JPH04363700A - Ｘ線透過窓およびその取付け方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空中を通過したＸ線
を、その真空とは異なる雰囲気中に取り出すための真空
隔壁の機能を有するＸ線透過膜からかなるＸ線透過窓お
よびその取付け方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来のＸ線透過窓は、図８に示すように
、ベリリウム板等のＸ線透過膜８１を接合材８２に気密
に接合し、次に台枠本体８３の内径面に上記接合材８２
を気密に接合した構造しており、その接合は、銀鑞付け
、電子ビーム溶接、拡散溶接等によって行なわれている
。そして、このＸ線透過膜８１は台枠本体８３に設けら
れているボルト穴８４において、ボルトを用いて、真空
隔壁として固定されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の技術では、真空用の標準的なフランジの他に専用の
台枠本体が必要であり、高価となるばかりでなく、該台
枠本体は、形状が大きいため、個別の密封保管が困難で
あるので、大気中に放置される場合が多く、その際、Ｘ
線透過膜が大気中に触れ酸化されて劣化が激しくなると
いう問題点がある。また、複数のＸ線透過膜を密閉容器
内に収納して保管することも考えられるが、前述のよう
に台枠本体が大きいため、収納可能な個数が制限されて
しまう。

【０００４】さらにＸ線透過膜と接合部材あるいは該接
合部材と台枠本体の各接合部の破損等が特に起こりやす
く、微小な真空リークの危険はもとより、Ｘ線透過膜の
破壊にもつながるという問題点がある。

【０００５】本発明は、上記従来の技術の有する問題点
に鑑みてなされたもので、小型軽量で、しかも気密性が
確保できるＸ線透過窓およびその取付け方法を提供する
ことを目的とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、真空中を透過
したＸ線を、その真空とは異なる雰囲気中に取り出すた
めの真空隔壁の機能を有する、Ｘ線透過膜からなるＸ線
透過窓において、前記Ｘ線透過膜の周縁部の両面に外枠
が気密に接合されており、ブリネル硬さが前記外枠より
大きい材料で形成されたフランジによって、前記外枠を
締付け固定したものである。

【０００７】前記フランジは、互いに対向する接合面に
、Ｘ線透過膜を挟むための凹部が内周縁側に形成されて
おり、該各凹部は、その中央部から前記フランジの内周
縁にかけて互いに平行な平面部が形成され、各凹部の中
央部に、前記平面部から垂直に突出するとともにその突
端から前記凹部の外周縁にかけて反接合面側に傾斜する
傾斜面が形成されてなるシールエッジが設けられている
もの、前記外枠のブリネル硬さがＸ線透過膜のブリネル
硬さより小さいもの、前記Ｘ線透過膜の、外枠が接合さ
れている部分の厚さが０．２〜１０ｍｍであるもの、前
記外枠に囲まれたＸ線透過膜の形状が、四角形、五角形
、六角形等の多角形、角を丸めた多角形あるいは円また
は楕円であり、その長手方向の長さが１０ｍｍ以上６０
ｍｍ以下であるものがある。

【０００８】また、本発明は、真空中を透過したＸ線を
、その真空とは異なる雰囲気中に取り出すための真空隔
壁の機能を有する、Ｘ線透過膜からなるＸ線透過窓の取
付け方法において、前記Ｘ線透過膜の周縁部の両面に外
枠が気密に接合されており、ブリネル硬さが前記外枠よ
り大きい材料で形成されたフランジによって、前記外枠
を締付け固定するものである。

【０００９】本発明におけるＸ線透過窓はＸ線の透過率
が高ければ高いほど良いのは言うまでもない。このこと
はＸ線透過膜が薄ければ薄いほど良いということと同等
である。一方、このＸ線透過窓は真空と真空とは異なる
雰囲気との真空隔壁であるため、Ｘ線透過膜の両面には
圧力差が存在し、Ｘ線透過膜に主に引張応力が発生する
。その引張応力がＸ線透過膜の破壊応力を上まわった時
、Ｘ線透過膜の破壊を引き起こすため、Ｘ線透過膜の厚
さは圧力差によっても破壊しないための十分な厚さでな
ければならない。

