JP2018097925A - 紫外線検出器 - Google Patents

Abstract

【課題】高感度な検出を安定して行うことができる紫外線検出器を提供する。【解決手段】紫外線検出器１は、第１表面１０ａを有する光透過性の第１基板１０と、第１表面１０ａと向かい合う第２表面２０ａを有する第２基板２０と、放電ガスが封入された空間Ｓが第１表面１０ａと第２表面２０ａとの間に形成されるように第１基板１０と第２基板２０との間に配置された枠部３０と、第２表面２０ａに設けられた陰極部２１と、空間Ｓを介して陰極部２１と対向するように第１表面１０ａに設けられた基体部１４、及び基体部１４から第２表面２０ａ側に突出する突出部１５を有する陽極部１１と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、紫外線検出器に関する。

光電子放出効果及び放電現象を利用した紫外線検出器として、第１表面を有する光透過性の第１基板と、第１表面と向かい合う第２表面を有する第２基板と、放電ガスが封入された空間が第１表面と第２表面との間に形成されるように第１基板と第２基板との間に配置された枠部と、第１表面に設けられた陽極部と、空間を介して陽極部と対向するように第２表面に設けられた陰極部と、を備えるものが知られている（例えば、特許文献１参照）。

特許第２９３６０９８号公報

上述したような紫外線検出器では、本来、次のように電子増倍作用による空間放電を生じさせて、紫外線を検出することが意図されている。すなわち、陽極部と陰極部との間に電圧が供給された状態において陰極部に紫外線が入射すると、陰極部から光電子が放出される。この光電子は、陽極部に引き寄せられ、空間内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。電離によって発生した電子及び正イオンのうち、電子は、他の放電ガス分子と衝突及び電離を繰り返して陽極部に至る。一方、正イオンは、陰極部に向けて加速され、陰極部に衝突して多くの二次電子を発生させる。この電子増倍現象が繰り返されることにより、空間放電が生じ、陽極部と陰極部との間に急激に大きな電流が流れる。

しかしながら、上述した従来の紫外線検出器では、陰極部から放出された光電子や二次電子、電離によって発生した電子及び正イオン等の荷電粒子が、枠部の内壁面に入射してしまい、枠部の内壁面が帯電することで、上記のような空間放電ではなく、枠部の内壁面に沿って進展する沿面放電が生じる場合がある。この場合、電子増倍現象は発生しないため、検出感度が低下してしまう。

そこで、本発明は、高感度な検出を安定して行うことができる紫外線検出器を提供することを目的とする。

本発明の紫外線検出器は、第１表面を有する光透過性の第１基板と、第１表面と向かい合う第２表面を有する第２基板と、放電ガスが封入された空間が第１表面と第２表面との間に形成されるように第１基板と第２基板との間に配置された枠部と、第２表面に設けられた陰極部と、空間を介して陰極部と対向するように第１表面に設けられた基体部、及び基体部から陰極部側に突出する突出部を有する陽極部と、を備える。

この紫外線検出器では、陽極部が、第１表面に設けられた基体部から陰極部側に突出する突出部を有している。これにより、陰極部と陽極部との間の実質的な空間距離が短くなるため、枠部の内壁面に沿って進展する沿面放電ではなく、突出部を起点とした、電子増倍現象を伴う空間放電を生じやすくすることができる。よって、この紫外線検出器では、高感度な検出を安定して行うことができる。

本発明の紫外線検出器では、基体部は、層状に形成されており、突出部は、塊状に形成されていてもよい。この場合、安定した突出部を容易に形成することができる。

本発明の紫外線検出器では、基体部は、層状に形成されており、突出部は、線状に形成されていてもよい。この場合、突出部の突出量を容易に調節することができる。

本発明の紫外線検出器は、第１表面に設けられた凸部を更に備え、陽極部は、第１表面及び凸部の表面に渡って層状に形成されていてもよい。この場合、基体部と突出部とが一体に形成されているので、基体部と突出部との電気的な接続を確実に行うことができる。

