JPS59160923A - 真空バルブの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の技術分野〕 本発明は、真空開閉装置用の真空ノ（ルプの製造方法に
関する。

〔発明の技術的背景とその問題点〕

真空バルブは、シゃ断器、コンタクタおよび負荷開閉器
などの真空開閉装置の主要部をなしている。この真空バ
ルブは、１０　””　Ｔｏｒｒ以下の高真空化された絶
縁容器とその容器内で通電軸によって接離自在に対向配
置された一対の電極とから主に構成されて込る。真空バ
ルブの組立は、一般にろう付、すなわちろう材を用いて
母材をできるだけ溶融しなりで行なう溶接方法によって
構成部品を接合して行なうものであシ、通常このろう付
は、構成部品のろう付箇所に予めろう材を置き、非酸性
雰囲気または真空中の抵抗加熱炉内でろう材の溶融温度
よシ約５０″Ｃ高込温度、例えばざｏｏ”ｃ以上の温度
に加熱しろう材を溶融して行なうものである。

ここで、ろう材の溶融温度とは固相のろう材全体が液相
に変わる温度、いわゆる液相温度を指すものとする。

従来から、ろう付による真空バルブの製造方法について
は種々提案され、実施されて込る。例えは、真空バルブ
の構成部品例えば通電軸と電極、絶縁容器と端板、その
他をまず大気中または清浄な雰囲気中で組み立て、次い
で排気管を介してバルブ内部を１０−”Ｔｏｒｒ以下の
真空にし排気管を密封して真空バルブを製造する。しか
し、この製造法では完成品に突出した排気管があるため
に取扱い上邪魔になシ、また排気管からバルブの損傷が
起りやすいという欠点がある。また、構成部品全体を同
時に真空中でろう付して真空密封する製造方法がある。

しかしながら、この方法では内部部品が正常に配置され
ているかどうかまたろう何部が良好な状態にあるのかど
うかなどを検査することができず真空バルブの品質保障
上に欠点がある。

したがって、まず真空バルブ構成部品をろう付により部
分的に組み立て、部品組立完了品を封着ろう付によｐ　
１０　　Ｔｏｒｒ以下の真空中で全体的に組み立てて真
空密封する段階的組立によ−る製造法を採用することが
好ましい。

真空開閉装置の性能向上のために電極についてすぐれた
耐電圧特性、しゃ断時性および低接触抵抗性などが要求
され、接点材料および電極形状などが種々に改良されて
込る。特に接点材料については、Ｃｕおよびｋなどの高
導電材料とともに短絡電流通電時の溶着防止の目的でＢ
ｉ　、　Ｐｂ、　Ｔｏおよびｓｂなどの高蒸気圧成分が
少量添加されている。

ところが、真空バルブ組立工程中に高真空（ｔｏ−”Ｔ
ｏｒｒ以下〕および高温（約ｓ’ｏθ°Ｃ以上）の処理
を電極部分に施すとＢｉなとの高蒸気圧成分のみならず
鰭などの高導電材料も次の実験結果が示すように蒸発損
失を起し電極の耐溶着性が著しく低下する０ ２７％〜−ＷＣ接点サンプルを各々下表の温度および７
Ｏ−５Ｔｏｒｒの高真空中で熱処理し、この処理直後に
Ｘ線マイクロアナライザーでサンプルの〜強度を計測し
て〜蒸発損失の程度を測定し、次因で２０φと１００Ｒ
との溶着評価用試、験によって、２０ＫＡの通電および
１００Ｋｇの接触圧力の場合の溶着引き外し力を測定し
た。その結果を第１表に示す。なお、〜の強度は真空中
の熱処理前を／、Ｑとする。

第１表 この表から１００″Ｃ以上の処理温度で、溶着引き外し
力が急激に大きくなり、また〜強度が著しく減少してｂ
る。このことは高真空（１０””　Ｔｏｒｒ以下）およ
び高温（２００℃以上）の処理で紹の蒸発損失も急速に
増大し、接触抵抗増大によるジーール熱溶着を誘発して
いることを示して因る。

