JP2013182798A - X線センサー - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、前記従来の課題を解決するもので、X線センサーの感度を向上することを目的とするものである。
【解決手段】容器と、前記容器を真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体と、前記蓋体は、強化繊維を含む樹脂材料よりなるベース基板と、このベース基板のX線入射面とは反対側に装着されたガラス板と、前記ベース基板とガラス板の少なくとも真空雰囲気下になる面を覆った金属膜と、前記金属膜に形成された光電変換膜で構成され、前記光電変換膜に電子を照射する電子源を前記容器内に備えたX線センサー。
【選択図】図1
【解決手段】容器と、前記容器を真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体と、前記蓋体は、強化繊維を含む樹脂材料よりなるベース基板と、このベース基板のX線入射面とは反対側に装着されたガラス板と、前記ベース基板とガラス板の少なくとも真空雰囲気下になる面を覆った金属膜と、前記金属膜に形成された光電変換膜で構成され、前記光電変換膜に電子を照射する電子源を前記容器内に備えたX線センサー。
【選択図】図1
Description
本発明は、X線センサーに関するものである。
従来の撮像装置の構成を図9に示す。基板1に枠材2が設置されて容器を形成し、ガラス蓋体17と枠材2の間に軟金属10を挟み密閉封止することにより、容器内部を真空に保持している。ガラス蓋体17の下面側には透明電極膜18が形成され、その透明電極膜18には光電変換膜7が形成されている。また、基板1の上面には電子を照射する電子源9が設置され、光電変換膜7と電子源9の間にグリッド電極12が設置されている。
ガラス蓋体17に入射した入射光は光電変換膜7により電気信号に変換され、電子源9から放射された電子で、電気信号を読み取ることにより撮像装置として機能している。なお、ガラス蓋体17には電極ピン19が埋め込まれており、電極ピン19に接続された光電変換膜用配線14により電気接続されており、光電変換膜7の電気信号の読み取りが可能となっている。さらに、光電変換膜7に高い電圧を印加することにより、光電変換膜内で電荷の増倍を生じさせることにより、電気信号を増幅することが可能となっている。
また、軟金属10とグリッド電極12の外周部は接触しており、軟金属10の外周部にはリング11及びリング11にはグリッド電極用配線13が接続されているため、グリッド電極12とグリッド電極用配線13は電気接続されている。グリッド電極12に外部より電圧を印加することにより、電子源9から放射された電子はグリッド電極で発生された電界によりを偏向収束され、精度良く電気信号の読み取りが可能となっている。
なお、軟金属10とガラス蓋体17の接触部分には、透明電極膜18と光電変換膜7は形成されていないので、グリッド電極12と透明電極膜18及び光電変換膜7は絶縁されている(例えば、特許文献1参照)。
従来の撮像装置をX線センサーとして使用する場合の課題は、X線センサーの感度が低いことであった。
すなわち、従来のX線入射面となるガラス蓋体は、ガラスを材料としており、このガラスにおいてはX線透過率を向上できず、蓋体内でのX線吸収量が増加して、ターゲット部に到達するX線量が少なくなり、X線センサーの感度が低下してしまう課題を有していた。
さらには、現在のX線センサーはフラットパネル化が進行しており、大型化及び薄型化が要求されている。この大型化に対応するとともに、X線センサー内を真空に維持するために、蓋体を厚くする必要性が出てきている。そのため、ガラスで作成した蓋体の厚さを増すことにより、蓋体内でのX線吸収量が増加して、さらにX線センサーの感度が低下してしまう課題を有していた。
本発明は、前記従来の課題を解決するもので、X線センサーの感度を向上することを目的とするものである。
前記従来の課題を解決するために、本発明のX線センサーは、容器と、前記容器を真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体と、前記蓋体は、強化繊維を含む樹脂材料よりなるベース基板と、このベース基板のX線入射面とは反対側に装着されたガラス板と、前記ベース基板とガラス板の少なくとも真空雰囲気下になる面を覆った金属膜と、前記金属膜に形成された光電変換膜で構成され、前記光電変換膜に電子を照射する電子源を前期容器内に備えたものであり、これにより所期の目的を達成するものである。
