JP2015111504A - Ｘ線管及びｘ線管の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】寿命および信頼性を改善するＸ線管及びＸ線管の製造方法を提供する。【解決手段】開口を有した真空外囲器と、真空外囲器に取り付けられ開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリ２０を備えるＸ線管において、Ｘ線透過アセンブリ２０は、窓枠２１とＸ線透過窓２２とＸ線耐性樹脂フィルム２３と封止部材２５により構成される。Ｘ線透過窓２２はベリリウム薄板で形成され、窓枠２１に収められ窓枠２１とともに真空外囲器の内部の気密状態を保持する。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３と窓枠２１とＸ線透過窓２２により形成された内部空間には、乾燥ガス２９が充填される。【選択図】図２

Description

本発明の実施形態は、Ｘ線管及びＸ線管の製造方法に関する。

一般に、Ｘ線管は、医療診断システムや工業診断システム等に用いられている。上記Ｘ線管は、例えば、工業用分野等で行うＸ線異物検査やＸ線分析に使用される。Ｘ線分析とは、各種材料の成分分析や製品の組成分析である。Ｘ線分析に使用されるＸ線管は、陽極と、陰極と、真空外囲器と、を備えている。また、一般に、Ｘ線管のＸ線透過窓はＢｅ（ベリリウム）窓を有している。Ｂｅ窓は、真空外囲器の一部を構成し、利用Ｘ線束を透過させる（外部に取り出す）。

上記した分析用のＸ線管は、Ｂｅ窓の外表面が大気に露出した状態にてＸ線管を連続的に使用する場合、しばしば使用中にＢｅ窓やＢｅ窓と真空外囲器とのろう接部が腐食され、真空外囲器の真空気密状態が破壊されてしまうという不具合が発生している。分析精度を向上させるためにＢｅ窓を薄くする必要があるが、その場合には特に上記の不具合が助長される。

そこで、次の（１）及び（２）の技術が、このような不具合発生を低減させることを目的とする技術として知られている。
（１）ポリイミド樹脂形成液をＢｅ窓の外表面に塗布した後、乾燥及び焼成してＸ線により劣化し難いポリイミド樹脂被膜をＢｅ板の外表面に形成する。
（２）樹脂以外にホウ素化合物のような無機被膜を保護被膜として使用する。

特許第２９３５９６１号公報 特公平３−３５７７４号公報

ところで、上述した技術には下記のような問題がある。
（１）の技術は、乾燥及び焼成の工程に要する時間が長く、生産性が低いという問題がある。また、ポリイミド樹脂被膜の厚みには最適範囲が存在する。ポリイミド樹脂被膜は、その厚さが大きいほどＢｅ窓を保護する効果が高いが、厚過ぎるとＸ線の透過量が減ってしまうためである。しかしながら、ポリイミド樹脂形成液の塗布工程で厚さにムラが発生するため、ポリイミド樹脂被膜の厚みを最適範囲にコントロールすることに限界があり、製造歩留りが低下して製造コストが高くなるという問題もある。ポリイミド樹脂形成液の塗布工程で厚さにムラが発生する現象は、Ｂｅ窓が平坦でなく、真空となる内側に凹んだ形状となることなどが関係している。また、ポリイミド樹脂被膜の厚みを最適範囲にコントロールすることは煩雑であるという問題もある。さらに、この技術では、Ｂｅ窓を保護する効果自体も不十分であるという問題もある。

（２）の技術は、Ｂｅ窓に無機被膜を形成する工程に要する時間が長く、生産性が低いという問題（上記（１）の技術と同様の問題）がある。また、特殊で高価な専用設備が必要であるという問題がある。さらに、この技術でも、Ｂｅ窓を保護する効果自体も不十分であるという問題もある。

この発明は以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管及びＸ線管の製造方法を提供することにある。

一実施形態に係るＸ線管は、
開口を有した真空外囲器と、
前記真空外囲器に取り付けられ前記開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリと、
前記真空外囲器に収容され電子を放出する陰極と、
前記真空外囲器に収容されＸ線を放出する陽極ターゲットと、を備え、
前記Ｘ線透過アセンブリは、
前記開口に対向し前記真空外囲器に気密に取り付けられた窓枠と、
前記窓枠に収められ前記窓枠とともに前記真空外囲器の内部の気密状態を保持しベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、
前記Ｘ線透過窓より外気側に位置し前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向し前記窓枠と前記Ｘ線透過窓とともに内部に空間を形成するＸ線耐性樹脂フィルムと、
前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持する封止部材と、
前記空間に充填された乾燥ガスと、
を有している。

一実施形態に係るＸ線管は、
開口を有した真空外囲器と、
前記真空外囲器に取り付けられ前記開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリと、
前記真空外囲器に収容され電子を放出する陰極と、
前記真空外囲器に収容されＸ線を放出する陽極ターゲットと、を備え、
前記Ｘ線透過アセンブリは、
前記開口に対向し前記真空外囲器に気密に取り付けられた窓枠と、
前記窓枠に収められ前記窓枠とともに前記真空外囲器の内部の気密状態を保持しベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、
前記Ｘ線透過窓より外気側に位置し前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向したＸ線耐性樹脂フィルムと、
前記開口に対向し前記Ｘ線耐性樹脂フィルムが気密に取り付けられ前記窓枠と前記Ｘ線透過窓と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとともに内部に空間を形成する枠部材と、
前記窓枠と前記枠部材との間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持する封止部材と、
前記空間に充填された乾燥ガスと、
を有している。

