回転移動が可能な回転上下機構20に装着し、真空排気用チャンバー31内に配置した。
工程(a) 排気手段22を作動させ、真空排気用チャンバー31内を排気し、貫通孔5を通して容器1内部の真空度を1×10-3Pa以下まで降下させた。排気工程にあわせて、加熱用ヒーター19a,19bを作動させ、真空排気用チャンバー31内部の各部材を、シール材12であるSn−Ni合金材料の軟化点以下の温度である250℃まで加熱した。
工程(b) 回転上下機構20によって、あらかじめスペーサ材料32を仮接着した板状部材8を貫通孔5の直上に配置した。
工程(c) 回転上下機構20によってシール材12を板状部材8の直上に配置した。
工程(d) 回転上下機構20によって蓋部材13をシール材12の直上に配置した。その後、回転上下機構20によって荷重印加用重り21を蓋部材13の直上に回転移動させ、荷重が急激にかからないように、回転上下機構20によって荷重印加用重り21を1mm/1分の速度でゆっくり降下させ、蓋部材13上に積載した。
工程(e) Sn−Ni合金の軟化点まで加熱をおこなった。軟化点に到達した時に、Sn−Ni合金はゆっくりと溶け始め、板状部材8と蓋部材13との間で重りの重量により潰され、板状部材8の周縁方向に流れ始めた。そして、溝部100に差し掛かり、溝部100のある部分と無い部分のコンダクタンスの差から、溝部100の方向に集中的にそれぞれのSn−Ni合金が流れ込んだ。
工程(f) 流れ込んだSn−Ni合金は、隣接した溝部100に流れ込んだSn−Ni合金と合体し溶融したSn−Ni合金がドーナッツ状に形成され、適正なシール幅が形成された。
その後、荷重印加用重り21を蓋部材13の上に積載したまま室温まで冷却し、その後真空排気用チャンバー31内をパージし、でき上がった容器1を取り出した。
以上の様にして、シール材12で貫通孔5が封止され、内部が真空に排気された真空気密容器を作成した。蓋部材13と容器1の外面6の間には、円状の厚み0.3mmであり、円周方向に略均等なシール幅を持ったSn−Ni合金が形成され、気密信頼性を向上することができた。本実施例では、工程(d)において荷重印加用重り21を搭載したことにより、工程(f)においてシール材12であるSn−Ni合金が溶融し押しつぶされる間も、板状部材8が貫通孔5の周縁部に押し続けられる。このため、貫通孔5へのシール材12の流れ込みは認められなかった。また、板状部材8と貫通孔5の周縁部、蓋部材13と貫通孔5の周縁部の2箇所でシールされているため、十分な気密性を備えた真空気密が得られた。
(実施例2)
本実施例は、図4に示される第2の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図7を参照して本実施例を説明する。
本実施例は、図4に示される第2の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図7を参照して本実施例を説明する。
本実施例においては、容器1を真空排気用チャンバー31に格納し、ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段22を用いて、真空排気用チャンバー31を真空に排気した。真空排気用チャンバー内31には、加熱手段として加熱用ヒーター19a,19bが具備されている。容器1は対向する2枚の基板を有し、基板の一方の内面には表面伝導型電子放出素子(図示せず)が、他方の基板の内面にはアノード電極及び発光部材(図示せず)が形成されている。容器1は下面に直径4mmの貫通孔5aを備えている。