上述のように接点材料の蒸発損失防止の観点から組立工
程中電極部分を高真空（ＩＯ”Ｔｏｒｒ以下〕および高
温（約♂ｏｏ”ｃ以上）の下で処理することを避けるこ
とが望まし込。しかしながら、従来の真空バルブ製造方
法では次に述べる真空バルブの組立およびろう材の観点
から高真空（１０Ｔｏｒｒ以下）および高温（約♂００
’Ｃ以上）とい５処理条件を避けることができな−と込
５問題点がある。

ろう付による真空バルブの製造方法にろいては前記した
ようにまず真空力ルプ構成部品をろう付により部分的に
組み立て、部分組立完了品を封着ろ５付により真空中で
全体的に組み立てて真空密封する段階的組立による製造
方法を採ることが好ましい。この方法では少なくとも最
終の全体組立において１０　　Ｔｏｒｒ以下の圧力の高
真空にする必要がある。さらに、組立における処理温度
を下げるために低い溶融温度を持つろう材をろう付に使
用することができるが、低溶融化のために添加したＺｎ
およびＣｄなど高蒸気圧物質が溶融時に蒸発して真空パ
ルプ内部を汚染し、またＳｎおよびＩｎなどの低蒸気圧
物質を添加し低溶融化してもろう伺箇所に対する良好な
濡れ性を示さない。むしろ、高い溶融温度を、持つろう
材を高い処理温度（例えばり！０°Ｃ以上の温度）でろ
う付を行うと、ステンレスでつくられた真空パルプ構成
部品のろう付箇所表面をニッケルなどでめっきしなくと
もろう材は良好な濡れ性を示し、ろう材は構成部品を欠
陥なく接合する○ 〔発明の目的〕 本発明は、上述の事情に鑑みなされたものであり、その
目的とするところは、真空パルプの製造中において接点
材料と・してのＢｉ、Ｐｂ、Ｔｅおよびｓｂなどの高蒸
気圧成分と〜およびＣｎなどの高導電材料とが蒸発損失
するのを抑制し、電極の耐溶着性を維持することのでき
る真空バルブの製造方法を提供することである。

〔発明の概要〕

本発明者らの研究により、真空封着する全体組立にお込
てろう付箇所のみをろう付温度に局部的に加熱する方法
が上述の目的達成のために有効であることを見出した。

すなわち、接点材料の蒸発損失防止の観点から組立工程
中に電極部分を１Ｏ−１１Ｔｏｒｒ以下の高真空および
約１ｒ００℃以上の高温の下で処理することを避けるこ
とが好ましいが、高温であっても電極表面を囲むろう付
雰囲気が非酸化性気体からなるものまたは１〜１０＝　
Ｔｏｒｒ程度の真空であればこの気体の圧力によって接
点材料の蒸発を抑制し、逆に高真空であっても電極部分
の温度を約７−５′０°Ｃ以下にすれば接点拐料の蒸発
を防止することができるという知見を本発明者らは得た
。

さらに、真空パルプ構成部品をろう付により部分的に組
み立て、この部分組立完了品を封着ろう付により高真空
中で全体的に組み立てて真空バルブを段階的に製造する
方法では、この全体組立におけるろう付雰囲気は高真空
でなくてはならなしが、上述の知見に基づ込てろう付箇
所のみを高込ろう付温度に加熱し電極部分を低い温度に
維持するように加熱する方法を改良すれば、接点材料の
蒸発飛散を有効に抑制できることを見出し本発明を完成
するに至った。

すなわち、本発明の真空バルブの製造方法は、容器およ
び電極を含む真空パルプ構成部品をろう付により部分組
立を行い、次いで該部品組立完了品を封着ろう付により
真空中で全体組立を行って、真空密封された該容器内に
一対の該電極が設けられた真空バルブの製造方法におい
て、前記全体組立工程におりてろう何部およびその近傍
のみをろう付温度に加熱して前記封着ろう付を行うこと
を特徴とするものである。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例について図面を参照しつつ更に
具体的に説明する。

