JPH05142398A - 放射線透過窓構体 - Google Patents
放射線透過窓構体Info
- Publication number
- JPH05142398A JPH05142398A JP30747091A JP30747091A JPH05142398A JP H05142398 A JPH05142398 A JP H05142398A JP 30747091 A JP30747091 A JP 30747091A JP 30747091 A JP30747091 A JP 30747091A JP H05142398 A JPH05142398 A JP H05142398A
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- JP
- Japan
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- transmission window
- ring
- radiation
- beryllium
- film
- Prior art date
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、ベリリウム製放射線透過窓の機械
的強度を低下させることなく均一な厚さで耐蝕性のすぐ
れた放射線透過窓構体を提供することを目的とする。 【構成】この発明の放射線透過窓構体は、ベリリウム製
放射線透過窓16の外囲器11の外となる面にポリイミド系
樹脂フィルム19が密着して張付けられており、この発明
の目的を達成することができる。
的強度を低下させることなく均一な厚さで耐蝕性のすぐ
れた放射線透過窓構体を提供することを目的とする。 【構成】この発明の放射線透過窓構体は、ベリリウム製
放射線透過窓16の外囲器11の外となる面にポリイミド系
樹脂フィルム19が密着して張付けられており、この発明
の目的を達成することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、放射線透過窓構体に
係わり、とくにベリリウムを放射線透過窓とするものの
改良に関する。
係わり、とくにベリリウムを放射線透過窓とするものの
改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えばＸ線管や比例計数管、あるいはＸ
線像増倍管のような、真空外囲器の一部に放射線透過窓
を備えるものがある。この放射線透過窓としては、放射
線の透過率の高いベリリウムを使用する場合が少なくな
い。図４にＸ線管の例を示す。ガラス製の真空外囲器11
の内側空間に、ロータ12に支えられた回転陽極ターゲッ
ト13、およびこれに対向して電子ビーム放出用の陰極構
体14が配置されている。そして、真空外囲器11の一部
に、コバール（商品名）製の封着リング15を介してベリ
リウムの薄板からなるＸ線透過窓16が気密接合されてい
る。
線像増倍管のような、真空外囲器の一部に放射線透過窓
を備えるものがある。この放射線透過窓としては、放射
線の透過率の高いベリリウムを使用する場合が少なくな
い。図４にＸ線管の例を示す。ガラス製の真空外囲器11
の内側空間に、ロータ12に支えられた回転陽極ターゲッ
ト13、およびこれに対向して電子ビーム放出用の陰極構
体14が配置されている。そして、真空外囲器11の一部
に、コバール（商品名）製の封着リング15を介してベリ
リウムの薄板からなるＸ線透過窓16が気密接合されてい
る。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、近来は、放
射線の透過率を高めるために、ベリリウム製の窓板は例
えば２０マイクロメートルというように非常に薄くする
必要に迫られている。ベリリウム製窓板は大気に露出し
て使用される場合が少なくないので、表面にベリリウム
の酸化膜や硫化膜、あるいはベリリウム・アルカロイド
等が発生し、窓板の機械的強度が劣化するおそれがあ
る。とくに上述のように極薄の窓板では、大気圧に耐え
られる使用時間が短縮してしまったり、真空気密性が長
時間得られない不都合が生じる。このような現象の発生
を抑制する目的で、窓板の表面にシリコンの被膜をスプ
レーや筆塗りで被着することも知られているが、被膜の
厚さにむらが発生して正確な放射線像の再現が妨げられ
たり、部分的な膜の欠陥が生じやすい等の不都合があ
る。
射線の透過率を高めるために、ベリリウム製の窓板は例
えば２０マイクロメートルというように非常に薄くする
必要に迫られている。ベリリウム製窓板は大気に露出し
て使用される場合が少なくないので、表面にベリリウム
の酸化膜や硫化膜、あるいはベリリウム・アルカロイド
等が発生し、窓板の機械的強度が劣化するおそれがあ
る。とくに上述のように極薄の窓板では、大気圧に耐え
られる使用時間が短縮してしまったり、真空気密性が長
時間得られない不都合が生じる。このような現象の発生
を抑制する目的で、窓板の表面にシリコンの被膜をスプ
レーや筆塗りで被着することも知られているが、被膜の
厚さにむらが発生して正確な放射線像の再現が妨げられ
たり、部分的な膜の欠陥が生じやすい等の不都合があ
る。
【０００４】この発明は、以上のような不都合を解消
し、ベリリウム製放射線透過窓の機械的強度を低下させ
ることなく均一な厚さで耐蝕性のすぐれた放射線透過窓
構体を提供することを目的とする。
し、ベリリウム製放射線透過窓の機械的強度を低下させ
ることなく均一な厚さで耐蝕性のすぐれた放射線透過窓
構体を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、ベリリウム
製放射線透過窓の外囲器外となる面にポリイミド系樹脂
フィルムが密着して張付けられている放射線透過窓構体
である。
製放射線透過窓の外囲器外となる面にポリイミド系樹脂
フィルムが密着して張付けられている放射線透過窓構体
である。
【０００６】
【作用】この発明によれば、ベリリウム製放射線透過窓
の外面に密着しているポリイミド系樹脂フィルムが均一
な膜厚で、耐蝕性にすぐれ、放射線透過率のむらがな
く、信頼性の高い放射線透過窓構体が得られる。
の外面に密着しているポリイミド系樹脂フィルムが均一
な膜厚で、耐蝕性にすぐれ、放射線透過率のむらがな
く、信頼性の高い放射線透過窓構体が得られる。
【０００７】
【実施例】以下、その実施例を図面を参照して説明す
る。なお、同一部分は同一符号であらわす。図１に示す
実施例はＸ線管である。要部を説明すると、コバール製
の封着リング15に溶接部17で気密溶接されている支持リ
ング18に、予め、ベリリウム薄板からなる放射線透過窓
16が気密ろう接されている。そこで、予めこれら放射線
透過窓16および支持リング18の外面がなす形状に対応し
た略カップ状に整形したポリイミド系樹脂フィルム19
を、それらの外面に密着させ、支持リング18の内周にス
プリング環20を嵌めて固定してある。樹脂フィルム19