また、一実施形態に係るＸ線管の製造方法は、
開口を有した真空外囲器と、窓枠と、ベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、電子を放出する陰極と、Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、を用意し、
前記Ｘ線透過窓を前記窓枠に収め、
前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が前記開口に対向した状態で、前記窓枠を前記真空外囲器に取り付け前記開口を気密に閉塞し、
前記陰極及び陽極ターゲットを前記真空外囲器に収容し、
前記陰極及び陽極ターゲットが収容され前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が取り付けられた前記真空外囲器の内部を真空排気し、前記真空外囲器を気密に封止し、
乾燥ガス雰囲気中で前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記真空外囲器の外部にて前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向させ、前記窓枠と前記Ｘ線透過窓と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの内部に乾燥ガスが充填された空間を形成し、
封止部材を用いて前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持し、前記窓枠、Ｘ線透過窓、Ｘ線耐性樹脂フィルム、封止部材及び乾燥ガスを有したＸ線透過アセンブリを形成する。

また、一実施形態に係るＸ線管の製造方法は、
開口を有した真空外囲器と、窓枠と、ベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、電子を放出する陰極と、Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、枠部材と、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、を用意し、
前記Ｘ線透過窓を前記窓枠に収め、
前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が前記開口に対向した状態で、前記窓枠を前記真空外囲器に取り付け前記開口を気密に閉塞し、
前記陰極及び陽極ターゲットを前記真空外囲器に収容し、
前記陰極及び陽極ターゲットが収容され前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が取り付けられた前記真空外囲器の内部を真空排気し、前記真空外囲器を気密に封止し、
前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記枠部材に気密に取り付け、
乾燥ガス雰囲気中で前記枠部材が前記真空外囲器の外部にて前記開口に対向した状態で前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向させ、前記窓枠と前記Ｘ線透過窓と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムと前記枠部材の内部に乾燥ガスが充填された空間を形成し、
封止部材を用いて前記窓枠と前記枠部材との間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持し、前記窓枠、Ｘ線透過窓、枠部材、Ｘ線耐性樹脂フィルム、封止部材及び乾燥ガスを有したＸ線透過アセンブリを形成する。

図１は、第１の実施形態に係るＸ線管を示す概略構成図である。 図２は、図１に示したＸ線透過アセンブリを拡大して示す断面図である。 図３は、図１及び図２に示したＸ線透過アセンブリを示す分解図であり、窓枠と、Ｘ線透過窓と、Ｘ線耐性樹脂フィルムとを示す図である。 図４は、第２の実施形態に係るＸ線管のＸ線透過アセンブリを拡大して示す断面図である。 図５は、図４に示したＸ線透過アセンブリを示す分解図であり、窓枠と、Ｘ線透過窓と、Ｘ線耐性樹脂フィルムとを示す図である。 図６は、第３の実施形態に係るＸ線管のＸ線透過アセンブリを拡大して示す断面図である。 図７は、図６に示したＸ線透過アセンブリを示す分解図であり、窓枠と、Ｘ線透過窓と、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、ゴムシール材と、押圧部材と、スペーサとを示す図である。 図８は、第４の実施形態に係るＸ線管のＸ線透過アセンブリを拡大して示す断面図である。 図９は、図８に示したＸ線透過アセンブリを示す分解図であり、窓枠と、Ｘ線透過窓と、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、枠部材と、ゴムシール材と、押圧部材とを示す図である。 図１０は、第５の実施形態に係るＸ線管のＸ線透過アセンブリを拡大して示す断面図である。 図１１は、図１０に示したＸ線透過アセンブリを示す分解図であり、窓枠と、Ｘ線透過窓と、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、枠部材と、ゴムシール材と、押圧部材とを示す図である。 図１２は、比較例のＸ線管のＸ線透過アセンブリを拡大して示す断面図である。

始めに、本発明の実施形態の基本構想について説明する。

分析用のＸ線管は、様々な材料の元素分析や製品の組成分析などに使用される。たとえば、塩化物系物質、硫化物系物質、フッ化物系物質、酸類などの分析にも使用される。しかし、Ｘ線の照射に伴ってこれらの物質から腐食性のガスが放出され、空気中の水分と結合して塩酸、硫酸、フッ酸などの酸がＢｅ窓やＢｅ窓と真空外囲器とのろう接部（以下ろう接部）の外表面に生成されることがあり、これらの酸が上記不具合の主原因と推定している。
その他の原因としては、使用中にＢｅ窓（Ｂｅ（ベリリウム）で形成されＸ線を透過させる薄板）の外表面近傍の大気（Ｏ_２＋Ｎ_２）がＸ線の照射により分解されＮＯガスやＮＯ_２ガスやオゾンガスを発生し、これらのガスが空気中の水分と結合して、Ｂｅ窓や、ろう接部の外表面に硝酸やオゾン水を生成することも不具合の発生の一因主であると推定している。

これらの酸は、Ｂｅ窓の表面やろう接部の外表面に腐食を生じさせ、時間の経過とともに腐食を進行させ、やがて真空部と大気とを貫通する腐食孔を形成し、Ｘ線管（真空外囲器）の真空状態を破壊してしまう。上記従来の技術にてＢｅ窓を保護する効果を得ることができなかった理由は、Ｂｅ窓外表面に密着して保護膜が形成されているため、Ｂｅ窓外表面の保護膜を通して酸が徐々に浸透し、やがてＢｅ窓表面に酸が到達してしまうためであろうと推定される。