本発明の紫外線検出器では、凸部は、第１基板と一体に形成されていてもよい。この場合、安定した凸部を形成することができる。

本発明の紫外線検出器では、凸部は、第１基板と別体に形成されていてもよい。この場合、凸部を容易に形成することができる。

本発明の紫外線検出器では、陽極部は、一部が他の部分に対して陰極部側に位置するように曲げられた金属部材であってもよい。この場合、基体部と突出部とが一体に形成されているので、基体部と突出部との電気的な接続を確実に行うことができる。

本発明の紫外線検出器では、突出部は、陰極部の中央部と対向していてもよい。この場合、空間放電の起点となる突出部が枠部から離間するため、枠部の内壁面に沿って進展する沿面放電の発生を一層抑制することができる。

本発明の紫外線検出器では、陽極部は、複数の突出部を有していてもよい。この場合、電子増倍を伴う空間放電の発生をより一層促進することができる。

本発明によれば、高感度な検出を安定して行うことができる紫外線検出器を提供することが可能となる。

一実施形態の紫外線検出器の分解斜視図である。 図１の紫外線検出器の第１基板の底面図である。 図１の紫外線検出器のIII-III線に沿っての断面図である。 図１の紫外線検出器において生じる放電現象を示す断面図である。 突出部の有無による電流−電圧特性の違いを示すグラフである。 第１変形例の第１基板の底面図である。 （ａ）は、第２変形例の第１基板の底面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿っての断面図である。 （ａ）は、第３変形例の第１基板の底面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿っての断面図である。 （ａ）は、第４変形例の第１基板の底面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＢ−Ｂ線に沿っての断面図である。

以下、本発明の一実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明を省略する。

図１〜図３に示される紫外線検出器１は、光電子放出効果及び放電現象を利用して紫外線を検出するセンサであって、例えば炎センサとして用いられる。図１〜図３に示されるように、紫外線検出器１は、第１基板１０と、第２基板２０と、枠部３０と、陽極部１１と、陰極部２１と、を備えている。第１基板１０は、第１表面１０ａを有している。第２基板２０は、第１表面１０ａと向かい合う第２表面２０ａを有している。枠部３０は、空間Ｓが第１表面１０ａと第２表面２０ａとの間に形成されるように、第１基板１０と第２基板２０との間に配置されている。空間Ｓ内には、例えばネオン、アルゴン等の放電ガスが封入されている。空間Ｓは気密に保たれている。陽極部１１は、第１表面１０ａに設けられている。陰極部２１は、第２表面２０ａに設けられている。陽極部１１と陰極部２１とは、空間Ｓを介して互いに対向している。

第１基板１０は、例えば石英、ガラス等の光透過性（紫外線透過性）を有する材料からなる。第１基板１０は、例えば矩形平板状をなしている。第１基板１０において、第１表面１０ａを挟んで互いに対向する一対の側縁部それぞれには、切欠１０ｃが設けられている。切欠１０ｃは、枠部３０の第１表面１０ａ側の表面３０ａを露出させている。切欠１０ｃは、例えば平面視において（第１表面１０ａに垂直な方向から見た場合に）断面半円形状をなしている。切欠１０ｃは、後述するように、電気回路Ｃと陽極部１１との電気的な接続のために設けられている。

第１基板１０の第１表面１０ａ上には、陽極部１１と、陽極部１１と接続された信号導出部１２と、環状の第１積層体１３と、が設けられている。陽極部１１及び信号導出部１２は、第１積層体１３の内側に配置されている。陽極部１１は、空間Ｓを介して陰極部２１と対向するように第１表面１０ａ上に設けられた基体部１４と、基体部１４から陰極部２１側に突出する突出部１５と、を有している。

