JP2012132734A - X線センサー - Google Patents
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Abstract
【課題】従来のX線センサーの課題は、X線センサーの感度が低いことであった。
すなわち、従来のX線センサーのX線入射面となる蓋体は、ガラスやアルミを材料としており、このガラスやアルミにおいては、X線透過率を向上できないという課題があった。
そこで、本発明は、X線センサーの感度を向上することを目的とする。
【解決手段】容器10aと、この容器10aを真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体1と、この蓋体1の内面と対向して順次設けられたターゲット部3、電子源5と、を備え、蓋体1は、CFRPから構成した。
【選択図】図1
すなわち、従来のX線センサーのX線入射面となる蓋体は、ガラスやアルミを材料としており、このガラスやアルミにおいては、X線透過率を向上できないという課題があった。
そこで、本発明は、X線センサーの感度を向上することを目的とする。
【解決手段】容器10aと、この容器10aを真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体1と、この蓋体1の内面と対向して順次設けられたターゲット部3、電子源5と、を備え、蓋体1は、CFRPから構成した。
【選択図】図1
Description
本発明は、X線センサーに関するものである。
従来のX線撮像管を図6に示す。X線撮像管の外管16の開口端に、ガラスやアルミ等により作成された蓋体1をインジウム6で圧着封止し、その外周を金属枠7で締め付け、外管16内を真空に保持している。ターゲット部3は、薄板状基板の上にターゲット電極膜を形成し、ターゲット電極膜上に入射X線を電気信号に変換するための光導電膜及び走査電子ビームランディング層を順次積層している。撮像管の底部には電子銃15が設置され、メッシュ電極4とコイル17によって、任意のターゲット部3に電子銃15から放出された電子ビームを偏向集束して、ターゲット部3の電気信号を読み取っている。このターゲット部3の光導電膜内への電化注入を阻止した構造のX線撮像管に高い電圧を印加し、層内で電荷のアバランシェ増倍を生じさせることにより、ターゲット部3の電気信号を増幅している。
この構成によると、蓋体1の厚さを撮像管内の真空耐圧を確保できる程度に薄くすることによって、蓋体1にたわみが生じても、封止板とターゲット部3を分離した状態で構成することにより、画像歪及び光導電膜の破損が生じない(例えば、特許文献1参照)。
従来のX線センサーの課題は、X線センサーの感度が低いことであった。
すなわち、従来のX線センサーのX線入射面となる蓋体は、ガラスやアルミを材料としており、このガラスやアルミにおいては、X線透過率を向上できないという課題があった。
さらには、現在のX線センサーはフラットパネル化が進行しており、大型化及び薄型化が要求されている。この大型化に対応するとともに、X線センサー内を真空に維持するために、蓋体を厚くする必要性が出てきている。そのため、ガラスやアルミで作成した蓋体の厚さを増すことにより、蓋体内でのX線吸収量が増加して、ターゲット部に到達するX線量が少なくなり、X線センサーの感度が低下してしまう課題を有していた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、X線センサーの感度を向上することを目的とする。
前記従来の課題を解決するために、本発明のX線センサーは、容器と、この容器を真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体と、この蓋体の内面と対向して順次設けられたターゲット部、電子源と、を備え、前記蓋体は、CFRPからなるX線センサーであることを特徴としたものである。
本発明のX線センサーによれば、X線センサーの感度を向上させることが可能となる。
以下に、本発明のX線センサーの実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1に、本発明の第1の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図1において、配線基板8に外枠10が接合され、上部に開口部を有する容器10aを形成している。ここで、この容器10aは真空容器の一部となるため、配線基板8及び外枠10はガスの発生しない部材であるガラスや金属で形成されることが望ましく、その接合部分はリークや発ガスにより真空度の維持に支障が発生しない方法である拡散接合やフリット封着、ろう付け、溶接などによって接合されている。
図1に、本発明の第1の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図1において、配線基板8に外枠10が接合され、上部に開口部を有する容器10aを形成している。ここで、この容器10aは真空容器の一部となるため、配線基板8及び外枠10はガスの発生しない部材であるガラスや金属で形成されることが望ましく、その接合部分はリークや発ガスにより真空度の維持に支障が発生しない方法である拡散接合やフリット封着、ろう付け、溶接などによって接合されている。
配線基板8の外枠10の内側には内枠9が固定されており、その内枠9にはターゲット部3とメッシュ電極4が固定されている。さらに、配線基板8の内枠9の内側に電子源5が取り付けられており、電子源5とメッシュ電極4及びターゲット部3はそれぞれ平行に対向している。また、ターゲット部3、メッシュ電極4、電子源5は、それぞれ配線基板8の配線11とワイヤー12やピン14などによって接続されており、外部から通電できる構造になっている。
