JPS6011410B2 - 真空バルブの製造方法 - Google Patents
真空バルブの製造方法Info
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- JPS6011410B2 JPS6011410B2 JP7280677A JP7280677A JPS6011410B2 JP S6011410 B2 JPS6011410 B2 JP S6011410B2 JP 7280677 A JP7280677 A JP 7280677A JP 7280677 A JP7280677 A JP 7280677A JP S6011410 B2 JPS6011410 B2 JP S6011410B2
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- Japan
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- vacuum
- manufacturing
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空バルブの製造方法、特にレーザを利用した
溶接方法に関するものである。
溶接方法に関するものである。
一般に真空バルブは絶縁容器とその両端を端板で閉塞し
た真空容器内に、薮離自在な一対の電極を設けて構成し
ている。
た真空容器内に、薮離自在な一対の電極を設けて構成し
ている。
また真空バルブの内部を真空ポンプで高真空に排気する
ため一方の端板に排気管を設けているのがもっとも一般
的な構造になつている。この真空バルブの製造方法とし
ては、構成部品を金属ろう付やＴＩＧ溶接等の手段によ
って組立てた真空バルブを、真空ポンプに前記排気管を
接続して取付けた後、真空ポンプを動作させて真空バル
ブ内部を高真空に排気するとともに真空バルブを外部よ
り高温に加熱して排気脱ガスすることによって製造され
る。
ため一方の端板に排気管を設けているのがもっとも一般
的な構造になつている。この真空バルブの製造方法とし
ては、構成部品を金属ろう付やＴＩＧ溶接等の手段によ
って組立てた真空バルブを、真空ポンプに前記排気管を
接続して取付けた後、真空ポンプを動作させて真空バル
ブ内部を高真空に排気するとともに真空バルブを外部よ
り高温に加熱して排気脱ガスすることによって製造され
る。
この排気脱ガス工程の最終段階では、第１図に示したよ
うに真空バルブ１に取付けられた排気管５０を治具５１
により圧着接合で排気管６０の途中を封じ切ることによ
って真空バルブ１は完成する。なお本図に於て５２は真
空ポンプで５３は排気管５０と真空ポンプ５２との接続
部分を示す。このようにして製造された真空バルブーの
排気管封じ切り部分は、外部に突出て配置されるため取
扱いの不注意等によって封じ切り部先端が損傷されやす
いという問題があった。排気管の材質は軟質の鋼管など
を用いることが多いので機械的にも弱いので、わずかな
機械的打撃によってもリークが発生しやすくその結果真
空バルブを真空不良に至らしめる。そのため排気管封じ
切り部に樹脂やハンダ等を盛り固めたり、あるいは保護
用キャップにて覆い被せて封じ切り部の損傷防止を図っ
ていた。しかしながら大きな機械的打撃に対しては不充
分であるばかりでなく、真空バルブを機器に組込む際に
排気管の封じ切り部が邪魔になり真空バルブ使用機器の
小形化を図る上で支障となっていた。本発明は上言己の
ような事情に鑑みなされたもので、真空バルブの気密封
止を真空中でレーザ溶接することにより排気管のない真
空バルブを製造することを目的とし、よって真空バルブ
の小形化、信頼性向上を計ることにある。
うに真空バルブ１に取付けられた排気管５０を治具５１
により圧着接合で排気管６０の途中を封じ切ることによ
って真空バルブ１は完成する。なお本図に於て５２は真
空ポンプで５３は排気管５０と真空ポンプ５２との接続
部分を示す。このようにして製造された真空バルブーの
排気管封じ切り部分は、外部に突出て配置されるため取
扱いの不注意等によって封じ切り部先端が損傷されやす
いという問題があった。排気管の材質は軟質の鋼管など
を用いることが多いので機械的にも弱いので、わずかな
機械的打撃によってもリークが発生しやすくその結果真
空バルブを真空不良に至らしめる。そのため排気管封じ
切り部に樹脂やハンダ等を盛り固めたり、あるいは保護
用キャップにて覆い被せて封じ切り部の損傷防止を図っ
ていた。しかしながら大きな機械的打撃に対しては不充
分であるばかりでなく、真空バルブを機器に組込む際に