そこで、本発明の実施形態においては、この課題の原因を解明し、この課題を解決することにより、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管及びＸ線管の製造方法を得ることができるものである。次に、本発明の実施形態の課題解決のため、上記着想を具体化する手段の概要について説明する。

本発明の実施形態では、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）又はＰＩ（ポリイミド）のＸ線耐性樹脂フィルムをＢｅ窓に隙間を置いて配置し、その端部を窓枠（フレーム部）の外面に、乾燥ガス雰囲気中で接着させる。ここで、窓枠は、Ｘ線透過量が比較的低く、Ｂｅ窓のＸ線透過領域よりも外周部に位置している。これにより、Ｘ線耐性樹脂フィルムとＢｅ窓との間に、乾燥ガスで満たされた空間を形成することができる。乾燥ガスは水分を含まないため通常の大気と異なり、硝酸やオゾン水などの腐食性の酸をＢｅ窓の表面に生成することはない。また、Ｘ線耐性樹脂フィルムの外表面に生成された酸は乾燥ガスで満たされた空間によりＢｅ窓やろう接部表面と隔絶されているため、従来のように酸が浸透、到達してＢｅ窓やろう接部表面を腐食させる恐れはない。これにより、Ｂｅ窓に生じる腐食を防止することができる。

次に、上記基本構想を具体化する手段についてより詳細に説明する。
以下、図面を参照しながら第１の実施形態に係るＸ線管及びＸ線管の製造方法について詳細に説明する。始めに、Ｘ線管の構成について説明する。

図１に示すように、Ｘ線管１は、回転陽極型のＸ線管である。Ｘ線管１は、陽極ターゲット１０と、陰極１８と、真空外囲器１７と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、を備えている。

陽極ターゲット１０は真空外囲器１７に収容されている。陽極ターゲット１０は、ターゲット本体１１と、ターゲット面１１ａとを備えている。ターゲット本体１１は銅で形成されている。ターゲット面１１ａは、陰極１８と対向した側のターゲット本体１１の表面に形成されている。ターゲット面１１ａはタングステン合金で形成されている。ターゲット面１１ａには、電子が衝突されることによりＸ線を放出する焦点が形成される。

陰極１８は真空外囲器１７に収容されている。陰極１８は、陽極ターゲット１０のターゲット面１１ａに間隔を置いて配置されている。陰極１８は、陽極ターゲット１０に照射する電子を放出する電子放出源（例えばフィラメント）を有している。

真空外囲器１７は、金属及びガラスで形成されている。真空外囲器１７は、ガラスで形成されたガラス外囲器部１７ａを有している。ガラス外囲器部１７ａは、両端部が閉塞された円筒状に形成されている。ガラス外囲器部１７ａは開口１７ｗを有している。この実施形態において、開口１７ｗは円形である。開口１７ｗは、ターゲット面１１ａ付近に位置し、Ｘ線を出射させる。

真空外囲器１７は、金属で形成された金属外囲器部１７ｂを有している。金属外囲器部１７ｂは、ガラス外囲器部１７ａの外側に位置し、開口１７ｗを取囲むように設けられている。金属外囲器部１７ｂは、ガラス外囲器部１７ａに気密に接続されている。金属外囲器部１７ｂには、Ｘ線透過アセンブリ２０と結合するための鍔部が形成されている。この実施形態において、金属外囲器部１７ｂ（鍔部）は円形枠状に形成されている。

Ｘ線透過アセンブリ２０は、金属外囲器部１７ｂ（真空外囲器１７）に取り付けられ開口１７ｗを気密に閉塞している。これにより、真空外囲器１７は、密閉され、陽極ターゲット１０及び陰極１８等を収容している。真空外囲器１７の内部は真空状態に維持されている。

図１、図２及び図３に示すように、Ｘ線透過アセンブリ２０は、窓枠２１と、Ｘ線透過窓２２と、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３と、封止部材２５と、乾燥ガス２９と、を有している。

窓枠２１は、開口１７ｗに対向している。窓枠２１には、金属外囲器部１７ｂと結合するための鍔部が形成されている。この実施形態において、窓枠２１（鍔部）は円形枠状に形成されている。窓枠２１は、金属外囲器部１７ｂ（真空外囲器１７）に気密に取り付けられている。この実施形態において、窓枠２１の鍔部と金属外囲器部１７ｂの鍔部とが溶接されることにより、窓枠２１は真空外囲器１７に気密に取り付けられている。

窓枠２１は、Ｘ線を出射させるための貫通孔２１ｈと、第１取付け面２１ｓ１と、第２取付け面２１ｓ２とを有している。この実施形態において、貫通孔２１ｈは円形状であり、第１取付け面２１ｓ１及び第２取付け面２１ｓ２は円形枠状である。第１取付け面２１ｓ１及び第２取付け面２１ｓ２は平坦である。第１取付け面２１ｓ１は、貫通孔２１ｈの外側に形成され、真空外囲器１７の内側（真空側）に位置している。第２取付け面２１ｓ２は、貫通孔２１ｈの外側に形成され、真空外囲器１７の外側（外気側）に位置している。

Ｘ線透過窓２２は、Ｘ線を透過させるものである。Ｘ線透過窓２２は、Ｘ線透過性を示し、かつ機械的強度の高い材料を利用して形成することができる。この実施形態において、Ｘ線透過窓２２はＢｅ板（ベリリウム薄板：ベリリウムを利用した薄板）で形成されている。