ターゲット部3は、真空蒸着やスパッタリングなどの方法により、ITOや金属薄膜などよって形成されるターゲット電極、酸化亜鉛やシリコンなどの半導体材料で形成されている光導電膜で構成されており、光導電膜は入射X線を電気信号に変更することが出来る。電子源5は電子ビーム13を放出しており、メッシュ電極4によって電子ビームの軌道を制御・集束して、ターゲット部3の電気信号を読み取ることにより、X線センサーとして機能している。ここで、光導電膜をアモルファスセレンで形成し、ターゲット電極に高い電圧を印加することによって、光導電膜内で電荷のアバランシェ増倍を生じさせて電気信号を増幅することが可能となる。したがって、X線センサーの感度を向上させることが可能となり、少ないX線量で高精細な画像を得ることができる。また、電子源5を冷陰極電子源にすると、電子銃に比べて電子源で必要な体積を大幅に減少させることが可能となり、センサーの薄型化及び大型化・軽量化を進めることが出来る。
この電子源5は真空中で動作させる必要があるため、外面をX線入射窓とする蓋体1と外枠10を真空封止することにより、内部を真空に保っている。ここで、表面の参加層を取り除いたインジウム6を蓋体1と外枠10の間に挟んで圧力を加えることにより、インジウムが接着剤の役割を果たして圧着封止が可能となる。ターゲット部3の光導電膜をアモルファスセレンで形成した場合は、温度60℃以上でアモルファス状態が壊れるため、温度加える必要が無く、ガスの発生が無いインジウム6を使用した圧着封止は有効である。なお、ガスケットを使用してネジで固定する方法も可能である。
ここで、本実施の形態では、蓋体1にX線透過率の良いCFRPを使用することにより、X線センサーの大型化に対応して真空耐圧を持たせるために蓋体1の厚さを厚くしても、蓋体1からターゲット部3に到達するX線の減少を少なくすることが可能となり、X線センサーの感度を向上することが可能となる。また、CFRPは高剛性であるので、アルミやガラスに比べて蓋体1の板厚を薄くすることが出来る。また、X線透過率の良いベリリウムは発がん性を有するため使用が制限されているのに対し、CFRPは人体に悪影響が無いため自由に使用ができるとともに、危険性が無い。
また、蓋体1の真空容器側の内面(ターゲット部3に対向する面)に、ガラスや金属からなる薄いガスバリア層2を設けている。CFRPは炭素繊維を樹脂で固めた材料であるので、樹脂の部分からガスが発生し、センサー内部の真空度が悪化する危険性があるが、ガスバリア層2を設けることにより、真空度を維持することが可能となる。したがって、X線センサーの性能を維持することが出来る。
蓋体1とガスバリア層2を接着剤によって全面接合することにより、CFRPとガスバリア層が一体化し、ガスバリア層に応力集中が発生する部分が無くなり、ガスバリア層が壊れることが無い。また、真空中で接着することにより、接着部分に気泡が入ることを防ぐことが出来るので、接着ムラが無くなり、ガスバリア層が壊れる危険性がさらに小さくなる。したがって、センサー内部の真空度悪化が無くなり、X線センサーの性能を維持することができる。さらに、接着剤にシリカ系やセメント系などのX線透過率の悪い無機系接着剤を使用するとX線センサーの感度が悪くなるが、エポキシ系やアクリル系のX線透過率の良い有機系接着剤を使用すると、X線センサーの感度を向上することが可能となる。
また、CFRPからなる蓋体1に、成膜装置によって金属膜を形成することによってガスバリア層2を形成することも可能である。成膜装置による金属膜であるので、ガスバリア性能を有する程度に薄くすることが可能となるので、ガスバリア層2でのX線透過量が増加し、X線センサーの感度を向上することが可能となる。なお、CFRPは樹脂を含むため高温での成膜は不可能であり、低温での成膜が可能なスパッタリング、真空蒸着、CVDなどの成膜装置を使用する必要がある。
X線センサーの真空耐圧を維持するために必要な蓋体1の厚さを実際に求めるため、図2に示す簡略化モデルを用いて計算を実施した。図2は、外枠10と蓋体1の部分について、対称条件によって8分割したモデルで、外枠10の高さを100mm、厚さを10mm、蓋体1の1辺を400mmとして、板厚を変化させて計算した。
表1に各種材料の材料特性、表2に最大応力結果、図3にガラス10mmでの応力分布コンターズを示す。今回の計算には、比較的X線透過率が高く真空容器として使用できるガラス(ソーダ石灰ガラス)及びアルミニウム(A5083P)と、CFRP(OKC−60:株式会社O−KEI樹脂社製)の3種類の材料で行った。
材料特性の表1から分かるように、CFRPはアルミやガラスに比べて3〜10倍程度の大きな降伏応力を有することが分かる。なお、CFRPは炭素繊維と樹脂の組み合わせによって材料特性が変わり、炭素繊維の割合を増やすことにより更なる高剛性を得ることが可能となる。
解析では、容器10aの外部から大気圧に相当する100000Paの圧力を加え、それぞれの材料・板厚における最大応力を計算し、最大応力が降伏応力よりも小さくなる板厚を求めた。最大応力結果の表2から分かるように、ガラスでは13mm、アルミでは5mm、CFRPでは3mmで降伏応力以下となり、真空容器として真空耐圧を維持できる。このように、CFRPは板厚をガラスやアルミに比べて小さくすることが可能であることが分かる。また、図3の応力分布から、外枠に相当する部分と蓋に相当する部分の接合部分に、最大応力が発生していることが分かる。
次に、それぞれの材料の各板厚におけるX線透過率を計算した結果を図4及び表3に示す。なお、CFRPはカーボンファイバーと樹脂の複合材であるが、主成分がカーボンであるため、カーボンに置き換えて計算している。また、今回の計算はX線エネルギーを30kVで行った。