排気管の封じ切り部が邪魔になり真空バルブ使用機器の
小形化を図る上で支障となっていた。本発明は上言己の
ような事情に鑑みなされたもので、真空バルブの気密封
止を真空中でレーザ溶接することにより排気管のない真
空バルブを製造することを目的とし、よって真空バルブ
の小形化、信頼性向上を計ることにある。
以下本発明の実施例を第２図を参照して説明する。
１は真空バルブであり、絶縁容器２の両端には金具３ａ
，３ｂが取り付けられており、その内部には一対の電極
４ａ，４ｂを配し、電流開閉時に電極から発生する金属
蒸気により絶縁容器２の内壁汚損を防止するため、電極
４ａ，４ｂを取り巻くようにアークシールド７を配して
いる。
，３ｂが取り付けられており、その内部には一対の電極
４ａ，４ｂを配し、電流開閉時に電極から発生する金属
蒸気により絶縁容器２の内壁汚損を防止するため、電極
４ａ，４ｂを取り巻くようにアークシールド７を配して
いる。
先端に電極４ａを取り付けた一方の通電軸５ａは端板６
ａを真空密に貫通して外部に突出ている。また先端に電
極４ｂを取り付けた他方の通電軸５ｂは、金具３ｂにべ
ローズ８を介して取り付けられ前記一対の電極４ａ，４
ｂを真空保持状態で薮離自在に支持されている。次に上
記で述べた真空バルブーの製造方法について詳細に説明
する。第２図に示した真空室２５は真空バルブ１の内部
も同時に高真空にさせるためのものであり、排気装置２
１を動作させることにより真空室が得られる。２６は真
空室２５の器壁２４の一部に設けられたガラス等の透明
物体からなる窓であり、真空室２５内の真空バルブ１の
一方の端板６ａと金具３ａの接合面附近に対向するよう
に位置されている。
ａを真空密に貫通して外部に突出ている。また先端に電
極４ｂを取り付けた他方の通電軸５ｂは、金具３ｂにべ
ローズ８を介して取り付けられ前記一対の電極４ａ，４
ｂを真空保持状態で薮離自在に支持されている。次に上
記で述べた真空バルブーの製造方法について詳細に説明
する。第２図に示した真空室２５は真空バルブ１の内部
も同時に高真空にさせるためのものであり、排気装置２
１を動作させることにより真空室が得られる。２６は真
空室２５の器壁２４の一部に設けられたガラス等の透明
物体からなる窓であり、真空室２５内の真空バルブ１の
一方の端板６ａと金具３ａの接合面附近に対向するよう
に位置されている。
又他方の端板６ｂと金具３ｂの接合面附近に対向する位
置にも前述と同様の窓が設けてある。２３は真空ルブ１
の支持台であり、２２は真空バルブ１を真空中で回転駆
動させるターンテーブルになっている。
置にも前述と同様の窓が設けてある。２３は真空ルブ１
の支持台であり、２２は真空バルブ１を真空中で回転駆
動させるターンテーブルになっている。
２０はしーザ溶接機であり点線矢印のようにレーザ光を
発射する。
発射する。
レーザ光は光の性質そのものであり透明窓２６をそのま
ま透過して真空室２５に設置された真空バルブ１の端板
６ａと金具３ａの合せ部分に照射されるような構成にな
っている。真空室２５の内部に設置された真空バルブ１
は予め図示していない製造設備により、端板６ａと金具
３ａの接合部分以外の接合個所は金属ろう付やＴＩＧ溶
接等の手段により気密に取付けたものを使用しており、
ターンテーブル２２で真空バルブ１を回転させながら、
レーザ溶接機から発射したレーザ光を真空バルブ１の端
板６ａと金具３ａの合せ部分に照射させることにより、
気密溶接をさせる方法になっている。しかる後に他方の
端板６ｂと金具３ｂの合せ部分にレーザ光を照射させれ
ばよい。この気密溶接の前に図示していない高温加熱源
で、真空バルブ１を少なくとも２００℃以上の高温加熱
させることにより真空バルブ１の排気脱ガスは可能であ
り、しかる後に前記したレーザ気密溶接を行なえば、排
気管のない真空バルブ１を製造することができる。前記
のような方法によれば、打撃等に弱い排気管を無くすこ
とができるので真空バルブを安′０して取り扱うことが
できるだけでなく、真空バルブ使用機器の小形化に役立
つ。一方排気管を無くす方法として、真空バルブ１を真
空中で金腐ろう付することによって絹立てるという方法
が従来提案されている。しかしこの方法によると金属ろ
う付により組立てる方法であるため、使用するろう材に
よっても異なるがろう付温度は最低７９０℃以上必要と
しており絶縁容器にガラスを使用した真空バルブの場合
にはガラスを溶融又は軟化させてしまい、高価なアルミ
ナ磁器を絶縁容器に使用しなければならないなど、この
組立方法では使用する絶縁容器の種類で真空バルブの製
作が限定されるという欠点があり、汎用性に欠けていた