ガラスに比べてX線透過率の良い強化繊維を含む樹脂材料のベース基板にガラス基板を固定し、金属膜と光電変換膜を形成したものを蓋体としたので、真空封止可能な基板剛性を維持したまま蓋体のX線透過量を増やすことが出来るので、蓋体を透過して光電変換膜に到達するX線量が増加し、X線センサーの感度を良くすることができるようになった。
以下に、本発明のX線センサーの実施の形態を図面とともに詳細に説明する。
(実施の形態1)
図1に、本発明の第1の実施の形態におけるX線センサの断面図を示す。図1において、基板1に枠材2を設置して容器を形成している。ベース基板3、ガラス板4、接着剤5、金属膜6、光電変換膜7、絶縁膜8で構成される蓋体と枠材2の間に軟金属10を挟み密閉封止することにより、容器内部を真空に保持している。また、基板1の上面には電子を照射する電子源9が設置され、光電変換膜7と電子源9の間にグリッド電極12が設置されている。この構成により、蓋体に入射したX線は光電変換膜7により電気信号に変換され、電子源9から放射された電子で、電気信号を読み取ることによりX線センサーとして機能している。
図1に、本発明の第1の実施の形態におけるX線センサの断面図を示す。図1において、基板1に枠材2を設置して容器を形成している。ベース基板3、ガラス板4、接着剤5、金属膜6、光電変換膜7、絶縁膜8で構成される蓋体と枠材2の間に軟金属10を挟み密閉封止することにより、容器内部を真空に保持している。また、基板1の上面には電子を照射する電子源9が設置され、光電変換膜7と電子源9の間にグリッド電極12が設置されている。この構成により、蓋体に入射したX線は光電変換膜7により電気信号に変換され、電子源9から放射された電子で、電気信号を読み取ることによりX線センサーとして機能している。
ここで、ベース基板3をカーボンファイバーやグラスファイバーに代表される強化繊維を含む樹脂材料(CFRPやGFRP)で作成している。樹脂材料はガラスに比べてX線透過率が高いため、従来にX線透過量を多くすることが可能となり、光電変換膜に到達する光電変換膜に到達するX線量が増加し、X線センサーの感度を良くすることができるようになった。樹脂材料(CFRP)5mmにガラス板4を0.5mm厚みを設置したもの(本発明品)と、ガラス板4の5mm厚み(従来品)の具体的なX線透過率は、本発明品で78%(X線管電圧60kV)であるのに対し、従来品は43%(X線管電圧60kV)となっており、1.8倍程度向上させることが可能である。
また、樹脂材料に強化繊維を含ませることにより、樹脂材料の剛性が向上するので、X線センサーが大型化しても板厚を薄くすることができるので、さらにX線センサーの感度を良くすることが可能となる。具体的には、250mm×250mmの蓋体で容器を真空封止した場合に、従来品では7mm以上の板厚が必要であるが(それ以下の板厚だと破損する)、本発明品は3mmの板厚で対応可能となり、薄くすることが出来る。その場合のX線透過率は、本発明品で85%(X線管電圧60kV)であるのに対し、従来品は33%(X線管電圧60kV)となっており、2.5倍程度向上させることが可能である。
なお、カーボンファイバーはグラスファイバーに比べてX線透過率や剛性が良いので、強化繊維はカーボンファイバーを使用した方が良い結果が得られる。
ベース基板3は強化繊維を含む樹脂材料であるため表面粗さが荒く、ベース基板3に金属膜6と光電変換膜7を形成すると、光電変換膜の表面の凹凸が大きくなり、部分的に膜物性のバラツキが発生するため、電気信号変換時のノイズの原因となる。そこで本発明では、ベース基板3に表面粗さを小さくすることが出来るガラス板4を接着剤5で固定してから金属膜6と光電変換膜7を形成することにより、光電変換膜表面の凹凸を小さくして、ノイズを小さくしている。
金属膜6には光電変換膜用配線14が接続されており、光電変換膜7の電気信号の読み取りが可能となっている。さらに、光電変換膜7に高い電圧を印加することにより、光電変換膜内で電荷の増倍を生じさせることにより、電気信号を増幅することが可能となっている。この構成により、図9に示す従来必要であった電極ピン19や透明電極膜18は不要となり、コストダウンを図ることが可能となる。
