RU2434073C9 - Способ покрытия поверхности субстрата и продукт с нанесенным покрытием - Google Patents
Способ покрытия поверхности субстрата и продукт с нанесенным покрытием Download PDFInfo
- Publication number
- RU2434073C9 RU2434073C9 RU2007144638/02A RU2007144638A RU2434073C9 RU 2434073 C9 RU2434073 C9 RU 2434073C9 RU 2007144638/02 A RU2007144638/02 A RU 2007144638/02A RU 2007144638 A RU2007144638 A RU 2007144638A RU 2434073 C9 RU2434073 C9 RU 2434073C9
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- powder
- ppm
- coating
- alloys
- niobium
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C14/00—Alloys based on titanium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
- C22C27/02—Alloys based on vanadium, niobium, or tantalum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
- C22C27/04—Alloys based on tungsten or molybdenum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C30/00—Alloys containing less than 50% by weight of each constituent
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
- C23C24/02—Coating starting from inorganic powder by application of pressure only
- C23C24/04—Impact or kinetic deposition of particles
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/04—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the coating material
- C23C4/06—Metallic material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C4/00—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge
- C23C4/12—Coating by spraying the coating material in the molten state, e.g. by flame, plasma or electric discharge characterised by the method of spraying
- C23C4/137—Spraying in vacuum or in an inert atmosphere
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12014—All metal or with adjacent metals having metal particles
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/12—All metal or with adjacent metals
- Y10T428/12014—All metal or with adjacent metals having metal particles
- Y10T428/12028—Composite; i.e., plural, adjacent, spatially distinct metal components [e.g., layers, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/13—Hollow or container type article [e.g., tube, vase, etc.]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/31504—Composite [nonstructural laminate]
- Y10T428/31678—Of metal
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
- Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
- Coating By Spraying Or Casting (AREA)
Abstract
Изобретение относится к нанесению покрытий, которые содержат небольшие количества газообразных примесей, в частности кислорода, и предназначены для защиты от коррозии, от износа или для применения в системах управления температурой. Покрытие наносят на поверхность изделия из металла и/или керамического материала, и/или из пластического материала, или из материала, содержащего элементы из, по меньшей мере, одного из этих материалов. Газопорошковую смесь получают из газового потока и порошка вещества с чистотой 99% или более и содержанием кислорода меньше чем 1000 чнм, выбранного из группы тугоплавких металлов, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония или смесей, по меньшей мере, двух из них или смесей одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота, или их сплавов с, по меньшей мере, двумя из них, или сплавов одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота, или сплава вольфрам-рений или псевдосплавов одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота. Порошок имеет размер частиц от 0.5 до 150 мкм. Газовому потоку сообщают сверхзвуковую скорость, и реактивная струя со сверхзвуковой скоростью направляется на поверхность изделия. На изделиях получаются плотные и устойчивые к коррозии покрытия. 3 н. и 20 з.п. ф-лы, 10 ил., 36 табл.
Description
Данное изобретение относится к способу нанесения покрытий, которые содержат только небольшие количества газообразных примесей, в частности кислорода.
При нанесении покрытий из тугоплавкого металла на поверхности наблюдаются многочисленные проблемы.
В традиционных способах металл полностью или частично расплавляют в большинстве случаев, в результате чего металлы легко окисляются или абсорбируют другие газообразные примеси. По этой причине традиционные способы, такие как наплавка металла сваркой и плазменное напыление, должны выполняться в атмосфере защитного газа или в вакууме.
В таких случаях затраты по отношению установки высокие, размер деталей ограничен, содержание газообразных примесей все еще неудовлетворительное.
Существенное введение тепла, передаваемого на предмет, который подлежит покрытию, приводит к очень высокой вероятности деформации и означает, что эти способы не могут быть применены в случае составных деталей, которые часто также содержат составляющие, которые плавятся при низких температурах. Составные детали, поэтому, должны быть отделены, прежде чем их повторно обработают, в результате чего, в общем, повторная обработка вряд ли является экономичной, и проводится только переработка материала, из которого детали выполнены (сдача в лом).
Кроме того, в случае вакуумного плазменного напыления, примеси вольфрама и меди, которые появляются из-за применения электродов, вводятся в покрытие, что, как правило, является нежелательным. В случае, например, применения покрытий из тантала или ниобия для защиты от коррозии такие примеси уменьшают защитный эффект покрытия путем образования так называемых микрогальванических элементов.
Кроме того, такие способы являются способами металлургии расплавов, которые всегда охватывают неотъемлемые их недостатки, такие как, например, однонаправленный рост зерна. Это происходит, в частности, в способах с использованием лазера, где подходящий порошок наносят на поверхность и расплавляют посредством луча лазера. Следующей проблемой является пористость, которая может наблюдаться, в частности, когда металлический порошок сначала наносят и впоследствии расплавляют посредством теплового источника. В международной заявке WO 02/064287 были сделаны попытки решить эти проблемы путем просто плавления частиц порошка, посредством луча энергии, такого как, например, лазерные лучи, и спекания их. Однако результаты не всегда удовлетворительные, и требуются высокие затраты относительно оборудования, и остаются проблемы, связанные с введением уменьшенного, но тем не менее высокого количества энергии в составной элемент.
Международная заявка WO-A-03/106051 раскрывает способ и устройство для холодного напыления при низком давлении. В этом способе слой частиц порошка наносят в газе, по существу, при температурах окружающей среды, на обрабатываемое изделие. Способ осуществляют в среде с низким окружающим давлением, которое ниже, чем атмосферное давление, для того чтобы ускорить распыляемые частицы порошка. С помощью этого способа слой порошка образуется на обрабатываемом изделии.
Европейская заявка на патент ЕР-А-1382720 раскрывает другой способ и устройство для холодного напыления при низком давлении. В этом способе объект, на который наносят покрытие, и холодный пистолет-распылитель помещают вовнутрь вакуумной камеры с давлением ниже 80 кПа. С помощью этого способа обрабатываемое изделие покрывается порошком.
Принимая во внимание этот известный уровень техники, целью, по этой причине, являлось предоставить новый способ покрытия субстратов, который отличается введением небольшого количества энергии, низкими затратами относительно оборудования и широкой применимостью для различных носителей и покрывающих веществ и в котором наносимый металл не расплавляют в процессе обработки.
Другой целью данного изобретения было предоставление нового способа приготовления плотных и устойчивых к коррозии покрытий, особенно покрытий из тантала, которые обладают низким содержанием примесей, предпочтительно низким содержанием примесей кислорода и азота, слои которых являются весьма подходящими для применения, в качестве защитного слоя от коррозии, особенно на оборудовании химических установок.
Цель данного изобретения достигается путем нанесения необходимого тугоплавкого металла на требуемую поверхность с помощью способа согласно пункту 1 формулы изобретения.
Существуют в целом подходящие для этой цели способы, в которые в отличие от традиционных способов теплового напыления (газопламенного, плазменного, высокоскоростного газопламенного, электродугового, вакуумного плазменного, плазменного напыления при низком давлении) и наплавки не предполагают никакого плавления покрывающего вещества тепловой энергией, произведенной в устройстве для нанесения покрытия. Контакта с пламенем или газообразными продуктами сгорания необходимо избегать, потому что это может вызвать окисление частиц порошка и, следовательно, содержание кислорода в конечных покрытиях возрастает.
Эти способы известны специалистам в данной области техники, как, например, холодное газовое распыление, низкотемпературные способы напыления, холодное газовое динамическое распыление, кинетическое напыление, и описаны, например, в европейской заявке на патент ЕР-А-484533. Также подходящим в соответствии с изобретением является способ, описанный в немецкой заявке на патент DE-A-10253794.
Так называемый низкотемпературный способ напыления или кинетический способ напыления являются особенно подходящими согласно настоящему изобретению; способ холодного напыления, который описывается в европейской заявке на патент ЕР-А-484533, является особенно подходящим, и это описание изобретения включено здесь в качестве ссылки.
Соответственно, существует преимущественно применяемый способ нанесения покрытий на поверхности, в котором поток газа формирует газопорошковую смесь с порошком вещества, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, смесей, по меньшей мере, двух из них или их сплавов друг с другом или с другими металлами, порошок имеет размер частиц от 0.5 до 150 мкм, в котором сверхзвуковая скорость сообщается газовому потоку и образуется сильная струя со сверхзвуковой скоростью, которая обеспечивает скорость порошка в газопорошковой смеси от 300 до 2000 м/с, предпочтительно от 300 до 1200 м/с, и струя направляется на поверхность объекта.
Частицы металлического порошка, ударяющие поверхность объекта, формируют покрытие, причем частицы очень значительно деформируются.
Частицы порошка преимущественно присутствуют в струе в количестве, которое обеспечивает плотность расхода частиц от 0.01 до 200 г/с см2, предпочтительно от 0.01 до 100 г/с см2, очень предпочтительно от 0.01 до 20 г/с см2 или самое предпочтительное от 0.05 до 17 г/с см2.
Плотность расхода рассчитывают в соответствии с формулой F=m/(π/4·D2), где F = плотность расхода, D = поперечное сечение насадки, m = скорость подачи порошка. Скорость подачи порошка, например, 70 г/мин = 1.1667 г/с, является типичным примером скорости подачи порошка.