は、例えば宇部興産株式会社から「ユーピレックス」と
いう商品名で市販されているフィルムが適する。その厚
さは、２５マイクロメートル、またはそれ以下の厚さ
で、上述の形状に整形する。これは、耐熱性、耐放射線
性、耐蝕性にとくにすぐれており、長期間の使用でもほ
とんど劣化しない。
る。なお、同一部分は同一符号であらわす。図１に示す
実施例はＸ線管である。要部を説明すると、コバール製
の封着リング15に溶接部17で気密溶接されている支持リ
ング18に、予め、ベリリウム薄板からなる放射線透過窓
16が気密ろう接されている。そこで、予めこれら放射線
透過窓16および支持リング18の外面がなす形状に対応し
た略カップ状に整形したポリイミド系樹脂フィルム19
を、それらの外面に密着させ、支持リング18の内周にス
プリング環20を嵌めて固定してある。樹脂フィルム19
は、例えば宇部興産株式会社から「ユーピレックス」と
いう商品名で市販されているフィルムが適する。その厚
さは、２５マイクロメートル、またはそれ以下の厚さ
で、上述の形状に整形する。これは、耐熱性、耐放射線
性、耐蝕性にとくにすぐれており、長期間の使用でもほ
とんど劣化しない。
【０００８】図２に示す実施例は、ポリイミド系樹脂フ
ィルム19を封着リング15の外周まで延長して被着し、こ
の封着リング15の外周で樹脂フィルム19をスプリング環
20により圧縮する形で固定したものである。それによ
り、放射線透過窓16の外面への湿気等の侵入をより確実
抑制することができる。
ィルム19を封着リング15の外周まで延長して被着し、こ
の封着リング15の外周で樹脂フィルム19をスプリング環
20により圧縮する形で固定したものである。それによ
り、放射線透過窓16の外面への湿気等の侵入をより確実
抑制することができる。
【０００９】図３に示す実施例は、樹脂フィルム19を固
定する前に、真空ポンプ21によってこの樹脂フィルム19
と放射線透過窓16や支持リング18との間の空気を抜いて
完全に密着させたうえで、スプリング環20で固定する。
なお、その後、排気口は密閉する。
定する前に、真空ポンプ21によってこの樹脂フィルム19
と放射線透過窓16や支持リング18との間の空気を抜いて
完全に密着させたうえで、スプリング環20で固定する。
なお、その後、排気口は密閉する。
【００１０】なお、樹脂フィルム19は、放射線透過窓16
や支持リング18に密着させた状態で端部を支持リング18
あるいは封着リング15に接着剤で通気不能に接着しても
よい。
や支持リング18に密着させた状態で端部を支持リング18
あるいは封着リング15に接着剤で通気不能に接着しても
よい。
【００１１】
【発明の効果】この発明によれば、放射線透過窓の外面
に密着するポリイミド系樹脂フィルムは均一な膜厚で、
耐蝕性にすぐれ、且つ放射線透過率のむらがなく、ま
た、ベリリウム製放射線透過窓の機械的強度が低下せ
ず、信頼性の高い放射線透過窓構体が得られる。
に密着するポリイミド系樹脂フィルムは均一な膜厚で、
耐蝕性にすぐれ、且つ放射線透過率のむらがなく、ま
た、ベリリウム製放射線透過窓の機械的強度が低下せ
ず、信頼性の高い放射線透過窓構体が得られる。
【図１】この発明の実施例を示す要部縦断面図である。
【図２】この発明の他の実施例を示す要部縦断面図であ
る。
る。
【図３】この発明のさらに他の実施例を示す要部縦断面
図である。
図である。
【図４】従来構造を示す概略縦断面図である。
【符号の説明】 11…外囲器、15…封着リング、16…放射線透過窓、19…
樹脂フィルム。
樹脂フィルム。
Claims (1)
- 【請求項１】 外囲器の一部にベリリウムの薄板からな
る放射線透過窓が気密接合されてなる放射線透過窓構体
において、 上記ベリリウム製放射線透過窓の外囲器外となる面にポ
リイミド系樹脂フィルムが密着して張付けられているこ
とを特徴とする放射線透過窓構体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30747091A JPH05142398A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 放射線透過窓構体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30747091A JPH05142398A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 放射線透過窓構体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05142398A true JPH05142398A (ja) | 1993-06-08 |
Family
ID=17969465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30747091A Pending JPH05142398A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 放射線透過窓構体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05142398A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9659742B2 (en) | 2013-12-06 | 2017-05-23 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd. | X-ray tube and method of manufacturing the same |
| US11004646B2 (en) | 2017-04-28 | 2021-05-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube and X-ray generation device |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP30747091A patent/JPH05142398A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9659742B2 (en) | 2013-12-06 | 2017-05-23 | Toshiba Electron Tubes & Devices Co., Ltd. | X-ray tube and method of manufacturing the same |
| US11004646B2 (en) | 2017-04-28 | 2021-05-11 | Hamamatsu Photonics K.K. | X-ray tube and X-ray generation device |
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