第１図は、本発明を適用する真空バルブを断面的に示す
ものである。ｌは真空バルブであり、アルミナ磁器製絶
縁容器ｌと、熱膨張係数が容器コと近似するＦｅ　−Ｎ
ｉ　−Ｃｏ系またはＦｅ−Ｎ１系合金からなる端板３Ａ
および３ｂで両端を閉鎖し、内部圧力が１０”ｌ′Ｔｏ
ｒｒ以下の真空容器内に一対の接離自在の電極ｌＩａ、
！ｂを備えて構成している０この電極≠８には例えば無
酸素銅からなる固定通電軸３ｔｘが取シ付けられ、端板
３１１を密に貫通し外部に導出して電路を構成する。他
の電極≠ｂには電路となる可動通電軸！ｂが取り付けら
れ、通電軸ｔｂはステンレス製ベローズ６を介して端板
３ｂに取シ付けられると真空保持状態で電極ｇａおよび
＋ｂの接離自在を可能にしている。電極μａおよび＜ｚ
ｂの周囲を取シ巻くように配置されたアークシールド７
は、電流開閉時に電極から発生する金属蒸気が容器！の
内壁に封着することを防止している。

次いで、本発明の真空バルブの製造方法である段階的組
立の一例につ層て第２図および第３図を用いて説明する
。第２図に示すように可動電極側の構成部品を配置しさ
らにろう付箇所にろう材ｒａ、Ｊ’ｂおよびｌｒｅを置
く。また、第３図に示すように固定電極側の構成部品を
配置しさらにろう付箇所にろう材１ｄ、ＩｅおよびＪ’
ｆを置く。これらの配置された部品をろう付炉に挿入し
、ろう°材の溶融温度またはそれを超える、たとえば５
０°Ｃ高いろう付温度に加熱して部分組立を行なう。部
分組立に用いるろう材は、通常真空バルブ製造に使用さ
れるものであシ、好ましくは、母材をよく濡らす溶融温
度が７タＯ℃以上のろう材である。この部分組立におい
て電極表面を囲むろう付雰囲気は、非酸化性気体からな
るもの筐たは／〜１Ｏ−２Ｔｏｒｒの真空である。この
非酸化性気体としてＮ２、Ｎ２、ＡｒおよびＣＯなどが
あり、その圧力は７０″″Ｔｏｒｒ以」二であることが
好ましい。１０””’　Ｔｏｒｒ未満の圧力では、接点
材料の蒸発飛散が起り易くなり、また、／　Ｔｏｒｒを
超える酸化性雰囲気、例えば大気、では電極表面が酸化
され易くなるからである。部分組立完了後、その組立完
了品を第１図に示すようにアルミナ磁器製絶縁容器λ内
に挿入し、ろう材りａおよびりｂを挾んで端板３ｇ４お
よび３ｂを各り容器コの両端面に合わせる。次いで、ろ
う付炉内に入れ１０”１ｌＴｏｒｒ以下の高真空下でろ
う付箇所、すなわち第１図におけるり８およびりｂの容
器端部およびその近傍のみを使用したろう材の溶融温度
以上に加熱する。溶融後、加熱を止め真空バルブを放冷
して封着ろう付、すなわち真空バルブ内部の真空気密接
合が行われる。このように全体組立を行ない、真空バル
ブが製造される。全体組立に用いるろう材は１通常真空
バルブ製造に使用されるものであり、好壕しくは母材を
よく濡らし、また溶融温度が７！Ｏ℃以上であるろう材
である。

また、全体組立におりでろう付温度まで加熱される箇所
はろう何部およびその近傍だけである０それ以外の部分
は約７！Ｏ℃以下の、好ましくは約７！；Ｏ’Ｃ−夕０
０℃の温度範囲内に維持される。これは、７．５′Ｏ″
Ｃを超える温度では電極の接点材料の蒸発損失を招き、
ｒｏｏ℃未滴の温度ではろう付炉表面および真空バルブ
表面に付着して−た水分や各種気体を分離排気できず、
またろう付温匿と炉内温度との差によシ絶縁容器のセラ
ミックが破損する危険があるからである。

