JP2010170872A - 気密容器及び画像表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】貫通孔を蓋部材で封止する工程を含む気密容器の製造方法において、シール性を確保すると共に、シール材の貫通孔内への流入を抑制する。
【解決手段】気密容器の製造方法は以下の工程を有している。（ａ）容器１の内部を、容器に設けられた貫通孔５を通して排気する工程。（ｂ）内部が排気された容器１の外面６に、板厚方向に貫通する溝部１００を周縁部に有する板状部材８を、貫通孔５を塞ぐように配置する工程。（ｃ）シール材１２を介して板状部材８を覆うように蓋部材１３を配置し、蓋部材１３と容器１の外面６とを、シール材１２を介して接合する工程。そして、封止する工程は、板状部材８を蓋部材１３で押付けながら、シール材１２が溝部１００を介して蓋部材１３と容器１の外面６との間に位置するようにシール材１２を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。
【選択図】図１

Description

本発明は、気密容器の製造方法に関する。特に、本発明は、平面型画像表示装置に用いる真空気密容器（外囲器）の製造方法に関する。

リアプレートに画像信号に応じて電子を放出する多数の電子放出素子が設けられ、フェースプレートに電子の照射を受けて発光し画像を表示する蛍光膜が設けられ、内部が真空に維持される画像表示装置が知られている。このような画像表示装置では、フェースプレートとリアプレートとを支持枠を介して接合し、外囲器を形成する構成が一般的である。このような画像表示装置を製造する場合、外囲器の内部を排気し真空にする必要がある。この工程はいくつかの方法によって実施することができる。その一つとして、容器の内部を、容器の表面に設けられた貫通孔を通して排気し、その後貫通孔を蓋部材で封止する方法が知られている。

蓋部材で貫通孔を封止する場合、封止効果を得るために、貫通孔の周りにシール材を配置することが必要である。このシール材の配置方法にはいくつかの方法が知られているが、真空気密容器に適用する場合には、シール材が貫通孔の内部に流入しない構造が望ましい。なぜなら、シール材を貫通孔の周囲に均一に形成するためにはシール材を加熱し軟化または溶融させる必要があるが、この時、容器内外の気圧差によってシール材が貫通孔の内部に流入するおそれがあるためである。特に画像表示装置の外囲器の場合、貫通孔の内部に流入したシール材は放電現象の原因となる。

特許文献１には、蓋部材の貫通孔と対向する面をテーパ形状に形成する技術が開示されている。テーパ状の面は貫通孔の周縁部から離れるに従って、貫通孔が形成された面との間隔が広がるように形成されている。溶融したシール材は自身の重みによって変形し、テーパ部の方へ移動していき、貫通孔の内部への流入が抑制される。

特許文献２には、円形の貫通孔を球体状の金属キャップ等で閉鎖し、貫通孔とキャップとの当接部に外側からシール材を充填し貫通孔を封止する技術が開示されている。テーパ状の貫通孔にキャップが嵌る構造のため、容器の内部が真空であるとキャップが容器の内側を向く力を受け、貫通孔により密着しやすくなり、その結果シール材が流入しにくくなる。
特開２００３-１９２３９９号公報 米国特許第６２６１１４５号明細書

特許文献１に記載の技術は、シール材が貫通孔に直接面しているため、シール材の溶融時に、シール材が貫通孔に流れ込む可能性が大きい。すなわち、シール材の大半はテーパ部に流入するとしても、一部のシール材は、容器内部の真空にも影響され、貫通孔の内部に流入する可能性がある。特許文献２の技術は、シール材をキャップの周辺にシール材が塗布されているだけで、特許文献１のようにシール材を押付ける工程がないため、シール材を均等に分布させることが難しい。このため、十分なシール性を得ることが困難となる可能性がある。

本発明は、貫通孔を蓋部材で封止する工程を含む気密容器の製造方法において、シール性を確保すると共に、シール材の貫通孔内への流入を抑制することのできる気密容器の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、かかる気密容器の製造方法を用いた画像表示装置の製造方法を提供することを目的とする。

本発明の気密容器の製造方法は以下の工程を有している。（ａ）容器の内部を、容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程。（ｂ）内部が排気された容器の外面に、板厚方向に貫通する溝部を周縁部に有する板状部材を、貫通孔を塞ぐように配置する工程。（ｃ）シール材を介して板状部材を覆うように蓋部材を配置し、蓋部材と容器の外面とを、シール材を介して接合する工程。そして、封止する工程は、板状部材を蓋部材で押付けながら、シール材が溝部を介して蓋部材と容器の外面との間に位置するようにシール材を変形させた後、該シール材を固化することを含んでいる。

本発明の他の気密容器の製造方法は以下の工程を有している。（ａ）容器の内部を、容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程。（ｂ）内部が排気された容器の外面に、貫通孔を塞ぐように板状部材を配置する工程。（ｃ）板状部と、板状部の周縁部に沿って位置する側壁であって側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備えた蓋部材を、シール材を介して板状部材を覆うように配置し、蓋部材と容器の外面とを、シール材を介して接合し、該容器を封止する工程。そして、封止する工程は、板状部材を蓋部材で押付けながら、シール材が溝部を介して蓋部材と容器の外面との間に位置するようにシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。

本発明の他の気密容器の製造方法は以下の工程を有している。（ａ）容器の内部を、容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程。（ｂ）板状部材と蓋部材とが板状部材と蓋部材との間にシール材を挟んで積層された積層体を準備する工程。（ｃ）内部が排気された容器の外面に、板状部材が貫通孔をふさぐように積層体を押付け、蓋部材と容器の外面とをシール材を介して接合し、容器を封止する工程。蓋部材は、板状部と、板状部の周縁部に沿って延びる側壁であって側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備えている。そして、封止する工程は、積層体を、板状部材を蓋部材で押付けながら、シール材が溝部を介して蓋部材と容器の外面との間に位置するようにシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいる。

本発明の画像表示装置の製造方法は、上記の気密容器の製造方法を用いて、内部が真空にされた外囲器を製造する工程を有している。

本発明によれば、貫通孔を蓋部材で封止する工程を含む気密容器の製造方法において、効率よくシール性を確保すると共に、シール材の貫通孔内への流入を抑制することのできる気密容器の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、かかる気密容器の製造方法を用いた画像表示装置の製造方法を提供することができる。