スペーサ部材32と、板状部材8aと蓋部材13は図5に示されている。蓋部材13として、直径10mm、厚さ0.5mmの無アルカリガラスを準備した。蓋部材13には中央部に凹状の穴が設けられている。穴のサイズは直径7.5mm、深さ0.5mmである。蓋部材13には、側壁部132の内側に縦横2mm程度の溝部100を4箇所設置した。その上に、直径7mm、厚さ0.4mmに成型した、Inからなるシール材12を設けた。その上に、直径6mm、厚さ300μmの板状で、中央部に直径1mm、高さ2mmの突起18を持つ、無アルカリガラスからなる板状部材8aを設けた。その上に、外径5mm、内径4mm、厚さ0.3mmのアルミニウムからなるスペーサ部材32を積載し、積層体16を準備した。積層体16において、蓋部材13に凹状の穴があることから、板状部材8とシール材12との位置決めが可能である。回転上下機構23は、バネ定数が約1N/mmのバネ材25によって鉛直方向上向きの押付け力の印加が可能なステージ24を備えている。積層体16をステージ24上に設置し、真空排気用チャンバー31内に配置した。
工程(a) まず、回転上下機構23によって、加熱用ヒーター19a,19bによって加熱されない位置に積層体16を退避させた。次に、排気手段22を作動させ、真空排気用チャンバー31内を排気し、貫通孔5を通して容器1の内部の真空度を1×10-4Pa以下まで降下させた。排気工程にあわせて、加熱用ヒーター19a,19bを作動させ、容器1内の吸着ガスを排気するため、加熱用ヒーター19a,19bによって、容器1を350℃で1時間加熱した。その後、加熱用ヒーター19a,19b及び容器1が100℃になるまで自然冷却した。
工程(b) 回転上下機構23によって、積層体16を貫通孔5の直下に移動した。続いて、チャンバー31内を排気し続けながら、加熱用ヒーター19a,19bによって再度加熱し、容器1と、バネ材25を含むステージ24と、積層体16の各部材とを、容器1と同じ温度になるように、Inの融点以下である100℃まで加熱した。
工程(c) 板状部材8aの突起部18が貫通孔5に挿入された状態でスペーサ部材32が貫通孔5の周縁部に当接するまで、回転上下機構23を用いて、ステージ24に保持された積層体16をゆっくりと上昇させた。続けて、板状部材8aがバネ材25によって押圧されるように、回転上下機構23を1mm/secの速度で5mm上昇させた。
工程(d) 加熱用ヒーター19a,19bによって、容器1および各部材を、3℃/minの速度で、Inの融点以上となる160℃まで昇温した。Inが溶融する際も、バネ材25によって各部材が貫通孔5に向けて押され続けているので、Inの溶融に従いシール材12が変形し、貫通孔5が封止された。
その後、バネ材25によって積層体16を押し続けたまま、室温まで冷却し、その後、真空排気用チャンバー31内をパージし、でき上がった容器1を取り出した。
以上の様にして、形成された気密容器では、蓋部材13と容器1の外面6との間の空隙部14a、および板状部材8と容器1の外面6との間の空隙部14bに隙間無くInが形成された。蓋部材13に溝部100を設けたことで、シール材12の流れが制御され、円周方向に偏りの無い均一な封止形状を作製することができ、気密信頼性を向上することができた。また、工程(c),(d)においてバネ材による押圧を継続して行ったため、工程(d)において、シール材であるInが溶融し変形する間も、板状部材8aとスペーサ部材32が貫通孔5の周縁部に押し続けられ、貫通孔5へのシール材の流れ込みが防止された。また、シール材によって板状部材8aと貫通孔5の周縁部、蓋部材13と貫通孔5の周縁部の2箇所でシールされているため十分な気密性を備えた真空気密が得られた。
このようにして、内部に表面伝導型電子放出素子を具備し、内部を真空に排気された画像形成装置が得られた。この画像形成のアノード電極とカソード電極間に15kVを24時間印加したが、画像形成装置エリア及びその周辺エリアには放電は生じず、電子加速電圧を安定的に印加可能なことが確認された。
(実施例3)
本実施例は、第2の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図8、図9を参照して本実施例を説明する。
本実施例は、第2の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図8、図9を参照して本実施例を説明する。