また、軟金属10とグリッド電極12の外周部は接触しており、軟金属10の外周部にはリング11、及びリング11にはグリッド電極用配線13が接続されているため、グリッド電極12とグリッド電極用配線13は電気接続されている。グリッド電極12に外部より電圧を印加することにより、電子源9から放射された電子はグリッド電極で発生された電界により偏向収束され、精度良く電気信号の読み取りが可能となっている。
なお、光電変換膜7とグリッド電極12には別々の電位を加えるため、絶縁されている必要が有る。本実施の形態では、光電変換膜7の外周部分で、軟金属10とガラス蓋体17の接触部分には、絶縁膜8を形成することにより、グリッド電極12と光電変換膜7は絶縁を確保している。
図2に本発明の実施の形態1における蓋体作成工程図を示す。まず、(a)に示すように、ベース基板3に接着剤5を使用してガラス板4を接着する。ここで、真空耐圧を持たせるための剛性はベース基板3で維持することが出来るので、X線透過率の低いガラス板4は出来るだけ薄い方が良く、0.5mm以下であるとガラス板4のX透過率は90%(X線管電圧60kV)以上にすることが出来る。
つきに、(b)に示すように(a)で作成したベース基板3とガラス板4の接合物の外周全面に無電界メッキ(例えば無電界ニッケルメッキ)により金属膜6を形成する。ここで、接着材は金属膜との密着性が悪く剥がれやすいが、(a)で接着剤をベース基板3とガラス板4の外周側まで塗布しないことにより、金属膜6がベース基板3とガラス板4の隙間にまで入り込み、金属膜6を外周全面に形成することが可能となる。なお、金属膜6の形成は無電界メッキがコスト的にも有効であるが、真空蒸着等の他の方法でも実施可能であり、無電界メッキに制限されるものではない。
次の工程では、(c)に示すようにガラス基板表面の金属膜に、光電変換膜7と光電変換膜7の外周側(図1で軟金属10と接触する領域)に絶縁膜8を真空蒸着などによって形成する。ここで、(b)の工程で外周全面に金属膜6を形成していないと、光電変換膜7を真空中で形成している際に、樹脂材料で形成されているベース基板3や接着剤5からガスが発生するため、不純物が光電変換膜7に混入することとなり、光電変換膜7の性能バラツキもしくは性能不良が発生する。したがって、金属膜6を外周全面に形成することにより、X線センサー性能の悪化を防ぐことが出来る。
最後に、(d)に示すようにX線入射面となるベース基板3に形成された金属膜6を除去する。金属膜6は通常X線透過率が悪いため、除去することによりX線センサーの感度を良くすることが出来る。ただし、この(d)の工程は金属膜6の膜厚が十分小さい場合は、必ずしも実施する必要は無い。
(実施の形態2)
図3に、本発明の第2の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図3において、実施の形態1の構成と異なるところは、ガラス板4の表面に形成された金属膜6に光電変換膜7を形成し、絶縁膜8を金属膜6の光電変換膜7外周部分ではなく、光電変換膜7上の外周部分に形成している点である。この構成により、実施の形態1では光電変換膜7と絶縁膜8の形成それぞれに高精度のマスクが必要であったが、本実施例では絶縁膜8の形成時にのみ高精度のマスクであり、生産コスト及び生産工程の簡素化を図ることが出来る。
図3に、本発明の第2の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図3において、実施の形態1の構成と異なるところは、ガラス板4の表面に形成された金属膜6に光電変換膜7を形成し、絶縁膜8を金属膜6の光電変換膜7外周部分ではなく、光電変換膜7上の外周部分に形成している点である。この構成により、実施の形態1では光電変換膜7と絶縁膜8の形成それぞれに高精度のマスクが必要であったが、本実施例では絶縁膜8の形成時にのみ高精度のマスクであり、生産コスト及び生産工程の簡素化を図ることが出来る。
図4に本発明の実施の形態2における蓋体作成工程図を示す。図4において、実施の形態1と異なるところは、(c)の工程で金属膜6に光電変換膜7を形成後、(d)の工程で光電変換膜7に絶縁膜8を形成している点である。
(実施の形態3)