【００１０】ヤング率Ｅの材料からなる非常に薄い膜の
両面に差圧ｐがかかり大きなたわみが発生する時、その
膜の厚さをｈとすると、円形の膜の中心での引張応力は

【００１１】

【数１】 となる。ただし、Ｓは膜の面積でり、Ｓ＝πａ２（ａ：
半径）である。

【００１２】また、正方形の膜の中心での引張応力は、

【００１３】

【数２】 となる。楕円の膜や長方形の膜の中心での引張応力は、
それぞれ、円形や正方形の膜より若干小さくなる。

【００１４】上記の２つの式を見てわかる通り、引張応
力を小さくすることは、膜の厚さを大きくすることによ
り達成されることがわかる。また、膜の面積を小さくす
ることによっても同様に達成される。したがって、本発
明においては、Ｘ線透過窓としての機能を達成し得るに
十分の大きさで、かつ、できるだけ小さな面積の膜とし
、膜の厚さは引張応力が破壊応力を上まわらない程度の
十分の厚さで、かつ、できるだけ薄い膜であることが要
求される。

【００１５】本発明が好適に用いられる例として、Ｘ線
露光装置用Ｘ線透過窓がある。Ｘ線露光装置は６４Ｍｂ
ｉｔＤＲＡＭ以降に用いられるものであり、その１チッ
プのサイズは１０×２０ｍｍ２程度と予想される。Ｘ線
透過窓はマスクよりも光源側に近く、一般に光源からの
Ｘ線は発散しているため、Ｘ線透過窓位置では、１０×
２０ｍｍ２より若干小さい面積だけＸ線を透過する必要
がある。また、将来的に、Ｘ線露光装置で露光されると
考えられる４ＧｂｉｔＤＲＡＭにおいては、その１チッ
プのサイズは、３０×６０ｍｍ２程度となると予想され
る。この場合にも、Ｘ線透過窓位置ではそれよりも若干
小さくなる。

【００１６】また、Ｘ線露光装置では、Ｘ線透過窓を一
次元方向に走査することによって、Ｘ線が透過する領域
を実効的に拡大するということも考えられる。この場合
、Ｘ線照射域となるチップサイズの全領域にＸ線を照射
する方法としては、前記チップサイズの縦、横何れか一
方の辺の長さ分だけ確保したＸ線透過域を有するＸ線透
過窓を、前記縦、横の他方の辺に沿ってその長さ分だけ
走査することが行なわれる。この方法においては、走査
する長さを前記一方の辺の長さより短くすることで、前
記Ｘ線透過窓としての強度の向上が望める。前記チップ
サイズは一辺の長さが１０ｍｍから６０ｍｍであり、Ｘ
線を透過させる領域の長手方向の長さを１０ｍｍ以上と
する必要がある。一方、前記Ｘ線を透過させる領域を必
要以上に大きくすると、Ｘ線透過窓の強度が低下するの
で、この場合、Ｘ線透過膜の厚さを厚くすることで破壊
に耐え得るような強度を確保している。しかし、Ｘ線透
過膜の厚さを厚くすることも望ましくないため、前記Ｘ
線を透過させる領域の長手方向の長さは６０ｍｍ以下と
することが望ましい。

【００１７】また、明らかなことに、Ｘ線透過窓を走査
しない装置の場合、該Ｘ線透過窓にて、チップサイズ分
のＸ線を透過する領域を確保する必要があることは言う
までもなく、その長手方向の長さは２０ｍｍ以上６０ｍ
ｍ以下とする必要がある。結局、Ｘ線透過窓のＸ線を透
過する領域の長手方向の長さは１０ｍｍ以上６０ｍｍ以
下とすることが望ましい。

【００１８】

【作用】本発明のＸ線透過窓は、Ｘ線透過膜に接合され
た外枠をフランジで挟んで締付け固定したものであり、
前記フランジは、そのブリネル硬さが前記外枠のブリネ
ル硬さより大きいので、締付けの際、外枠が変形して該
外枠とフランジとが密着して気密性が確保される。