基体部１４は、例えばアルミニウム、金等の導電性を有する材料からなる。基体部１４は、例えば層状（膜状）に形成されており、具体的には蒸着等によって形成された金属薄膜等である。基体部１４は、矩形部１４ａと接続部１４ｂとを有している。矩形部１４ａは、行と列に配列されるように配置されており、ここでは９個の矩形部１４ａが３行３列となるように配置されている。中央の矩形部１４ａは、陰極部２１の中央部と対向している。接続部１４ｂは、直線状に延在し、行方向に隣り合う矩形部１４ａ同士、及び行方向の端部において列方向に隣り合う矩形部１４ａ同士を接続している。なお、格子状に、行及び列方向に隣り合うすべての矩形部１４ａ同士が接続されてもよいが、矩形部１４ａと接続部１４ｂとの間の領域は、第１基板１０を透過して陰極部２１に入射する紫外光が通過する窓部としても機能するため、矩形部１４ａ同士が確実に電気的に接続されるのであれば、接続部１４ｂはできる限り少ない方が好ましい。

突出部１５は、例えば金や、インジウム、銅等の導電性を有する材料からなる。突出部１５は、基体部１４上に設けられた突起（バンプ）であり、塊状に形成されている。突出部１５は、中央の矩形部１４ａ上に設けられ、陰極部２１の中央部と対向している。突出部１５は、例えば略柱状、略錐台状等の任意の形状であってよい。突出部１５は、例えばワイヤボンダを用いて形成される。

信号導出部１２は、例えばアルミニウム、金等の導電性を有する材料からなる。本実施形態では、信号導出部１２は、基体部１４と同一の材料からなり、基体部１４と一体に形成されている。信号導出部１２は、直線状に延在し、四隅に配置された矩形部１４ａと、第１積層体１３の４つの隅部とを互いに接続している。信号導出部１２は、陽極部１１からの信号導出のための部分として機能すると共に、陽極部１１への給電のための部分としても機能する。

第１積層体１３は、金属薄膜が積層されたものであり、例えば、クロムからなる第１層１３ａ、ニッケルからなる第２層１３ｂ、及び銅からなる第３層１３ｃが、この順で第１表面１０ａ上に積層されることにより構成されている。図２に示されるように、第１積層体１３の４つの隅部には、信号導出部１２の一部１２ａと第１積層体１３とが重なるように形成されている。これは、信号導出部１２と第１積層体１３とを確実に互いに電気的に接続させるためである。例えば、信号導出部１２の一部１２ａ上に、第１積層体１３の第１層１３ａが配置されている。

第２基板２０は、例えば低抵抗化されたシリコンからなる。第２基板２０の第２表面２０ａは、例えばシリコン又は二酸化シリコンによって構成されている。第２基板２０は、例えば第１基板１０に対応した平面形状を有する矩形平板状をなしている。第２基板２０の第２表面２０ａ上には、給電層２２が設けられている。第２基板２０の第２表面２０ａとは反対側の反対面２０ｂ上には、給電層２３が設けられている。給電層２２及び給電層２３の双方は、例えばアルミニウム、金等の導電性を有する材料からなる。給電層２２，２３間には、第２基板２０を介したオーミックコンタクトが形成されており、給電層２２，２３は互いに電気的に接続されている。また、第２基板２０として、ガラス等からなる絶縁性基板を用いてもよく、この場合、基板を貫通するように導電部材を設けたり、基板の表面に沿って導電部材を設けることで、給電経路を構成してもよい。

第２表面２０ａ上には、第２表面２０ａ及び給電層２２の表面に渡って密着層２４が設けられている。密着層２４は、第２基板２０と陰極部２１との間の密着性を高めるための導電層であり、例えばクロムからなる。陰極部２１は、密着層２４上に層状に形成されている。すなわち、陰極部２１は、密着層２４を介して第２表面２０ａ上に設けられている。陰極部２１は、平面視矩形状をなしている。陰極部２１は、紫外線の入射によって光電子を放出する材料からなる。陰極部２１の材料としては、例えばニッケル、白金、金等が挙げられる。