Ｘ線透過窓２２は、真空外囲器１７の内側に位置している。Ｘ線透過窓２２は平板状に形成されている。この実施形態において、Ｘ線透過窓２２は円板状に形成されている。Ｘ線透過窓２２は、第１取付け面２１ｓ１に対向し窓枠２１に取付けられる取付け領域と、貫通孔２１ｈに対向したＸ線透過領域と、を有している。

Ｘ線透過窓２２の取付け領域は、第１取付け面２１ｓ１に気密に取り付けられている。例えば、Ｘ線透過窓２２は、図示しないろう材を利用して第１取付け面２１ｓ１にろう付けすることにより、窓枠２１に取付けられている。これにより、Ｘ線透過窓２２は、窓枠２１に収められ、窓枠２１とともに真空外囲器１７の内部の気密状態を保持することができる。

Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、Ｘ線を透過させるものである。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、Ｘ線透過性及びＸ線耐性を示す材料を利用して形成することができる。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、一般の工業用プラスチックよりＸ線耐性に優れている材料で形成されている方が望ましい。例えば、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、ＰＩ（ポリイミド）樹脂及びＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）樹脂のうちの少なくとも１つを含む樹脂材料で形成されていた方が望ましい。

ＰＥＥＫ樹脂で形成されたＸ線耐性樹脂フィルム２３としては、例えば、ビクトレックス社のアプティブを使用することができる。ＰＩ樹脂で形成されたＸ線耐性樹脂フィルム２３としては、例えば、東レ・デュポン社のカプトンや、宇部興産株式会社のユーピレックスを使用することができる。この実施形態において、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、ＰＩ樹脂で形成されている。

Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、Ｘ線透過窓２２より真空外囲器１７の外側（外気側）に位置し、Ｘ線透過窓２２に隙間を置いて対向している。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は平板状に形成されている。この実施形態において、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は円板状に形成されている。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、第２取付け面２１ｓ２に対向し窓枠２１に取付けられる取付け領域と、貫通孔２１ｈに対向したＸ線透過領域と、を有している。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、窓枠２１とＸ線透過窓２２とともに内部に空間を形成する。

封止部材２５は、窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞し、上記空間の気密状態を保持する。この実施形態において、封止部材２５は、接着剤を利用した接着接合部２６を有している。このため、接着接合部２６が上記空間の気密状態を保持することができる。上記接着剤としては、例えばエポキシ接着剤を利用することができる。

乾燥ガス２９は、上記空間（窓枠２１、Ｘ線透過窓２２及びＸ線耐性樹脂フィルム２３の内部に形成された空間）に充填されている。乾燥ガス２９は、水分を含まないガスである。乾燥ガス２９は、窒素、ネオン、アルゴン、クリプトン及びキセノンのうちの少なくとも１つを含む不活性ガスであると望ましい。
上記のように、Ｘ線管１が構成されている。

次に、上記Ｘ線管１の製造方法について説明する。
図１乃至図３に示すように、Ｘ線管１の製造が開始されると、まず、開口１７ｗが形成されたガラス外囲器部１７ａと、金属外囲器部１７ｂとを有した真空外囲器１７を用意する。また、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３が取付けられる前のＸ線透過アセンブリ２０（以下Ｘ線透過アセンブリ２０´）を用意する。次いで、Ｘ線透過アセンブリ２０´を真空外囲器１７に取り付け、開口１７ｗを気密に閉塞する。この実施形態において、溶接によりＸ線透過アセンブリ２０´を真空外囲器１７に取り付ける。

続いて、陰極１８及び陽極ターゲット１０を真空外囲器に収容する。その後、陰極１８及び陽極ターゲット１０が収容されＸ線透過アセンブリ２０´が取り付けられた真空外囲器１７の排気口１７ｅを介して真空外囲器１７の内部を真空引きする。これにより、真空外囲器１７の内部を真空排気することができる。そして、上記真空引き中に、排気口１７ｅを気密に封止する。上記のことから、Ｘ線管１を完成することができる。

Ｘ線耐性樹脂フィルム２３をＸ線透過アセンブリ２０´に取付ける際、まず、上記の真空排気が終了したＸ線管１を用意する。

次いで、乾燥ガス雰囲気中でＸ線耐性樹脂フィルム２３をＸ線透過窓２２に隙間を置いて対向させ、窓枠２１とＸ線透過窓２２とＸ線耐性樹脂フィルム２３との内部に乾燥ガス２９が充填された空間を形成する。

また、封止部材２５を用いて窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞し、上記空間の気密状態を保持する。この実施形態において、封止部材２５は接着接合部２６を有している。このため、第２取付け面２１ｓ２上に接着剤を塗布した後、乾燥ガス雰囲気中でＸ線耐性樹脂フィルム２３を第２取付け面２１ｓ２に接着剤を用いて接着させる。例えば、乾燥ガスでガス置換したグローブボックス内で、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を窓枠２１に取り付けることができる。

これにより、窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞することができ、上記空間を形成することができる。そして、Ｘ線透過アセンブリ２０が形成される（完成する）。

上記のように構成された第１の実施形態に係るＸ線管１及びＸ線管１の製造方法によれば、Ｘ線管１は、開口１７ｗを有した真空外囲器１７と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極１８と、陽極ターゲット１０と、を備えている。Ｘ線透過アセンブリ２０は、真空外囲器１７に取り付けられ開口１７ｗを気密に閉塞している。