本発明の気密容器の製造方法は、内部が真空に排気される気密容器の製造方法に広く適用できる。本発明は特に、内部が真空に排気される平面型画像表示装置の外囲器の製造方法に好適に適用できる。

（第１の実施形態）図１を参照して、本発明の第１の実施形態を説明する。図１は、気密容器の貫通孔が外囲器の上面に設置されている状態で貫通孔を封止する場合に、特に好適に用いることのできる封止工程を示す概略ステップ図である。同図（ｄ”）〜（ｇ”）は各々、同図（ｄ）〜（ｇ）のＤ−Ｄ線、Ｅ−Ｅ線、Ｆ−Ｆ線、及びＧ−Ｇ線から見た断面図（見上げ図）である。同図（ｄ）〜（ｇ）は各々同図（ｄ”）〜（ｇ”）のｄ−ｄ線、ｅ−ｅ線、ｆ−ｆ線、及びｇ−ｇ線から見た断面図であり、同図（ｅ’）は同図（ｅ”）のｅ’−ｅ’線から見た断面図である。

（ステップＳ１）まず、容器１の内部Ｓを、容器１の表面に設けられた貫通孔５を通して排気する。容器１は所望の材質及び構成を有することができる。平面画像表示装置の場合、容器１の一部はガラスで製造されることが多い。本実施形態では、図１（ａ）に示すように、容器１は、フェースプレート２と、リアプレート３と、支持枠４と、からなり、ガラスフリット等の適宜の手段で相互に接合されて、気密容器を形成している。リアプレート３には、画像信号に応じて電子を放出する多数の電子放出素子（図示せず）が設けられている。フェースプレート２には、電子の照射を受けて発光し画像を表示する蛍光膜（図示せず）が設けられている。リアプレート３にはさらに、概ね円形の開口である貫通孔５が設けられている。貫通孔５の位置及び大きさは、容器１の所望の真空度、所望の排気時間等を考慮して適宜設定される。本実施形態では貫通孔５は１箇所だけ設けているが、複数個設置しても構わない。後述するシール材１２との密着性や濡れ性を向上させるために、容器１の外面６の、貫通孔５の周囲の部分を、超音波洗浄などを用いて表面処理してもよいし、金属膜を成膜してもよい。

容器１の排気手段は、容器１の内部が所望の真空度になるように選択される。排気手段は、容器１の内部が貫通孔５を通して排気され、以降に述べる工程が実施できれば特に限定されない。容器１全体を真空排気用チャンバー内に入れた状態で排気すると、後述する各部材（板状部材８、蓋部材１３等）の移動機構（実施例における回転上下機構２０，２３）も同一チャンバー内に設けることができるため、望ましい。

（ステップＳ２）図１（ｂ）に示すように、内部Ｓが排気された容器１の外面６に貫通孔５を塞ぐように板状部材８を配置する。具体的には、板状部材８を、貫通孔５の周縁部９（図１（ａ）参照）に沿って板状部材８が当接し、かつ貫通孔５が板状部材８で閉じられるように、配置する。板状部材８の平面図（容器外面６側から板状部材８を見た図）を図２に示す。板状部材８は板厚方向に貫通する溝部１００を周縁部に有している。溝部１００は、板状部材８の周縁部に所望の間隔で複数個設けられている。本実施形態では、板状部材８は、貫通孔５より大きな寸法を有している円形部材であり、溝部１００は一定の角度間隔（９０°ピッチ）で設けられている。溝部１００は、貫通孔５の中心から見て貫通孔５の周縁部よりも外側にある。図１（ｂ）〜図１（ｇ）に示された断面図は、溝部１００を通るように切断した際の断面図を記している。この溝部１００を設けることによって、溝部１００のある部分が起点となってシール材が積極的に流れ込むため、シール材を所望の位置に偏りなく充填することができる。また、溝部１００の無い部分で、板状部材８と蓋部材１３の相対的な位置決めをすることができる。板状部材８は貫通孔５とほぼ同心に配置することが望ましい。板状部材８の当接面１０は、容器１の外面６と当接し、シール材１２が貫通孔５の内部に流入することを防止する。従って、当接面１０は、板状部材８を容器１の貫通孔５を覆うように配置したときに容器１の外面６との間の間隙（リークパス）が少なくなるように、その形状及び表面粗さが定められていることが望ましい。板状部材８の厚さは、シール材１２のシール性能や変形性を考慮して適宜定められる。本実施形態において、第２の実施形態で述べるような突起構造（突起部１８）を備えた板状部材を用いることもできる。

（ステップＳ３）図１（ｃ）に示すように、板状部材８の貫通孔５との当接面１０の反対側の面１１（図１（ｂ）参照）にシール材１２を設ける。シール材１２は、板状部材８よりも大きな厚みとなるように、十分な量を設ける。シール材１２の材料は、所望のシール性及び接着特性が得られるものであれば特に限定されない。本実施形態では、平面画像表示装置に用いられるガラス製の容器１を対象としているため、シール材１２としての高いシール性や加熱時の応力を考慮して、ガラスフリットやＩｎ、ＩｎＳｎといったＩｎ合金が使用される。

（ステップＳ４）図１（ｄ）に示すように、シール材１２上に蓋部材１３を配置する。この結果、蓋部材１３は板状部材８を覆うように配置される。蓋部材１３の平面図（容器外面６側から蓋部材１３を見た図）を図３（ａ）に示す。図３（ｂ）は、図３（ａ）のＡ−Ａ’線に沿った断面図である。蓋部材１３は、板状部１３１と、板状部１３１の周縁部に沿って位置する円筒形状の側壁１３２と、を備えている。シール材１２のシール特性に応じて、板状部材８の周囲で十分なシール幅が得られるように、板状部材８の平面積よりも大きな平面積を有する蓋部材１３を用いることが望ましい。

