JP2001013300A - 照射窓 - Google Patents
照射窓Info
- Publication number
- JP2001013300A JP2001013300A JP11184660A JP18466099A JP2001013300A JP 2001013300 A JP2001013300 A JP 2001013300A JP 11184660 A JP11184660 A JP 11184660A JP 18466099 A JP18466099 A JP 18466099A JP 2001013300 A JP2001013300 A JP 2001013300A
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- irradiation
- cooling water
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- foil
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 電子線照射装置の運転・停止等に伴って、照
射窓を構成する窓箔に皺が発生することを防止する。 【解決手段】 この照射窓４ａは、真空雰囲気２２と照
射雰囲気２４とを分離する窓箔６と、この窓箔６を支え
る水冷構造のグリッドウィンドウ８と、このグリッドウ
ィンドウ８の枠体１０の下面に窓箔６を押さえ付けて窓
箔６を固定する押さえ枠２０とを備えている。そしてこ
の押さえ枠２０内に、冷却水が流される冷却水路３０
を、当該押さえ枠２０の開口部をほぼ囲むように設け
た。
射窓を構成する窓箔に皺が発生することを防止する。 【解決手段】 この照射窓４ａは、真空雰囲気２２と照
射雰囲気２４とを分離する窓箔６と、この窓箔６を支え
る水冷構造のグリッドウィンドウ８と、このグリッドウ
ィンドウ８の枠体１０の下面に窓箔６を押さえ付けて窓
箔６を固定する押さえ枠２０とを備えている。そしてこ
の押さえ枠２０内に、冷却水が流される冷却水路３０
を、当該押さえ枠２０の開口部をほぼ囲むように設け
た。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、電子線照射装置
において真空雰囲気中から照射雰囲気中へ電子線を引き
出すことに用いられる照射窓に関し、より具体的には、
電子線照射装置の運転・停止等に伴って、前記照射窓を
構成する窓箔に皺が発生することを防止する手段に関す
る。
において真空雰囲気中から照射雰囲気中へ電子線を引き
出すことに用いられる照射窓に関し、より具体的には、
電子線照射装置の運転・停止等に伴って、前記照射窓を
構成する窓箔に皺が発生することを防止する手段に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】この種の照射窓の従来例の断面図を図３
に示し、上面図を図４に示す。
に示し、上面図を図４に示す。
【０００３】この照射窓４は、真空雰囲気２２中から照
射雰囲気（例えば大気）２４中へ電子線２を引き出すこ
とに用いられる。電子線２は、この例では走査していな
い広い領域のものであり、そのエネルギーは、例えば、
３００ｋｅＶ程度以下の比較的低エネルギーである。
射雰囲気（例えば大気）２４中へ電子線２を引き出すこ
とに用いられる。電子線２は、この例では走査していな
い広い領域のものであり、そのエネルギーは、例えば、
３００ｋｅＶ程度以下の比較的低エネルギーである。
【０００４】この照射窓４は、真空雰囲気２２と照射雰
囲気２４との間を分離する窓箔６と、この窓箔６を支え
る矩形かつ水冷構造のグリッドウィンドウ８と、このグ
リッドウィンドウ８の枠体１０の下面に窓箔６の周縁部
を押さえ付けて当該窓箔６を固定する矩形の押さえ枠２
０とを備えている。押さえ枠２０は、図示しない複数本
のボルトによって、枠体１０に固定されている。窓箔６
と枠体１０の下面間には、真空シール用のＯリング等の
シール材１８が設けられている。
囲気２４との間を分離する窓箔６と、この窓箔６を支え
る矩形かつ水冷構造のグリッドウィンドウ８と、このグ
リッドウィンドウ８の枠体１０の下面に窓箔６の周縁部
を押さえ付けて当該窓箔６を固定する矩形の押さえ枠２
０とを備えている。押さえ枠２０は、図示しない複数本
のボルトによって、枠体１０に固定されている。窓箔６
と枠体１０の下面間には、真空シール用のＯリング等の
シール材１８が設けられている。
【０００５】グリッドウィンドウ８は、矩形の枠体１０
と、その内側に互いに並設された複数の桟１２とを備え
ている。窓箔６は、桟１２の下面に、真空雰囲気２２と
照射雰囲気２４間の圧力差（例えば大気圧）によって押