При низком D, значения ниже 2 мм, значения явно больше чем 20 г/с см2 могут быть достигнуты. В этом случае F может легко принять значения 50 г/с см2 или даже более высокие при более высоких скоростях поставки порошка.
В качестве газа, с которым порошок металла образует газопорошковую смесь, обычно применяют инертный газ, такой как аргон, неон, гелий, азот или смеси двух или более из них. В особенных случаях воздух может также быть применен. Если нормы безопасности удовлетворяются, также использование водорода или смесей водорода с другими газами может быть применено.
В предпочтительном варианте способа напыление включает стадии:
- расположение распыляющего отверстия в непосредственной близости от поверхности, подлежащей покрытию;
- подвод к распыляющему отверстию порошка измельченного вещества, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, смесей, по меньшей мере, двух из них или сплавов из них друг с другом или с другими металлами, причем порошок имеет размер частиц от 0.5 до 150 мкм, и вышеупомянутый порошок находится под давлением;
- подвод инертного газа под давлением к распыляющему отверстию, для того чтобы установить статическое давление в распыляющем отверстии, и обеспечение напыления вышеупомянутого измельченного вещества и газа на поверхность, подлежащую покрытию; и
- расположение распыляющего отверстия в области низкого окружающего давления, которое составляет менее чем 1 атмосфера и которое, по существу, меньше, чем статическое давление в распыляющем отверстии, для того, чтобы обеспечить существенное ускорение напыления вышеупомянутого измельченного вещества и газа на вышеупомянутую поверхность, подлежащую покрытию.
В другом предпочтительном варианте способа напыление выполняют с помощью холодного пистолета-распылителя, и объект, подлежащий покрытию, и холодный пистолет-распылитель располагают внутри вакуумной камеры при давлениях ниже 80 кПа, предпочтительно между 0.1 и 50 кПа и самое предпочтительное между 2 и 10 кПа. Следующие предпочтительные варианты осуществления изобретения могут быть обнаружены в формуле изобретения.
В общем, тугоплавкий металл имеет чистоту 99% или более, например 99.5%, или 99.7%, или 99.9%.
Тугоплавкий металл по настоящему изобретению предпочтительно имеет чистоту, по меньшей мере, 99.95%, относительно металлических примесей, особенно, по меньшей мере, 99.995% или, по меньшей мере, 99.999%, в частности, по меньшей мере, 99.9995%. Если сплав применяют вместо одиночного тугоплавкого металла, тогда, по меньшей мере, тугоплавкий металл, однако предпочтительнее сплав, в целом имеет такую чистоту, чтобы соответствующее весьма чистое покрытие могло быть получено.
Кроме того, порошок металла имеет содержание кислорода меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500, или меньше чем 300, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
Особенно подходящие порошки тугоплавких металлов имеют чистоту, по меньшей мере, 99.7%, преимущественно, по меньшей мере, 99.9%, в частности 99.95%, и содержание меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500 чнм кислорода, или меньше чем 300 чнм кислорода, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
Особенно подходящие порошки тугоплавких металлов имеют чистоту, по меньшей мере, 99.95%, в частности, по меньшей мере, 99.995%, и содержание меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500 чнм кислорода, или меньше чем 300 чнм кислорода, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм. Особенно подходящие порошки тугоплавких металлов имеют чистоту, по меньшей мере, 99.999%, в частности, по меньшей мере, 99.9995%, и содержание меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500 чнм кислорода, или меньше чем 300 чнм кислорода, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
Во всех вышеупомянутых порошках общее содержание других неметаллических примесей, таких как углерод, азот или водород, преимущественно должно быть меньше чем 500 чнм, предпочтительно меньше чем 150 чнм.
В частности, содержание кислорода составляет преимущественно 50 чнм или меньше, содержание азота составляет 25 чнм или меньше, и содержание углерода составляет 25 чнм или меньше.
Содержание металлических примесей составляет преимущественно 500 чнм или меньше, предпочтительно 100 чнм или меньше и самое предпочтительное 50 чнм или меньше, в частности 10 чнм или меньше.
Подходящими порошками металлов являются, например, порошки многих тугоплавких металлов, которые также подходят для производства конденсаторов.
Порошки таких металлов могут быть получены путем восстановления соединения тугоплавкого металла восстанавливающим агентом и предпочтительно последующим раскислением. Оксид вольфрама или оксид молибдена, например, восстанавливают в потоке водорода при повышенной температуре. Приготовление описывается, например, в статье "Tungsten", Schubert, Lassner, Kluwer Academic/Plenum Publishers, New York, 1999 или "Handbuch der Praparetiven Anorganischen Chemie" Brauer Ferdinand Enke Verlag Stuttgart, 1981, стр.1530.
В случае тантала или ниобия приготовление, в большинстве случаев, осуществляют восстановлением щелочным или щелочноземельным металлом гептафторотанталатов щелочных металлов или гептафторотанталатов щелочноземельных металлов или оксидов, таких как, например, гептафторотанталат натрия, гептафторотанталат калия, гептафторониобат натрия или гептафторониобат калия. Восстановление может быть осуществлено в расплавленной соли с добавлением, например, натрия или в газовой фазе, причем преимущественно применяются пары кальция и магния. Также возможно смешивать соединение тугоплавкого металла с щелочным или щелочноземельным металлом и нагревать смесь. Атмосфера водорода может быть эффективна. Большое число подходящих способов известно специалистам в данной области техники, какими являются способы, из параметров которых подходящие условия реакции могут быть выбраны. Подходящие способы описаны, например, в патенте США US 4483819 и международной заявке WO 98/37249.
После восстановления предпочтительно выполняют раскисление. Это может быть осуществлено, например, путем смешения порошка тугоплавкого металла с магнием (Mg), кальцием (Са), барием (Ва), лантаном (L), иттрием (Y) или церием (Се) и затем нагревания или путем нагревания тугоплавкого металла в присутствии газопоглотителя в атмосфере, что позволяет кислороду проходить из порошка металла в газопоглотитель. Порошок тугоплавкого металла в большинстве случаев затем освобождают от солей раскисляющих агентов, применяя кислоту и воду, и высушивают.
Было предпочтительнее, если можно было поддерживать количество металлических примесей низким при применении металлов для уменьшения содержания кислорода.
Следующий способ получения чистого порошка, имеющего низкое содержание кислорода, заключается в восстановлении гидрида тугоплавкого металла, применяя щелочноземельный металл, в качестве восстанавливающего агента, как раскрыто, например, в международной заявке WO 01/12364 и европейской заявке на патент ЕР-А-1200218.
Толщина покрытия обычно составляет более чем 0.01 мм. Предпочтительными являются слои с толщиной между 0.05 и 10 мм, более предпочтительны слои с толщиной между 0.05 и 5 мм, еще более предпочтительны слои с толщиной между 0.05 и 1 мм, еще более предпочтительны слои с толщиной между 0.05 и 0.5 мм. Толщина может быть также большей, как например, от 3 до 50 мм, или от 5 до 45 мм, или от 8 до 40 мм, или от 10 до 30 мм, или от 10 до 20 мм, или от 10 до 15 мм.
Содержания примесей и кислорода в полученных покрытиях не должны отклоняться более чем на 50% и, предпочтительно, не более чем на 20% от содержаний в порошке.
Преимущественно, это может быть достигнуто путем покрытия поверхности субстрата в атмосфере инертного газа. В качестве инертного газа преимущественно применяют аргон, поскольку, имея более высокую плотность, чем плотность воздуха, он стремится покрыть объект, подлежащий покрытию, и остаться на нем, в частности, когда поверхность, подлежащую покрытию, размещают в сосуде, который не позволяет аргону выделиться или утечь, или когда постоянно пополняется количество аргона.
Нанесенные покрытия в соответствии с изобретением имеют высокую чистоту и низкое содержание кислорода. Преимущественно, эти покрытия имеют содержание кислорода меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500, или меньше чем 300, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
Покрытия обычно проявляют сжимающее напряжение σ. Обычно сжимающее напряжение составляет от около -1000 МПа до 0 МПа, или от -700 Мпа до 0 МПа, или от -500 МПа до 0 МПа, или от -400 МПа до 0 МПа, или от -300 МПа до 0. Точнее говоря, сжимающее напряжение составляет от -200 МПа до -1000 МПа, или от -300 МПа до -700 МПа, или от -300 МПа до -500 МПа.
В общем, более низкое содержание кислорода в применяемом порошке приводит к слоям, проявляющим более низкое сжимающее напряжение, например слой, напыленный порошком, имеющим содержание кислорода 1400 чнм, будет обычно приводить к слою, проявляющему сжимающее напряжение около -970 МПа ±50 МПа, и слой, напыленный порошком, имеющим содержание кислорода 270 чнм, будет обычно приводить к слою, проявляющему сжимающее напряжение около -460 МПа ±50 МПа, более предпочтительно -400 МПа ±50 МПа.
Напротив этому, слои, полученные с помощью плазменного напыления, приводят к слоям, не проявляющим сжимающее напряжение вообще, но проявляющим растягивающее напряжение.