第２表面２０ａ上には、陰極部２１と連続し、陰極部２１を環状に包囲する包囲部２６が更に設けられている。包囲部２６は、密着層２４上に層状に形成されている。すなわち、包囲部２６は、密着層２４を介して第２表面２０ａ上に設けられている。包囲部２６は、平面視矩形環状をなしている。包囲部２６は、陽極部１１と対向していない。包囲部２６は、導電性を有する材料（以下、「第１材料」という）によって構成されている。

第１材料の二次電子放出係数δは、第２表面２０ａを構成する材料（以下、「第２材料」という）の二次電子放出係数δよりも小さい。このような第１材料及び第２材料の組み合わせとしては、ニッケル（δ＝１、第１材料）と二酸化シリコン（δ＝３．９、第２材料）、金（δ＝１．７、第１材料）と二酸化シリコン（δ＝３．９、第２材料）、白金（δ＝１．６、第１材料）と二酸化シリコン（δ＝３．９、第２材料）等が挙げられる。本実施形態では、包囲部２６は、陰極部２１と同一の材料からなり、陰極部２１と一体に形成されている。

枠部３０は、例えばガラスからなる。枠部３０は、例えば第１基板１０及び第２基板２０に対応した平面形状を有する矩形枠状をなしている。枠部３０は、開口３１を有している。開口３１は、第２表面２０ａに近づくほど広がる形状をなしている。つまり、開口３１の内壁面３１ａは、第２表面２０ａに近づくほど広がるテーパ面である。つまり、第２表面２０ａに垂直な方向から見た開口３１の断面積は、第１基板１０側よりも第２基板２０側の方が大きくなっており、第２表面２０ａに沿った方向から見た開口３１の断面は、第２表面２０ａに近づくほど広がっている。本実施形態では、開口３１は、第２表面２０ａに近づくほど広がる四角錘台状をなしており、開口３１の内壁面３１ａは、第２表面２０ａに近づくほど、対向する内壁面３１ａ同士が離れるように、傾斜している。

第２表面２０ａにおいて内壁面３１ａと対向する領域Ｒ（すなわち、第２表面２０ａに垂直な方向から見た場合に、第２表面２０ａのうち、第２表面２０ａ側の開口３１の縁よりも内側に位置し且つ第２表面２０ａとは反対側の開口３１の縁よりも外側に位置する領域）には、密着層２４及び包囲部２６が設けられていない。すなわち、領域Ｒにおいては第２表面２０ａが露出している。領域Ｒは、包囲部２６を包囲するように環状に延在している。領域Ｒは、第２表面２０ａに垂直な方向から見た場合に、枠部３０によって覆われている。図３中の破線は、第２表面２０ａ側の開口３１の縁から第２表面２０ａに下ろした垂線である。

枠部３０の第１表面１０ａ側の表面３０ａ上には、開口３１を環状に包囲するように第２積層体３２が設けられている。第２積層体３２は、金属薄膜が積層されたものであり、例えば、クロムからなる第１層３２ａ、及びニッケルからなる第２層３２ｂが、この順で表面３０ａ上に積層されることにより構成されている。

第１基板１０と枠部３０とは、例えばインジウム等の低融点金属からなり、導電性を有する環状のシール部材３５を介して互いに固定されている。シール部材３５は、第１積層体１３の第３層１３ｃと第２積層体３２の第２層３２ｂとの間に挟まれ、第１基板１０と枠部３０との間を封止している。第２基板２０と枠部３０とは、例えば陽極接合によって互いに固定されている。

続いて、図４を参照しつつ、紫外線検出器１の動作原理を説明する。紫外線検出器１の使用状態においては、電気回路Ｃから陽極部１１と陰極部２１との間に電圧が印可されている。陽極部１１側については、切欠１０ｃによって露出した第２積層体３２が電気回路Ｃとの接続位置となっている。第２積層体３２は、信号導出部１２と電気的に接続された第１積層体１３、及びシール部材３５を介して、陽極部１１と電気的に接続されている。陰極部２１側については、給電層２３が電気回路Ｃとの接続位置となっており、第２基板２０、給電層２２、及び密着層２４を介して、陰極部２１と電気的に接続されている。