し付けられる。枠体１０内には、冷却水１６が流される
冷却水路１４が、当該枠体１０の開口部をほぼ囲むよう
に設けられている。
と、その内側に互いに並設された複数の桟１２とを備え
ている。窓箔６は、桟１２の下面に、真空雰囲気２２と
照射雰囲気２４間の圧力差（例えば大気圧）によって押
し付けられる。枠体１０内には、冷却水１６が流される
冷却水路１４が、当該枠体１０の開口部をほぼ囲むよう
に設けられている。
【０００６】真空雰囲気２２中で発生させた電子線２
は、桟１２間の隙間を通して、かつ窓箔６を透過させ
て、照射雰囲気２４中へと引き出され、被照射物２６に
照射される。これによって、被照射物２６に改質等の処
理を施すことができる。
は、桟１２間の隙間を通して、かつ窓箔６を透過させ
て、照射雰囲気２４中へと引き出され、被照射物２６に
照射される。これによって、被照射物２６に改質等の処
理を施すことができる。
【０００７】その際、窓箔６は、電子線２が透過する際
の損失によって発熱する。その熱は、当該窓箔６中を通
して桟１２へと伝わり、更に桟１２の両端部へと伝わっ
て最終的には枠体１０へと伝わり、冷却水路１４中を流
れる冷却水１６によって冷却される。
の損失によって発熱する。その熱は、当該窓箔６中を通
して桟１２へと伝わり、更に桟１２の両端部へと伝わっ
て最終的には枠体１０へと伝わり、冷却水路１４中を流
れる冷却水１６によって冷却される。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】電子線照射装置の運転
時、即ち電子線２の引き出し時には、被照射物２６から
反射した電子や、当該電子が他の構造物に当たる等して
散乱した電子等から成る反射・散乱電子２８が押さえ枠
２０に入射するので、押さえ枠２０は加熱されて温度が
上昇する。窓箔６からの伝熱によっても押さえ枠２０は
加熱される。
時、即ち電子線２の引き出し時には、被照射物２６から
反射した電子や、当該電子が他の構造物に当たる等して
散乱した電子等から成る反射・散乱電子２８が押さえ枠
２０に入射するので、押さえ枠２０は加熱されて温度が
上昇する。窓箔６からの伝熱によっても押さえ枠２０は
加熱される。
【０００９】従って、電子線照射装置の運転・停止を繰
り返す度に、押さえ枠２０は膨張・収縮を繰り返す。し
かし、相手のグリッドウィンドウ（より具体的にはその
枠体１０）は水冷構造になっているため、押さえ枠２０
ほど熱による膨張・収縮は発生しない。
り返す度に、押さえ枠２０は膨張・収縮を繰り返す。し
かし、相手のグリッドウィンドウ（より具体的にはその
枠体１０）は水冷構造になっているため、押さえ枠２０
ほど熱による膨張・収縮は発生しない。
【００１０】その結果、この押さえ枠２０とグリッドウ
ィンドウ８との間に挟まれている窓箔６に、その表面に
沿う方向に、機械的なストレスが繰り返して加わり、こ
れが、窓箔６に皺を発生させる原因となる。
ィンドウ８との間に挟まれている窓箔６に、その表面に
沿う方向に、機械的なストレスが繰り返して加わり、こ
れが、窓箔６に皺を発生させる原因となる。
【００１１】窓箔６に皺が発生すると、窓箔６と桟１２
との間に隙間が生じ、グリッドウィンドウ８による窓箔
６の冷却効率が低下するので、電子線透過時の窓箔６の
温度上昇が大きくなり、窓箔６の寿命が低下する。従っ
て、窓箔６を頻繁に交換しなければならなくなる。
との間に隙間が生じ、グリッドウィンドウ８による窓箔
６の冷却効率が低下するので、電子線透過時の窓箔６の
温度上昇が大きくなり、窓箔６の寿命が低下する。従っ
て、窓箔６を頻繁に交換しなければならなくなる。
【００１２】そこでこの発明は、電子線照射装置の運転
・停止等に伴って、照射窓を構成する窓箔に皺が発生す
ることを防止することを主たる目的とする。
・停止等に伴って、照射窓を構成する窓箔に皺が発生す
ることを防止することを主たる目的とする。
【００１３】
【課題を解決するための手段】この発明の照射窓は、前
記押さえ枠内に当該押さえ枠の開口部をほぼ囲むよう
に、冷却水が流される冷却水路を設けたことを特徴とし
ている。
記押さえ枠内に当該押さえ枠の開口部をほぼ囲むよう
に、冷却水が流される冷却水路を設けたことを特徴とし
ている。
【００１４】上記構成によれば、押さえ枠に反射・散乱
電子が入射すること等によって熱入力が加わっても、そ
の冷却水路中を流れる冷却水によって押さえ枠は冷却さ
れるので、押さえ枠の温度上昇は抑えられる。従って、
電子線照射装置の運転・停止等の際に、押さえ枠の熱に
よる膨張・収縮は小さく抑えられ、それによって窓箔に
加わる機械的なストレスも小さく抑えられるので、窓箔
に皺が発生することを防止することができる。
電子が入射すること等によって熱入力が加わっても、そ