次に、図１（ｅ），（ｆ），（ｇ）に示すように、シール材１２を蓋部材１３で鉛直方向下向き（白抜き矢印）に押付け、シール材１２が板状部材８の外周部に沿って、蓋部材１３と容器１の外面６との間の空間１４を充填するように、シール材１２を変形させる。具体的には、蓋部材１３でシール材１２を押付けると、図１（ｅ）に示すように、シール材１２が変形しながら、その一部が板状部材８の側方に移動し、溝部１００の部分から容器側へ流れ込んでくる。また、シール材１２の一部は蓋部材１３に沿って横方向にも広がる。さらに蓋部材１３でシール材１２を押付けると、図１（ｆ）、（ｇ）に示すように、隣接した複数の溝部１００から充填されたシール材１２が互いに繋がり、切れ目の無い円状となる。シール材１２は、空間１４を完全に埋め、蓋部材１３とほぼ同じ幅まで広がる。その後、シール材１２を加熱固化させる。図１（ｅ’）に示すように、溝部１００を有さない部分で、板状部材８によってシール材１２が容器外面６に向けて変形する（流れ込む）のが妨げられている。その後、上述のように複数の溝部１００から充填されたシール材１２は、隣接する溝部１００からのシール材１２と繋がり、切れ目の無い円状となる。

ただし、シール材１２は必ずしもこのような状態に変形する必要は無い。例えば、所定のシール幅が確保されていれば、蓋部材１３と同じ幅まで広がる必要はない。また、図１では板状部材８と蓋部材１３の間にもシール材１２が残存しているが、シール材１２の全てが蓋部材１３と容器１の外面６との間の空間１４に移動してもよい。

蓋部材１３でシール材１２を押付ける際には、シール材１２の特性に応じて、シール材１２が溶融する温度まで加熱することが望ましい。これによって、シール材１２の変形性能が高められる。なお、本実施形態では容器１全体を真空排気用チャンバーに入れているため、加熱の際の対流が期待できず、加熱効率が低下することも考えられる。そこで、シール材１２を溶融温度まで加熱する際の加熱時間の短縮を目的として、シール材１２を変形させる工程の前に、シール材１２が溶融しない範囲で板状部材８と蓋部材１３の少なくとも一方を加熱しておいてもよい。板状部材８または蓋部材１３からの熱がシール材１２に伝達し、シール材１２の加熱効果が得られる。加熱温度は、板状部材８または蓋部材１３が急激な温度変化で破壊されないように定めることが望ましい。

荷重（押付け力）の印加方法は適宜選択することができる。例えばバネ材を用いたり、機械的に押付け力を印加したり、重りを配置するなどの手段が挙げられる。また、本実施形態では蓋部材１３の位置を保持するための荷重の引加と、シール材１２を変形させるための荷重の印加とが、同一の荷重によって実現されるが、別々の手段を用いてもよい。なお、この際の荷重については、少なくともシール材１２が気密性を保つように十分押しつぶされる力が必要である。シール材１２を変形させる際に、図１（ｅ）に示すように、シール材１２を押付ける方向と平行な軸（例えば蓋部材１３の中心軸Ｃ）を中心として蓋部材１３を回転させながら、シール材１２を蓋部材１３で押付けてもよい。シール材１２がより効率的に変形し、空間１４内に均一に充填される。

本実施形態によれば、板状部材８が蓋部材１３で押付けられながらシール材１２が変形し、その後シール材１２が固化されて封着接合が行われる。つまり、シール材１２が溶融して変形する際に、板状部材８が下向きの力で貫通孔５に対して押されながら、貫通孔５を塞いでいる。従って、板状部材８の当接面１０と容器１の外面６との間のシール性が高められ、溶融したシール材１２が貫通孔５に流れにくくなる。これにより、平面型画像表示装置においては、画像表示のための高電圧印加時に、流れ込んだシール材１２によって引き起こされる放電現象を防止することが容易となる。また、シール材１２の材質によっては、シール材１２がガスを発生する場合もあるが、本実施形態では、シール材１２が容器１内部に流れ込むことがほとんどないため、ガスによる電子放出素子等への悪影響も生じにくい。

また、本実施形態では、容器外面６と蓋部材１３の間に設けられたシール材１２によるシール効果の他、板状部材８が貫通孔５を塞ぐように位置していることによるシール効果も期待できるため、シール性能自体も向上し、気密不良を防止することが容易となる。

また、本実施形態では、板状部材８の厚さがシール材１２の厚さの最小値を規定することになる。従って、押付け荷重が多少大きくてもシール材１２が板状部材８の厚さ以下まで変形することが防止され、気密性の信頼性の向上につながる。ただし、容器１、板状部材８、及び蓋部材１３の破壊を防止するため、押付け荷重をあまり大きくすることは望ましくない。

上記実施形態においては、蓋部材１３が、板状部材８を収める凹部を有しているが、これに限るものではない。図４に示すように、蓋部材１３が平板状であっても、板状部材８の周縁部に溝部（切り欠き）があることによって、シール材１２が変形する際に、溝部を起点として、シール材１２積極的に容器外面に向けて流れ出す（シール材が変形する。）。従って、シール材１２の偏りが少なく、結果、気密性の高い容器を形成しえる。なお、図４（ａ）は蓋部材の平面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ’線に沿った断面図、同図（ｃ）はＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。

（第２の実施形態）本実施形態は、板状部材とシール材と蓋部材とからなる積層体を貫通孔の下方から貫通孔に当接させて、貫通孔の封止をおこなう点が第１の実施形態と異なっている。また、溝部は板状部材ではなく、蓋部材に形成されている点でも第１の実施形態と異なる。その他の点については第１の実施形態と同様である。従って、以下の説明では第１の実施形態と異なる点を主に述べ、説明のない事項に関しては第１の実施形態の説明を参照されたい。

図５を参照して、本発明の第２の実施形態を説明する。図５は、気密容器の貫通孔が鉛直方向下向きに開口した状態で貫通孔を封止する場合に、特に好適に用いることのできる封止工程を示す概略ステップ図である。同図（ｃ”）〜（ｅ”）は各々、同図（ｃ）〜（ｅ）のＣ−Ｃ線、Ｄ−Ｄ線、及びＥ−Ｅ線から見た断面図である。同図（ｃ）〜（ｅ）は各々同図（ｃ”）〜（ｅ”）のｃ−ｃ線、ｄ−ｄ線、及びｅ−ｅ線から見た断面図であり、同図（ｄ’）は同図（ｄ”）のｄ’−ｄ’線から見た断面図である。図６に本実施形態の板状部材と蓋部材のみを拡大した図を示す。なお、図６（ａ）は蓋部材及び板状部材の平面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ’線に沿った断面図、同図（ｃ）はＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。