本実施例においては、容器1は下面に直径2mmの貫通孔を有し、また、開口部周囲に容器外面から荷重を局所的に印加しても破壊されないように内部に支持体(スペーサ)26を有した構成となっている。排気管であるフランジ30は、貫通孔よりも大きい内径を有しており、その内部に直線導入機による上下機構23、バネ材25、およびバネ材に接続された内部ヒーター19cを有している。上下機構によりヒーターを容器側に押付けることにより、押付け量に応じて荷重を印加できる構成となっている。また、同時にフランジ30はターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段22が接続されており、内部を真空に排気出来る構成となっている。
スペーサ部材32と、板状部材8と、蓋部材13は図5に示されている。板状部材8aは、直径5mm、高さ0.5mmの円盤形状の上に直径1.9mm、高さ0.5mmの突起を有しており、これらは旭硝子株式会社製PD-200で作成されている。蓋部材13には中央部に凹状の穴(窪み)が設けられている。凹状の穴のサイズは直径7.5mm、深さ0.5mmである。穴のサイズは直径7.5mm、深さ0.5mmである。蓋部材13には、側壁132の内側に縦横2mm程度の溝部100を4箇所設置した。シール材12は、直径5mm、厚さ1.45mmに整形したInとAgからなる合金で作成した。スペーサ部材32として外径3mm、内径2mm、厚さ0.3mmを有するリング形状の部材を、アルミニウムで作成した。そして、スペーサ部材32、板状部材8a、シール材12、蓋部材13をこの順で互いに積層し、積層体を形成し、排気管内にこの積層体を配置した。積層体16において、蓋部材13に凹状の穴があることから、板状部材8とシール材12との位置決めが可能である。
工程(a) フランジ30内の内部ヒーター19c上に蓋部材13、シール材12、板状部材8a、スペーサ部材32を順にそれぞれの径の中心が揃うようにして、図2の場合と同様に積層し配置した。
工程(b) フランジ30の開口部に材質バイトンからなるOリング29を配置した。
工程(c) 容器1の貫通孔5の周囲にOリング29が接しかつ、工程(a)における各部材の径の中心と貫通孔5の中心が揃う位置で容器1と、フランジ30によりOリング29を押付けながら排気手段22により真空排気を開始し、容器1内部を真空排気した。
工程(d) フランジ30内の、内部ヒーター19cを150℃まで加熱保持したのち、170℃まで1℃/分のレートで昇温した。そして、フランジ内部の上下機構を1mm/分の速度で上昇させることで、スペーサ部材32、板状部材8a、シール材12、蓋部材13の積層体を排気管に沿って移動させ、貫通孔5をふさぐように積層体を配置しながら容器外面に押付けた。
工程(e) その後、工程(d)の押圧を印加した状態を保持したまま、内部ヒーター19cを室温まで自然冷却した。そして、シール材12が固化したのち、排気手段22による排気を停止し、フランジ30内部を大気でパージした後、Oリング29と容器1を離した。
以上の様にして、容器の外面と蓋部材13、板状部材8aとをシール材12を介して接合することで、良好に容器を封止し、内部が真空に排気された真空気密容器を作成した。蓋部材13に溝部100を設けたことで、シール材12の流れが制御され、円周方向に偏りの無い均一な封止形状を作製することができ、気密信頼性を向上することができた。尚、工程(d)において、シール材12が溶融し変形する間も、板状部材8aとスペーサ部材32が貫通孔5の周縁部に押し続けられているので、貫通孔5aへのシール材12の流れ込みを防止することができた。また、板状部材8aと貫通孔5aの周縁部、蓋部材13と貫通孔5aの周縁部の2箇所でシールされているため十分な気密性を備えた真空気密が得られた。また本実施例では、蓋部材13の盆形状を、盆形状側壁132が容器1の外面6に接触した状態で板状部材8aとスペーサ部材32を収まるような形状にしたことで、押付け工程(d)においてシール材が蓋部材の盆形状の外にあふれ出ることが防止された。さらに、本実施例では、蓋部材13の盆形状内部の容積(凹部の容積)と、蓋部材13の盆形状内部に収まる板状部材8aの体積とシール材の体積との和とを揃えている。このため、蓋部材13の盆形状内部(凹部)にシール材が隙間無く形成され、蓋部材13の外部に溢れていない外観となった。また、容器1全体を真空チャンバー中に配置した場合に比較し、複数個の真空気密容器を連続して作成した際には、Oリング29の部分で容器1を接続しフランジ内と容器内を排気するだけでよく、真空排気する容積が少ない。このため排気に必要とされる時間が短くて済み、トータルの作成時間の短縮が可能となった。