使用状態において、第１基板１０を介して陰極部２１に紫外光Ｌが入射すると、陰極部２１から光電子Ｅが放出される（光電子放出効果）。この光電子Ｅは、陽極部１１と陰極部２１との間に印加された電圧により形成される電界によって陽極部１１の突出部１５に引き寄せられ、空間Ｓ内の放電ガス分子と衝突して放電ガス分子を電離させる。電離によって発生した電子及び正イオンのうち、電子は、更に他の放電ガス分子と衝突及び電離を繰り返して陽極部１１に至る。一方、正イオンは、陽極部１１に向けて加速され、陽極部１１に衝突して多くの二次電子を発生させる。この電子増倍が繰り返されることにより、空間放電が生じ、陽極部１１と陰極部２１との間に急激に大きな電流が流れる。この電流を電気回路Ｃで検出することにより、紫外光Ｌを検出することができる。このように、紫外線検出器１では、光電子放出効果及び放電現象を利用して紫外光を検出する。

以上説明したように、紫外線検出器１では、陽極部１１が、第１表面１０ａに設けられた基体部１４から陰極部２１側に突出する突出部１５を有している。これにより、陰極部２１と陽極部１１との実質的な空間距離が短くなるため、枠部３０の内壁面３１ａに沿って進展する沿面放電ではなく、突出部１５を起点とした、電子増倍現象を伴う空間放電を生じやすくすることができる。内壁面３１ａよって、紫外線検出器１では、高感度な検出を安定して行うことができる。

図５は、突出部１５の有無による電圧−電流特性の違いを示すグラフである。図５において、実施例は、上記実施形態の紫外線検出器１に相当し、比較例は、上記実施形態の紫外線検出器１において突出部１５が設けられていないものに相当する。実施例及び比較例のそれぞれについて、紫外光Ｌが入射している場合と入射していない場合の印可電圧に対する電流値を測定した。

図５に示されるように、比較例では、紫外光Ｌが入射している場合と入射していない場合とで、電圧−電流特性に大きな差がない。これは、電子増倍を伴う空間放電が発生せず、沿面放電が発生したためである。一方、実施例では、紫外光Ｌが入射している場合、入射していない場合と比べて電流値が大きく増加している。これは、電子増倍を伴う空間放電が発生したためである。この結果から、突出部１５を設けることにより、沿面放電の発生を抑制し、空間放電の発生を促進できることが分かる。

また、紫外線検出器１は、第１表面１０ａにおいて基体部１４と接続された信号導出部１２を備えている。これにより、突出部１５と信号導出部１２とを基体部１４を介して確実に電気的に接続することができる。

また、紫外線検出器１では、基体部１４が層状に形成されており、突出部１５が塊状に形成されている。これにより、安定した突出部１５を容易に形成することができる。また、突出部１５が塊状に形成されているので、突出部１５の突出量を容易に調節することができる。これは、例えば、検出感度や放電開始電圧を調整する場合に有効である。

また、紫外線検出器１では、突出部１５が陰極部２１の中央部と対向している。これにより、空間放電の起点となる突出部１５が枠部３０から離間するため、枠部３０の内壁面３１ａに沿って進展する沿面放電の発生を一層抑制することができる。