Ｘ線透過アセンブリ２０は、窓枠２１と、Ｘ線透過窓２２と、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３と、封止部材２５と、乾燥ガス２９と、を有している。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、Ｘ線透過窓２２より外気側に位置し、Ｘ線透過窓２２に隙間を置いて対向し、窓枠２１とＸ線透過窓２２とともに内部に空間を形成している。封止部材２５は、窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞し、上記空間の気密状態を保持している。乾燥ガス２９は、上記空間に充填されている。

Ｘ線透過窓２２の外表面が外気に晒されることはない。また、乾燥ガス２９は水分を含まないため、Ｘ線透過窓２２の表面に硝酸などの腐食性の酸が生成されることはない。言い換えると、Ｘ線の照射によりＸ線耐性樹脂フィルム２３の外表面には硝酸などの腐食性の酸が生成されるが、Ｘ線透過窓２２はＸ線耐性樹脂フィルム２３と乾燥ガス２９（例えば、不活性ガス）が充填された空間とにより隔てられるため、酸による影響がほとんど生じることはない。これにより、Ｘ線透過窓２２に生じる腐食を抑制（防止）することができる。真空外囲器１７の真空気密状態が破壊されてしまうという不具合の発生を抑制（防止）することができる。

Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、膜の完全性が高く、膜厚のバラツキが少ないため、Ｘ線透過窓２２を保護する効果を十分に得ることができる。なお、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３が塗布工程、乾燥工程及び焼成工程を経て得られる被膜である場合、Ｘ線透過窓２２を保護する効果を十分に得ることができないものである。何故なら、乾燥ガス２９が充填された空間を形成することができないためである。また、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３が薄く形成された場合やＸ線耐性樹脂フィルム２３に孔が形成されている場合はＸ線透過窓２２が酸で侵されるためである。
なお、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３の膜厚のバラツキが多い場合は、Ｘ線の透過量のバラツキも多くなる恐れがある。

また、上記のように、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、被膜ではなく、特殊で高価な設備の使用が不要である。このため、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３が被膜である場合に比べて安価にＸ線管１を製造することができる。また、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を取付けるための製造工程は、従来（被膜の場合）に比べ、短く、熟練を要せず、より安定して実施することができる。

Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、一般の工業用プラスチックよりＸ線耐性に優れている材料で形成されている方が望ましい。Ｘ線が照射されることで生じるＸ線耐性樹脂フィルム２３の劣化を抑制することができるためである。このため、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、ＰＩ樹脂及びＰＥＥＫ樹脂のうちの少なくとも１つを含む樹脂材料で形成されていた方が望ましい。

乾燥ガス２９は、窒素、ネオン、アルゴン、クリプトン及びキセノンのうちの少なくとも１つを含む不活性ガスが最適である。不活性ガスは、Ｘ線の照射で腐食性ガスを生成し難いためである。

上記のことから、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管１及びＸ線管１の製造方法を得ることができる。

次に、第２の実施形態に係るＸ線管及びＸ線管の製造方法について詳細に説明する。なお、この実施形態において、他の構成は上述した第１の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。また、Ｘ線管の製造方法は、上述した第１の実施形態と同一であり、その詳細な説明を省略する。

図４及び図５に示すように、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は桶状に形成されている。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、板状の樹脂フィルムを加温成形して立体形状とすることにより形成されている。そして、桶状のＸ線耐性樹脂フィルム２３の底部側が、Ｘ線透過窓２２に隙間を置いて対向している。このため、窓枠２１には、乾燥ガス２９が充填された空間を形成するように第２取付け面２１ｓ２が形成（位置決め）されている。

上記のように構成された第２の実施形態に係るＸ線管１及びＸ線管１の製造方法によれば、Ｘ線管１は、開口１７ｗを有した真空外囲器１７と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極１８と、陽極ターゲット１０と、を備えている。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、立体形状を有していてもよく、この場合も上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

上記のことから、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管１及びＸ線管１の製造方法を得ることができる。

次に、第３の実施形態に係るＸ線管及びＸ線管の製造方法について詳細に説明する。なお、この実施形態において、他の構成は上述した第２の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。

図６及び図７に示すように、封止部材２５は、接着接合部２６に替えて、ゴムシール材２７と、押圧部材２８と、を有している。ゴムシール材２７は、窓枠２１の第２取付け面２１ｓ２とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間に設けられている。ゴムシール材２７は、例えば腐食性ガスを発生し難いゴム、例えば過酸化物架橋したエチレンプロピレンゴム、放射線架橋したフッ素ゴム、フェニルメチルシリコーンゴムなどを使用したＯリングで形成されている。押圧部材２８は、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３をゴムシール材２７を介して第２取付け面２１ｓ２（窓枠２１）に押圧した状態に保持する。

この実施形態において、押圧部材２８は、側面に雄ねじの加工がなされているリングナットである。押圧部材２８に対応する窓枠２１の内周面には、雌ねじの加工がなされている。押圧部材２８は、窓枠２１の内周面に締め付けられ、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を押圧している。

ここで、Ｘ線透過アセンブリ２０はスペーサ３０をさらに備えている。スペーサ３０は、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３の取付け領域と押圧部材２８との間に介在されている。

これにより、ゴムシール材２７は、第２取付け面２１ｓ２とＸ線耐性樹脂フィルム２３（押圧部材２８）とにより加圧される。第２取付け面２１ｓ２とゴムシール材２７とが密着され、ゴムシール材２７とＸ線耐性樹脂フィルム２３とが密着されるため、窓枠２１、Ｘ線透過窓２２、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３及びゴムシール材２７で囲まれた空間の気密状態を保持することができる。
その他、押圧部材２８は、締まり嵌めにより窓枠２１に取り付けられ、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を押圧した状態に保持してもよい。