（ステップＳ５１）図５（ａ）に示すように、容器１の内部を、容器１の表面に設けられた貫通孔５を通して排気する。本ステップは第１の実施形態と同様である。

（ステップＳ５２）図５（ｂ）に示すように、板状部材８ａと蓋部材１３とが板状部材８ａと蓋部材１３との間にシール材１２を挟んで積層された積層体１６を準備する。蓋部材１３は、中央に凹部分を持った円状部材であり、この凹部分にて板状部材８と蓋部材１３の相対的な位置決めをすることができる。蓋部材１３は、板状部１３１と、板状部１３１の周縁部に沿って位置する円筒形状の側壁１３２と、を備えており、側壁１３２の内面には、側壁１３２の高さ方向に延びる溝部１００を有している。溝部１００は、蓋部材１３の側壁１３２に一定の角度間隔（９０°ピッチ）で複数個設けられている。尚、図５（ｂ”）〜図５（ｅ”）に示された断面図は、溝部１００を通るように切断した際の断面図を記している。この溝部１００を設けることによって、溝部１００のある部分からシール材が積極的に流れ込むため、シール材を所望の位置に偏りなく充填することができる。

本実施形態では、貫通孔５ａの内部に挿入可能な円筒状または半球状の突起１８を有する板状部材８ａを用いている。後述するように、板状部材８ａを容器１の外面６に当接させる際に、突起１８は貫通孔５ａの内部に挿入される。すなわち、突起１８は板状部材８ａを貫通孔５ａに当接させる際のガイドとして機能する。従って、突起１８は、貫通孔５ａに無理なく嵌る程度の大きさ（直径）を有していることが望ましい。シール材１２は第１の実施形態と同じものを使うことができる。積層体１６を形成する前段階で、シール材１２が溶融しない範囲内で、板状部材８ａと蓋部材１３の少なくとも一方を加熱しておいてもよい。

（ステップＳ５３）図５（ｃ）に示すように、内部が排気された容器１の外面６に、積層体１６を、貫通孔５ａの周縁部９（図５（ａ）参照）に沿って板状部材８ａが当接し、かつ貫通孔５ａが板状部材８ａで閉じられるように、配置する。この操作は、上述のように、貫通孔５ａが鉛直方向下向きに開口した状態で行われる。突起１８が貫通孔５ａの内部に挿入されるので、位置決めは容易である。このとき、シール材１２の特性によっては、シール材１２が溶融しない程度にシール材１２を加熱してもよい。

（ステップＳ５４）図５（ｄ）に示すように、シール材１２を蓋部材１３で鉛直方向上向き（白抜き矢印の方向）に押付ける。荷重を印加する手段は、第１の実施形態と同様に適宜選択することができる。この状態を保ちながら、シール材１２が溶融する温度までシール材１２を加熱する。溶融したシール材１２は板状部材８ａの外周部１５に沿って、蓋部材１３と容器１の外面６との間の空間１４を埋めるように変形する。すなわち、シール材は、溝部１００を介して蓋部材１３と容器１の外面６との間に位置するように変形する。具体的には、蓋部材１３でシール材１２を押付けると、図５（ｄ）に示すように、シール材１２が変形しながら、その一部が板状部材８ａの側方に移動する。また、シール材１２の一部は蓋部材１３に引きずられて横方向にも広がる。この変形の際、シール材１２は複数の溝部１００から容器外面に向けて充填され、隣接した溝部１００からのシール材と繋がり、切れ目の無い円状となる。さらに蓋部材１３でシール材１２を押付けると、図５（ｅ）に示すように、シール材１２は空間１４を完全に埋め、蓋部材１３とほぼ同じ幅まで広がる。図５（ｄ’）に溝部１００を通らない位置で切断した断面図を示す。図５（ｄ’）に示すように、溝部１００を有さない部分で、板状部材８によってシール材１２が容器外面６に向けて変形する（流れ込む）のが妨げられている。その後、上述のように複数の溝部１００から容器外面に向けて充填されたシール材は、隣接した溝部１００からのシール材と繋がり、切れ目の無い円状となる。その後、シール材１２を加熱固化させる。このようにして、本実施形態では、板状部材が貫通孔をふさぐように積層体を押付け、蓋状部材と容器の外面とがシール材を介して接合され、容器１が封止される。また、封止する工程が、板状部材を蓋状部材で押付けながらシール材を変形させた後、シール材を固化することを含んでいることも第１の実施形態と同様である。

本実施形態では、貫通孔が鉛直方向下向きに開口した状態で貫通孔を封止することができ、また、第１の実施形態と同様の効果を奏することができる。すなわち、溶融したシール材１２が貫通孔５ａに流れにくくなり、平面型画像表示装置においては、流れ込んだシール材１２によって引き起こされる放電現象を防止することが容易となる。ガスによる電子放出素子等への悪影響も生じにくい。シール性能自体も向上し、気密不良を防止することが容易となる。押付け荷重が多少大きくてもシール材１２が板状部材８ａの厚さ以下まで変形することが防止され、気密性の信頼性の向上につながる。さらに、本実施形態では、板状部材８とシール材１２と蓋部材１３とを順次設ける工程が不要であり、しかも積層体１６を形成する工程は独立して行うこともできるので、封止工程を合理化できるという効果もある。

なお、上記実施形態では、板状部材、シール材、及び蓋部材からなる積層体を気密容器に下から当接させる例について述べたが、これに限らず、上から当接させても良い。尚、実施形態１で説明したように、本実施形態においても、シール材１２を変形させる際に、シール材１２を押付ける方向と平行な軸を中心として蓋部材１３を回転させながら、シール材１２を蓋部材１３で押付けてもよい。また、シール材１２を変形させる工程の前に、シール材１２が溶融しない範囲で板状部材８と蓋部材１３の少なくとも一方を加熱しておいてもよい。