В частности, эти покрытия имеют чистоту, по меньшей мере, 99,7%, преимущественно, по меньшей мере, 99.9%, в частности, по меньшей мере, 99.95%, и содержание кислорода меньше чем 1000 чнм, или меньше чем 500 чнм, или меньше чем 300 чнм кислорода, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
В частности, эти покрытия имеют чистоту, по меньшей мере, 99.95%, в частности, по меньшей мере, 99.995%, и содержание меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500 чнм кислорода, или меньше чем 300 чнм кислорода, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
В частности, эти покрытия имеют чистоту, по меньшей мере, 99.999%, в частности, по меньшей мере, 99.9995%, и содержание меньше чем 1000 чнм кислорода, или меньше чем 500 чнм кислорода, или меньше чем 300 чнм кислорода, в частности содержание кислорода меньше чем 100 чнм.
Покрытия согласно настоящему изобретению имеют общее содержание других неметаллических примесей, таких как углерод, азот или водород, которые преимущественно ниже 500 чнм и более предпочтительно ниже 150 чнм.
Нанесенное покрытие имеет содержание газообразных примесей, которое отличается не более чем на 50%, или не более чем на 20%, или не более чем нам 10%, или не более чем на 5%, или не более чем на 1%, от содержания в исходном порошке, с помощью которого это покрытие было получено. Термин «отличается» должен пониматься как означающий, в частности, увеличение; конечные покрытия должны, поэтому, преимущественно иметь содержание газообразных примесей, которое не более чем на 50% больше, чем содержание в исходном порошке.
Нанесенное покрытие предпочтительно имеет содержание кислорода, которое отличается не более чем на 5%, в частности не более чем на 1%, от содержания кислорода в исходном порошке.
Общее содержание других неметаллических примесей, таких как углерод, азот или водород, в покрытии согласно изобретению составляет преимущественно меньше чем 500 чнм и самое предпочтительное меньше чем 150 чнм. С помощью способа настоящего изобретения слои с более высокими содержаниями примесей могут также быть получены.
В частности, содержание кислорода составляет преимущественно 50 чнм или меньше, содержание азота 25 чнм или меньше и содержание углерода 25 чнм или меньше.
Содержание металлических примесей составляет преимущественно 50 чнм или меньше, в частности 10 чнм или меньше.
В преимущественном варианте осуществления изобретения покрытия, кроме того, имеют плотность, по меньшей мере, 97%, предпочтительно больше чем 98%, в частности больше чем 99% или 99.5%. 97% плотность слоя означает, что слой имеет плотность 97% вещества в объеме. Плотность покрытия является здесь мерой внутренней природы и пористости покрытия. Закрытое, по существу беспористое покрытие всегда имеет плотность более чем 99.5%. Плотность может быть определена либо путем анализа изображения поперечного сечения (сечения участка) такого покрытия, или, альтернативно, с помощью гелиевого пикометра. Последний метод является менее предпочтительным, потому что, в случае очень плотных покрытий, поры, имеющиеся в покрытиях, которые более удалены от поверхности, не определяются, и пористость, следовательно, измеряется более низкой, чем фактически существует. Посредством анализа изображения плотность может быть определена путем сначала определения общей исследуемой площади покрытия на поле изображения микроскопа и отнесения этой площади к площадям пор. В этом способе поры, которые расположены далеко от поверхности и близко к границе раздела с субстратом, также определяются. Высокая плотность, по меньшей мере, 97%, предпочтительно больше чем 98%, в частности больше чем 99% или 99.5%, важна во многих способах покрытия.
Покрытия показывают высокую механическую прочность, которая вызывается их высокой плотностью и высокой деформацией частиц. В случае тантала, поэтому, прочности составляют, по меньшей мере, 80 МПа, более предпочтительно, по меньшей мере, 100 МПа, самое предпочтительное 140 МПа, когда азот применяют в качестве газа, с которым порошок металла образует газопорошковую смесь. Если применяют гелий, прочность обычно составляет, по меньшей мере, 150 МПа, предпочтительно, по меньшей мере, 170 МПа, самое предпочтительное, по меньшей мере, 200 МПа и самое предпочтительное больше чем 250 МПа.
Хотя покрытия согласно изобретению показывают высокие плотности и низкие пористости, покрытия имеют морфологию, ясно показывающую, что она была получена из дискретных частиц. Можно видеть примеры, например, на Фиг.1-7. Таким образом, покрытия согласно изобретению, подобно покрытиям, полученным гальваническими процессами, могут быть отличимыми от покрытий, полученных другими методами. Характерная черта также позволяет отличать покрытия согласно изобретению от покрытий, полученных путем плазменного напыления.
Изделия, которые подлежат покрытию способом настоящего изобретения, не ограничены. Вообще все изделия, которые нуждаются в покрытии, предпочтительно в покрытии, защищающем от коррозии, могут применяться. Эти изделия могут быть изготовлены из металлического и/или керамического материала и/или пластического материала или могут содержать элементы из этих материалов. Предпочтительно покрывают поверхности материалов, которые подвергаются удалению вещества, например, при изнашивании, коррозии, окислении, травлении, обработке или других деформирующих процессах.
Предпочтительно с помощью способа настоящего изобретения покрывают поверхности материалов, которые применяют в коррозирующем окружении, например в химических процессах, в медицинских приборах или в имплантатах. Примерами оборудования или деталей, которые подлежат покрытию, являются детали, применяемые в химических установках, или в лабораторных или в медицинских приборах, или в качестве имплантатов, такие как реакционные сосуды или смесители, мешалки, заглушки, измерительные каналы для ввода термопар, предохранительные диски, держатели предохранительного диска, теплообменники (кожух и/или трубка), трубопроводы, клапаны, корпуса клапана и части насоса.
Предпочтительно, с помощью способа настоящего изобретения покрывают изделия, которые не являются мишенями ионного распыления или анодами рентгеновского луча.
Покрытия, полученные с помощью способа настоящего изобретения, предпочтительно применяют для защиты от коррозии.
Данное изобретение, поэтому, относится также к изделиям, сделанным из металлического и/или керамического материала и/или пластического материала, содержащим, по меньшей мере, одно покрытие, состоящее из тугоплавких металлов: ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, или смесей двух или более из них, или сплавов двух или более из них, или сплавов с другими металлами, где покрытие имеет вышеупомянутые свойства.
Такие покрытия являются, в частности, покрытиями из тантала или ниобия.
Предпочтительно слои вольфрама, молибдена, титана, циркония, или смесей двух или более из них, или сплавов двух или более из них, или сплавов с другими металлами, очень предпочтительно, слои из тантала или ниобия, наносятся с помощью холодного напыления на поверхность субстрата, подлежащую покрытию. Неожиданно было обнаружено, что с помощью вышеупомянутых порошков или смесей порошков, предпочтительно с помощью порошков тантала или ниобия, обладающих пониженным содержанием кислорода, например, содержанием кислорода ниже 1000 чнм, могут быть получены с помощью холодного напыления слои с очень высокой долей осаждения более чем 90%. В вышеупомянутых слоях, полученных холодным напылением, содержание кислорода в металле является почти неизмененным, по сравнению с содержанием кислорода в порошках. Эти слои, полученные с помощью холодного напыления, показывают значительно более высокие плотности, чем слои, полученные с помощью плазменного напыления или с помощью вакуумного напыления. Более того, эти слои, полученные холодным напылением, могут быть получены без какой-либо или с небольшой текстурой, в зависимости от свойств порошка и параметров покрытия. Эти слои, полученные холодным напылением, также являются объектом данного изобретения.
Подходящие порошки металлов для применения в способах согласно изобретению являются также порошками металлов, которые состоят из сплавов, псевдосплавов или смесей порошков тугоплавких металлов с подходящими нетугоплавкими металлами.
Таким образом, возможно покрыть поверхности субстратов, сделанные из того же самого сплава или псевдосплава.
Эти покрытия включают главным образом сплавы, псевдосплавы или смеси порошков тугоплавкого металла, выбранного из группы, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония или смесей двух или более из них, с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра или золота. Такие порошки, относящиеся к предшествующему уровню техники, в принципе известны специалистам в данной области техники и описаны, например, в европейских заявках на патент ЕР-А-774315 и ЕР-А-1138420.
Они могут быть получены традиционными способами; например, смеси порошков получаются предварительной обработкой порошков металлов путем гомогенного перемешивания, причем перемешивание возможно осуществлять, с одной стороны, перед применением в методе, соответствующем изобретению, или, альтернативно, в ходе получения газопорошковой смеси. Порошки сплавов в большинстве случаев доступны благодаря плавлению и смешению компонентов сплава. В соответствии с изобретением могут быть применены в качестве порошков сплавов также так называемые порошки пре-сплавов. Эти порошки являются порошками, которые получают путем смешения соединений, таких как, например, соли, оксиды и/или гидриды компонентов сплавления, и затем восстановления их, так что получают однородные смеси металлов, о которых идет речь. Кроме того, возможно согласно настоящему изобретению применять псевдосплавы. Псевдосплавы понимаются как вещества, которые получают не с помощью традиционной металлургии расплавов, но, например, путем измельчения, спекания или впитывания.