なお、ゴムシール材２７を利用する場合、第２取付け面２１ｓ２は平坦でなくともよい。例えば、第２取付け面２１ｓ２には、ゴムシール材２７を配置するための枠状の溝部が形成されていてもよい。

また、封止部材２５がゴムシール材２７及び押圧部材２８を有している場合、封止部材２５は、図示しない補強部材をさらに有していてもよい。補強部材は、窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞し、上記空間の気密状態の保持を補強するものである。補強部材としては、接着剤、シール剤又は塗装膜等を利用することができる。例えば、第２取付け面２１ｓ２、窓枠２１の内周面及びゴムシール材２７の隙間にシール剤を塗布し、第２取付け面２１ｓ２、窓枠２１の内周面、ゴムシール材２７及びＸ線耐性樹脂フィルム２３で囲まれた空間にシール剤からなる補強部材を形成することができる。

次に、上記Ｘ線管１の製造方法について説明する。Ｘ線管１の製造方法は、大まかに上記第１の実施形態と同様である。このため、ここでは、Ｘ線透過窓２２の製造方法（組立て方法）について説明する。

Ｘ線透過アセンブリ２０を製造する際、まず、Ｘ線透過アセンブリ２０が取付けられ、排気工程を終了したＸ線管１を用意する。
次いで、乾燥ガス雰囲気中で、第２取付け面２１ｓ２上にゴムシール材２７を配置した後、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３をＸ線透過窓２２に隙間を置いて対向させ、窓枠２１とＸ線透過窓２２とＸ線耐性樹脂フィルム２３とゴムシール材２７との内部に乾燥ガス２９が充填された空間を形成する。

また、封止部材２５を用いて窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞し、上記空間の気密状態を保持する。この実施形態において、封止部材２５はゴムシール材２７及び押圧部材２８を有している。このため、押圧部材２８を窓枠２１の内周面に締め付けることにより、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を窓枠２１に取り付けることができる。

これにより、窓枠２１とＸ線耐性樹脂フィルム２３との間の隙間を気密に閉塞することができ、上記空間を形成することができる。そして、Ｘ線透過アセンブリ２０の製造が終了する。

上記のように構成された第３の実施形態に係るＸ線管１及びＸ線管１の製造方法によれば、Ｘ線管１は、開口１７ｗを有した真空外囲器１７と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極１８と、陽極ターゲット１０と、を備えている。封止部材２５はゴムシール材２７及び押圧部材２８を有していてもよく、この場合も上述した第１の実施形態と同様の効果を得ることができる。

上記のことから、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管１及びＸ線管１の製造方法を得ることができる。

次に、第４の実施形態に係るＸ線管及びＸ線管の製造方法について詳細に説明する。なお、この実施形態において、他の構成は上述した第３の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。また、Ｘ線管の製造方法は、上述した第３の実施形態と概ね同一であり、その詳細な説明を省略する。

図８及び図９に示すように、Ｘ線透過アセンブリ２０は、枠部材２４をさらに有していてもよい。枠部材２４は、開口１７ｗに対向し、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３が気密に取り付けられ、窓枠２１とＸ線透過窓２２とＸ線耐性樹脂フィルム２３とともに内部に空間を形成する。枠部材２４は、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３より剛性に優れた材料で形成されている。枠部材２４は、例えば金属で形成されている。Ｘ線透過アセンブリ２０を形成する際、予めＸ線耐性樹脂フィルム２３を枠部材２４に取り付けて一体に形成しておくことにより、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を容易に扱うことができる。

封止部材２５（ゴムシール材２７及び押圧部材２８）は、窓枠２１と枠部材２４との間の隙間を気密に閉塞し、上記空間の気密状態を保持する。
この実施形態において、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は円板状に形成されている。
また、本実施形態においても、封止部材２５は上記補強部材をさらに有し、上記空間の気密状態の保持を補強してもよい。Ｘ線透過アセンブリ２０はスペーサ３０をさらに備えていてもよい。

上記のように構成された第４の実施形態に係るＸ線管１及びＸ線管１の製造方法によれば、Ｘ線管１は、開口１７ｗを有した真空外囲器１７と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極１８と、陽極ターゲット１０と、を備えている。封止部材２５はゴムシール材２７及び押圧部材２８を有していてもよく、この場合も上述した第３の実施形態と同様の効果を得ることができる。

また、Ｘ線透過アセンブリ２０を形成する際、予めＸ線耐性樹脂フィルム２３を枠部材２４に取り付けて一体に形成しておくことにより、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を容易に扱うことができる。これにより、Ｘ線透過アセンブリ２０を一層容易に形成することができる。

上記のことから、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管１及びＸ線管１の製造方法を得ることができる。

次に、第５の実施形態に係るＸ線管及びＸ線管の製造方法について詳細に説明する。なお、この実施形態において、他の構成は上述した第４の実施形態と同一であり、同一の部分には同一の符号を付してその詳細な説明を省略する。また、Ｘ線管の製造方法は、上述した第４の実施形態と同一である。

図１０及び図１１に示すように、枠部材２４には段差部が形成されている。これにより、枠部材２４の一端面は、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３の表面を越えて押圧部材２８側に突出して形成されている。これにより、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３に接触（Ｘ線耐性樹脂フィルム２３を押圧）すること無しに押圧部材２８の機能を発揮することができる。