【００１９】また、請求項第２項に記載のものの場合、
フランジにシールエッジが設けられているので、該フラ
ンジによって前記外枠を締付けるとシールエッジが外枠
に食い込むことになり、シール性が良好となる。さらに
、請求項第３項に記載のもののように、外枠をＸ線透過
膜のブリネル硬さより小さくすることにより、前記フラ
ンジによって締付けられて、外枠が変形あるいは該外枠
にシールエッジが食い込んだ場合でも、前記Ｘ線透過膜
は変形することはなくその強度が低下することはない。

【００２０】

【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００２１】図１は本発明のＸ線透過窓の一実施例を示
す断面図である。

【００２２】本実施例のＸ線透過窓は、Ｘ線透過膜２の
周縁部の両面にガスケット状に外枠３を気密に接合した
窓材１を、フランジ４，５によって、挟んで締付け固定
したものである。

【００２３】前記フランジ４，５は、ブリネル硬さが前
記外枠３より大きい材料で形成され、それらが前記窓材
１を挟んだ際に互いに対向する各接合面に、前記窓材１
の外枠３の部分を挟むための凹部４Ａ，５Ａがそれぞれ
の内縁側に周設されている。この凹部４Ａ，５Ａは、そ
れらの中央部から前記フランジ４，５の内周縁にかけて
互いに平行な平面部が形成され、その中央部には、前記
平面部から垂直に突出するとともにその突端から前記凹
部の外周縁にかけて反接合面側に傾斜する傾斜面が形成
されてなるシールエッジ４Ｂ，５Ｂが設けられている。 また、前記フランジ４，５を接合した際の前記凹部４Ａ
，５Ａにおける平面部間の幅は、前記窓材１の外枠３の
部分の厚さと略同等となっており、さらに、前記凹部４
Ａ，５Ａの外周縁は前記窓材１の外周縁に沿ったものと
なっている。前記窓材１は、Ｘ線透過膜２の表裏両面に
、ガスケット状の外枠３が、図２に示すように、その外
周縁を前記Ｘ線透過膜２の外周縁に一致させて所望の幅
および厚さで接合したものである。

【００２４】本実施例のＸ線透過窓は、前記フランジ４
，５によって、それらの凹部４Ａ，５Ａにおいて各シー
ルエッジ４Ｂ，５Ｂを前記窓材１の外枠３に当接させて
前記窓材１を挟んで複数のボルト６、８およびナット７
、９を用いて締付け固定しており、これにより、フラン
ジ４、５はＸ線透過膜２に接合された外枠３よりブリネ
ル硬さが大きい材料で形成されているので、前記フラン
ジ４，５に設けられているシールエッジ４Ｂ，５Ｂが前
記外枠３を塑性変形させながら食い込み、Ｘ線透過窓に
おける気密性が確保される。

【００２５】次に、窓材の他の実施例を図３に示す。

【００２６】図３の窓材３１は、Ｘ線透過膜３２に対し
てその外周縁を包み込むようにガスケットを構成する外
枠３３を所定の幅で接合したもので、該外枠３３の外径
は前記Ｘ線透過膜３２の外形より大きく、また、外枠３
３の部分の厚さは一定となっている。

【００２７】この窓材３１についても、前述の図１に示
したフランジ４，５を用いて、締付け固定することによ
り、同様に気密性を確保することができる。

【００２８】また、前述の図１に示した実施例の場合、
Ｘ線透過膜２の周縁が常に大気に接することになるため
、その部分から酸化が起こって劣化する可能性があるが
、本実施例の場合は、上述のように外枠３３がＸ線透過
膜３２の周縁を包み込むように接合されているので、該
Ｘ線透過膜３２は大気に接することがなくなり、酸化に
よるＸ線透過膜３２の性能の劣化を抑制することができ
る。

【００２９】ここで、前記Ｘ線透過膜として用いられる
代表的な材料のブリネル硬さを表１に、また、該Ｘ線透
過膜に接合される外枠として用いられる代表的な材料の
ブリネル硬さを表２に、さらに、前記フランジとして用
いられる代表的な材料のブリネル硬さを表３に示す。