また、紫外線検出器１では、陰極部２１と連続し、陰極部２１を環状に包囲する包囲部２６が第２表面２０ａに設けられている。包囲部２６を構成する第１材料の二次電子放出係数δは、第２表面２０ａを構成する第２材料の二次電子放出係数δよりも小さくなっている。ここで、仮に、包囲部２６が設けられておらず、陰極部２１の周囲において第２表面２０ａが露出している場合、電子増倍の過程で発生した正イオンが第２表面２０ａに衝突して枠部３０の内壁面３１ａの近傍で二次電子を発生させることにより、発生した二次電子が内壁面３１ａに入射して内壁面３１ａを帯電させやすいため、空間放電ではなく、内壁面３１ａに沿って進展する沿面放電の発生が促進されるおそれがある。これに対し、紫外線検出器１では、第２表面２０ａよりも二次電子が放出され難い包囲部２６によって陰極部２１の周囲の第２表面２０ａが覆われているので、そのような内壁面３１ａの帯電による沿面放電の発生を抑制することができる。

また、紫外線検出器１では、開口３１の内壁面３１ａは、第２表面２０ａに近づくほど広がるテーパ面である。第２表面２０ａにおいて内壁面３１ａと対向し、包囲部２６を包囲するように環状に延在する領域Ｒにおいては、第２表面２０ａが露出している。ここで、仮に、包囲部２６と内壁面３１ａとが接触又は近接していると、内壁面３１ａを介した沿面放電の発生が促進されるおそれがある。これに対し、紫外線検出器１では、包囲部２６と内壁面３１ａとが領域Ｒによって分離されているので、沿面放電の発生を抑制することができる。更に、紫外線検出器１では、領域Ｒと内壁面３１ａとが対向していることにより、領域Ｒにおいて露出する第２表面２０ａへの正イオンの入射が抑制されている。このため、領域Ｒにおいて第２表面２０ａが露出している場合でも、沿面放電の発生を抑制することができる。

また、紫外線検出器１では、陰極部２１と包囲部２６とが同一材料によって構成されている。これにより、陰極部２１及び包囲部２６を容易に形成することができる。

また、紫外線検出器１では、第２基板２０がシリコンからなり、第２表面２０ａがシリコン又は二酸化シリコンによって構成されている。これにより、領域Ｒを容易に形成することができる。

また、紫外線検出器１の製造時には、第２基板２０上に枠部３０を配置した状態で枠部３０側から陰極部２１及び包囲部２６を構成する材料を蒸着することによって陰極部２１と包囲部２６とを同時に形成してもよい。このとき、内壁面３１ａが傾斜しているため、内壁面３１ａで覆われた領域Ｒには材料が付着しない。そのため、特別なマスク等を用いることなく、領域Ｒを容易に形成することができる。なお、包囲部２６の外縁部が内壁面３１ａと対向していてもよい。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られない。例えば、図６に示される第１変形例のように、陽極部１１は、複数（この例では９個）の突出部１５を有していてもよい。突出部１５は、各矩形部１４ａ上に設けられている。このような第１変形例によっても、上記実施形態と同様に、高感度な検出を安定して行うことができる。また、第１変形例では、陽極部１１が複数の突出部１５を有しているので、電子増倍を伴う空間放電の発生をより一層促進することができる。

図７に示される第２変形例のように突出部１５Ａが構成されてもよい。突出部１５Ａは、線状に形成されている。突出部１５Ａは、例えば金製のワイヤである。突出部１５Ａの両端は、中央の矩形部１４ａを挟む一対の矩形部１４ａに結合されている。突出部１５Ａの中間領域は、基体部１４から空間的に離間し、陰極部２１側に突出している。このような第２変形例によっても、上記実施形態と同様に、高感度な検出を安定して行うことができる。また、突出部１５Ａが線状に形成されているので、突出部１５Ａの突出量を容易に調節することができる。これは、例えば、検出感度や放電開始電圧を調整する場合に有効である。

図８に示される第３変形例のような構成であってもよい。第３変形例では、紫外線検出器１は、第１表面１０ａに設けられた凸部１７を更に備えている。凸部１７は、例えば円板状をなしている。凸部１７は、第１基板１０と別体に形成されて第１基板１０に固定されている。このような凸部１７は、例えばガラス基板を加工することによって形成することができる。陽極部１１は、第１表面１０ａ及び凸部１７の表面に渡って層状に形成されている。陽極部１１のうち、第１表面１０ａに位置し、凸部１７を環状に包囲する部分によって基体部１４Ｂが構成されており、凸部１７上に位置する部分によって突出部１５Ｂが構成されている。一対の信号導出部１２Ｂは、直線状に延在し、基体部１４Ｂの一方側と他方側とにおいて基体部１４Ｂと第１積層体１３とを接続している。