Известными веществами являются, например, сплавы вольфрам/медь или смеси вольфрам/медь, свойства которых известны и включены здесь посредством примера:
Тип | Плотность (г/см3) | НВ (число твердости по Бринеллю) (МПа) | Удельная электропроводность (% МАКО) | Коэффициент теплового расширения (чнм/К) | Теплопроводность (Вт/м·К) |
WCu10 | 16.8-17.2 | ≥2550 | >27 | 6.5 | 170-180 |
WCul5 | 16.3 | 7.0 | 190-200 | ||
WCu20 | 15.2-15.6 | ≥2160 | >34 | 8.3 | 200-220 |
WCu25 | 14.5-15.0 | ≥1940 | >38 | 9.0 | 220-250 |
WCu30 | 13.8-14.4 | ≥1720 | >42 |
Также известными являются сплавы молибден-медь или смеси молибден-медь, в таких же соотношениях, как указано выше.
Также известными являются сплавы молибден-серебро или смеси молибден-серебро, которые содержат, например, 10, 40 или 65%, по весу, молибдена.
Также известными являются сплавы вольфрам-серебро или смеси вольфрам-серебро, которые содержат, например, 10, 40 или 65%, по весу, вольфрама.
Эти вещества могут быть применены, например, в тепловых трубках, холодильниках или, в общем, в системах управления температурой.
Также возможно применять сплавы вольфрам-рений, или смеси, или порошок металла, который является сплавом, имеющим следующий состав:
от 94 до 99%, по весу, предпочтительно от 95 до 97%, по весу, молибдена, от 1 до 6%, по весу, предпочтительно от 2 до 4%, по весу, ниобия, от 0.05 до 1%, по весу, предпочтительно от 0.05 до 0.02%, по весу, циркония.
Эти сплавы, подобно чистым порошкам тугоплавких металлов, имеющим чистоту, по меньшей мере, 99.95%, могут применяться в рецикле или производстве мишеней ионного распыления, посредством напыления холодным газом.
Вещества, подходящие для способов настоящего изобретения, перечислены в Таблицах 1-15. Индивидуальные вещества обозначены номером таблицы, за которым следует номер комбинации компонентов и количества нетугоплавкого металла, как в Таблице 1. Например, вещество 22.005 является веществом, описанным в Таблице 22, причем точный состав определяется нетугоплавким металлом и его количеством, как указано в Таблице 1, пункте №5.
Подходящие сплавы ниобия включены в Таблицу 1.
Таблица 1 | |||
No. | Тугоплавкий металл | Нетугоплавкий металл | Количество нетугоплавкого металла (% по весу) |
1.001 | Ниобий | Кобальт | 2-5 |
1.002 | Ниобий | Никель | 2-5 |
1.003 | Ниобий | Родий | 2-5 |
1.004 | Ниобий | Палладий | 2-5 |
1.005 | Ниобий | Платина | 2-5 |
1.006 | Ниобий | Медь | 2-5 |
1.007 | Ниобий | Серебро | 2-5 |
1.008 | Ниобий | Золото | 2-5 |
1.009 | Ниобий | Кобальт | 5-10 |
1.010 | Ниобий | Никель | 5-10 |
1.011 | Ниобий | Родий | 5-10 |
1.012 | Ниобий | Палладий | 5-10 |
1.013 | Ниобий | Платина | 5-10 |
1.014 | Ниобий | Медь | 5-10 |
1.015 | Ниобий | Серебро | 5-10 |
1.016 | Ниобий | Золото | 5-10 |
1.017 | Ниобий | Кобальт | 10-15 |
1.018 | Ниобий | Никель | 10-15 |
1.019 | Ниобий | Родий | 10-15 |
1.020 | Ниобий | Палладий | 10-15 |
1.021 | Ниобий | Платина | 10-15 |
1.022 | Ниобий | Медь | 10-15 |
1.023 | Ниобий | Серебро | 10-15 |
1.024 | Ниобий | Золото | 10-15 |
1.025 | Ниобий | Кобальт | 15-20 |
1.026 | Ниобий | Никель | 15-20 |
1.027 | Ниобий | Родий | 15-20 |
1.028 | Ниобий | Палладий | 15-20 |
1.029 | Ниобий | Платина | 15-20 |
1.030 | Ниобий | Медь | 15-20 |
1.031 | Ниобий | Серебро | 15-20 |
1.032 | Ниобий | Золото | 15-20 |
1.033 | Ниобий | Кобальт | 20-25 |
1.034 | Ниобий | Никель | 20-25 |
1.035 | Ниобий | Родий | 20-25 |
1.036 | Ниобий | Палладий | 20-25 |
1.037 | Ниобий | Платина | 20-25 |
1.038 | Ниобий | Медь | 20-25 |
1.039 | Ниобий | Серебро | 20-25 |
1.040 | Ниобий | Золото | 20-25 |
1.041 | Ниобий | Кобальт | 25-30 |
1.042 | Ниобий | Никель | 25-30 |
1.043 | Ниобий | Родий | 25-30 |
1.044 | Ниобий | Палладий | 25-30 |
1.045 | Ниобий | Платина | 25-30 |
1.046 | Ниобий | Медь | 25-30 |
1.047 | Ниобий | Серебро | 25-30 |
1.048 | Ниобий | Золото | 25-30 |
Таблица 2: Таблица 2 состоит из 48 сплавов, причем тугоплавким металлом является тантал вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 3: Таблица 3 состоит из 48 сплавов, причем тугоплавким металлом является вольфрам вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 4: Таблица 4 состоит из 48 сплавов, причем тугоплавким металлом является молибден вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 5: Таблица 5 состоит из 48 сплавов, причем тугоплавким металлом является титан вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 6: Таблица 6 состоит из 48 псевдосплавов, причем тугоплавким металлом является тантал вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 7: Таблица 7 состоит из 48 псевдосплавов, причем тугоплавким металлом является вольфрам вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 8: Таблица 8 состоит из 48 псевдосплавов, причем тугоплавким металлом является молибден вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 9: Таблица 9 состоит из 48 псевдосплавов, причем тугоплавким металлом является титан вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 10: Таблица 10 состоит из 48 смесей порошков, причем тугоплавким металлом является тантал вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 11: Таблица 11 состоит из 48 смесей порошков, причем тугоплавким металлом является вольфрам вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 12: Таблица 12 состоит из 48 смесей порошков, причем тугоплавким металлом является молибден вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 13: Таблица 13 состоит из 48 смесей порошков, причем тугоплавким металлом является титан вместо ниобия, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 14: Таблица 14 состоит из 48 псевдосплавов, причем тугоплавким металлом является ниобий, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Таблица 15: Таблица 15 состоит из 48 смесей порошков, причем тугоплавким металлом является ниобий, и нетугоплавкий металл и количество его, в процентах по весу, являются такими, как указано в Таблице 1.
Также подходящими для применения в способах настоящего изобретения являются порошки металлов, которые состоят из сплавов, псевдосплавов и смесей порошков различных тугоплавких металлов друг с другом.
Например, сплавы молибдена и титана в соотношении 50:50, атомных процентов, или сплавы вольфрама и титана в количестве около 90:10 процентов по весу известны и подходят для применения в способах настоящего изобретения. В принципе, тем не менее, все сплавы тугоплавких металлов с другим тугоплавким металлом подходят для применения в способах настоящего изобретения.
Двойные сплавы, псевдосплавы и смеси порошков тугоплавких металлов, которые подходят для способов настоящего изобретения, включены в Таблицы 16-36. Индивидуальные вещества обозначены номером таблицы, за которым следует номер комбинации компонентов, как в Таблице 16. Например, вещество 22.005 является веществом, описанным в Таблице 22, причем точный состав определяется тугоплавкими металлами, которые указаны в Таблице 16, в положении №5, и количеством, как указано в Таблице 22.
Таблица 16 | ||
Компонент 1 | Компонент 2 | |
16.001 | Nb | Та |
16.002 | Nb | W |
16.003 | Nb | Мо |
16.004 | Nb | Ti |
16.005 | Та | Nb |
16.006 | Та | W |
16.007 | Та | Мо |
16.008 | Та | Ti |
16.009 | W | Та |
16.010 | W | Nb |
16.011 | W | Мо |
16.012 | W | Ti |
16.013 | Мо | Та |
16.014 | Мо | Nb |
16.015 | Мо | W |
16.016 | Мо | Ti |
16.017 | Ti | Та |
16.018 | Ti | Nb |
16.019 | Ti | W |
16.020 | Ti | Mo |
Таблица 17: Таблица 17 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 2-5% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 18: Таблица 18 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 5-10% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 19: Таблица 19 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 10-15% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 20: Таблица 20 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 15-20% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 21: Таблица 21 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 20-25% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 22: Таблица 22 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 25-30% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 23: Таблица 23 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 30-35% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 24: Таблица 24 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 35-40% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 25: Таблица 25 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 40-45% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 26: Таблица 26 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 45-50% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 27: Таблица 27 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 50-55% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 28: Таблица 28 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 55-60% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 29: Таблица 29 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 60-65% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 30: Таблица 30 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 65-70% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 31: Таблица 31 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 70-75% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 32: Таблица 32 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 75-80% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 33: Таблица 33 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 80-85% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 34: Таблица 34 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 85-90% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 35: Таблица 35 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 90-95% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Таблица 36: Таблица 36 состоит из 20 сплавов, псевдосплавов и смесей порошков, соответствующих Таблице 16, причем компонент 1 присутствует в количестве 95-99% по весу, компонент 2 присутствует в количестве до 100% по весу, и индивидуальные компоненты смеси указаны в Таблице 16.