【００３０】前記外枠としては、フランジに用いる材料
に比較してブリネル硬さが充分小さい材料を選ぶ必要が
ある。

【００３１】

【表１】

【００３２】

【表２】

【００３３】

【表３】 つづいて、前述の各実施例の具体例について説明する。 （具体例１）まず、図２に示した窓材１を用いた場合の
Ｘ線透過窓について説明する。

【００３４】Ｘ線透過膜２は、６０μｍ厚、直径８２．
４ｍｍの円形のベリリウム薄である。フランジ４，５と
しては、ステンレス鋼（ＳＵＳ３１６Ｌ）で形成されて
、前述のように、各接合面の内周縁側に、シールエッジ
４Ｂ，５Ｂが形成された凹部４Ａ，５Ａを有するＩＣＦ
１１４を用いる。前記Ｘ線透過膜２には、その表裏両面
の周縁部の周方向に、前記フランジ４，５のシールエッ
ジ４Ｂ，５Ｂに沿うように、内径６３．７ｍｍ、外径８
２．４ｍｍの幅でニッケルの無電解メッキを２０μｍの
厚さで行ない、さらにその上面に、銅の電解メッキを９
５０μｍの厚さで行なって外枠３を形成している。この
ようにして外枠３が接合されたＸ線透過膜２からなる窓
材１は、外枠３とＸ線透過膜２との外周縁部は揃ったも
のとなっており、外枠３の部分のＸ線透過膜２を含んだ
厚さｔは２ｍｍとなっている。

【００３５】そして、この窓材１を、前記フランジ４，
５によって、シールエッジ４Ｂ，５Ｂをそれぞれ表面お
よび裏面の外枠３に当接させた状態で挟み、複数のボル
ト６，８およびナット７，９を用いて１２０Ｋｇ・ｃｍ
の締付けトルクで真空隔壁として締付け固定する。これ
により、Ｘ線透過膜２に接合された外枠３はその上面が
銅であり、そのブリネル硬さ（７５ＨＢ）がステンレス
鋼のブリネル硬さ（１８０ＨＢ）より小さいので、ステ
ンレス鋼製のフランジ４，５のシールエッジ４Ｂ，５Ｂ
が前記窓材１の外枠３に食い込むこととなって、気密状
態となる。このとき、外枠３は塑性変形することになる
。

【００３６】この状態で、前記Ｘ線透過窓の内側と外側
とで、一方を超高真空（１×１０−８ｔｏｒｒ以下）と
し、他方を、ヘリウムを充満した１５０ｔｏｒｒとして
真空リークを測定したが観測されなかった。

【００３７】本例のように、外枠３をＩＣＦフランジに
適合させることにより、市販のフランジを使用すること
ができるので、専用の台枠が不要となって安価なものに
なる。 （具体例２）次に、図３に示した窓材３１を用いた場合
のＸ線透過窓について説明する。

【００３８】本例では、２０μｍ厚のベリリウム薄の円
形のＸ線透過膜３２に対して、その外周縁を包み込むよ
うに、ガスケット状に外枠３３を接合して窓材３１を形
成する。前記外枠３３は、Ｘ線透過膜３２に対してその
中心に一致して、外径８２．４ｍｍ、開口部３５ｍｍ口
としてアルミニウムを均等な厚さで蒸着して、その部分
の厚さを２ｍｍとしている。したがって、本例で用いる
Ｘ線透過膜３２の径は、前記外枠３３の範囲内に収まる
ような大きさであればよく、このようにすることでＸ線
透過膜３２の外周縁を前記外枠３３によって包み込んだ
状態にすることができる。

【００３９】上述のように外枠３３が接合されたＸ線透
過膜３２からなる窓材３１を、前述と同様に、フランジ
４，５によって、シールエッジ４Ｂ，５Ｂを前記外枠３
３に当接させた状態で挟み、複数のボルト６，８および
７，９を用いて１２０Ｋｇ・ｃｍの締付けトルクで真空
隔壁として締付け固定する。

【００４０】この場合、前記Ｘ線透過膜３１の外枠３３
はアルミニウムであり、そのブリネル硬さ（１７ＨＢ）
はステンレス鋼のブリネル硬さ（１８０ＨＢ）より小さ
いため、前記フランジ４，５のシールエッジ４Ｂ，５Ｂ
は外枠３３の塑性変形によりその両面に食い込むことに
なる。

【００４１】この状態で、同様に、Ｘ線透過窓の内側と
外側とで、一方を超高真空（１×１０−８ｔｏｒｒ）と
し、他方をヘリウムを充満させて１５０ｔｏｒｒとした
が真空リークは観測されなかった。 （具体例３）次に、具体例３について図４を参照して説
明する。