(実施例4)
本実施例は、第2の実施形態を一部改良して、画像表示装置の外囲器を作成した例である。図7、図10を参照して本実施例を説明する。
本実施例は、第2の実施形態を一部改良して、画像表示装置の外囲器を作成した例である。図7、図10を参照して本実施例を説明する。
本実施例においては、図10に示すように外囲器となる容器1内にアノード電極28を有し、また、突起を有する板状部材8a上に導電材料からなる端子部であるバネ端子27を有することを特徴とする。尚、バネ端子27を有することと、板状部材、蓋部材の材質が異なる点を除いては実施例2と同様である。図7に示すように、容器1を真空排気用チャンバー31に格納し、ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段22を用いて、真空排気用チャンバー31を真空に排気した。真空排気用チャンバー内31には、加熱手段として加熱用ヒーター19a,19bが具備されている。また、図10に示すように容器1は互いに対向するフェースプレート2とリアプレート3とを有する。そして貫通孔を有するリアプレート3の内面には表面伝導型電子放出素子(図示せず)が、フェースプレート2の内面にはアノード電極28及び発光部材(図示せず)が形成されている。そして外囲器内に表面伝導型電子放出素子、アノード電極、発光部材が位置するように、外囲器(容器1)を形成する。容器1は下面に直径2mmの貫通孔5aを備えている。また、穴の外部からアノード電極までの距離は3.4mmである。
スペーサ部材32と、板状部材8と、蓋部材13は図5に示されている。蓋部材13として、直径4.6mm、深さ0.6mmの盆形状を有する、直径10mm、厚さ1mのFe-Ni合金を準備した。蓋部材13には、側壁部132の内側に縦横2mm程度の溝部100を4箇所設置した。
その上に、直径4mm、厚さ0.25mmに成型した、Inからなるシール材12を設けた。その上に、直径4.4mm、厚さ0.45mmの板状で、中央部に直径1.8mm、高さ0.8mmの突起18を持ち、その突起の上部に導電材料によるバネ端子27が溶接された、Fe−Ni合金からなる板状部材8aを設けた。その上に、外径2.4mm、内径1.85mm、厚さ0.3mmのアルミニウムからなるスペーサ部材32を積載し、積層体16を準備した。バネ端子の長さは4mmである。回転上下機構23は、バネ定数が約1N/mmのバネ材25によって鉛直方向上向きの押付け力の印加が可能なステージ24を備えている。積層体16をステージ24上に設置し、真空排気用チャンバー31内に配置した。積層体16において、蓋部材13に凹状の穴があることから、板状部材8とシール材12との位置決めが可能である。
工程(a) まず、回転上下機構23によって、加熱用ヒーター19a,19bによって加熱されない位置に積層体16を配置した。次に、排気手段22を作動させ、真空排気用チャンバー31内を排気し、貫通孔5を通して容器1の内部の真空度を1×10-4Pa以下まで降下させた。排気工程にあわせて、加熱用ヒーター19a,19bを作動させ、容器1内の吸着ガスを排気するため、加熱用ヒーター19a,19bによって、容器1を350℃で1時間加熱した。その後、加熱用ヒーター19a,19b及び容器1が100℃になるまで自然冷却した。
工程(b) 回転上下機構23によって、積層体16を貫通孔5の直下に移動した。続いて、チャンバー31内を排気し続けながら、加熱用ヒーター19a,19bによって再度加熱し、容器1と、バネ材25を含むステージ24と、積層体16の各部材とを、容器1と同じ温度になるように、Inの融点以下である100℃まで加熱した。