Примеры
Приготовление порошка тантала
Порошок гидрида тантала смешали с 0.3% по весу магния и поместили в вакуумную печь. Из печи откачали воздух и наполнили аргоном. Давление составляло 860 Торр, поток аргона поддерживался. Температуру печи поднимали до 650°С ступенчато по 50°С, после того как постоянная температура была установлена, она поддерживалась в течение четырех часов. Температуру печи поднимали затем до 1000°С ступенчато по 50°С, после того как постоянная температура была установлена, она поддерживалась в течение шести часов. В конце этого времени печь выключили и охладили до комнатной температуры в атмосфере аргона. Магний и конечные соединения удалили обычным способом, с помощью промывания кислотой. Конечный порошок тантала имел размер частиц - 100 меш (150 мкм), содержание кислорода 77 чнм и площадь удельной поверхности 255 см2/г (определена с применением метода Брункера, Эммета и Теллера-BET).
Приготовление порошка титана
Порядок действий был такой же, как для приготовления порошка тантала. Был получен порошок титана, имеющий содержание кислорода 93 чнм.
Приготовление порошка из предварительно приготовленного сплава титан/тантал
Смесь порошка гидрида тантала и порошка гидрида титана в молярном отношении 1:1 была приготовлена и была смешена с 0.3%, по весу, магния; затем следовали порядку действий, такому же, как при приготовлении порошка тантала. Был получен порошок титан/тантал, имеющий содержание кислорода 89 чнм.
Производство покрытий
Получили покрытия из тантала и ниобия. Применяемым порошком тантала был AMPERIT® 150.090 и применяемым порошком ниобия был AMPERIT® 160.090, оба из которых являются доступными у Х.К.Старку GmbH, в Госларе. Применялась насадка типа МОС 29, приобретенная коммерческим путем у компании CGT GmbH, в Ампфинге.
Субстраты: Субстраты были помещены подряд на держатель образца и покрыты при указанных условиях тестирования. Описание субстратов изложено ниже.
Цифра вначале показывает число идентичных субстратов, расположенных друг за другом. Следующая буква указывает, был ли применен плоский образец (F) или круглый образец (R, трубка). Следующие буквы означают материал, причем Та означает тантал, S означает конструкционную сталь и V - нержавеющую сталь (хромоникелевую сталь).
Были получены очень прочные и плотные покрытия, которые показывают низкую пористость и превосходные качества сцепления с используемым субстратом. Расход составлял от 11 до 21 г/с см2.
Фиг.1-10 показывают изображения поперечного сечения конечных танталовых покрытий, полученные с помощью оптического микроскопа. Никакие включения меди или вольфрама не обнаруживаются, как происходит с соответствующими слоями, полученными с помощью вакуумного плазменного напыления. Определение пористости было выполнено автоматически, с помощью программы анализа изображения ImageAccess.
Фиг.1: Невытравленное поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ гелий.
Фиг.2: Невытравленное поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ гелий, общее представление изображения с низким увеличением.
Фиг.3: Поперечное сечение покрытия из тантала, вытравленное фтороводородной кислотой, технологический газ гелий, общее представление изображения с низким увеличением.
Фиг.4: Поперечное сечение покрытия из тантала, вытравленное фтороводородной кислотой, технологический газ гелий.
Фиг.5: Участок изображения, примененный для определения пористости, поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ гелий.
Фиг.6: Поперечное сечение покрытия из тантала, вытравленное фтороводородной кислотой, граница раздела с субстратом, технологический газ гелий.
Фиг.7: Невытравленное поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ азот, общее представление изображения с низким увеличением.
Фиг.8: Невытравленное поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ азот.
Фиг.9: Участок изображения, примененный для определения пористости, поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ азот.
Фиг.10: Невытравленное поперечное сечение покрытия из тантала, технологический газ азот, высокое увеличение.
Claims (23)
1. Способ нанесения покрытия, предназначенного для защиты от коррозии, от износа или для применения в системах управления температурой на поверхность изделия из металла, и/или керамического материала, и/или из пластического материала, или из материала, содержащего элементы из, по меньшей мере, одного из этих материалов, в котором получают газопорошковую смесь из газового потока и порошка вещества с чистотой 99% или более и содержанием кислорода меньше чем 1000 чнм, выбранного из группы тугоплавких металлов, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, или смесей, по меньшей мере, двух из них, или смесей одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота, или их сплавов с, по меньшей мере, двумя из них, или сплавов одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота, или сплава вольфрам-рений или псевдосплавов одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота, при этом порошок имеет размер частиц от 0,5 до 150 мкм и сверхзвуковую скорость сообщают газовому потоку, и реактивная струя со сверхзвуковой скоростью направляется на поверхность изделия.
2. Способ по п.1, в котором порошок добавляют к газовому потоку в таком количестве, что обеспечивается плотность расхода частиц от 0,01 до 200 г/с см2, предпочтительно от 0,01 до 100 г/с см2, более предпочтительно от 0,01 до 20 г/с см2 или наиболее предпочтительно от 0,05 до 17 г/с см2.
3. Способ по п.1, в котором порошок вещества и инертный газ подают под давлением к распыляющему отверстию для установления статического давления в распыляющем отверстии и обеспечения напыления газопорошковой смеси на поверхность, подлежащую покрытию, при этом распыляющее отверстие располагают в области низкого окружающего давления, которое составляет менее чем 1 атмосферу, и которое меньше, чем статическое давление в распыляющем отверстии, что обеспечивает ускорение напыления газопорошковой смеси на вышеупомянутую поверхность, подлежащую покрытию.
4. Способ по п.1, в котором нанесение покрытия на поверхность осуществляют пистолетом для распыления способом холодного нанесения при давлениях ниже 80 кПа, предпочтительно между 0,1 и 50 кПа и наиболее предпочтительно между 2 и 10 кПа, при этом изделие, подлежащее покрытию, и пистолет расположены внутри вакуумной камеры.
5. Способ по п.1, в котором скорость порошка вещества в газопорошковой смеси составляет от 300 до 2000 м/с, предпочтительно от 300 до 1200 м/с.
6. Способ по п.1, в котором частицы порошка, ударяющиеся о поверхность изделия, образуют покрытие.
7. Способ по п.1, в котором наносят покрытие, имеющее размер частиц от 5 до 150 мкм, предпочтительно от 10 до 50, или от 10 до 32 мкм, или от 10 до 38 мкм, или от 10 до 25 мкм, или от 5 до 15 мкм.
8. Способ по п.1, в котором порошок металла имеет газообразные примеси от 200 до 2500 чнм в расчете на вес.
9. Способ по п.1, в котором порошок металла имеет содержание кислорода меньше чем 500 чнм, или меньше чем 300 чнм, в частности, менее чем 100 чнм.
10. Способ по п.1, в котором наносят покрытие, имеющее содержание кислорода менее чем 1000 чнм, или менее чем 500 чнм, или менее чем 300 чнм, в частности, менее чем 100 чнм.
11. Способ по п.1, в котором наносят покрытие, имеющее содержание газообразных примесей, которое отличается, но не более чем на 50%, от содержания газообразных примесей в исходном порошке.
12. Способ по п.1, в котором наносят покрытие, имеющее содержание газообразных примесей, которое отличается, но не более чем на 20%, или не более чем на 10%, или не более чем на 5%, или не более чем на 1% от содержания газообразных примесей в исходном порошке.
13. Способ по п.1, в котором наносят покрытие, имеющее содержание кислорода, которое отличается, но не более чем на 5%, в частности не более чем на 1%, от содержания кислорода в исходном порошке.
14. Способ по п.1, в котором содержание кислорода в нанесенном покрытии составляет не более чем 100 чнм.
15. Способ, по п.9, в котором наносят металлическое покрытие, состоящее из тантала и ниобия.
16. Способ по п.1, в котором толщина покрытия составляет от 10 мкм до 10 мм или от 50 мкм до 5 мм.
17. Способ по любому из пп.1-16, в котором слои на поверхность изделия, подлежащего покрытию, наносят холодным напылением, предпочтительно наносят слои из тантала или ниобия.
18. Способ по п.17, в котором получают слои, имеющие содержание кислорода ниже 1000 чнм.
19. Способ по 1, в котором порошок металла представляет собой сплав, имеющий следующий состав: молибден от 94 до 99% по весу, предпочтительно от 95 до 97% по весу, ниобий от 1 до 6% по весу, предпочтительно от 2 до 4% по весу, цирконий от 0,05 до 1% по весу, предпочтительно от 0,05 до 0,02% по весу.
20. Способ по п.1, в котором порошок металла состоит из смеси порошка титана с порошком вольфрама или порошком молибдена.
21. Образованный способом холодного нанесения по любому из пп.1-20 слой вещества, выбранного из группы тугоплавких металлов, состоящей из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония или смесей двух или более из них, или сплавов двух или более из них, или сплавов одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота или сплава вольфрам-рений, нанесенный на поверхность изделия из металла, и/или керамического материала, и/или из пластического материала, или из материала, содержащего элементы из, по меньшей мере, одного из этих материалов, имеющий содержание кислорода ниже 1000 чнм.