この全体組立においてろう付箇所を局部的に加熱する方
法として、例えば高周波加熱、電子ビームおよびレーザ
光ｔどの高エネルギー密度を有するビームの照射などが
好適である。なお、端板３ａおよ′び３ｂと絶縁容器λ
とのろう付を可能にするために容器の両端面に例えばＭ
ｏ−Ｍｎ等で焼付塗布されたメタライズ盾が形成されて
訊る。

本発明の真空パルプの製造方法は、上述のろう付による
組立方法に限定されず、本発明の範囲内で種りに変更し
てもよい。すなわち、本発明の部分組立工程において電
極部分は１０””　Ｔｏｒｒ以下の高真空中でろう付処
理されず、したがって、電極以外の部品を高真空中でろ
う付し電極部分のろう付を非酸化性気体からなるろう付
雰囲気または／〜１Ｏ−２Ｔｏｒｒの真空中で行なって
部分組立してもよ１続いて、本発明による真空バルブの
製造方法における全体組立を、この全体組立用のろう付
炉の一例を示す図面を参照しながら説明する。第７図は
ペルジャー型のろう付炉を断面的に示す斜視図である。

この炉内の下部に外周部に小孔１０を持つ円板状テーブ
ル／／が設けられ、テーブルｌ／の上面の所定の位置に
真空パルプ／が配置されている。

テーブル／ｌを含む炉内空間を上方から囲むように円筒
形外郭／、２が配設され、外郭／２の下部端面で真空シ
ールを介して炉を支持するように炉受は台／３が設けら
れている。第よ図は同じろ５付炉を縦断面的に示す図で
ある。炉受°け台／３の下方に排気バイブフグを介して
炉内と連結する真空ポンプ１５が設けられる。このポン
プ／Ｓは、例えば回転ポンプと油拡散ｒンブとからなり
、炉内を１０　　Ｔｏｒｒ以下の圧力の高真空にするこ
とができるものである。テーブル回転装置／Ａは、炉受
は台１３の下方に台１３を貫通しかつテーブル／／の中
心と接合した回転軸１７を介してテーブルｌ／を間欠的
に回転するように設置されている。高周波加熱コイル／
ざは外郭／：２の側面から炉内に突き出すように設けら
れ、全体組立用のろう付に用いられる。最後に、上下動
装置／９は、コイル／ざおよび炉受は台１３の下方に設
けられ、との装置／９から上方に突き出た棒２０を介し
て真空バルブ／を上方のコイル１ｇ内に持ち上げること
ができる。

次いで、上記の炉の使用法を説明して本発明の全体組立
における封着ろ５付を詳説する。既に部分組立されたも
のを第１図に示すように組み立てろう付箇所にろう材り
ａおよびりｂを置く。この真空バルブ／を第≠図のよう
に円形テーブル／／の小孔１０上の所定位置に並らべ、
外郭ｌコを炉受は台／３の上にのせて、真空シールを行
なう６続すで、真空ポンプ／Ｓにより炉内を排気し、炉
内の圧力が１０”５Ｔｏｒｒ以下にな−たとき炉の加熱
ヒータ（図示せず）に通電して、炉内をＳＯＯ〜７ｊＯ
”Ｃの温度に加熱する。この加熱後、テーブル／ｌを回
転し、真空バルブｌを高周波加熱コイルｉｇの直下に移
動し、上下動装置／９の棒２０によりこの真空バルブｌ
を第を図（、）のように上昇させ、ろう付箇所を高周波
加熱コイル／ｇのほぼ中央に配置する。しかるのち、高
周波加熱電源（図示せず）より高周波加熱コイル／ｇに
高周波電流を流して、ろう何部およびその近傍のみをろ
う付温度まで加熱する。また、ろう付温度は使用するろ
う材の溶融温度以上の温度であり、例えば共晶ろう（７
２Ａｇ　　Ｃｕ　）を使用するときろう付温度は１００
−４１０℃である。さらに高周波加熱時間は数秒から約
３Ｑ秒間でよい。このように上部ろう何部をろう付した
後、第６図（ｂ）のようにさらに棒２０によって真空バ
ルブｌを上昇させて高周波加熱によシ同様に下部ろう何
部を封着ろう付を行なう。次いで、真空バルブｌをテー
ブル７ノ上に棒Ｊにより下降させて戻し、さらにとの棒
Ｊをテーブル／ｌの下方に下降して最初の真空バルブ／
のろう付作業が完了する。次の真空バルブｌのろう付作
業は、テーブル／ｌを回転し、隣接する真空バルブ／を
高周波加熱コイルｌざの直下に移動し、前記と同様の作
業で行５゜このよ５にして炉内の真空バルブすべてをろ
う付し、完了後に炉内の温度を下げさらに炉内の圧力を
大気圧までもどし、外郭ｌコを取り外し真空バルブを椴
シ出して全体組立の作業は終了する。