以下、具体的な実施例を挙げて本発明を詳しく説明する。

（実施例１）
本実施例は、第１の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図７を参照して本実施例を説明する。

本実施例においては、容器１を真空排気用チャンバー３１に格納し、ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段２２を用いて、真空排気用チャンバー３１を真空に排気した。真空排気用チャンバー３１内には、加熱手段として加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂが具備されている。容器１は上面に直径３ｍｍの貫通孔５を備えている。

図８に板状部材８と蓋部材１３の図を示す。同図（ａ）は蓋部材及び板状部材の平面図、同図（ｂ）はＡ−Ａ’線に沿った断面図である。

板状部材８として、直径５ｍｍ、厚さ０．３μｍのソーダライムガラスを準備した。板状部材８には、周縁部分に縦横２ｍｍ程度の溝部１００を４箇所設置した。シール材１２として、仮焼成によって直径７ｍｍ、厚さ０．４ｍｍに成型し、ペースト成分を除去したガラスフリットを準備した。蓋部材１３として、直径８ｍｍ、厚さ１ｍｍのソーダライムガラスを準備した。蓋部材１３には中央部に凹状の穴（窪み）が設けられている。穴（窪み）のサイズは直径７．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍである。荷重印加用重り２１として、ＳＵＳ３４０からなる１５０ｇの重りを準備した。これらの各部材を、部材ごとに独立して上下移動及び回転移動が可能な回転上下機構２０に装着し、真空排気用チャンバー３１内に配置した。

工程（ａ） 排気手段２２を作動させ、真空排気用チャンバー３１内を排気し、貫通孔５を通して容器１内部の真空度を１×１０^-3Ｐａ以下まで降下させた。排気工程にあわせて、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂを作動させ、真空排気用チャンバー３１内部の各部材を、シール材１２であるガラスフリットの軟化点以下の温度である３５０℃まで加熱した。

工程（ｂ） 回転上下機構２０によって板状部材８を貫通孔５の直上に配置した。

工程（ｃ） 回転上下機構２０によってシール材１２を板状部材８の直上に配置した。

工程（ｄ） 回転上下機構２０によって蓋部材１３をシール材１２の直上に配置した。その後、回転上下機構２０によって荷重印加用重り２１を蓋部材１３の直上に回転移動させ、荷重が急激にかからないように、回転上下機構２０によって荷重印加用重り２１を１ｍｍ／１分の速度でゆっくり降下させ、蓋部材１３上に積載した。

工程（ｅ） ガラスフリットの軟化点まで加熱をおこなった。

その後、荷重印加用重り２１を蓋部材１３の上に積載したまま室温まで冷却し、その後真空排気用チャンバー３１内をパージし、でき上がった容器１を取り出した。

以上の様にして、シール材で貫通孔が封止され、内部が真空に排気された真空気密容器を作成した。蓋部材１３と容器１の外面６の間には、厚み０．２ｍｍのガラスフリットが隙間無く形成された。板状部材８に溝部１００を設けたことで、シール材１２の流れが制御され、円周方向に偏りの無い均一な封止形状を作製することができ、気密信頼性を向上することができた。本実施例では、工程（ｄ）において荷重印加用重り２１を搭載したことにより、工程（ｅ）においてシール材であるガラスフリットが溶融し押しつぶされる間も、板状部材８が貫通孔５の周縁部に押し続けられる。このため、貫通孔５へのシール材１２の流れ込みは認められなかった。また、板状部材８と貫通孔５の周縁部、蓋部材１３と貫通孔５の周縁部の２箇所でシールされているため、十分な気密性を備えた真空気密が得られた。

（実施例２）
本実施例は、図５に示される第２の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図９、図１０を参照して本実施例を説明する。

本実施例においては、容器１を真空排気用チャンバー３１に格納し、ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段２２を用いて、真空排気用チャンバー３１を真空に排気した。真空排気用チャンバー内３１には、加熱手段として加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂが具備されている。容器１は対向する２枚の基板を有し、基板の一方の内面には表面伝導型電子放出素子（図示せず）が、他方の基板の内面にはアノード電極及び発光部材（図示せず）が形成されている。容器１は下面に直径４ｍｍの貫通孔５ａを備えている。

図１０に板状部材８と蓋部材１３の図を示す。同図（ａ）は蓋部材及び板状部材の平面図、同図（ｂ）はＢ−Ｂ’線に沿った断面図である。蓋部材１３として、直径１０ｍｍ、厚さ０.５ｍｍの無アルカリガラスを準備した。蓋部材１３には中央部に凹状の穴（窪み）が設けられている。穴（窪み）のサイズは直径７．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍである。蓋部材１３には、側壁１３２に縦横２ｍｍ程度の溝部１００を４箇所設置した。その上に、直径７ｍｍ、厚さ０．４ｍｍに成型した、Ｉｎからなるシール材１２を設けた。その上に、直径５ｍｍ、厚さ０．３ｍｍの板状で、中央部に直径１ｍｍ、高さ２ｍｍの突起１８を持つ、無アルカリガラスからなる板状部材８ａを積載し、積層体１６を準備した。積層体１６の蓋部材１３に凹状の穴（窪み）があることから、板状部材８とシール材１２との位置決めが可能である。回転上下機構２３は、バネ定数が約１Ｎ／ｍｍのバネ材２５によって鉛直方向上向きの押付け力の印加が可能なステージ２４を備えている。積層体１６をステージ２４上に設置し、真空排気用チャンバー３１内に配置した。

工程（ａ） まず、回転上下機構２３によって、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって加熱されない位置に積層体１６を退避させた。次に、排気手段２２を作動させ、真空排気用チャンバー３１内を排気し、貫通孔５を通して容器１の内部の真空度を１×１０^-4Ｐａ以下まで降下させた。排気工程にあわせて、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂを作動させ、容器１内の吸着ガスを排気するため、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって、容器１を３５０℃で１時間加熱した。その後、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂ及び容器１が１００℃になるまで自然冷却した。