工程(c) 板状部材8aの突起部18が貫通孔5に挿入された状態でスペーサ部材32が貫通孔5の周縁部に当接するまで、回転上下機構23を用いて、ステージ24に保持された積層体16をゆっくりと上昇させた。続けて、板状部材8aがバネ材25によって押圧されるように、回転上下機構23を1mm/secの速度で5mm上昇させた。
工程(d) 加熱用ヒーター19a,19bによって、容器1および各部材を、3℃/minの速度で、Inの融点以上となる160℃まで昇温した。Inが溶融する際も、バネ材25によって各部材が貫通孔5に向けて押され続けているので、Inの溶融に従いシール材12が変形しても、貫通孔内にシール材が流れ込むことなく、容器1が封止された。また、この際、上述のように、リアプレート外面からアノードまでの距離に対してバネ端子27の長さと板状部材の突起18の長さとの合計が大きいので、端子部であるバネ材27は1.6mm縮んだままアノード電極28に接触した状態で固定される。
その後、バネ材25によって積層体16を押し続けたまま、室温まで冷却し、その後、真空排気用チャンバー18内をパージし、でき上がった容器1を取り出した。
以上の様にして、形成された気密容器では、蓋部材13と容器1の外面6間に厚さ300μmのInが隙間無く形成された。また、工程(c),(d)においてバネ材による押圧を継続して行ったため、工程(d)において、シール材12であるInが溶融し変形する間も、板状部材8aが貫通孔5の周縁部に押し続けられ、貫通孔5へのシール材12の流れ込みを防止することができた。また、板状部材8aと貫通孔5の周縁部、蓋部材13と貫通孔5の周縁部の2箇所でシールされているため十分な気密性を備えた真空気密が得られた。
このようにして、内部に表面伝導型電子放出素子を具備し、内部を真空に排気された画像表示装置が得られた。尚、画像表示装置内のアノード電極28に導電体からなるバネ端子27が接触した状態で保持される。そしてバネ端子27に溶接された板状部材8aがFe−Ni合金、シール材12がIn、蓋部材13もFe−Ni合金であるので、蓋部材13と、アノード電極28は電気的な導通を有している。このようにこの実施例においては、真空気密容器の作成において、容器を封止すると同時に真空容器内部への導通電極を作成することができた。尚、本実施例では、スペーサ部材、板状部材、シール材、蓋部材を積層した積層体を用いて画像表示装置の外囲器を作成したが、これに限らず実施形態1に記載の方法にも応用可能であり、その場合も同様の効果を得られる。
1 容器
5,5a 貫通孔
6 外面
8,8a 板状部材
9 周縁部
10 当接面
12 シール材
13 蓋部材
14a,14b 空隙部
16 積層体
18 突起
32 スペーサ部材
100 溝部
131 板状部
132 側壁
5,5a 貫通孔
6 外面
8,8a 板状部材
9 周縁部
10 当接面
12 シール材
13 蓋部材
14a,14b 空隙部
16 積層体
18 突起
32 スペーサ部材
100 溝部
131 板状部
132 側壁
Claims (12)
- 容器の内部を、該容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程と、
内部が排気された前記容器の外面の、前記貫通孔の周縁部に沿ってスペーサ部材を配置する工程と、
板厚方向に貫通する溝部を周縁部に有する板状部材を、該板状部材が前記スペーサ部材及び前記貫通孔を覆い、かつ該板状部材と前記容器の前記外面との間に前記スペーサ部材の側面に沿った空隙部が形成されるように配置する工程と、
シール材を介して前記板状部材を覆うように蓋部材を配置し、該蓋部材と前記容器の前記外面とを、前記シール材を介して接合し、該容器を封止する工程と、
を有し、
前記封止する工程は、前記板状部材を蓋部材で押付けながら前記シール材が前記溝部を介して前記蓋部材と前記容器の外面との間に位置するとともに前記空隙部に充填されるように前記シール材を変形させた後、該シール材を固化することを含む、気密容器の製造方法。 - 容器の内部を、該容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程と、