図4の計算結果から分かるように、カーボン:CFRPはガラスやアルミに比べてX線透過率が非常に良いことが分かる。図3の応力解析で求まった真空耐圧を維持できる板厚でのX線透過率を比較すると、表3に示すように、ガラス(13mm)は9%、アルミ(5mm)は5%で、蓋体1を透過するX線量が10分の1以下になるのに対し、カーボン:CFRP(3mm)は89%となっており蓋体1でのX線吸収がほとんど無いことが分かる。したがって、ターゲット部3に到達するX線量が多くなり、X線センサーの感度を向上させることが出来る。
ところで、蓋体1はX線を通す方が良いが、周辺部からのX線はノイズとなるため遮断する方が良く、配線基板8や外枠10はCFRPのようなX線透過率の良い材料よりもガラスやアルミ、その他の金属材料を使用した方が良く、厚さも十分な大きさを確保した方が良い。
(実施の形態2)
図5に、本発明の第2の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図5において、実施の形態1の構成と異なるところは、ターゲット部3とメッシュ電極4を内枠ではなく外枠10に固定した点である。この構成により、内枠を無くして簡略化した構成に出来るので、センサー外径のコンパクト化が図れる。
図5に、本発明の第2の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図5において、実施の形態1の構成と異なるところは、ターゲット部3とメッシュ電極4を内枠ではなく外枠10に固定した点である。この構成により、内枠を無くして簡略化した構成に出来るので、センサー外径のコンパクト化が図れる。
本発明にかかるX線センサーは、感度を向上させることが可能で、X線診断装置等として有用である。
1 蓋体
2 ガスバリア層
3 ターゲット部
4 メッシュ電極
5 電子源
6 インジウム
7 金属枠
8 配線基板
9 内枠
10 外枠
10a 容器
11 配線
12 ワイヤー
13 電子ビーム
14 ピン
15 電子銃
16 外管
17 コイル
2 ガスバリア層
3 ターゲット部
4 メッシュ電極
5 電子源
6 インジウム
7 金属枠
8 配線基板
9 内枠
10 外枠
10a 容器
11 配線
12 ワイヤー
13 電子ビーム
14 ピン
15 電子銃
16 外管
17 コイル
Claims (9)
- 容器と、
この容器を真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体と、
この蓋体の内面と対向して順次設けられたターゲット部、電子源と、を備え、
前記蓋体は、CFRPからなるX線センサー。 - 前記蓋体の内面にガスバリア層を設けた請求項1に記載のX線センサー。
- 前記ガスバリア層はガラスからなる請求項2に記載のX線センサー。
- 前記ガスバリア層は金属からなる請求項2に記載のX線センサー。
- 前記ガスバリア層は接着剤により前記蓋体に接合された請求項2〜4のいずれか一つに記載のX線センサー。
- 前記接着剤は真空中で塗布された請求項5に記載のX線センサー。
- 前記接着剤は有機系接着剤である請求項5記載のX線センサー。
- 前記金属からなるガスバリア層を成膜装置により金属膜として形成した請求項4に記載のX線センサー。
- 前記成膜装置がスパッタリング、真空蒸着、CVDである請求項8に記載のX線センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010283997A JP2012132734A (ja) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | X線センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010283997A JP2012132734A (ja) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | X線センサー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012132734A true JP2012132734A (ja) | 2012-07-12 |
Family
ID=46648500
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010283997A Pending JP2012132734A (ja) | 2010-12-21 | 2010-12-21 | X線センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2012132734A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014160040A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Toshiba Corp | X線透過装置およびx線検査装置 |
JPWO2020145293A1 (ja) * | 2019-01-08 | 2021-10-07 | 日本製鉄株式会社 | 外装パネルおよび外装パネルを備える自動車 |
-
2010
- 2010-12-21 JP JP2010283997A patent/JP2012132734A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2014160040A (ja) * | 2013-02-20 | 2014-09-04 | Toshiba Corp | X線透過装置およびx線検査装置 |
JPWO2020145293A1 (ja) * | 2019-01-08 | 2021-10-07 | 日本製鉄株式会社 | 外装パネルおよび外装パネルを備える自動車 |
JP7140211B2 (ja) | 2019-01-08 | 2022-09-21 | 日本製鉄株式会社 | 外装パネルおよび外装パネルを備える自動車 |
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