このような第３変形例によっても、上記実施形態と同様に、高感度な検出を安定して行うことができる。また、基体部１４Ｂと突出部１５Ｂとが一体に形成されているので、基体部１４Ｂと突出部１５Ｂとの電気的な接続を確実化することができる。また、凸部１７が第１基板１０と別体に形成されているので、凸部１７を容易に形成することができる。なお、凸部１７は、第１基板１０と一体に形成されていてもよい。例えば、第１基板１０を予め凸部付きの基板として成形してもよい。

図９に示される第４変形例のような構成であってもよい。第４変形例では、陽極部１１は、一部が他の部分に対して陰極部２１側に位置するように凸状に曲げられた板状の金属部材である。この例では、陽極部１１は、陰極部２１側に位置する一部が第１表面１０ａと平行に延在するように曲げられている。陽極部１１のうち、陰極部２１側に位置する一部によって突出部１５Ｃが構成されており、他の部分によって基体部１４Ｃが構成されている。信号導出部１２Ｃは、陽極部１１を構成する金属部材によって構成されている。陽極部１１及び信号導出部１２Ｃは、直線状に延在している。金属部材の材料としては、例えばコバール等が挙げられる。

このような第４変形例によっても、上記実施形態と同様に、高感度な検出を安定して行うことができる。また、基体部１４Ｃと突出部１５Ｃとが一体に形成されているので、基体部１４Ｃと突出部１５Ｃとの電気的な接続を確実化することができる。また、突出部１５Ｃの突出量を容易に調節することができる。

上記実施形態において、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。また、突出部１５は、必ずしも陰極部２１の中央部と対向していなくてもよく、中央部以外の部分と対向していてもよい。

１…紫外線検出器、１０…第１基板、１０ａ…第１表面、１１…陽極部、１２…信号導出部、１４…基体部、１５…突出部、１７…凸部、２０…第２基板、２０ａ…第２表面、２１…陰極部、３０…枠部、Ｓ…空間。

Claims (9)

1. 第１表面を有する光透過性の第１基板と、
   前記第１表面と向かい合う第２表面を有する第２基板と、
   放電ガスが封入された空間が前記第１表面と前記第２表面との間に形成されるように前記第１基板と前記第２基板との間に配置された枠部と、
   前記第２表面に設けられた陰極部と、
   前記空間を介して前記陰極部と対向するように前記第１表面に設けられた基体部、及び前記基体部から前記陰極部側に突出する突出部を有する陽極部と、を備える、紫外線検出器。
2. 前記基体部は、層状に形成されており、
   前記突出部は、塊状に形成されている、請求項１に記載の紫外線検出器。
3. 前記基体部は、層状に形成されており、
   前記突出部は、線状に形成されている、請求項１に記載の紫外線検出器。
4. 前記第１表面に設けられた凸部を更に備え、
   前記陽極部は、前記第１表面及び前記凸部の表面に渡って層状に形成されている、請求項１に記載の紫外線検出器。
5. 前記凸部は、前記第１基板と一体に形成されている、請求項４に記載の紫外線検出器。
6. 前記凸部は、前記第１基板と別体に形成されている、請求項４に記載の紫外線検出器。
7. 前記陽極部は、一部が他の部分に対して前記陰極部側に位置するように曲げられた金属部材である、請求項１に記載の紫外線検出器。
8. 前記突出部は、前記陰極部の中央部と対向している、請求項１〜７のいずれか一項に記載の紫外線検出器。
9. 前記陽極部は、複数の前記突出部を有している、請求項１〜８のいずれか一項に記載の紫外線検出器。

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