工程（ｂ） 回転上下機構２３によって、積層体１６を貫通孔５の直下に移動した。続いて、チャンバー３１内を排気し続けながら、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって再度加熱し、容器１と、バネ材２５を含むステージ２４と、積層体１６の各部材とを、容器１と同じ温度になるように、Ｉｎの融点以下である１００℃まで加熱した。

工程（ｃ） 板状部材８ａの突起部１８が貫通孔５に挿入された状態で板状部材８ａが貫通孔５の周縁部に当接するまで、回転上下機構２３を用いて、ステージ２４に保持された積層体１６をゆっくりと上昇させた。続けて、板状部材８がバネ材２５によって押圧されるように、回転上下機構２３を１ｍｍ／ｓｅｃの速度で５ｍｍ上昇させた。

工程（ｄ） 加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって、容器１および各部材を、３℃／ｍｉｎの速度で、Ｉｎの融点以上となる１６０℃まで昇温した。Ｉｎが溶融する際も、バネ材２５によって各部材が貫通孔５に向けて押され続けているので、Ｉｎの溶融に従いシール材１２が変形し、貫通孔５が封止された。

その後、バネ材２５によって積層体１６を押し続けたまま、室温まで冷却し、その後、真空排気用チャンバー３１内をパージし、でき上がった容器１を取り出した。

以上の様にして、形成された気密容器では、蓋部材１３と容器１の外面６間に厚さ０．２ｍｍのＩｎが隙間無く形成された。蓋部材１３に溝部１００を設けたことで、シール材１２の流れが制御され、円周方向に途切れることの無い均一な封止形状を作製することができ、気密信頼性を向上することができた。また、工程（ｃ），（ｄ）においてバネ材による押圧を継続して行ったため、工程（ｄ）において、シール材１２であるＩｎが溶融し変形する間も、板状部材８ａが貫通孔５の周縁部に押し続けられ、貫通孔５へのシール材１２の流れ込みを防止することができた。また、板状部材８ａと貫通孔５の周縁部、蓋部材１３と貫通孔５の周縁部の２箇所でシールされているため十分な気密性を備えた真空気密が得られた。

このようにして、内部に表面伝導型電子放出素子を具備し、内部を真空に排気された画像形成装置が得られた。この画像形成のアノード電極とカソード電極間に１５ｋＶを２４時間印加したが、画像形成装置エリア及びその周辺エリアには放電は生じず、電子加速電圧を安定的に印加可能なことが確認された。

（実施例３）
本実施例は、第２の実施形態を用いて気密容器を作成した例である。図５、図１０〜１２を参照して本実施例を説明する。

本実施例においては、容器１は下面に直径２ｍｍの貫通孔を有し、また、開口部周囲に容器外面から荷重を局所的に印加しても破壊されないように内部に支持体（スペーサ）２６を有した構成となっている。排気管であるフランジ３０は、貫通孔よりも大きい内径を有しており、その内部に直線導入機による上下機構２３、バネ材２５、およびバネ材に接続された内部ヒーター１９ｃを有している。上下機構によりヒーターを容器側に押し付けることにより、押し付け量に応じて荷重を印加できる構成となっている。また、同時にフランジ３０はターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段２２が接続されており、内部を真空に排気出来る構成となっている。

図１０に板状部材８と蓋部材１３の図を示す。板状部材８ａは、直径５ｍｍ、高さ０．５ｍｍの円盤形状の上に直径１.９ｍｍ、高さ０．５ｍｍの突起を有しており、これらは旭硝子株式会社製ＰＤ-２００で作成されている。シール材１２は、直径４ｍｍ、厚さ１.５ｍｍに整形したＩｎとＡｇからなる合金で作成した。蓋部材１３ａは直径８ｍｍ、厚さ１ｍｍの円状の外形であり、ＰＤ-２００で作製した。蓋部材１３には中央部に凹状の穴（窪み）が設けられている。穴（窪み）のサイズは直径７．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍである。蓋部材１３には、側壁１３２に縦横２ｍｍ程度の溝部１００を４箇所設置した。そして、板状部材８ａ、シール材１２、蓋部材１３ａをこの順で互いに積層し、積層体を形成し、排気管内にこの積層体を配置した。積層体１６の蓋部材１３に凹状の穴（窪み）があることから、板状部材８とシール材１２との位置決めが可能である。

工程（ａ） フランジ３０内の内部ヒーター１９ｃ上に蓋部材１３ａ、シール材１２、板状部材８ａを順にそれぞれの径の中心が揃うようにして、図５の場合と同様に積層し配置した。

工程（ｂ） フランジ３０の開口部に材質バイトンからなるＯリング２９を配置した。

工程（ｃ） 容器１の貫通孔５の周囲にＯリング２９が接しかつ、工程（ａ）における各部材の径の中心と貫通孔５の中心が揃う位置で容器１と、フランジ３０によりＯリング２９を押付けながら排気手段２２により真空排気を開始し、容器１内部を真空排気した。

工程（ｄ） フランジ３０内の、内部ヒーター１９ｃを１５０℃まで加熱保持したのち、１７０℃まで１℃／分のレートで昇温した。そして、フランジ内部の上下機構を１ｍｍ／分の速度で上昇させることで、板状部材８ａ、シール材１２、蓋部材１３ａの積層体を排気管に沿って移動させ、貫通孔５をふさぐように積層体を配置しながら容器外面に押し付けた。

工程（ｅ） その後、工程（ｄ）の押圧を印加した状態を保持したまま、内部ヒーター１９ｃを室温まで自然冷却した。そして、シール材１２が固化したのち、排気手段２２による排気を停止し、フランジ３０内部を大気でパージした後、Ｏリング２９と容器１を離した。