【００４２】本例では、前述の図２に示した窓材１と同
様に、Ｘ線透過膜４２の表裏両面に外枠４３を、その外
周縁を前記Ｘ線透過膜４２の外周縁に一致させて所望の
幅および厚さで接合してなる窓材４１を用いたものであ
る。

【００４３】この窓材４１においては、前記外枠４３を
接合することによって形成される、Ｘ線が透過する開口
部を、実際にＸ線が透過すべき面積より若干大きく形成
する。

【００４４】本例では、開口部の各辺の長さは、実際に
Ｘ線が透過すべき面の各辺の長さより略１ｍｍ程度大き
くなっている。これは、Ｘ線がＸ線透過膜４２の位置で
Ｘ線の照射方向に垂直な方向に数百μｍ程度の幅で振動
するためである。

【００４５】本例では、具体例１と同様にＸ線透過膜４
２としてベリリウム薄膜を用いるとともに、外枠４３と
して銅を用いて前記開口部を、Ｘ線が透過すべき面積よ
り若干大きい２５ｍｍ口とした。本例においては、前記
開口部を２５ｍｍ口としたため、Ｘ線透過膜４２である
ベリリウム薄膜の厚さを１５μｍとすることができた。

【００４６】そして、この窓材４１を、前述の具体例１
と同様に、フランジ４，５によって、シールエッジ４Ｂ
，５Ｂをそれぞれ表面および裏面を外枠３に当接させた
状態で挟み、複数のボルト６，８およびナット７，９を
用いて真空隔壁として、Ｘ線露光装置に締付け固定する
。

【００４７】シンクロトロン放射光を光源とするＸ線露
光装置においては、波長０．７〜１．０ｎｍの範囲を主
に使うことになる。代表として０．８ｎｍの波長の軟Ｘ
線の透過率を、本例の１５μｍ厚のベリリウム薄膜を用
いたＸ線透過窓と、具体例１の６０μｍ厚のベリリウム
薄膜を用いたＸ線透過窓とについて調べて見ると、６０
μｍ厚のベリリウム膜においては１７％の透過率であっ
たものが、１５μｍ厚のものの場合には６４％と向上す
る結果となった。Ｘ線露光装置において、Ｘ線透過率、
すなわち透過後のＸ線強度は露光のスループットにその
まま影響するため、上述のような透過率の向上は本質的
にスループットの向上につながる。

【００４８】上述した具体例３では、外枠で形成する開
口部を正方形とした場合を示したが、他の形状でも構わ
ない。

【００４９】図５の（ａ）〜（ｆ）に前記開口部の形状
の他の例を示す。

【００５０】（ａ）は、上述と同様な正方形、（ｂ）は
長方形である。（ｃ），（ｄ）はそれぞれ、前記正方形
および長方形の角を丸めた形状のものである。（ｅ），
（ｆ）はそれぞれ、円形、楕円形である。その他にも五
角形以上の多角形あるいはそれらの角を丸めた形状のも
のでも良い。

【００５１】また、上述の具体例３では、Ｘ線透過膜４
２に接合した外枠４３を、該Ｘ線透過膜４２の表裏両側
で同一形状にしたが、その必要はない。すなわち、図６
に示すように、窓材６１において、Ｘ線透過膜６２の、
Ｘ線の入射面側に接合した外枠６３にて、上述したよう
な、Ｘ線が透過すべき面積より若干大きな開口部を形成
した場合でも同様な効果を得ることができる。 （具体例４）次に、具体例４について図７を参照して説
明する。

【００５２】本例では、前述の図３に示した窓材３１と
同様に、Ｘ線透過膜７２に対してその外周縁を包み込む
ように外枠７３を接合するとともに、それによって形成
される、Ｘ線が透過する開口部を、前述の図４に示した
窓材４１の場合と同様に、実際にＸ線が透過すべき面積
より若干大きく形成したものである。また、本例の窓材
７１において、Ｘ線透過膜７２としては同様にベリリウ
ム薄膜を用いているが、その直径は、前述のフランジ４
，５に設けられているシールエッジ４Ｂ，５Ｂの直径よ
り短かいものである。

