JP6429602B2 - 陽極及びこれを用いたx線発生管、x線発生装置、x線撮影システム - Google Patents
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Description
前記ターゲット層の周縁より外側に延在し前記ターゲット層を支持する支持面と前記支持面に連なる環状の側面とを有する支持基板と、
前記側面から前記支持面に演出する延出部を有する接合材と、
前記支持基板の側面に前記接合材を介して接合される管状陽極部材と、
前記接合材より高い融点を有し、前記ターゲット層と前接合材とを電気的に接続する導電層と、を有し、
前記導電層は、前記ターゲット層、前記支持面、及び、前記延出部、のそれぞれの少なくとも一部を被覆する部分を、この順に有することにより、前記延出部の前記ターゲット層の側の端部を被覆していることを特徴とする陽極である。
前記ターゲット層に向けて電子を放出する電子放出源を備える陰極と、
前記陽極と前記陰極とを絶縁し、前記陽極と前記陰極とともに真空容器を形成する絶縁管とを備えることを特徴とするX線発生管である。
前記X線発生装置から放出され、被検体を透過したX線を検出するX線検出装置と、
前記X線発生装置と前記X線検出装置とを連携制御するシステム制御装置と、を備えたことを特徴とするX線撮影システムである。
図5に本発明のX線発生管の一実施形態の構成を模式的に示す。本例のX線発生管102は、ターゲット層22を支持する支持基板21がX線を透過する透過基板である透過型ターゲットを備えた透過型のX線発生管である。尚、本発明において支持基板21は透過基板に限定されない。
図1に本発明の陽極の一実施形態の構成を模式的に示す。図1(a)は本例の陽極52をX線放出管において陰極51側から見た図であり、(b)は(a)中のA−A’断面図である。また、図2乃至図4は後述する他の実施形態の構成を模式的に示す図であり、図1と同様に、各図において(a)は各例の陽極52をX線放出管において陰極51側から見た図であり、(b)は(a)中のA−A’断面図である。
図6には、X線束11をX線透過窓121の前方に向けて取り出すX線発生装置101の実施形態が示されている。X線発生装置101は、X線透過窓121を有する収納容器120の内部に、上記した本発明のX線発生管102、及び、X線発生管102を駆動するための駆動回路103を有している。図中、16は接地電極である。駆動回路103は、陰極51と陽極52間に管電圧Vaを印加する管電圧回路を少なくとも備えるが、電子銃(電子放出源3)の電子放出量、ビーム径を制御するブランキング回路、静電レンズ回路等を備えた形態とすることも可能である。
次に、図7を用いて、本発明のX線発生装置101を備えたX線撮影システムの構成例について説明する。
本実施例では、図2に示した陽極52を用いたX線発生管を作製し、更にこのX線発生管を用いて図5に示すX線発生装置101を作製した。
本例では、支持基板21上にターゲット層22を形成し、次いでターゲット層22に電気的に接続された導電層47を形成した後に、支持基板21と管状陽極部材42とをろう材48で接合し、導電層47とろう材48とを電気的に接合した。本例の陽極52は、図9に示すように、導電層47上にろう材48が延出していた。尚、図9において(a)は本例の陽極をX線放出管において陰極側から見た図であり、(b)は(a)中のA−A’断面図である。
本実施例においては、実施例1のX線発生装置を用いて、図7に記載のX線撮影システムを作製した。
Claims (16)
- X線を発生するターゲット層と、
前記ターゲット層の周縁より外側に延在し前記ターゲット層を支持する支持面と前記支持面に連なる環状の側面とを有する支持基板と、
前記側面から前記支持面に演出する延出部を有する接合材と、
前記支持基板の側面に前記接合材を介して接合される管状陽極部材と、
前記接合材より高い融点を有し、前記ターゲット層と前記接合材とを電気的に接続する導電層と、を有し、
前記導電層は、前記ターゲット層、前記支持面、及び、前記延出部、のそれぞれの少なくとも一部を被覆する部分を、この順に有することにより、前記延出部の前記ターゲット層の側の端部を被覆していることを特徴とする陽極。 - 前記導電層は、前記部分において、前記支持面と接していることを特徴とする請求項1に記載の陽極。
- 前記延出部が前記導電層と前記支持面とに挟まれるように、前記導電層が配置されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の陽極。
- 前記導電層は、前記ターゲット層と前記接合材とを電気的に接続する接続電極であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記導電層は、前記ターゲット層の周縁に電気的に接続されていることを特徴とする請求項4に記載の陽極。
- 前記導電層が、前記ターゲット層であることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記延出部の前記端部は、前記支持基板の外周に沿った環状であり、前記導電層は、前記端部に沿って環状に前記延出部に電気的に接続されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記接合材は、前記支持基板、前記ターゲット層、前記管状陽極部材のいずれよりも低い融点を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記接合材がろう材であることを特徴とする請求項8に記載の陽極。
- 前記支持基板はダイヤモンドであることを特徴とする請求項8に記載の陽極。
- 前記支持基板は、前記管状陽極部材の管内に接合されていることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記側面は、前記支持面の周縁に沿って環状に連なる面であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の陽極。
- 前記支持基板は、前記ターゲット層で発生したX線を透過し前記支持面と対向する面から放出する支持基板であって、
前記ターゲット層と前記支持基板は透過型ターゲットを構成することを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の陽極。 - 請求項1乃至13のいずれか1項に記載の陽極と、
前記ターゲット層に向けて電子を放出する電子放出源を備える陰極と、
前記陽極と前記陰極とを絶縁し、前記陽極と前記陰極とともに真空容器を形成する絶縁管とを備えることを特徴とするX線発生管。 - 請求項14に記載のX線発生管と、
前記X線発生管の陰極と陽極とに管電圧を印加する管電圧回路と、を備えたことを特徴とするX線発生装置。 - 請求項15に記載のX線発生装置と、
前記X線発生装置から放出され、被検体を透過したX線を検出するX線検出装置と、
前記X線発生装置と前記X線検出装置とを連携制御するシステム制御装置と、を備えたことを特徴とするX線撮影システム。
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