以上の様にして、容器の外面と蓋部材とをシール材を介して接合することで、容器を封止し、内部が真空に排気された真空気密容器を作成した。蓋部材１３に溝部１００を設けたことで、シール材１２の流れが制御され、円周方向に偏りの無い均一な封止形状を作製することができ、気密信頼性を向上することができた。尚、工程（ｄ）において、シール材１２が溶融し変形する間も、板状部材８ａが貫通孔５の周縁部に押し続けられているので、貫通孔５へのシール材１２の流れ込みを防止することができた。また、貫通孔５を塞ぐように板状部材８ａ配置したことによるシールと、貫通孔５の周縁部の容器外表面と蓋部材１３ａとの間に位置するシール材１２よるシールとの２箇所でのシールがなされているため十分な気密性を備えた真空気密が得られた。また本実施例では、蓋部材１３ａの盆形状内部の容積（凹部の容積）と、板状部材８ａの体積とシール材の体積との和とを揃えることで、蓋部材１３ａの内部（凹部）にシール材が隙間無く形成され、蓋部材１３ａの外部に溢れていない外観となった。また、容器１全体を真空チャンバー中に配置した場合に比較し、複数個の真空気密容器を連続して作成した際には、Ｏリング２９の部分で容器１を接続しフランジ内と容器内を排気するだけでよく、真空排気する容積が少ない。このため排気に必要とされる時間が短くて済み、トータルの作成時間の短縮が可能となった。

（実施例４）
本実施例は、第２の実施形態を一部改良して、画像表示装置の外囲器を作成した例である。図５、図９、図１０、及び図１３を参照して本実施例を説明する。

本実施例においては、図１３に示すように外囲器となる容器１内にアノード電極２８を有し、また、突起を有する板状部材８ａ上に導電材料からなる端子部であるバネ端子２７を有することを特徴とする。尚、バネ端子２７を有することと、板状部材、蓋部材の材質が異なる点を除いては実施例２と同様である。図９に示すように、容器１を真空排気用チャンバー３１に格納し、ターボ分子ポンプとドライスクロールポンプとを備えた排気手段２２を用いて、真空排気用チャンバー３１を真空に排気した。真空排気用チャンバー内３１には、加熱手段として加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂが具備されている。また、図５、図１３に示すように容器１は互いに対向するフェースプレート２とリアプレート３とを有する。そして貫通孔を有するリアプレート３の内面には表面伝導型電子放出素子（図示せず）が、フェースプレート２の内面にはアノード電極２８及び発光部材（図示せず）が形成されている。そして外囲器内に表面伝導型電子放出素子、アノード電極、発光部材が位置するように、外囲器（容器１）を形成する。容器１は下面に直径４ｍｍの貫通孔５ａを備えている。また、穴の外部からアノード電極までの距離は３.４ｍｍである。

図１０に板状部材８と蓋部材１３の図を示す。図５、図１３において、蓋部材１３として、直径１０ｍｍ、厚さ５００μｍのＦｅ-Ｎｉ合金を準備した。蓋部材１３には中央部に凹状の穴（窪み）が設けられている。穴（窪み）のサイズは直径７．５ｍｍ、深さ０．５ｍｍである。蓋部材１３には、側壁１３２に縦横２ｍｍ程度の溝部１００を４箇所設置した。その上に、直径７ｍｍ、厚さ０．４ｍｍに成型した、Ｉｎからなるシール材１２を設けた。その上に、直径５ｍｍ、厚さ０．３ｍｍの板状で、中央部に直径１ｍｍ、高さ１ｍｍの突起１８を持ち、その突起の上部に導電材料によるバネ端子２７が溶接された、Ｆｅ−Ｎｉ合金からなる板状部材８ａを積載し、積層体１６を準備した。バネ端子の長さは４ｍｍである。回転上下機構２３は、バネ定数が約１Ｎ／ｍｍのバネ材２５によって鉛直方向上向きの押付け力の印加が可能なステージ２４を備えている。積層体１６をステージ２４上に設置し、真空排気用チャンバー３１内に配置した。積層体１６の蓋部材１３に凹状の穴（窪み）があることから、板状部材８とシール材１２との位置決めが可能である。

工程（ａ） まず、回転上下機構２３によって、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって加熱されない位置に積層体１６を配置した。次に、排気手段２２を作動させ、真空排気用チャンバー３１内を排気し、貫通孔５を通して容器１の内部の真空度を１×１０^-4Ｐａ以下まで降下させた。排気工程にあわせて、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂを作動させ、容器１内の吸着ガスを排気するため、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって、容器１を３５０℃で１時間加熱した。その後、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂ及び容器１が１００℃になるまで自然冷却した。

工程（ｂ） 回転上下機構２３によって、積層体１６を貫通孔５の直下に移動した。続いて、チャンバー３１内を排気し続けながら、加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって再度加熱し、容器１と、バネ材２５を含むステージ２４と、積層体１６の各部材とを、容器１と同じ温度になるように、Ｉｎの融点以下である１００℃まで加熱した。

工程（ｃ） 板状部材８ａの突起部１８が貫通孔５に挿入された状態で板状部材８ａが貫通孔５の周縁部に当接するまで、回転上下機構２３を用いて、ステージ２４に保持された積層体１６をゆっくりと上昇させた。続けて、板状部材８ａがバネ材２５によって押圧されるように、回転上下機構２３を１ｍｍ／ｓｅｃの速度で５ｍｍ上昇させた。

工程（ｄ） 加熱用ヒーター１９ａ，１９ｂによって、容器１および各部材を、３℃／ｍｉｎの速度で、Ｉｎの融点以上となる１６０℃まで昇温した。Ｉｎが溶融する際も、バネ材２５によって各部材が貫通孔５に向けて押され続けているので、Ｉｎの溶融に従いシール材１２が変形しても、貫通孔内にシール材が流れ込むことなく、容器１が封止された。また、この際、上述のように、リアプレート外面からアノードまでの距離に対してバネ端子２７の長さと板状部材の突起１８の長さとの合計が大きいので、端子部であるバネ材２７は１.６ｍｍ縮んだままアノード電極２８に接触した状態で固定される。

その後、バネ材２５によって積層体１６を押し続けたまま、室温まで冷却し、その後、真空排気用チャンバー１８内をパージし、でき上がった容器１を取り出した。

以上の様にして、形成された気密容器では、蓋部材１３と容器１の外面６間に厚さ３００μｍのＩｎが隙間無く形成された。また、工程（ｃ），（ｄ）においてバネ材による押圧を継続して行ったため、工程（ｄ）において、シール材１２であるＩｎが溶融し変形する間も、板状部材８ａが貫通孔５の周縁部に押し続けられ、貫通孔５へのシール材１２の流れ込みを防止することができた。また、板状部材８ａと貫通孔５の周縁部、蓋部材１３と貫通孔５の周縁部の２箇所でシールされているため十分な気密性を備えた真空気密が得られた。