。また高価なアルミナ磁器を使用しなければならないた
め真空バルブを高価にするという欠点も生じる。本発明
によれば絶縁容器の種類に限定されない汎用性のある方
法であるから、各種真空バルブに対応できる連続一貫し
た製造設備とすることができ、経済性の高い真空バルブ
を提供する上で有利である。
ま透過して真空室２５に設置された真空バルブ１の端板
６ａと金具３ａの合せ部分に照射されるような構成にな
っている。真空室２５の内部に設置された真空バルブ１
は予め図示していない製造設備により、端板６ａと金具
３ａの接合部分以外の接合個所は金属ろう付やＴＩＧ溶
接等の手段により気密に取付けたものを使用しており、
ターンテーブル２２で真空バルブ１を回転させながら、
レーザ溶接機から発射したレーザ光を真空バルブ１の端
板６ａと金具３ａの合せ部分に照射させることにより、
気密溶接をさせる方法になっている。しかる後に他方の
端板６ｂと金具３ｂの合せ部分にレーザ光を照射させれ
ばよい。この気密溶接の前に図示していない高温加熱源
で、真空バルブ１を少なくとも２００℃以上の高温加熱
させることにより真空バルブ１の排気脱ガスは可能であ
り、しかる後に前記したレーザ気密溶接を行なえば、排
気管のない真空バルブ１を製造することができる。前記
のような方法によれば、打撃等に弱い排気管を無くすこ
とができるので真空バルブを安′０して取り扱うことが
できるだけでなく、真空バルブ使用機器の小形化に役立
つ。一方排気管を無くす方法として、真空バルブ１を真
空中で金腐ろう付することによって絹立てるという方法
が従来提案されている。しかしこの方法によると金属ろ
う付により組立てる方法であるため、使用するろう材に
よっても異なるがろう付温度は最低７９０℃以上必要と
しており絶縁容器にガラスを使用した真空バルブの場合
にはガラスを溶融又は軟化させてしまい、高価なアルミ
ナ磁器を絶縁容器に使用しなければならないなど、この
組立方法では使用する絶縁容器の種類で真空バルブの製
作が限定されるという欠点があり、汎用性に欠けていた
。また高価なアルミナ磁器を使用しなければならないた
め真空バルブを高価にするという欠点も生じる。本発明
によれば絶縁容器の種類に限定されない汎用性のある方
法であるから、各種真空バルブに対応できる連続一貫し
た製造設備とすることができ、経済性の高い真空バルブ
を提供する上で有利である。
しかも排気管のない真空バルブを製造でき真空バルブの
信頼性を高めることができる。また本発明はしーザ光を
利用した高密度エネルギー溶接であるため、真空バルブ
の被溶接部材に加わる熱影響範囲は極めて狭く、被溶接
材料の熱変形が少なく、欠陥のない溶接ができるため、
高い信頼性が要求される真空バルブにとって極めて有効
な製造方法といえる。上記の実施例はしーザ光の特質を
利用した真空バルブの製造方法の一部を示したものであ
り、その他の応用が可能である。第３図、第４図は本発
明の他の実施例を示している。図中で第２図と同一部品
は同一附号を記し、その説明は省略する。第３図に示し
た実施例はしーザ溶接機２０より出たレーザ光をビーム
スプリッター２７にて分けて反射鏡２８ａ，２８ｂにあ
てる。反射鏡２８ａ，２８ｂにあてられたレーザ光を集
東レンズ２９ａ，２９ｂで細く絞り端板６ａ，６ｂと金
具３ａ，３ｂの夫々の溶接個所に照射して同時にシーム
溶接を行なう。端板６ａ，６ｂと金具３ａ，３ｂを複数
個所同時にシ−ム溶接を行なうことにより、予め端板６
ｂと金具３ｂとはＴＩＣ溶接で接合しておく必要はなく
、溶接時間を短か〈できるので、第２図に示した実施例
より生産性が一層向上する。その他の効果は第２図に示
した実施例と同じである。第４図に示した更に他の実施
例はしーザ溶接機２０より出たレーザ光を回転角度を調
整できる反射鏡３０にて反射させ反射鏡２８ａへあて、
そこで反射したレーザ光は集東レンズ２９ａで細く絞ら
れ、透明なガラス窓２６ａを透過して端板６ａと金具３
ａの熔接個所に照射されシーム溶接を行なう。
信頼性を高めることができる。また本発明はしーザ光を
利用した高密度エネルギー溶接であるため、真空バルブ
の被溶接部材に加わる熱影響範囲は極めて狭く、被溶接
材料の熱変形が少なく、欠陥のない溶接ができるため、
高い信頼性が要求される真空バルブにとって極めて有効
な製造方法といえる。上記の実施例はしーザ光の特質を
利用した真空バルブの製造方法の一部を示したものであ
り、その他の応用が可能である。第３図、第４図は本発
明の他の実施例を示している。図中で第２図と同一部品
は同一附号を記し、その説明は省略する。第３図に示し
た実施例はしーザ溶接機２０より出たレーザ光をビーム