の冷却水路中を流れる冷却水によって押さえ枠は冷却さ
れるので、押さえ枠の温度上昇は抑えられる。従って、
電子線照射装置の運転・停止等の際に、押さえ枠の熱に
よる膨張・収縮は小さく抑えられ、それによって窓箔に
加わる機械的なストレスも小さく抑えられるので、窓箔
に皺が発生することを防止することができる。
【００１５】その結果、窓箔の寿命が延びるので、窓箔
交換の頻度を減らすことができ、保守作業の手間を軽減
することができる。また、照射窓ひいてはそれを用いた
電子線照射装置の信頼性も向上する。
交換の頻度を減らすことができ、保守作業の手間を軽減
することができる。また、照射窓ひいてはそれを用いた
電子線照射装置の信頼性も向上する。
【００１６】
【発明の実施の形態】図１は、この発明に係る照射窓の
一例を示す断面図である。図２は、図１の照射窓の下面
図である。照射窓の上面図は図４と同じであるのでそれ
を参照するものとする。また、図３および図４に示した
従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、
以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
一例を示す断面図である。図２は、図１の照射窓の下面
図である。照射窓の上面図は図４と同じであるのでそれ
を参照するものとする。また、図３および図４に示した
従来例と同一または相当する部分には同一符号を付し、
以下においては当該従来例との相違点を主に説明する。
【００１７】この照射窓４ａにおいては、前述した押さ
え枠２０内に、冷却水３２が流される冷却水路３０を、
当該押さえ枠２０の開口部をほぼ囲むように設けてい
る。
え枠２０内に、冷却水３２が流される冷却水路３０を、
当該押さえ枠２０の開口部をほぼ囲むように設けてい
る。
【００１８】冷却水路３０は、押さえ枠２０の開口部の
全周を囲むように設けるのが最も好ましいけれども、必
ずしもそこまでする必要はない。例えば、図２に示す例
のように、冷却水路３０が通っていない部分が少し位は
あっても良い。押さえ枠２０が細長い矩形の場合は、少
なくともその相対向する二長辺内に冷却水路３０を設け
れば良い。上記グリッドウィンドウ８の冷却水路１４に
ついても同様である。
全周を囲むように設けるのが最も好ましいけれども、必
ずしもそこまでする必要はない。例えば、図２に示す例
のように、冷却水路３０が通っていない部分が少し位は
あっても良い。押さえ枠２０が細長い矩形の場合は、少
なくともその相対向する二長辺内に冷却水路３０を設け
れば良い。上記グリッドウィンドウ８の冷却水路１４に
ついても同様である。
【００１９】冷却水３２は、グリッドウィンドウ８に流
す冷却水１６と同じものの方が、冷却水設備やその配管
等が簡素になり好ましいけれども、別のものでも良い。
す冷却水１６と同じものの方が、冷却水設備やその配管
等が簡素になり好ましいけれども、別のものでも良い。
【００２０】この照射窓４ａにおいては、電子線照射装
置の運転に伴って、押さえ枠２０に前述したような反射
・散乱電子２８が入射したり、窓箔６からの伝熱によっ
て、押さえ枠２０に熱入力が加わっても、その冷却水路
３０中を流れる冷却水３２によって押さえ枠２０は冷却
されるので、押さえ枠２０の温度上昇は抑えられる。
置の運転に伴って、押さえ枠２０に前述したような反射
・散乱電子２８が入射したり、窓箔６からの伝熱によっ
て、押さえ枠２０に熱入力が加わっても、その冷却水路
３０中を流れる冷却水３２によって押さえ枠２０は冷却
されるので、押さえ枠２０の温度上昇は抑えられる。
【００２１】従って、電子線照射装置の運転・停止等の
際に、押さえ枠２０の熱による膨張・収縮が小さく抑え
られ、それによって窓箔６に加わる機械的なストレスも
小さく抑えられるので、窓箔６に皺が発生することを防
止することができる。
際に、押さえ枠２０の熱による膨張・収縮が小さく抑え
られ、それによって窓箔６に加わる機械的なストレスも
小さく抑えられるので、窓箔６に皺が発生することを防
止することができる。
【００２２】その結果、窓箔６の寿命が延びるので、窓
箔交換の頻度を減らすことができ、保守作業の手間を軽
減することができる。また、照射窓８ひいてはそれを用
いた電子線照射装置の信頼性も向上する。
箔交換の頻度を減らすことができ、保守作業の手間を軽
減することができる。また、照射窓８ひいてはそれを用
いた電子線照射装置の信頼性も向上する。
【００２３】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、照射窓
の押さえ枠に上記のような冷却水路を設けたので、電子
線照射装置の運転・停止等の際に、押さえ枠の熱による