図5に、本発明の第3の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図5において、実施の形態1の構成と異なるところは、金属膜6に金属膜分割溝15及び光電変換膜7に光電変換膜分割溝16が形成されている点と、金属膜6に光電変換膜用配線14が2つ設置している点である。このことにより、金属膜6の電極分割が可能となり、2つの光電変換膜用配線14からそれぞれ電気信号を読み取ることが可能となるので、信号の読み取り速度が向上し、X線センサーの動作速度を向上させることが可能となる。なお、本実施例では金属膜6と光電変換膜7をそれぞれ分割したが、光電変換膜7の光電変換膜分割溝16は無くても同様の性能を得ることが可能であり、少なくとも金属膜6の金属膜分割溝15があれば良い。また、本実施例では金属膜分割溝15及び光電変換膜分割溝16を1ヶ所形成し、電極膜と光電変換膜を2つに分割しているが、さらに複数分割することにより、更なるX線センサーの動作速度向上を実現することが可能となる。なお、その場合は、その分割に合わせて光電変換膜用配線14の本数が必要となる。
図5に、本発明の第3の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図5において、実施の形態1の構成と異なるところは、金属膜6に金属膜分割溝15及び光電変換膜7に光電変換膜分割溝16が形成されている点と、金属膜6に光電変換膜用配線14が2つ設置している点である。このことにより、金属膜6の電極分割が可能となり、2つの光電変換膜用配線14からそれぞれ電気信号を読み取ることが可能となるので、信号の読み取り速度が向上し、X線センサーの動作速度を向上させることが可能となる。なお、本実施例では金属膜6と光電変換膜7をそれぞれ分割したが、光電変換膜7の光電変換膜分割溝16は無くても同様の性能を得ることが可能であり、少なくとも金属膜6の金属膜分割溝15があれば良い。また、本実施例では金属膜分割溝15及び光電変換膜分割溝16を1ヶ所形成し、電極膜と光電変換膜を2つに分割しているが、さらに複数分割することにより、更なるX線センサーの動作速度向上を実現することが可能となる。なお、その場合は、その分割に合わせて光電変換膜用配線14の本数が必要となる。
図6に本発明の実施の形態3における蓋体作成工程図を示す。図6において、実施の形態1と異なるところは、(c)の工程で金属膜6に金属膜分割溝15を形成後に、(d)の工程で光電変換膜7と絶縁膜を形成している点である。ここで、金属膜分割溝15を形成後に光電変換膜7を形成しているが、発ガスが多いベース基板3ではなくガラス板4の部分に金属膜分割溝15を形成しているため、光電変換膜7に不純物が混入することは無い。したがって、X線センサー性能が悪化することは無い。
さらに実施の形態1と異なる点は、工程(e)のX線入射面となるベース基板3に形成された金属膜6を除去する工程と、図示しないが金属膜分割溝15を延長して蓋体側面にも金属膜分割溝15を形成する工程が必ず必要となる点である。この工程により、複数の光電変換膜用配線14が形成される部分の金属膜6の絶縁を保つことが可能となる。
(実施の形態4)
図7に、本発明の第2の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図7において、実施の形態3の構成と異なるところは、ガラス板4の表面に形成された金属膜6に光電変換膜7を形成し、絶縁膜8を金属膜6の光電変換膜7外周部分ではなく、光電変換膜7上の外周部分に形成している点である。この構成により、実施の形態1では光電変換膜7と絶縁膜8の形成それぞれに高精度のマスクが必要であったが、本実施例では絶縁膜8の形成時にのみ高精度のマスクであり、生産コスト及び生産工程の簡素化を図ることが出来る。
(実施の形態4)
図7に、本発明の第2の実施の形態におけるX線センサーの断面図を示す。図7において、実施の形態3の構成と異なるところは、ガラス板4の表面に形成された金属膜6に光電変換膜7を形成し、絶縁膜8を金属膜6の光電変換膜7外周部分ではなく、光電変換膜7上の外周部分に形成している点である。この構成により、実施の形態1では光電変換膜7と絶縁膜8の形成それぞれに高精度のマスクが必要であったが、本実施例では絶縁膜8の形成時にのみ高精度のマスクであり、生産コスト及び生産工程の簡素化を図ることが出来る。