このようにして、内部に表面伝導型電子放出素子を具備し、内部を真空に排気された画像表示装置が得られた。尚、画像表示装置内のアノード電極２８に導電体からなるバネ端子２７が接触した状態で保持される。そしてバネ端子２７に溶接された板状部材８ａがＦｅ−Ｎｉ合金、シール材１２がＩｎ、蓋部材１３もＦｅ−Ｎｉ合金であるので、蓋部材１３と、アノード電極２８は電気的な導通を有している。このようにこの実施例においては、真空気密容器の作成において、容器を封止すると同時に真空容器内部への導通電極を作成することができた。尚、本実施例では、板状部材、シール材、蓋部材を積層した積層体を用いて画像表示装置の外囲器を作成したが、これに限らず実施形態１に記載の方法にも応用可能であり、その場合も同様の効果を得られる。

第１の実施形態の封止工程を示す概略ステップ図である。 第１の実施形態における板状部材の平面図である。 第１の実施形態における蓋部材の平面図及び断面図である。 第１の実施形態における変形例の板状部材の平面図である。 第２の実施形態の封止工程を示す概略ステップ図である。 第２の実施形態における板状部材及び蓋部材の平面図及び断面図である。 第１の実施例の説明図である。 第１の実施例における板状部材及び蓋部材の平面図及び断面図である。 第２の実施例の説明図である。 第２の実施例における板状部材及び蓋部材の平面図及び断面図である。 第３の実施例を示す概略ステップ図である。 第３の実施例の説明図である。 第４の実施例の説明図である。

１ 容器
５，５ａ 貫通孔
６ 外面
８，８ａ 板状部材
９ 周縁部
１０ 当接面
１２ シール材
１３ 蓋部材
１４ 空間
１６ 積層体
１８ 突起
１００ 溝部

Claims (12)

1. 容器の内部を、該容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程と、
   内部が排気された前記容器の外面に、板厚方向に貫通する溝部を周縁部に有する板状部材を、前記貫通孔を塞ぐように配置する工程と、
   シール材を介して前記板状部材を覆うように蓋部材を配置し、該蓋部材と前記容器の外面とを、前記シール材を介して接合し、該容器を封止する工程と、
   を有し、
   前記封止する工程は、前記板状部材を蓋部材で押付けながら、前記シール材が前記溝部を介して前記蓋部材と前記容器の外面との間に位置するように該シール材を変形させた後、該シール材を固化することを含む、気密容器の製造方法。
2. 容器の内部を、該容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程と、
   内部が排気された前記容器の外面に、前記貫通孔を塞ぐように板状部材を配置する工程と、
   板状部と、該板状部の周縁部に沿って位置する側壁であって該側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備えた蓋部材を、シール材を介して前記板状部材を覆うように配置し、該蓋部材と前記容器の外面とを、前記シール材を介して接合し、該容器を封止する工程と、
   を有し、
   前記封止する工程は、前記板状部材を蓋部材で押付けながら、前記シール材が前記溝部を介して前記蓋部材と前記容器の外面との間に位置するように該シール材を変形させた後、該シール材を固化することを含む、気密容器の製造方法。
3. 容器の内部を、該容器に設けられた貫通孔を通して排気する工程と、
   板状部材と蓋部材とが該板状部材と該蓋部材との間にシール材を挟んで積層された積層体を準備する工程と、
   内部が排気された前記容器の外面に、前記板状部材が前記貫通孔を覆うように前記積層体を押付け、前記蓋部材と前記容器の前記外面とを前記シール材を介して接合し、該容器を封止する工程と、
   を有し、
   前記蓋部材は、板状部と、該板状部の周縁部に沿って延びる側壁であって該側壁の高さ方向に延びる溝部を内面に有する側壁と、を備え、
   前記封止する工程は、前記積層体を、前記板状部材を蓋部材で押付けながら、前記シール材が前記溝部を介して前記蓋部材と前記容器の外面との間に位置するように該シール材を変形させた後、該シール材を固化することを含む、気密容器の製造方法。
4. 前記板状部材は円形であり、前記溝部は前記板状部材の前記周縁部に一定の角度間隔で位置している、請求項１に記載の気密容器の製造方法。
5. 前記蓋部材の前記側壁は円筒形であり、前記溝部は前記側壁に一定の角度間隔で位置している、請求項２または３に記載の気密容器の製造方法。
6. 前記シール材を変形させる前に、前記板状部材と前記蓋部材の少なくとも一方を加熱する工程を有する、請求項１から５のいずれか１項に記載の気密容器の製造方法。
7. 前記シール材を変形させることは、前記シール材を押付ける方向と平行な軸を中心として前記蓋部材を回転させながら、該シール材を該蓋部材で押付けることを含む、請求項１から６のいずれか１項に記載の気密容器の製造方法。
8. 前記板状部材は、前記貫通孔の内部に挿入可能な突起を有し、該板状部材は、該突起が該貫通孔の内部に挿入した状態で前記容器の前記外面に当接する、請求項１から７のいずれか１項に記載の気密容器の製造方法。
9. 前記蓋部材の平面積は前記板状部材の平面積よりも大きい、請求項１から８のいずれか１項に記載の気密容器の製造方法。
10. 前記排気する工程は、前記貫通孔よりも大きい内径を有する排気管を該貫通孔に接続して前記容器内を排気することを含み、
    前記積層体を配置する工程は、前記排気管内に設けられた積層体を該排気管に沿って移動させて前記貫通孔を塞ぐように配置することを含む、
    請求項３に記載の画像表示装置の製造方法。
11. 請求項１から１０のいずれか１項に記載の気密容器の製造方法を用いて、内部が真空にされた外囲器を製造する工程を有する、画像表示装置の製造方法。
12. 前記外囲器内にアノード電極をさらに有し、前記板状部材は、導電材料からなる端子部を有し、前記封止する工程は、前記端子部を前記アノード電極に接触した状態で行われる、請求項１１に記載の画像表示装置の製造方法。

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