膨張・収縮は小さく抑えられ、それによって窓箔に加わ
る機械的なストレスも小さく抑えられる。従って、電子
線照射装置の運転・停止等に伴って窓箔に皺が発生する
ことを防止することができる。
の押さえ枠に上記のような冷却水路を設けたので、電子
線照射装置の運転・停止等の際に、押さえ枠の熱による
膨張・収縮は小さく抑えられ、それによって窓箔に加わ
る機械的なストレスも小さく抑えられる。従って、電子
線照射装置の運転・停止等に伴って窓箔に皺が発生する
ことを防止することができる。
【００２４】その結果、窓箔の寿命が延びるので、窓箔
交換の頻度を減らすことができ、保守作業の手間を軽減
することができる。また、照射窓ひいてはそれを用いた
電子線照射装置の信頼性も向上する。
交換の頻度を減らすことができ、保守作業の手間を軽減
することができる。また、照射窓ひいてはそれを用いた
電子線照射装置の信頼性も向上する。
【図１】この発明に係る照射窓の一例を示す断面図であ
る。
る。
【図２】図１の照射窓の下面図である。
【図３】従来の照射窓の一例を示す断面図である。
【図４】図３の照射窓の上面図である。
２ 電子線 ４ａ 照射窓 ６ 窓箔 ８ グリッドウィンドウ １０ 枠体 １２ 桟 １４ 冷却水路 ２０ 押さえ枠 ３０ 冷却水路
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線照射装置において真空雰囲気中か
ら照射雰囲気中へ電子線を引き出すことに用いられるも
のであって、両雰囲気間を分離する窓箔と、この窓箔を
支えるものであって枠体の内側に複数の桟を並設して成
り、かつこの枠体内に、冷却水が流される冷却水路を有
するグリッドウィンドウと、このグリッドウィンドウの
枠体の下面に前記窓箔の周縁部を押さえ付けて当該窓箔
を固定する押さえ枠とを備える照射窓において、前記押
さえ枠内に当該押さえ枠の開口部をほぼ囲むように、冷
却水が流される冷却水路を設けたことを特徴とする照射
窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184660A JP2001013300A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 照射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11184660A JP2001013300A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 照射窓 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001013300A true JP2001013300A (ja) | 2001-01-19 |
Family
ID=16157130
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11184660A Pending JP2001013300A (ja) | 1999-06-30 | 1999-06-30 | 照射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001013300A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727680B1 (ko) | 2005-12-26 | 2007-06-13 | 한국원자력연구원 | 냉각 회로를 개선한 대전류 이온 빔 인출 전극 및 그 제조방법 |
| WO2010102757A1 (en) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly |
| CN102683143A (zh) * | 2011-03-15 | 2012-09-19 | 日新离子机器株式会社 | 狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置 |
| WO2018078953A1 (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
| WO2018088334A1 (ja) * | 2016-11-09 | 2018-05-17 | 日立造船株式会社 | 電子線照射装置 |
| CN113692103A (zh) * | 2020-05-19 | 2021-11-23 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
