JP2935961B2 - Ｘ線透過窓の製造方法 - Google Patents

Ｘ線透過窓の製造方法

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JP2935961B2 JP14826795A JP14826795A JP2935961B2 JP 2935961 B2 JP2935961 B2 JP 2935961B2 JP 14826795 A JP14826795 A JP 14826795A JP 14826795 A JP14826795 A JP 14826795A JP 2935961 B2 JP2935961 B2 JP 2935961B2
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ray transmission
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敏生 佐伯
隆志 西澤
啓助 小倉
一明 清水
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Idemitsu Kosan Co Ltd
DKK Corp
Rigaku Corp
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Idemitsu Kosan Co Ltd
Rigaku Industrial Corp
DKK Corp
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Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、Ｘ線分析装置やＸ線
管において用いられるＸ線を透過させる窓を製造する方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線透過窓としては、Ｘ線の透過
率が高くかつ機械的強度も有するベリリウム箔に、耐蝕
性を与えるためのポリイミド等の樹脂膜を接着または密
着させたものが用いられている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ベリリウム箔
表面に直接樹脂膜をコーティングしたのでは密着性が不
十分で、特に高温の重油等の溶液中において、樹脂膜が
剥離し、ベリリウム箔の保護膜としての機能を果たさな
くなってしまう。そこで、ベリリウム箔に、樹脂膜との
密着性が高いアルミニウム等の接着層を真空蒸着し、そ
の接着層に樹脂膜をコーティングすることも考えられ
る。ところが、この場合は、ベリリウム箔と接着層との
密着性が不十分となって、樹脂膜が接着層とともに剥離
し、やはり、ベリリウム箔の保護膜としての機能を果た
さなくなってしまう。
【０００４】そこで本発明は、ベリリウム箔とそれを保
護する樹脂膜との密着性を向上させたＸ線透過窓の製造
方法を提供することを目的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１のＸ線透過窓の製造方法は、ベリリウム箔
に接着層を真空蒸着した後に加熱し、その接着層にポリ
イミド樹脂膜またはポリパラキシリレン樹脂膜をコーテ
ィングしてＸ線透過窓を製造する方法であって、上記接
着層が、アルミニウム、炭素、マグネシウム、およびス
カンジウムよりなる一群から選ばれた一つであるＸ線透
過窓の製造方法である。
【０００６】
【作用および効果】請求項１のＸ線透過窓の製造方法に
よれば、接着層がベリリウム箔に真空蒸着された後に加
熱されるので強固に密着し、かつ接着層と樹脂膜との密
着性も高いので、ベリリウム箔とそれを保護する樹脂膜
との密着性が向上される。
【０００７】
【実施例】以下、本発明の実施例であるＸ線透過窓の製
造方法について図面を参照しながら説明する。図２は、
本発明の一実施例により製造されたＸ線透過窓３を用い
たＸ線分析装置を示す平面断面図である。図２におい
て、重油等の被分析液Ｌは、マニホールド１０内に形成
された流路１内を流れる。マニホールド１０には、流路
１の側面に位置する開口部１ａが形成されている。この
開口部１ａには、この開口部１ａに向って開口する容器
２が臨んでいる。この容器２と流路１との間には、Ｘ線
透過窓３が介挿されて、上記容器２内と流路１とが区画
されている。上記容器２内には、被分析液Ｌに一次Ｘ線
Ｂ１を照射するＸ線照射装置４と、被分析液Ｌからの蛍
光Ｘ線、例えば、Ｓ−Ｋα線である二次Ｘ線Ｂ２をＸ線
透過窓３を通して検出するＸ線検出器５と、検出した二
次Ｘ線Ｂ２を分析する分析器６とが収納されている。
【０００８】図１は、この実施例により製造されたＸ線
透過窓３を示す側面断面図である。このＸ線透過窓３
は、まず、厚さ約５０μｍのベリリウム箔７に、厚さ約
０．０２μｍのアルミニウムの接着層８を真空蒸着した
後に数百℃、例えば５００℃以上６００℃以下で加熱処
理し、その接着層８に厚さ約５μｍのポリイミド樹脂膜
９をコーティングして製造されたものである。図２のＸ
線分析装置において、Ｘ線透過窓３は、被分析液Ｌに接
する左側がポリイミド樹脂膜９であり、容器２を臨む右
側がベリリウム箔７である。
【０００９】本実施例のＸ線透過窓３の製造方法によれ
ば、アルミニウム接着層８がベリリウム箔７に真空蒸着
された後に加熱処理されるので強固に密着し、かつアル
ミニウム接着層８とポリイミド樹脂膜９との密着性も高
いので、ベリリウム箔７とそれを保護するポリイミド樹
脂膜９との密着性が向上される。したがって、図１のよ
うに、Ｘ線透過窓３のポリイミド樹脂膜９側が、重油等
の被分析液Ｌに接しても、ベリリウム箔７から剥離しに
くい。なお、例えば、Ｓ−Ｋα線に対する厚さ０．０２
μｍのアルミニウムの吸収率は１％未満であるので、接
着層８を設けたことによるＸ線透過窓３のＸ線透過率へ
の影響は無視できる。
【００１０】本実施例により製造されたＸ線透過窓３
と、従来のベリリウム箔に直接ポリイミド樹脂膜がコー
ティングされたＸ線透過窓とを、９５℃の湯中に放置し
たところ、従来のＸ線透過窓では７日後に樹脂膜の明ら
かな剥離が認められたが、本実施例により製造されたＸ
線透過窓３では１６日後も剥離が認められず、本発明の
有効性が確認された。
【００１１】なお、本実施例では、接着層８にアルミニ
ウムを用いたが、他に、炭素、マグネシウム、およびス
カンジウムを用いてもよく、樹脂膜９にはポリイミド以
外にポリパラキシリレンを用いてもよい。また、ベリリ
ウム箔７、接着層８および樹脂膜９の厚さ、ならびに接
着層８の真空蒸着後の加熱処理温度は、本実施例の数値
に限定されるものではない。さらに、本実施例では、ベ
リリウム箔７の片側にだけ接着層８および樹脂膜９を設
けたが、用途によっては、ベリリウム箔７の両側に設け
てもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例により製造されたＸ線透過窓
を示す側面断面図である。
【図２】本発明の一実施例により製造されたＸ線透過窓
を用いたＸ線分析装置を示す平面断面図である。
【符号の説明】
３…Ｘ線透過窓、７…ベリリウム箔、８…接着層、９…
樹脂膜。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西澤 隆志 東京都武蔵野吉祥寺北町４丁目13番14号 電気化学計器株式会社内 (72)発明者 小倉 啓助 大阪府高槻市赤大路町14番８号 理学電 機工業株式会社内 (72)発明者 清水 一明 大阪府高槻市赤大路町14番８号 理学電 機工業株式会社内 (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) H01J 35/00 H05G 1/00 G21K 5/00

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ベリリウム箔に接着層を真空蒸着した後
    に加熱し、その接着層にポリイミド樹脂膜またはポリパ
    ラキシリレン樹脂膜をコーティングしてＸ線透過窓を製
    造する方法であって、 上記接着層が、アルミニウム、炭素、マグネシウム、お
    よびスカンジウムよりなる一群から選ばれた一つである
    Ｘ線透過窓の製造方法。
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