スプリッター２７にて分けて反射鏡２８ａ，２８ｂにあ
てる。反射鏡２８ａ，２８ｂにあてられたレーザ光を集
東レンズ２９ａ，２９ｂで細く絞り端板６ａ，６ｂと金
具３ａ，３ｂの夫々の溶接個所に照射して同時にシーム
溶接を行なう。端板６ａ，６ｂと金具３ａ，３ｂを複数
個所同時にシ−ム溶接を行なうことにより、予め端板６
ｂと金具３ｂとはＴＩＣ溶接で接合しておく必要はなく
、溶接時間を短か〈できるので、第２図に示した実施例
より生産性が一層向上する。その他の効果は第２図に示
した実施例と同じである。第４図に示した更に他の実施
例はしーザ溶接機２０より出たレーザ光を回転角度を調
整できる反射鏡３０にて反射させ反射鏡２８ａへあて、
そこで反射したレーザ光は集東レンズ２９ａで細く絞ら
れ、透明なガラス窓２６ａを透過して端板６ａと金具３
ａの熔接個所に照射されシーム溶接を行なう。
端板６ａと金具３ａのシーム溶接が終ると、反射鏡３川
ま回転しレーザ溶接機２０より出たレーザ光を反射鏡２
８ｂへあてる。そこで反射したレーザ光は集東レンズ２
９ｂで細く絞られ、透明なガラス窓２６ｂを透過して端
板６ｂと金具３ｂの溶接個所に照射されシーム溶接を行
なう。１台の溶接機で真空バルブ１の複数の溶接個所を
真空バルブ１の位置替えをする必要なく反射鏡３０を回
転させるだけで溶接する方法であるため、溶接個所には
しーザ溶接機の全出力のビームを照射できる。
ま回転しレーザ溶接機２０より出たレーザ光を反射鏡２
８ｂへあてる。そこで反射したレーザ光は集東レンズ２
９ｂで細く絞られ、透明なガラス窓２６ｂを透過して端
板６ｂと金具３ｂの溶接個所に照射されシーム溶接を行
なう。１台の溶接機で真空バルブ１の複数の溶接個所を
真空バルブ１の位置替えをする必要なく反射鏡３０を回
転させるだけで溶接する方法であるため、溶接個所には
しーザ溶接機の全出力のビームを照射できる。
従って第３図の実施例に比べ小出力の溶接機が使用でき
る。そのため製造設備費の削減に有効である。その他の
効果は第２図の実施例と同じである。以上述べたように
本発明による製造方法によれば、排気管のない真空バル
ブを提供でき、しかも経済的で小形・高品質の真空バル
ブを製造することができる。
る。そのため製造設備費の削減に有効である。その他の
効果は第２図の実施例と同じである。以上述べたように
本発明による製造方法によれば、排気管のない真空バル
ブを提供でき、しかも経済的で小形・高品質の真空バル
ブを製造することができる。
第１図は従来の真空バルブの製造方法の排気、封じ切り
工程を示す説明図、第２図〜第４図は本発明の夫々異な
る実施例を示す図で、第２図は真空バルブを真空容器内
へ設置して排気装置としーザ溶接機の構成を示す断面図
、第３図はしーザ光を分けるビームスプリツターを使用
したレーザ溶接機と真空バルブの構成を示す断面図、第
４図はしーザ光を分ける反射鏡を使用したレーザ熔接機
と真空バルブの構成を示す断面図である。 １・・・・・・真空バルブ、２・・・・・・絶縁容器、
３ａ，３ｂ・・・・・・金具、４ａ，４ｂ・・・・・・
電極、５ａ，５ｂ・・・・・・通電軸、６ａ，６ｂ・・
・・・・端板、７…・・・アークシールド、８…・・・
べローズ、２０……レーザ溶接機、２１・・…・排気装
置、２２・・・・・・回転治具、２３・…・・真空バル
ブ支持台、２４…・・・真空容器壁、２５・・・・・・
真空室、２６，２６ａ，２６ｂ・・・・・・窓、２７…
…ビームスプリツター、２８ａ，２８ｂ……反射鏡、２
９ａ，２９ｂ・・・・・・集東レンズ、３０・・・…回
転反射鏡、５０・・・…排気管、５１…・・・封じ切り
用捨臭、５２・・・・・・排気ポンプ、５３・・・・・
・排気管接続部分。 第１図 第２図 第３図 第４図
工程を示す説明図、第２図〜第４図は本発明の夫々異な
る実施例を示す図で、第２図は真空バルブを真空容器内
へ設置して排気装置としーザ溶接機の構成を示す断面図
、第３図はしーザ光を分けるビームスプリツターを使用
したレーザ溶接機と真空バルブの構成を示す断面図、第
４図はしーザ光を分ける反射鏡を使用したレーザ熔接機
と真空バルブの構成を示す断面図である。 １・・・・・・真空バルブ、２・・・・・・絶縁容器、
３ａ，３ｂ・・・・・・金具、４ａ，４ｂ・・・・・・
電極、５ａ，５ｂ・・・・・・通電軸、６ａ，６ｂ・・
・・・・端板、７…・・・アークシールド、８…・・・
べローズ、２０……レーザ溶接機、２１・・…・排気装
置、２２・・・・・・回転治具、２３・…・・真空バル
ブ支持台、２４…・・・真空容器壁、２５・・・・・・
真空室、２６，２６ａ，２６ｂ・・・・・・窓、２７…
…ビームスプリツター、２８ａ，２８ｂ……反射鏡、２