本発明に適用するろう付炉は、上述のものに限定されず
、種々に変形したものも含む０ろう付炉の他の例を図面
を参照しつつ説明する０第７図は、第３図に示するう付
炉の他の例を示す断面図である。この例では、加熱方法
として高周波加熱の代シに電子ビーム照射を利用する０
外郭／、ｌの側壁に電子銃２／が取シ付けられ、図示し
ない電源から高圧ケーブル、２２を介して供給される高
圧電圧により発生する電子ビーム刀を真空バルブｌのろ
う何部に照射する。この炉の例では、上下動装置／９は
棒２０を介して真空バルブをろう何部に電子ビーム照射
できる高さまで上昇させ、その位置で電子銃２／からの
電子ビームＪを照射されている真空バルブｌを回転させ
金。この照射によシろう何部が急速に加熱されろう材は
溶融して、真空バルブｌの回転にともない連続的にろう
付される。

この照射の際、電子ビームによる溶接のようにスポット
径を絞らず、ろう何部でのスポット径をやや大きくする
ことが好ましい。

第ｒ図は、第７図に示するう付炉と異なる他の例を示す
加熱部の説明図である。この例では加熱方法としてレー
ザ光照射を利用する。即ち外郭／、２の側壁に反射ミラ
ーＪおよび集光ミラー２Ｊが取り付けられ、レーザ発振
器（図示せず）から出たレーザ光Ｊは反射ミラー、２４
を経て集光ミラークＪによシ絞られて真空バルブ／のろ
う何部に照射される。

第り図は、第３図に示する５付炉とさらに異なる他の例
を示す断面図である。この例では、テーブル回転装置１
６と上下動装置１９とが各々真空室２７ａおよび、２７
ｂに設けられている。このように構成することによって
、炉受は台／３と回転軸１７および棒２．０との摺動部
からの真空リーク構造を必要としなくなシ、炉内の真空
を安定に保ちやすくなる。

第１０図は、第３図に示するう付炉のさらに異なる他の
例を示す部分断面図である。との例では、テーブル回転
装置ｄはテーブルを上下させる機能をも併せ持ち、上下
動装置は設置されな−。したがって、回転装置３がテー
ブルを回転させて高周波加熱コイル／ざの真下に真空バ
ルブを移し、次−で回転軸１７を介してテーブルを上げ
て真空バルブのろう付部を高周波加熱し、ろう付部にテ
ーブルを下降してろう付作業を行なう。このように構成
することによって、真空バルブの位置移動は常に同一の
テーブル上で行われるのでろう何部品およびろう材のず
れをなくすことができる。

さらに、本発明の真空バルブ製造法に適用できる全体組
立用のろう付部として、真空バルブを移動させずに加熱
源または照射方向を変えてろう付箇所を局部的に加熱で
きるように構成されたものであってもよい。

参考例１〜３および実施例／−１ 参考例１ Ｏ，３Ｂｉ　−Ｃｕの接点を装着した電極などを含む真
空バルブ構成部品を第２図および第３図に示すように各
々可動電極側と固定電極側とに分けてろう付により部分
的に組み立てた。この部分組立におけるろう材には６０
％胤−グＯ％Ｃｕの合金からなるものを用い、抵抗加熱
炉を使用して、２　Ｘ　１０”　Ｔｏｒｒの真空中でｒ
ｒｏ℃に加熱してろ５付を行った。次いで、この部分組
立完了品を第１図のように組み立てｊ　Ｘ　１０　　Ｔ
ｏｒｒの高真空中で抵抗加熱炉を使用してろう付した。