22. Изделие из металла, и/или керамического материала, и/или из пластического материала, или из материала, содержащего элементы из, по меньшей мере, одного из этих материалов, с покрытием, характеризующееся тем, что оно содержит, по меньшей мере, один образованный способом холодного нанесения по любому из пп.1-20 слой, предназначенный для защиты от коррозии, от износа или для применения в системах управления температурой из тугоплавких металлов, выбранных из ниобия, тантала, вольфрама, молибдена, титана, циркония, смесей двух или более из них, или сплавов двух или более из них, или сплавов одного из упомянутых тугоплавких металлов с металлом, выбранным из группы, состоящей из кобальта, никеля, родия, палладия, платины, меди, серебра и золота или сплава вольфрам-рений, имеющий содержание кислорода ниже 1000 чнм.
23. Изделие с покрытием по п.22, характеризующееся тем, что оно является элементом химической установки или лабораторного или медицинского прибора, или имплантатом, предпочтительно реакционным сосудом и/или смесителем, мешалкой, заглушкой, измерительным каналом для ввода термопар, предохранительным диском, держателем предохранительного диска, теплообменником (кожухом и/или трубкой), трубопроводом, клапаном, корпусом клапана и частью насоса.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US67805705P | 2005-05-05 | 2005-05-05 | |
US60/678,057 | 2005-05-05 | ||
PCT/EP2006/003967 WO2006117144A1 (en) | 2005-05-05 | 2006-04-28 | Method for coating a substrate surface and coated product |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
RU2007144638A RU2007144638A (ru) | 2009-06-10 |
RU2434073C2 RU2434073C2 (ru) | 2011-11-20 |
RU2434073C9 true RU2434073C9 (ru) | 2012-12-27 |
Family
ID=36649589
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
RU2007144638/02A RU2434073C9 (ru) | 2005-05-05 | 2006-04-28 | Способ покрытия поверхности субстрата и продукт с нанесенным покрытием |
Country Status (14)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8802191B2 (ru) |
EP (1) | EP1880035B1 (ru) |
JP (1) | JP5065248B2 (ru) |
KR (1) | KR101342314B1 (ru) |
AU (1) | AU2006243447B2 (ru) |
BR (1) | BRPI0611539B1 (ru) |
CA (1) | CA2606478C (ru) |
IL (1) | IL187110A (ru) |
MX (1) | MX2007013600A (ru) |
NO (1) | NO20076124L (ru) |
RU (1) | RU2434073C9 (ru) |
TW (1) | TWI392768B (ru) |
WO (1) | WO2006117144A1 (ru) |
ZA (1) | ZA200709469B (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2583222C1 (ru) * | 2014-12-30 | 2016-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Способ получения наноструктурированных покрытий титан-никель-цирконий с эффектом памяти формы |
RU2792905C1 (ru) * | 2022-11-02 | 2023-03-28 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет", ФГБОУ ВО "СибГИУ" | Способ нанесения биоинертных покрытий на основе титана, ниобия, циркония, тантала и азота на титановые имплантаты |
Families Citing this family (39)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4904341B2 (ja) | 2005-05-05 | 2012-03-28 | ハー.ツェー.スタルク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | スパッタターゲット及びx線アノードを製造又は再処理するための被覆方法 |
PL201557B1 (pl) * | 2006-03-21 | 2009-04-30 | Andrzej Buchholz | Sposób eliminacji zjawisk frettingu i trybokorozji na powierzchni części maszyn bezpośrednio współpracujących ze sobą |
US20080078268A1 (en) * | 2006-10-03 | 2008-04-03 | H.C. Starck Inc. | Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof |
AU2007317650B2 (en) * | 2006-11-07 | 2012-06-14 | H.C. Starck Surface Technology and Ceramic Powders GmbH | Method for coating a substrate and coated product |
US20080145688A1 (en) * | 2006-12-13 | 2008-06-19 | H.C. Starck Inc. | Method of joining tantalum clade steel structures |
US20100316539A1 (en) * | 2007-01-17 | 2010-12-16 | Cleland Host Jonathan J | Wear Resistant Materials In The Direct Process |
US8197894B2 (en) | 2007-05-04 | 2012-06-12 | H.C. Starck Gmbh | Methods of forming sputtering targets |
JP2008302311A (ja) * | 2007-06-08 | 2008-12-18 | Ihi Corp | コールドスプレー方法 |
FR2918910B1 (fr) * | 2007-07-16 | 2009-10-23 | Carbone Lorraine Equipements G | Procede de fabrication d'un element de genie chimique |
FR2920440B1 (fr) * | 2007-08-31 | 2010-11-05 | Commissariat Energie Atomique | Procede de traitement anti-corrosion d'une piece par depot d'une couche de zirconium et/ou d'alliage de zirconium |
WO2009046432A1 (en) * | 2007-10-05 | 2009-04-09 | Diamond Innovations, Inc. | Braze-metal coated articles and process for making same |
JP5321942B2 (ja) * | 2008-02-29 | 2013-10-23 | 新東工業株式会社 | 電子回路基板の製造方法およびその電子回路基板 |
JP5778373B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2015-09-16 | 富士通株式会社 | 成膜方法 |
US8246903B2 (en) | 2008-09-09 | 2012-08-21 | H.C. Starck Inc. | Dynamic dehydriding of refractory metal powders |
US8043655B2 (en) * | 2008-10-06 | 2011-10-25 | H.C. Starck, Inc. | Low-energy method of manufacturing bulk metallic structures with submicron grain sizes |
TWI478186B (zh) * | 2009-08-11 | 2015-03-21 | Hermes Epitek Corp | 耐高壓電極結構及其製造方法 |
KR101233279B1 (ko) * | 2010-08-06 | 2013-02-14 | 설영택 | 임플란트용 표면금속 산화물, 이를 이용한 임플란트 또는 장치 및 그의 제조방법 |
DE102011052121A1 (de) * | 2011-07-25 | 2013-01-31 | Eckart Gmbh | Beschichtungsverfahren nutzend spezielle pulverförmige Beschichtungsmaterialien und Verwendung derartiger Beschichtungsmaterialien |
US9412568B2 (en) | 2011-09-29 | 2016-08-09 | H.C. Starck, Inc. | Large-area sputtering targets |
CA2861581C (en) | 2011-12-30 | 2021-05-04 | Scoperta, Inc. | Coating compositions |
US9335296B2 (en) | 2012-10-10 | 2016-05-10 | Westinghouse Electric Company Llc | Systems and methods for steam generator tube analysis for detection of tube degradation |
TWI572733B (zh) | 2013-08-01 | 2017-03-01 | 史達克公司 | 濺鍍標靶之部分噴霧修整 |
WO2015081209A1 (en) | 2013-11-26 | 2015-06-04 | Scoperta, Inc. | Corrosion resistant hardfacing alloy |
CA2951628C (en) | 2014-06-09 | 2024-03-19 | Scoperta, Inc. | Crack resistant hardfacing alloys |
EP3234209A4 (en) | 2014-12-16 | 2018-07-18 | Scoperta, Inc. | Tough and wear resistant ferrous alloys containing multiple hardphases |
AU2016317860B2 (en) | 2015-09-04 | 2021-09-30 | Scoperta, Inc. | Chromium free and low-chromium wear resistant alloys |
CA2996175C (en) | 2015-09-08 | 2022-04-05 | Scoperta, Inc. | Non-magnetic, strong carbide forming alloys for powder manufacture |
EP3374536A4 (en) | 2015-11-10 | 2019-03-20 | Scoperta, Inc. | TWO WIRE ARC FLOORING MATERIALS WITH CONTROLLED OXIDATION |
PL3433393T3 (pl) | 2016-03-22 | 2022-01-24 | Oerlikon Metco (Us) Inc. | W pełni odczytywalna powłoka natryskiwana termicznie |
US9609874B1 (en) * | 2016-07-21 | 2017-04-04 | Kuwait Institute For Scientific Research | Metallic glassy alloy powders for antibacterial coating |
US20190186035A1 (en) * | 2017-09-28 | 2019-06-20 | Maxterial, Inc. | Articles including surface coatings and methods to produce them |
JP7116360B2 (ja) * | 2018-07-20 | 2022-08-10 | 日産自動車株式会社 | 摺動部材 |
WO2020086971A1 (en) | 2018-10-26 | 2020-04-30 | Oerlikon Metco (Us) Inc. | Corrosion and wear resistant nickel based alloys |
US11935662B2 (en) | 2019-07-02 | 2024-03-19 | Westinghouse Electric Company Llc | Elongate SiC fuel elements |
RU2742861C2 (ru) * | 2019-07-09 | 2021-02-11 | Публичное акционерное общество завод "Красное знамя" | Способ восстановления титановых деталей |
KR102523509B1 (ko) | 2019-09-19 | 2023-04-18 | 웨스팅하우스 일렉트릭 컴퍼니 엘엘씨 | 콜드 스프레이 침착물의 현장 접착 테스트를 수행하기 위한 장치 및 사용 방법 |
CN113511802B (zh) * | 2021-04-20 | 2022-12-20 | 成都光明光电股份有限公司 | 玻璃制品生产用软化垫片及其制作方法 |
CN113215444B (zh) * | 2021-04-23 | 2022-07-19 | 广东省科学院材料与加工研究所 | 一种纳米颗粒增强tc4金属粉末材料及其制备方法 |
