JPH0434720B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、Ｘ線、電子線等の荷電粒子ビーム発
生装置より粒子ビームを取り出す個所に用いられ
るウインド（窓）の構造に関するものである。

荷電粒子ビーム発生装置、例えば医療用リニア
ツクでは、患者に電子線・Ｘ線を照射するために
発生装置から電子線・Ｘ線を取り出すためのウイ
ンドが当然設けられる。

この種の装置においては第１図に示す如く、Ｘ
線の発生及びその後の経路は真空に保たれるよう
に装置Ｌが構成され、ウインド１はＸ線の透過が
良好なベリリウム（Be）製板で形成される。

装置Ｌの筐体はステンレス材で形成されるのが
一般であるが、ステンレス材とベリリウム材とは
直接接合が不可能であり、従来は気密を得るため
に両者の間に特殊な樹脂製のパツキング部材（あ
るいはＯリング）を介在させていた。

しかし、パツキング部材に電子線・Ｘ線が照射
されると発熱あるいは変質してしまい、気密性、
寿命等の信頼性に欠点がある。尚、ベリリウムの
代りにアルミ材・ステンレス・チタン等を用いる
場合Ｘ線の透過率が格段に悪いので、採用し難
い。

従来は放射線を取り出すベリリウム窓と窓の枠
材たるアルミニウムとの接合を電子ビームにて行
うことが知られている（日本結晶学会誌24巻５号
274〜277頁「シンクロトン放射用ベリリウム窓の
開発」参照）が、 双方の溶接部分は0.5mm程度と非常に狭いので、
その部分の機械強度が今後の課題とされている。

本発明はこのような点に鑑み、従来の欠点を解
決したこの種ウインドを提供することを主たる目
的とする。

以下本発明の一実施例について図面を参照しな
がら詳細に説明する。

第２図は本発明の一例を示すウインドの断面図
である。図において２はステンレス材（sus）で
構成されたフランジ枠であり、３はアルミニウム
材（Al）で構成された押え部材で、ベリリウム
製板４の全外周の線に沿つて取り付けられる。
尚、図において、ベリリウム板４の左方は真空系
に面し、右面は大気系となる。そしてアルミニウ
ム部材３とベリリウム板４とは、第４図Ａ及びＢ
に示すように、まず部材３の凸部を機械力（延
性）によつてベリリウム板４を挾持させた後に折
曲げ、電子ビーム溶接によつて全周を溶接する。
そしてこの後第３図に示すように、フランジ２と
部材３との接合面をブレージングし、鑞付け５を
行うことにより両境界の真空度を保持している。

以上述べた如く本発明によれば、Ｘ線電子線等
の発生装置より電子線を取り出すウインドウをベ
リリウムの板で構成し、該ベリリウム板の外周に
沿つてアルミニウム製の押さえ部材の凸縁にてベ
リリウム板を挾持するように折曲すると共に電子
ビーム溶接し、外周のステンレス製フランジと押
さえ部材とを鑞付けして構成したので、 ベリリウム窓とアルミニウム製枠とで構成した
ウインドを構成する際、通常の電子ビーム溶接岳
では強度か低下して実用に供し得ないが、単に溶
接のみならずアルミニウム枠の縁を折曲げて挾持
したので、機械強度は格段に向上する効果を有
し、またＸ線透過の良い軽元素のベリリウム製の
板とステンレス材との接合を良好にすることがで
きる。また鑞付あるいは溶接部分はＸ線照射によ
る発熱や変質がないため、10^-6〜10^-10（Torr）の
真空度を要する場合でも十分耐久性があり、寿命
もほぼ永久であり、信頼性は格段に向上する等の
効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図はＸ線発生装置のウインドの説明に供す
る略線図、第２図は本発明ウインドの一例を示す
断面図、第３図は同じく要部の拡大断面図、第４
図Ａ，Ｂはベリリウム板の取付けの説明図であ
る。 １…ウインド、２…フランジ枠、３…アルミ材
の押え部材、４…ベリリウム製板、５…鑞付箇
所。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ Ｘ線電子線等の発生装置より電子線を取り出
   すウインドウをベリリウムの板で構成し、該ベリ
   リウム板の外周に沿つてアルミニウム製の押さえ
   部材の凸縁にてベリリウム板を挾持するように折
   曲すると共に電子ビーム溶接し、外周のステンレ
   ス製フランジと押さえ部材とを鑞付けして構成し
   たことを特徴とする電子線用ウインド。