この全体組立においてろう材には７２％Ａｇ　−Ｍ　％
　Ｃｕの合金からなるものを用い、真空バルブ全体を１
００℃のろう付温度に加熱した。

全体組立後の耐溶着性を評価するために、一方の接点が
外径）Ｊｍｎ　の円板状、他方が１００Ｒの球面状であ
シ、この両者を対向させノｏｏｙ４の荷重を負わせ１Ｏ
−６Ｔｏｒｒの真空中で、２０ＫＡの電流を与えて、そ
のときの接点を引き外すのに要する力（Ｋｐ）を測定し
た。

参考例λおよび３ 参考例１と同様に部分組立および全体組立を行って真空
バルブを製造し、溶着引き外し力を測定した。ただし、
部分組立におけるろう付写囲気は７ＡＯＴｏｒｒの水素
中である。

実施例１および≠ 参考例１と同様に部分組立と全体組立との段階的な組立
を行って真空バルブを製造し、また溶着引き外し力を測
定した。

ただし、部分組立におりで７ｊＡｇ−Ｃｕ系のろう材を
用すその条件を２　Ｘ　１０−’　Ｔｏｒｒの真空、ｒ
／Ｑ”Ｑのろう付温度とし、全体組立においてろう付部
の加熱方法として高周波加熱を利用してろう付温度を１
２０℃とした。

実施例ユおよびｊ 参考例／と同様に部分組立と全体組立との段階的な組立
を行って真空バルブを製造し、また溶着引き外し力を測
定した。

ただし、部分組立において７２Ａｇ　　Ｃｕ系のろう材
をｍ−その条件を７ＡＯＴｏｒｒの水素中（実施例コ）
およびＯＪ　Ｔｏｒｒの窒素中（実施例ｊ　）　、Ｉ／
Ｑ″Ｃのろう付温度とし、全体組立においてろう付部の
加熱方法として電子ビーム照射を利用しろ５付部度を１
．２０℃とした。

実施例３および６ 参考例／と同様に部分組立と全体組立との段階的な組立
を行って真空バルブを製造し、また溶着引き外し力を測
定した。ただし、部分組立において７．２Ａｇ−Ｃｕ系
のろう月を用いその条件をθ、♂Ｔｏｒｒの蟹累中（実
施例３）および７　Ａ　ＯＴｏｒｒの水素中（実施例ｔ
　）　、Ｉｔｏ℃のろう付温度とし、全体組立における
ろう刺部の加熱方法としてレーザ光を照射しろう伺温度
を１２０℃とした。

参考例／〜３および実施例／〜ｔのろう付条件と耐溶着
性（溶着引き外し力）の結果を下表に示す。

参考例１〜３および実施例／−ｊの耐溶着性の検討 参考例では、全体組立にお−で抵抗加熱炉によって電極
部分をも１．２０−４１０℃のろう付温度に加熱したた
めに接点表面層から溶着防止材料およびＡｇなとの高導
電材料が蒸発損失し耐溶着性が低下して込る。これに対
し実施例では、全体組立においてろう付部のみを局部的
に加熱し電極部分を７ｊｔＯ″Ｃ以下の低温に維持した
ために、溶着引き外し力が１０〜ｙｏＫＰに減少して電
極にすぐれた耐溶着性をもたらしていることがわかる。

〔発明の効果〕

本発明は以上のように構成さ、れて込るから、次の効果
が得られる。

（ａ）　　全体組立（真空封着）において、高真空中で
ろう付部およびその近傍のみをろう付温度まで加熱しそ
の他の部分を、特に電極部分を、７１０℃以下の低い温
度に保つことができるので、全体組立時における電極の
接点材料、例えばＢｉなとの高蒸気圧成分および〜の高
導電材料が蒸発損失するのを抑制することができて耐溶
着性の優れた真空バルブを提供することができる。

（ｂ）　　部分組立において、１００℃以上の高温に加
熱してろう付しても１０　　Ｔｏｒｒ以下の圧力の高真
空を避けることができるので、全体組立における局部加
熱と相俟って接点材料の蒸発損失を防止し優れた耐溶着
性を有する真空パルプを提供することができる。