CN115558896B (zh) * | 2022-11-03 | 2023-04-07 | 广州市尤特新材料有限公司 | 一种电控变色玻璃用金属靶材及其制备方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1991019016A1 (en) * | 1990-05-19 | 1991-12-12 | Institut Teoreticheskoi I Prikladnoi Mekhaniki Sibirskogo Otdelenia Akademii Nauk Sssr | Method and device for coating |
RU2038411C1 (ru) * | 1993-11-17 | 1995-06-27 | Совместное предприятие "Петровский трейд хаус" | Способ получения покрытия |
US5795626A (en) * | 1995-04-28 | 1998-08-18 | Innovative Technology Inc. | Coating or ablation applicator with a debris recovery attachment |
US6261337B1 (en) * | 1999-08-19 | 2001-07-17 | Prabhat Kumar | Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy |
RU2181788C1 (ru) * | 2000-08-08 | 2002-04-27 | Дикун Юрий Вениаминович | Способ получения композиционных материалов и покрытий из порошков и устройство для его осуществления |
RU2183695C2 (ru) * | 2000-08-25 | 2002-06-20 | Общество С Ограниченной Ответственностью Обнинский Центр Порошкового Напыления | Способ получения покрытий |
US20030190413A1 (en) * | 2002-04-05 | 2003-10-09 | Van Steenkiste Thomas Hubert | Method of maintaining a non-obstructed interior opening in kinetic spray nozzles |
Family Cites Families (162)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3436299A (en) | 1965-12-17 | 1969-04-01 | Celanese Corp | Polymer bonding |
US3990784A (en) | 1974-06-05 | 1976-11-09 | Optical Coating Laboratory, Inc. | Coated architectural glass system and method |
US4011981A (en) | 1975-03-27 | 1977-03-15 | Olin Corporation | Process for bonding titanium, tantalum, and alloys thereof |
US4073427A (en) | 1976-10-07 | 1978-02-14 | Fansteel Inc. | Lined equipment with triclad wall construction |
US4140172A (en) | 1976-12-23 | 1979-02-20 | Fansteel Inc. | Liners and tube supports for industrial and chemical process equipment |
JPS5467198A (en) * | 1977-11-07 | 1979-05-30 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | Anti-corrosion material for high temperature weak oxidation atmosphere |
US4291104A (en) | 1978-04-17 | 1981-09-22 | Fansteel Inc. | Brazed corrosion resistant lined equipment |
US4202932A (en) | 1978-07-21 | 1980-05-13 | Xerox Corporation | Magnetic recording medium |
US4209375A (en) | 1979-08-02 | 1980-06-24 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Sputter target |
DE3130392C2 (de) | 1981-07-31 | 1985-10-17 | Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin | Verfahren zur Herstellung reiner agglomerierter Ventilmetallpulver für Elektrolytkondensatoren, deren Verwendung und Verfahren zur Herstellung von Sinteranoden |
US4510171A (en) | 1981-09-11 | 1985-04-09 | Monsanto Company | Clad metal joint closure |
US4459062A (en) | 1981-09-11 | 1984-07-10 | Monsanto Company | Clad metal joint closure |
CA1202599A (en) | 1982-06-10 | 1986-04-01 | Michael G. Down | Upgrading titanium, zirconium and hafnium powders by plasma processing |
DE3309891A1 (de) | 1983-03-18 | 1984-10-31 | Hermann C. Starck Berlin, 1000 Berlin | Verfahren zur herstellung von ventilmetallanoden fuer elektrolytkondensatoren |
US4508563A (en) | 1984-03-19 | 1985-04-02 | Sprague Electric Company | Reducing the oxygen content of tantalum |
US4818629A (en) | 1985-08-26 | 1989-04-04 | Fansteel Inc. | Joint construction for lined equipment |
BR8702042A (pt) | 1986-12-22 | 1988-07-12 | Kawasaki Steel Co | Aparelho e processo para recobrimento por aspersao de um material refratario sobre uma construcao refrataria |
US4722756A (en) | 1987-02-27 | 1988-02-02 | Cabot Corp | Method for deoxidizing tantalum material |
US4731111A (en) | 1987-03-16 | 1988-03-15 | Gte Products Corporation | Hydrometallurical process for producing finely divided spherical refractory metal based powders |
US4915745A (en) | 1988-09-22 | 1990-04-10 | Atlantic Richfield Company | Thin film solar cell and method of making |
US5242481A (en) | 1989-06-26 | 1993-09-07 | Cabot Corporation | Method of making powders and products of tantalum and niobium |
ES2020131A6 (es) * | 1989-06-26 | 1991-07-16 | Cabot Corp | Procedimiento para la produccion de polvos de tantalo, niobio y sus aleaciones. |
US5147125A (en) | 1989-08-24 | 1992-09-15 | Viratec Thin Films, Inc. | Multilayer anti-reflection coating using zinc oxide to provide ultraviolet blocking |
US4964906A (en) | 1989-09-26 | 1990-10-23 | Fife James A | Method for controlling the oxygen content of tantalum material |
JP3031474B2 (ja) * | 1989-12-26 | 2000-04-10 | 株式会社東芝 | 高純度タンタル材,タンタルターゲット,薄膜および半導体装置の製造方法 |
US5091244A (en) | 1990-08-10 | 1992-02-25 | Viratec Thin Films, Inc. | Electrically-conductive, light-attenuating antireflection coating |
US5270858A (en) | 1990-10-11 | 1993-12-14 | Viratec Thin Films Inc | D.C. reactively sputtered antireflection coatings |
US5271965A (en) | 1991-01-16 | 1993-12-21 | Browning James A | Thermal spray method utilizing in-transit powder particle temperatures below their melting point |
US5612254A (en) | 1992-06-29 | 1997-03-18 | Intel Corporation | Methods of forming an interconnect on a semiconductor substrate |
US5693203A (en) | 1992-09-29 | 1997-12-02 | Japan Energy Corporation | Sputtering target assembly having solid-phase bonded interface |
US5305946A (en) | 1992-11-05 | 1994-04-26 | Nooter Corporation | Welding process for clad metals |
JP3197640B2 (ja) | 1992-11-30 | 2001-08-13 | 朝日興業株式会社 | 気泡発生装置 |
US5330798A (en) | 1992-12-09 | 1994-07-19 | Browning Thermal Systems, Inc. | Thermal spray method and apparatus for optimizing flame jet temperature |
US5679473A (en) | 1993-04-01 | 1997-10-21 | Asahi Komag Co., Ltd. | Magnetic recording medium and method for its production |
US6103392A (en) | 1994-12-22 | 2000-08-15 | Osram Sylvania Inc. | Tungsten-copper composite powder |
EP0852266B1 (en) | 1995-08-23 | 2004-10-13 | Asahi Glass Ceramics Co., Ltd. | Target, process for production thereof, and method of forming highly refractive film |
DE19532244C2 (de) | 1995-09-01 | 1998-07-02 | Peak Werkstoff Gmbh | Verfahren zur Herstellung von dünnwandigen Rohren (I) |
US5993513A (en) | 1996-04-05 | 1999-11-30 | Cabot Corporation | Method for controlling the oxygen content in valve metal materials |
US5954856A (en) | 1996-04-25 | 1999-09-21 | Cabot Corporation | Method of making tantalum metal powder with controlled size distribution and products made therefrom |
US5859654A (en) | 1996-10-31 | 1999-01-12 | Hewlett-Packard Company | Print head for ink-jet printing a method for making print heads |
DE59801636D1 (de) | 1997-02-19 | 2001-11-08 | Starck H C Gmbh Co Kg | Tantalpulver, verfahren zu seiner herstellung, sowie daraus erhältliche sinteranoden |
US5972065A (en) | 1997-07-10 | 1999-10-26 | The Regents Of The University Of California | Purification of tantalum by plasma arc melting |
KR20010032498A (ko) | 1997-11-26 | 2001-04-25 | 조셉 제이. 스위니 | 손상없는 스컵쳐 코팅 증착 |
US6911124B2 (en) | 1998-09-24 | 2005-06-28 | Applied Materials, Inc. | Method of depositing a TaN seed layer |
JP3052240B2 (ja) | 1998-02-27 | 2000-06-12 | 東京タングステン株式会社 | X線管用回転陽極及びその製造方法 |
JPH11269639A (ja) * | 1998-03-24 | 1999-10-05 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | スパッタリングターゲットの再生方法 |
US6171363B1 (en) | 1998-05-06 | 2001-01-09 | H. C. Starck, Inc. | Method for producing tantallum/niobium metal powders by the reduction of their oxides with gaseous magnesium |
US6189663B1 (en) | 1998-06-08 | 2001-02-20 | General Motors Corporation | Spray coatings for suspension damper rods |
DE19847012A1 (de) | 1998-10-13 | 2000-04-20 | Starck H C Gmbh Co Kg | Niobpulver und Verfahren zu dessen Herstellung |
FR2785897B1 (fr) | 1998-11-16 | 2000-12-08 | Commissariat Energie Atomique | Couche mince d'oxyde d'hafnium et procede de depot |
US6328927B1 (en) | 1998-12-24 | 2001-12-11 | Praxair Technology, Inc. | Method of making high-density, high-purity tungsten sputter targets |