【００５３】したがって、本例の窓材７１を、前記フラ
ンジ４，５を用いて締付け固定した場合、シールエッジ
４Ｂ，５Ｂは、図７に示すように、前記Ｘ線透過膜７２
が無い、外枠７３のみの部分に食い込むことになる。

【００５４】本例においても、前記外枠７３は、Ｘ線透
過膜７２に対して無電解メッキ等によって一体的に接合
するので、Ｘ線透過窓として破壊に耐え得る強度が確保
され、前記具体例１〜３と同様な効果を得ることができ
る。

【００５５】以上、示した各具体例において、Ｘ線透過
膜はベリリウムとしたが、Ｘ線の使用波長範囲に応じて
最適な材料があり、その使用波長により、銀、ニッケル
、アルミニウム等の金属、あるいは、ケイ素、炭素（ダ
イヤモンド薄膜）、窒化ケイ素、炭化ケイ素等の絶縁体
や半導体等を用いてもよいことはいうまでもない。

【００５６】Ｘ線透過膜として、ベリリウムを用いた場
合、ガスケット状の外枠を形成する材料として銅および
アルミニウムを用いた例を示したが、その他に、ブリネ
ル硬さが１２０ＨＢ以下の、例えば金等の材料を外枠と
して用いることができる。

【００５７】Ｘ線透過膜として銀を用いた場合、前記外
枠の材料として、ブリネル硬さが２３ＨＢ以下のもの（
例えばアルミニウム）を用いることができる。

【００５８】前記Ｘ線透過膜としてニッケルを用いた場
合、前記外枠の材料として、ブリネル硬さが１１０ＨＢ
以下のもの（例えばアルミニウム、銅、金）を用いるこ
とができる。

【００５９】前記Ｘ線透過膜としてアルミニウムを用い
た場合、前記外枠の材料として、ブリネル硬さが１７Ｈ
Ｂ以下のもの（例えばアルミニウム）を用いることがで
きる。　　さらに、前記Ｘ線透過膜として、炭素、窒化
ケイ素あるいは炭化ケイ素、ケイ素を用いた場合、前記
外枠の材料として、ブリネル硬さが１２０ＨＢ以下のも
の（例えばアルミニウム、銅、金）を用いることができ
る。

【００６０】また、真空リークの測定の際、Ｘ線透過窓
の内側あるいは外側の一方の側をヘリウム１５０ｔｏｒ
ｒとしたが、圧力差によりＸ線透過膜の破壊が起きない
ようにＸ線透過膜の厚さを設定することで、大気圧ある
いは大気圧よりも高い圧力に対しても適用できることは
いうまでもないし、ヘリウム以外に窒素、アルゴン、大
気等の、Ｘ線透過膜を激しく侵食しない雰囲気でもよい
。

【００６１】さらに、前記外枠の形成方法においてはメ
ッキあるいは蒸着により作製したが、外枠を銅板等で形
成しておき銀鑞付けしてもよいし、Ｘ線透過膜の材料よ
りも融点の低い材料を融解して外枠を形成してもよい。

【００６２】

【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記のような効果を奏する。

【００６３】（１）固定用のフランジから取外すことが
できるので、小型軽量となって個別に密封保管すること
が可能となり、Ｘ線透過膜の酸化による劣化を防ぐこと
ができる。

【００６４】（２）上述のように、小型軽量となるため
、真空あるいは乾燥窒素雰囲気等の密閉容器にＸ線透過
膜を収納する場合も、その収納個数が増加することとな
り、Ｘ線透過膜の性能を劣化させることなく、使用中の
Ｘ線透過窓の破損等による交換に備えることができる。

【００６５】（３）外枠が接合されたＸ線透過膜を、ブ
リネル硬さが前記外枠より大きいフランジで挟んで、前
記外枠を締付けるという簡単な構造で気密性が確保でき
、さらに、前記外枠をＩＣＦフランジ等の市販品に適合
するように形成することにより、専用の固定台枠が不要
となって、製造が容易になるとともに経済的にも有利で
ある。

【００６６】（４）請求項第３項に記載のものの場合、
フランジに設けられたシールエッジがＸ線透過膜に接合
されている外枠に食い込むことによって気密性を確保す
るので、その信頼性はより高いものとなる。