内部が排気された前記容器の外面の、前記貫通孔の周縁部に沿ってスペーサ部材を配置する工程と、
板厚方向に貫通する溝部を周縁部に有する板状部材を、該板状部材が前記スペーサ部材及び前記貫通孔を覆い、かつ該板状部材と前記容器の前記外面との間に前記スペーサ部材の側面に沿った空隙部が形成されるように配置する工程と、
板状部と、該板状部の周縁部に沿って位置する側壁であって該側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備えた蓋部材を、シール材を介して前記板状部材を覆うように配置し、該蓋部材と前記容器の前記外面とを、前記シール材を介して接合し、該容器を封止する工程と、
を有し、
前記封止する工程は、前記板状部材を蓋部材で押付けながら前記シール材が前記溝部を介して前記蓋部材と前記容器の外面との間に位置するとともに前記空隙部に充填されるように前記シール材を変形させた後、該シール材を固化することを含む、気密容器の製造方法。 - 容器の内部を、該容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程と、
スペーサ部材と板状部材と蓋部材とが該板状部材と該蓋部材との間にシール材を挟んで積層された積層体を準備する工程と、
内部が排気された前記容器の外面に、前記板状部材が前記貫通孔を覆うように前記積層体を押付け、前記蓋部材と前記容器の前記外面とを前記シール材を介して接合し、該容器を封止する工程と、
を有し、
前記蓋部材は、板状部と、該板状部の周縁部に沿って延びる側壁であって該側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備え、
前記封止する工程は、前記積層体を、前記板状部材と前記容器の前記外面との間に前記スペーサ部材の側面に沿った空隙部が形成されるように配置することと、前記板状部材を前記蓋部材で押付けながら、前記シール材が前記溝部を介して前記蓋部材と前記容器の前記外面との間に位置するとともに前記空隙部に充填されるように該シール材を変形させた後、該シール材を固化することを含む、気密容器の製造方法。 - 前記板状部材は円形であり、前記溝部は前記板状部材の前記周縁部に一定の角度間隔で位置している、請求項1に記載の気密容器の製造方法。
- 前記蓋部材の前記側壁は円筒形であり、前記溝部は前記側壁に一定の角度間隔で位置している、請求項2または3に記載の気密容器の製造方法。
- 前記シール材を変形させる前に、前記スペーサ部材と前記板状部材と前記蓋部材の少なくとも1つを加熱する工程を有する、請求項1から5のいずれか1項に記載の気密容器の製造方法。
- 前記シール材を変形させることは、前記シール材を押付ける方向と平行な軸を中心として前記蓋部材を回転させながら、該シール材を該蓋部材で押付けることを含む、請求項1から6のいずれか1項に記載の気密容器の製造方法。
- 前記板状部材は、前記貫通孔の内部に挿入可能な突起を有し、該板状部材は、該突起が該貫通孔の内部に挿入した状態で前記容器の前記外面に当接する、請求項1から7のいずれか1項に記載の気密容器の製造方法。
- 前記蓋部材の平面積は前記板状部材の平面積よりも大きい、請求項1から8のいずれか1項に記載の気密容器の製造方法。
- 前記排気する工程は、前記貫通孔よりも大きい内径を有する排気管を該貫通孔に接続して前記容器内を排気することを含み、
前記積層体を配置する工程は、前記排気管内に設けられた積層体を該排気管に沿って移動させて前記貫通孔を塞ぐように配置することを含む、
請求項3に記載の画像表示装置の製造方法。 - 請求項1から10のいずれか1項に記載の気密容器の製造方法を用いて、内部が真空にされた外囲器を製造する工程を有する、画像表示装置の製造方法。
- 前記外囲器内にアノード電極をさらに有し、前記板状部材は、導電材料からなる端子部を有し、前記封止する工程は、前記端子部を前記アノード電極に接触した状態で行われる、請求項11に記載の画像表示装置の製造方法。
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