図8に本発明の実施の形態2における蓋体作成工程図を示す。図8において、実施の形態1の構成と異なるところは、(d)の工程で金属膜6に光電変換膜7を形成後、(e)の工程で光電変換膜7に絶縁膜8を形成している点である。
本発明にかかるX線センサーは、感度を向上させることが可能で、X線診断装置等として有用である。
1 基板
2 枠材
3 ベース基板
4 ガラス板
5 接着剤
6 金属膜
7 光電変換膜
8 絶縁膜
9 電子源
10 軟金属
11 リング
12 グリッド電極
13 グリッド電極用配線
14 光電変換膜用配線
15 金属膜分割溝
16 光電変換膜分割溝
17 ガラス蓋体
18 透明電極膜
19 電極ピン
2 枠材
3 ベース基板
4 ガラス板
5 接着剤
6 金属膜
7 光電変換膜
8 絶縁膜
9 電子源
10 軟金属
11 リング
12 グリッド電極
13 グリッド電極用配線
14 光電変換膜用配線
15 金属膜分割溝
16 光電変換膜分割溝
17 ガラス蓋体
18 透明電極膜
19 電極ピン
Claims (8)
- 容器と、
前記容器を真空密封し、外面をX線入射面とする蓋体と、
前記蓋体は、強化繊維を含む樹脂材料よりなるベース基板と、このベース基板のX線入射面とは反対側に装着されたガラス板と、前記ベース基板とガラス板の少なくとも真空雰囲気下になる面を覆った金属膜と、前記金属膜に形成された光電変換膜で構成され、
前記光電変換膜に電子を照射する電子源を前記容器の内部に備えたX線センサー。 - 前記金属膜に形成された金属膜分割溝を備えた請求項1に記載のX線センサー。
- 前記光電変換膜に前記金属膜分割溝と一体形成された光電変換膜分割溝を備えた請求項2に記載のX線センサー。
- 前記容器の、前記電子源と前記光電変換膜の間の位置に設置されたグリッド電極と、
前記金属膜の前記光電変換膜の外周部分に形成された絶縁膜を備え、
前記容器と前記蓋体の絶縁膜部分の間に封着用軟金属を挟むことにより、真空容器を密閉封止した請求項1から3のいずれか一つに記載のX線センサー。 - 前記容器の、前記電子源と前記光電変換膜の間の位置に設置されたグリッド電極と、
前記光電変換膜の前記光電変換膜の外周部分に形成された絶縁膜を備え、
前記容器と前記蓋体の絶縁膜部分の間に封着用軟金属を挟むことにより、真空容器を密閉封止した請求項1から3のいずれか一つに記載のX線センサー。 - 前記強化繊維が、カーボンファイバーもしくはグラスファイバーである請求項1から5のいずれか一つに記載のX線センサー。
- 前記ベース基板と前記ガラス板が接着剤により固定されている請求項1から6のいずれか一つに記載のX線センサー。
- 前記金属膜が無電界メッキにより形成されている請求項1から7のいずれか一つに記載のX線センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012046210A JP2013182798A (ja) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | X線センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012046210A JP2013182798A (ja) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | X線センサー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013182798A true JP2013182798A (ja) | 2013-09-12 |
Family
ID=49273321
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012046210A Pending JP2013182798A (ja) | 2012-03-02 | 2012-03-02 | X線センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2013182798A (ja) |
-
2012
- 2012-03-02 JP JP2012046210A patent/JP2013182798A/ja active Pending
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