【００６７】（５）請求項第３項に記載のものの場合、
外枠の塑性変形あるいはフランジのシールエッジの外枠
への食い込みによってＸ線透過膜の塑性変形が起らない
ので、該Ｘ線透過膜の強度が損なわれることなく信頼性
が向上する。

【００６８】（６）本発明の、Ｘ線透過窓の取付け方法
によれば、Ｘ線透過膜に接合した外枠をフランジによっ
て締付け固定することでＸ線透過窓として取付けられる
ので、前記Ｘ線透過窓の取付け時のみならず取外し時の
作業も容易に行なえ、Ｘ線透過窓の交換作業等の能率が
向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のＸ線透過窓の第１実施例を示す断面図
である。

【図２】本発明のＸ線透過膜および外枠（ガスケット）
からなる窓材の第１実施例を示す断面図である。

【図３】本発明のＸ線透過窓における窓材の第２実施例
を示す断面図である。

【図４】本発明のＸ線透過窓の第２実施例を示す断面図
である。

【図５】（ａ）〜（ｆ）は、それぞれ、本発明のＸ線透
過窓における窓材の、外枠で形成する開口部の例を示す
平面図である。

【図６】本発明のＸ線透過窓における窓材の第３実施例
を示す断面図である。

【図７】本発明のＸ線透過窓の第３実施例を示す断面図
である。

【図８】従来のＸ線透過窓の一例を示す断面図である。

【符号の説明】

１，３１，４１，６１，７１　　　　　　窓材２，３２
，４２，５２，６２，７２　　　　　　Ｘ線透過膜３，
３３，４３，５３，６３，７３　　　　　　外枠４，５
　　　　　　フランジ ４Ａ，５Ａ　　　　　　凹部 ４Ｂ，５Ｂ　　　　　　シールエッジ ６，８　　　　　　ボルト ７，９　　　　　　ナット

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】　　真空中を透過したＸ線を、その真空と
   は異なる雰囲気中に取り出すための真空隔壁の機能を有
   する、Ｘ線透過膜からなるＸ線透過窓において、前記Ｘ
   線透過膜の周縁部の両面に外枠が気密に接合されており
   、ブリネル硬さが前記外枠より大きい材料で形成された
   フランジによって、前記外枠を締付け固定したことを特
   徴とするＸ線透過窓。
2. 【請求項２】　　フランジは、互いに対向する接合面に
   、Ｘ線透過膜を挟むための凹部が内周縁側に形成されて
   おり、該各凹部は、その中央部から前記フランジの内周
   縁にかけて互いに平行な平面部が形成され、各凹部の中
   央部に、前記平面部から垂直に突出するとともにその突
   端から前記凹部の外周縁にかけて反接合面側に傾斜する
   傾斜面が形成されてなるシールエッジが設けられている
   ことを特徴とする請求項１記載のＸ線透過窓。
3. 【請求項３】　　外枠のブリネル硬さがＸ線透過膜のブ
   リネル硬さより小さいことを特徴とする請求項１または
   ２記載のＸ線透過窓。
4. 【請求項４】　　Ｘ線透過膜の、外枠が接合されている
   部分の厚さが０．２〜１０ｍｍであることを特徴とする
   請求項１，２または３記載のＸ線透過窓。
5. 【請求項５】　　外枠に囲まれたＸ線透過膜の形状が、
   四角形、五角形、六角形等の多角形、角を丸めた多角形
   あるいは円または楕円であり、その長手方向の長さが、
   １０ｍｍ以上６０ｍｍ以下であることを特徴とする請求
   項１，２，３あるいは４記載のＸ線透過窓。
6. 【請求項６】　　真空中を透過したＸ線を、その真空と
   は異なる雰囲気中に取り出すための真空隔壁の機能を有
   する、Ｘ線透過膜からなるＸ線透過窓の取付け方法にお
   いて、前記Ｘ線透過膜の周縁部の両面に外枠が気密に接
   合されており、ブリネル硬さが前記外枠より大きい材料
   で形成されたフランジによって、前記外枠を締付け固定
   したことを特徴とする、Ｘ線透過窓の取付け方法。