また、本実施形態においても、封止部材２５は上記補強部材をさらに有し、上記空間の気密状態の保持を補強してもよい。

上記のように構成された第５の実施形態に係るＸ線管１及びＸ線管１の製造方法によれば、Ｘ線管１は、開口１７ｗを有した真空外囲器１７と、Ｘ線透過アセンブリ２０と、陰極１８と、陽極ターゲット１０と、を備えている。このため、上述した第４の実施形態と同様の効果を得ることができる。また、枠部材２４に段差部を形成することにより、押圧部材２８をＸ線耐性樹脂フィルム２３に接触すること無しに押圧部材２８の機能を発揮することができる。

上記のことから、製品寿命の長期化を図ることができ、優れた製品信頼性を得ることができるＸ線管１及びＸ線管１の製造方法を得ることができる。

つぎに比較例のＸ線管について説明する。
図１２に示すように、比較例のＸ線管１のＸ線透過アセンブリ２０は、上記乾燥ガス２９が充填された空間を有していない。Ｘ線耐性樹脂フィルム２３は、被膜であり、Ｘ線透過窓２２を窓枠２１に収めた状態で、Ｘ線透過窓２２上にＰＩ樹脂を塗布した後焼成することにより形成されている。

上記のように構成された比較例のＸ線管１のＸ線透過アセンブリ２０によれば、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３の外表面に生成された酸はＸ線耐性樹脂フィルム２３中を徐々に拡散浸透して、やがてＸ線耐性樹脂フィルム２３の反対表面に密着しているＸ線透過窓２２の腐食を招いてしまう。

但し、上記酸の拡散浸透には時間がかかるため、被膜（Ｘ線耐性樹脂フィルム２３）形成しない場合に比べて不具合発生に至るまでの時間が延長される効果を得ることはできる。しかしながら、比較例の構成では、上記のようにＸ線透過窓２２の腐食を招いてしまうため、上述した実施形態の効果に比べて不十分である。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。

例えば、乾燥ガス２９は、不活性ガスに限定されるものではなく、種々変形可能である。例えば、乾燥ガス２９として乾燥エアを使用することが可能である。

封止部材２５は、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３の融着を利用した融着接合部を有していてもよい。例えば、熱可塑性樹脂であるＰＥＥＫ樹脂で形成されたＸ線耐性樹脂フィルム２３を用いる場合、Ｘ線耐性樹脂フィルム２３の取付け領域にレーザービームを照射して第２取付け面２１ｓ２（窓枠２１）に融着することも可能である。

また、封止部材２５が融着接合部を有している場合、封止部材２５は、上記補強部材をさらに有していてもよい。上述したように、補強部材としては、接着剤、シール剤又は塗装膜等を利用することができる。

Ｘ線管１は、固定陽極型のＸ線管に限定されるものではなく、回転陽極型のＸ線管でもよく、この場合も上述した効果を得ることができる。回転陽極型のＸ線管を使用する場合、磁界を発生させるステータコイル（回転駆動機構）等と組み合わせて用いられる。

１…Ｘ線管、１０…陽極ターゲット、１７…真空外囲器、１７ｗ…開口、１８…陰極、２０…Ｘ線透過アセンブリ、２１…窓枠、２２…Ｘ線透過窓、２３…Ｘ線耐性樹脂フィルム、２４…枠部材、２５…封止部材、２６…接着接合部、２７…ゴムシール材、２８…押圧部材、２９…乾燥ガス、３０…スペーサ

Claims (20)