９ａ，２９ｂ・・・・・・集東レンズ、３０・・・…回
転反射鏡、５０・・・…排気管、５１…・・・封じ切り
用捨臭、５２・・・・・・排気ポンプ、５３・・・・・
・排気管接続部分。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 絶縁容器内に複数個の電極を配置した真空バルブを
透明なる物体からなる窓を有する真空容器内に収納配置
した後、たがいに接合しようとする前記真空バルブの構
成部品を、前記真空容器の外部からレーザ溶接機のレー
ザ光を前記窓を介して照射して接合することを特徴とす
る真空バルブの製造方法。 ２ 接合しようとする真空バルブ構成部品が、端板と絶
縁容器端の金具である特許請求の範囲第１項記載の真空
バルブの製造方法。 ３ 真空室に設置した真空バルブ構成部品が少なくとも
２００℃以上の真空バルブの排気脱ガス可能な温度に加
熱したのちレーザ溶接を行なう前記特許請求の範囲第１
項に記載の真空バルブの製造方法。 ４ 真空バルブ構成部品の接合に、レーザ溶接機からの
レーザ光を反射させて接合個所に照射して接合すること
を特徴とする前記特許請求の範囲第１項に記載の真空バ
ルブの製造方法。 ５ 真空バルブ構成部品の接合に、レーザ溶接機からの
レーザ光を鏡の回転角度の調整で異なる接合個所に照射
できるようになっている前記特許請求の範囲第１項に記
載の真空バルブの製造方法。 ６ 真空室内の真空バルブが回転できるように配置され
、真空バルブの回転によりシーム溶接が行なえるように
なっている特許請求の範囲第１項記載の真空バルブの製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7280677A JPS6011410B2 (ja) | 1977-06-21 | 1977-06-21 | 真空バルブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7280677A JPS6011410B2 (ja) | 1977-06-21 | 1977-06-21 | 真空バルブの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS547583A JPS547583A (en) | 1979-01-20 |
| JPS6011410B2 true JPS6011410B2 (ja) | 1985-03-26 |
Family
ID=13499996
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7280677A Expired JPS6011410B2 (ja) | 1977-06-21 | 1977-06-21 | 真空バルブの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6011410B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55102129A (en) * | 1979-01-31 | 1980-08-05 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of fabricating vacuum valve |
| JPS5613627A (en) * | 1979-07-16 | 1981-02-10 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of manufacturing vacuum valve |
| JPS56143624A (en) * | 1980-04-10 | 1981-11-09 | Tokyo Shibaura Electric Co | Method of manufacturing vacuum valve |
| JPS59160923A (ja) * | 1983-03-04 | 1984-09-11 | 株式会社東芝 | 真空バルブの製造方法 |
| JPS63155003U (ja) * | 1987-03-31 | 1988-10-12 |
-
1977
- 1977-06-21 JP JP7280677A patent/JPS6011410B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS547583A (en) | 1979-01-20 |
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