| CN115835469A (zh) * | 2022-11-16 | 2023-03-21 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种用于强流超导直线加速器和高功率靶的束窗系统 |
-
1999
- 1999-06-30 JP JP11184660A patent/JP2001013300A/ja active Pending
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100727680B1 (ko) | 2005-12-26 | 2007-06-13 | 한국원자력연구원 | 냉각 회로를 개선한 대전류 이온 빔 인출 전극 및 그 제조방법 |
| WO2010102757A1 (en) * | 2009-03-11 | 2010-09-16 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly |
| US9159522B2 (en) | 2009-03-11 | 2015-10-13 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly |
| US10032596B2 (en) | 2009-03-11 | 2018-07-24 | Tetra Laval Holdings & Finance S.A. | Method for assembling an electron exit window and an electron exit window assembly |
| CN102683143A (zh) * | 2011-03-15 | 2012-09-19 | 日新离子机器株式会社 | 狭缝电极和具有该狭缝电极的带电粒子束发生装置 |
| KR101297291B1 (ko) * | 2011-03-15 | 2013-08-19 | 닛신 이온기기 가부시기가이샤 | 슬릿 전극 및 이것을 구비한 하전 입자빔 발생장치 |
| JP2018072076A (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-10 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
| WO2018078953A1 (ja) * | 2016-10-26 | 2018-05-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子線照射装置 |
| US11110188B2 (en) | 2016-10-26 | 2021-09-07 | Hamamatsu Photonics K.K. | Electron beam irradiation device |
| WO2018088334A1 (ja) * | 2016-11-09 | 2018-05-17 | 日立造船株式会社 | 電子線照射装置 |
| US10720256B2 (en) | 2016-11-09 | 2020-07-21 | Hitachi Zosen Corporation | Electron beam irradiating device |
| CN113692103A (zh) * | 2020-05-19 | 2021-11-23 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
| CN113692103B (zh) * | 2020-05-19 | 2023-12-08 | 四川智研科技有限公司 | 引出窗支撑结构及其应用方法 |
| CN115835469A (zh) * | 2022-11-16 | 2023-03-21 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种用于强流超导直线加速器和高功率靶的束窗系统 |
| CN115835469B (zh) * | 2022-11-16 | 2023-09-12 | 中国科学院近代物理研究所 | 一种用于强流超导直线加速器和高功率靶的束窗系统 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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|
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070605 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070713 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070821 |