1. 開口を有した真空外囲器と、
   前記真空外囲器に取り付けられ前記開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリと、
   前記真空外囲器に収容され電子を放出する陰極と、
   前記真空外囲器に収容されＸ線を放出する陽極ターゲットと、を備え、
   前記Ｘ線透過アセンブリは、
   前記開口に対向し前記真空外囲器に気密に取り付けられた窓枠と、
   前記窓枠に収められ前記窓枠とともに前記真空外囲器の内部の気密状態を保持しベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、
   前記Ｘ線透過窓より外気側に位置し前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向し前記窓枠と前記Ｘ線透過窓とともに内部に空間を形成するＸ線耐性樹脂フィルムと、
   前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持する封止部材と、
   前記空間に充填された乾燥ガスと、
   を有しているＸ線管。
2. 前記封止部材は、前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間に設けられたゴムシール材と、前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記ゴムシール材を介して前記窓枠に押圧した状態に保持する押圧部材と、を有している請求項１に記載のＸ線管。
3. 開口を有した真空外囲器と、
   前記真空外囲器に取り付けられ前記開口を気密に閉塞したＸ線透過アセンブリと、
   前記真空外囲器に収容され電子を放出する陰極と、
   前記真空外囲器に収容されＸ線を放出する陽極ターゲットと、を備え、
   前記Ｘ線透過アセンブリは、
   前記開口に対向し前記真空外囲器に気密に取り付けられた窓枠と、
   前記窓枠に収められ前記窓枠とともに前記真空外囲器の内部の気密状態を保持しベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、
   前記Ｘ線透過窓より外気側に位置し前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向したＸ線耐性樹脂フィルムと、
   前記開口に対向し前記Ｘ線耐性樹脂フィルムが気密に取り付けられ前記窓枠と前記Ｘ線透過窓と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとともに内部に空間を形成する枠部材と、
   前記窓枠と前記枠部材との間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持する封止部材と、
   前記空間に充填された乾燥ガスと、
   を有しているＸ線管。
4. 前記封止部材は、前記窓枠と前記枠部材との間に設けられたゴムシール材と、前記枠部材を前記ゴムシール材を介して前記窓枠に押圧した状態に保持する押圧部材と、を有している請求項３に記載のＸ線管。
5. 前記Ｘ線耐性樹脂フィルムは、一般の工業用プラスチックよりＸ線耐性に優れている請求項１又は３に記載のＸ線管。
6. 前記Ｘ線耐性樹脂フィルムは、ポリイミド樹脂及びポリエーテルエーテルケトン樹脂のうちの少なくとも１つを含む樹脂材料で形成されている請求項５に記載のＸ線管。
7. 前記乾燥ガスは、窒素、ネオン、アルゴン、クリプトン及びキセノンのうちの少なくとも１つを含む不活性ガスである請求項１又は３に記載のＸ線管。
8. 前記封止部材は、接着剤を利用した接着接合部を有している請求項１又は３に記載のＸ線管。
9. 前記封止部材は、前記Ｘ線耐性樹脂フィルムの融着を利用した融着接合部を有している請求項１又は３に記載のＸ線管。
10. 前記封止部材は、前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態の保持を補強する補強部材をさらに有している請求項２、４及び９の何れか１項に記載のＸ線管。
11. 開口を有した真空外囲器と、窓枠と、ベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、電子を放出する陰極と、Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、を用意し、
    前記Ｘ線透過窓を前記窓枠に収め、
    前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が前記開口に対向した状態で、前記窓枠を前記真空外囲器に取り付け前記開口を気密に閉塞し、
    前記陰極及び陽極ターゲットを前記真空外囲器に収容し、
    前記陰極及び陽極ターゲットが収容され前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が取り付けられた前記真空外囲器の内部を真空排気し、前記真空外囲器を気密に封止し、
    乾燥ガス雰囲気中で前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記真空外囲器の外部にて前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向させ、前記窓枠と前記Ｘ線透過窓と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの内部に乾燥ガスが充填された空間を形成し、
    封止部材を用いて前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持し、前記窓枠、Ｘ線透過窓、Ｘ線耐性樹脂フィルム、封止部材及び乾燥ガスを有したＸ線透過アセンブリを形成するＸ線管の製造方法。
12. 前記封止部材を用いて前記空間の気密状態を保持する際、
    前記封止部材のゴムシール材を前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間に設け、
    前記封止部材の押圧部材を用いて前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記ゴムシール材を介して前記窓枠に押圧した状態に保持する請求項１１に記載のＸ線管の製造方法。
13. 開口を有した真空外囲器と、窓枠と、ベリリウム薄板で形成されＸ線を透過させるＸ線透過窓と、電子を放出する陰極と、Ｘ線を放出する陽極ターゲットと、枠部材と、Ｘ線耐性樹脂フィルムと、を用意し、
    前記Ｘ線透過窓を前記窓枠に収め、
    前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が前記開口に対向した状態で、前記窓枠を前記真空外囲器に取り付け前記開口を気密に閉塞し、
    前記陰極及び陽極ターゲットを前記真空外囲器に収容し、
    前記陰極及び陽極ターゲットが収容され前記Ｘ線透過窓が収められた前記窓枠が取り付けられた前記真空外囲器の内部を真空排気し、前記真空外囲器を気密に封止し、
    前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記枠部材に気密に取り付け、
    乾燥ガス雰囲気中で前記枠部材が前記真空外囲器の外部にて前記開口に対向した状態で前記Ｘ線耐性樹脂フィルムを前記Ｘ線透過窓に隙間を置いて対向させ、前記窓枠と前記Ｘ線透過窓と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムと前記枠部材の内部に乾燥ガスが充填された空間を形成し、
    封止部材を用いて前記窓枠と前記枠部材との間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態を保持し、前記窓枠、Ｘ線透過窓、枠部材、Ｘ線耐性樹脂フィルム、封止部材及び乾燥ガスを有したＸ線透過アセンブリを形成するＸ線管の製造方法。
14. 前記封止部材を用いて前記空間の気密状態を保持する際、
    前記封止部材のゴムシール材を前記窓枠と前記枠部材との間に設け、
    前記封止部材の押圧部材を用いて前記枠部材を前記ゴムシール材を介して前記窓枠に押圧した状態に保持する請求項１３に記載のＸ線管の製造方法。
15. 前記Ｘ線耐性樹脂フィルムは、一般の工業用プラスチックよりＸ線耐性に優れている請求項１１又は１３に記載のＸ線管の製造方法。
16. 前記Ｘ線耐性樹脂フィルムは、ポリイミド樹脂及びポリエーテルエーテルケトン樹脂のうちの少なくとも１つを含む樹脂材料で形成されている請求項１５に記載のＸ線管の製造方法。
17. 前記乾燥ガスは、窒素、ネオン、アルゴン、クリプトン及びキセノンのうちの少なくとも１つを含む不活性ガスである請求項１１又は１３に記載のＸ線管の製造方法。
18. 前記封止部材は、接着剤を利用した接着接合部を有している請求項１１又は１３に記載のＸ線管の製造方法。
19. 前記封止部材は、前記Ｘ線耐性樹脂フィルムの融着を利用した融着接合部を有している請求項１１又は１３に記載のＸ線管の製造方法。
20. 前記封止部材は、前記窓枠と前記Ｘ線耐性樹脂フィルムとの間の隙間を気密に閉塞し前記空間の気密状態の保持を補強する補強部材をさらに有している請求項１２、１４及び１９の何れか１項に記載のＸ線管の製造方法。

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