（ｃ）全体組立において、局部的に加熱し炉内温度を低
い温度に保つためにエネルギー消費を減少させることが
できる。

（ａ）　　高真空中で封着ろう付するので、バルブ内部
を真空化するだめの排気管をなくすことができ、排気管
封じ切り部からの真空リーク事故をなくすことができて
、品質の安定した真空パルプを提供することができる。

で、部分組立完了後封着前に構成部品の配置およびろう
付状態などを検査することができて、よシ品質の安定し
た真空パルプを提供することができる〇 （ｆ）　　全体組立において、電極部分は低い温度に維
持しながら、ろう付箇所のみろう付温度に加熱さ五るの
で、どのような溶融温度を持つろう材も封着ろう付に使
用できて、母材に最適のろう材を選択することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明を適用する真空パルプの一例を示す断面
図、第２図は可動型（至）側の構成部品の配置図、第３
図は固定電極側の構成部品の配置図、第Ｖ図は高周波加
熱による全体組立用ろう付炉の一例を示す部分断面図、
第を図は第Ｖ図のろう付炉の縦断面図、第２図（ａ）（
ｂ）はろう付炉の機能を説明する部分図、第７゜図は電
子ビーム照射による全体組立用ろう付炉の一例を示す部
分断面図、第ｒ図はレーザ光照射による全体組立用ろう
付炉の一例を示す部分図、第り図および第７０図は、第
５図のろう付炉の他の実施例を示す部分断面図である。 ｌ・・・真空バルブ、λ・・・絶縁容器、３ａ、３ｂ・
・・端板、μ８．≠ｂ・・・電極、ｊａ、ｊｂ・・・通
電軸、ｔ・・・ベローズ、７・・・アークシール）”、
Ｊ’　ａ、　Ｉ　ｂ。 ｇｃ、ざｄ、Ｊ’ｅ、ざｆ・・・ろう材、りａ、りｂ・
・・ろう材、１０・・・小孔、／か・・テーブル、７．
２・・・外郭、／３・・・炉受は台、／μ・・・排気パ
イプ、／３・・・真空ポンプ、／６・・・回転装置、１
７・・・回転軸、ｉｇ・・・高周波加熱コイル−／ｑ・
・・上下動装置、：ｔＯ・・・棒、２ノ・・・電子銃１
．２ｕ−・・高圧ケーブル、Ｊ・・・電子ビーム、丼・
・・反射ミラー、Ｊ°°°集光ミラー、ユ６・・・レー
ザ光１．２７ａ、、Ｌ７ｂ・・・真空室、３・・・回転
装置 出願人代理人　　　猪　股　　　　清 第５図 第６図 第７図 第８図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ／　容器および電極を含む真空パルプ構成部品をろう付
   により部分組立を行い、次いで該部品組立完了品を封着
   ろう付により真空中で全体組立を行って、真空密封され
   た該容器内に一対の該電極が設けられた真空パルプの製
   造方法において、前記全体組立工程においてろう何部お
   よびその近傍のみをろう付温度に加熱して前記封着ろう
   付を行うことを特徴とする真空バルブの製造方法。 λ　部分組立工程における電極表面のろう付写囲気は、
   非酸化性気体からなるもの筐たは１〜１Ｏ−２Ｔｏｒｒ
   の真空であることを特徴とする特許請求の範囲第１項記
   載の真空バルブの製造方法０３　全体組立工程における
   部分組立完了品を、２００〜７３０″Ｃに加熱し、しか
   る後封着ろう何部およびその近傍のみを７３０℃を超え
   る温度に加熱して封着ろう付けすることを特徴とする特
   許請求の範囲第１項または第２項記載の真空ノくルプの
   製造方法。 弘全体組立工程における封着ろう付けを、高周波加熱に
   よって行なうことを特徴とする特許請求の範囲第１項、
   第２項または第３項記載の真空バルブの製造方法。 よ全体組立工程における封着ろう付けを、高エネルギー
   密度を有するビームを照射して行なうことを特徴とする
   特許請求の範囲第１項、第２項または第３項記載の真空
   バルブの製造方法。