US6197082B1 (en) | 1999-02-17 | 2001-03-06 | H.C. Starck, Inc. | Refining of tantalum and tantalum scrap with carbon |
US6558447B1 (en) | 1999-05-05 | 2003-05-06 | H.C. Starck, Inc. | Metal powders produced by the reduction of the oxides with gaseous magnesium |
US6139913A (en) | 1999-06-29 | 2000-10-31 | National Center For Manufacturing Sciences | Kinetic spray coating method and apparatus |
JP2001020065A (ja) | 1999-07-07 | 2001-01-23 | Hitachi Metals Ltd | スパッタリング用ターゲット及びその製造方法ならびに高融点金属粉末材料 |
US6521173B2 (en) | 1999-08-19 | 2003-02-18 | H.C. Starck, Inc. | Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy |
DE19942916A1 (de) | 1999-09-08 | 2001-03-15 | Linde Gas Ag | Herstellen von aufschäumbaren Metallkörpern und Metallschäumen |
US6245390B1 (en) | 1999-09-10 | 2001-06-12 | Viatcheslav Baranovski | High-velocity thermal spray apparatus and method of forming materials |
JP2001085378A (ja) | 1999-09-13 | 2001-03-30 | Sony Corp | 半導体装置およびその製造方法 |
US6258402B1 (en) | 1999-10-12 | 2001-07-10 | Nakhleh Hussary | Method for repairing spray-formed steel tooling |
JP2001131767A (ja) * | 1999-11-09 | 2001-05-15 | Takuo Hashiguchi | 金属皮膜形成方法 |
RU2166421C1 (ru) | 1999-12-06 | 2001-05-10 | Государственный космический научно-производственный центр им. М.В. Хруничева | Способ восстановления изделий |
TW570987B (en) | 1999-12-28 | 2004-01-11 | Toshiba Corp | Components for vacuum deposition apparatus and vacuum deposition apparatus therewith, and target apparatus |
US6331233B1 (en) | 2000-02-02 | 2001-12-18 | Honeywell International Inc. | Tantalum sputtering target with fine grains and uniform texture and method of manufacture |
US7122069B2 (en) | 2000-03-29 | 2006-10-17 | Osram Sylvania Inc. | Mo-Cu composite powder |
US6502767B2 (en) | 2000-05-03 | 2003-01-07 | Asb Industries | Advanced cold spray system |
US20030023132A1 (en) | 2000-05-31 | 2003-01-30 | Melvin David B. | Cyclic device for restructuring heart chamber geometry |
JP2001347672A (ja) | 2000-06-07 | 2001-12-18 | Fuji Photo Film Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびインクジェット記録ヘッドの製造方法ならびにインクジェットプリンタ |
US6464933B1 (en) | 2000-06-29 | 2002-10-15 | Ford Global Technologies, Inc. | Forming metal foam structures |
EP1320872A2 (en) | 2000-09-27 | 2003-06-25 | NUP2 Incorporated | Fabrication of semiconductor devices |
US6498091B1 (en) | 2000-11-01 | 2002-12-24 | Applied Materials, Inc. | Method of using a barrier sputter reactor to remove an underlying barrier layer |
US6669782B1 (en) | 2000-11-15 | 2003-12-30 | Randhir P. S. Thakur | Method and apparatus to control the formation of layers useful in integrated circuits |
US6491208B2 (en) | 2000-12-05 | 2002-12-10 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Cold spray repair process |
US6444259B1 (en) | 2001-01-30 | 2002-09-03 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Thermal barrier coating applied with cold spray technique |
US7794554B2 (en) | 2001-02-14 | 2010-09-14 | H.C. Starck Inc. | Rejuvenation of refractory metal products |
PT1362132E (pt) | 2001-02-14 | 2006-09-29 | Starck H C Inc | Regeneracao de um alvo de pulverizacao de tantalo |
KR100966682B1 (ko) | 2001-02-20 | 2010-06-29 | 에이치. 씨. 스타아크 아이앤씨 | 균일한 조직을 갖는 내화성 금속판 및 이 금속판의 제작방법 |
US6679473B1 (en) * | 2001-03-20 | 2004-01-20 | Wcm Industries, Inc. | Push and turn hydrant for delivery of hot or cold water through a single discharge conduit |
US6915964B2 (en) | 2001-04-24 | 2005-07-12 | Innovative Technology, Inc. | System and process for solid-state deposition and consolidation of high velocity powder particles using thermal plastic deformation |
US6722584B2 (en) | 2001-05-02 | 2004-04-20 | Asb Industries, Inc. | Cold spray system nozzle |
DE10126100A1 (de) | 2001-05-29 | 2002-12-05 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen |
US7201940B1 (en) | 2001-06-12 | 2007-04-10 | Advanced Cardiovascular Systems, Inc. | Method and apparatus for thermal spray processing of medical devices |
US7053294B2 (en) | 2001-07-13 | 2006-05-30 | Midwest Research Institute | Thin-film solar cell fabricated on a flexible metallic substrate |
US6780458B2 (en) | 2001-08-01 | 2004-08-24 | Siemens Westinghouse Power Corporation | Wear and erosion resistant alloys applied by cold spray technique |
CN1608141A (zh) | 2001-09-17 | 2005-04-20 | 黑罗伊斯有限公司 | 废弃溅射靶的修复 |
US6770154B2 (en) | 2001-09-18 | 2004-08-03 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target |
US7081148B2 (en) | 2001-09-18 | 2006-07-25 | Praxair S.T. Technology, Inc. | Textured-grain-powder metallurgy tantalum sputter target |
US6986471B1 (en) | 2002-01-08 | 2006-01-17 | Flame Spray Industries, Inc. | Rotary plasma spray method and apparatus for applying a coating utilizing particle kinetics |
US6861101B1 (en) | 2002-01-08 | 2005-03-01 | Flame Spray Industries, Inc. | Plasma spray method for applying a coating utilizing particle kinetics |
RS65004A (en) | 2002-01-24 | 2006-10-27 | H.C. Starck Inc. | Refractory metal and alloy refining by laser forming and melting |
US6627814B1 (en) | 2002-03-22 | 2003-09-30 | David H. Stark | Hermetically sealed micro-device package with window |
BE1014736A5 (fr) | 2002-03-29 | 2004-03-02 | Alloys For Technical Applic S | Procede de fabrication et de recharge de cibles pour pulverisation cathodique. |
US6623796B1 (en) | 2002-04-05 | 2003-09-23 | Delphi Technologies, Inc. | Method of producing a coating using a kinetic spray process with large particles and nozzles for the same |
JP3898082B2 (ja) * | 2002-04-12 | 2007-03-28 | 株式会社東芝 | 複合金属の製造方法及び複合金属部材 |
US20030219542A1 (en) | 2002-05-25 | 2003-11-27 | Ewasyshyn Frank J. | Method of forming dense coatings by powder spraying |
DE10224777A1 (de) | 2002-06-04 | 2003-12-18 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen |
DE10224780A1 (de) | 2002-06-04 | 2003-12-18 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen |
US6759085B2 (en) * | 2002-06-17 | 2004-07-06 | Sulzer Metco (Us) Inc. | Method and apparatus for low pressure cold spraying |
CA2433613A1 (en) | 2002-08-13 | 2004-02-13 | Russel J. Ruprecht, Jr. | Spray method for mcralx coating |
US7128988B2 (en) | 2002-08-29 | 2006-10-31 | Lambeth Systems | Magnetic material structures, devices and methods |
JP4883546B2 (ja) | 2002-09-20 | 2012-02-22 | Jx日鉱日石金属株式会社 | タンタルスパッタリングターゲットの製造方法 |
US7108893B2 (en) | 2002-09-23 | 2006-09-19 | Delphi Technologies, Inc. | Spray system with combined kinetic spray and thermal spray ability |
US6743468B2 (en) | 2002-09-23 | 2004-06-01 | Delphi Technologies, Inc. | Method of coating with combined kinetic spray and thermal spray |
MXPA05003286A (es) | 2002-09-25 | 2005-07-05 | Alcoa Inc | Rin recubierto para vehiculo y metodo. |
US20040065546A1 (en) | 2002-10-04 | 2004-04-08 | Michaluk Christopher A. | Method to recover spent components of a sputter target |
CA2444917A1 (en) | 2002-10-18 | 2004-04-18 | United Technologies Corporation | Cold sprayed copper for rocket engine applications |
US6749002B2 (en) | 2002-10-21 | 2004-06-15 | Ford Motor Company | Method of spray joining articles |
DE10253794B4 (de) | 2002-11-19 | 2005-03-17 | Hühne, Erwin Dieter | Niedertemperatur Hochgeschwindigkeits-Flammspritzsystem |
TW571342B (en) | 2002-12-18 | 2004-01-11 | Au Optronics Corp | Method of forming a thin film transistor |
US7067197B2 (en) | 2003-01-07 | 2006-06-27 | Cabot Corporation | Powder metallurgy sputtering targets and methods of producing same |
US6872427B2 (en) | 2003-02-07 | 2005-03-29 | Delphi Technologies, Inc. | Method for producing electrical contacts using selective melting and a low pressure kinetic spray process |
DE10306347A1 (de) * | 2003-02-15 | 2004-08-26 | Hüttinger Elektronik GmbH & Co. KG | Leistungszufuhrregeleinheit |
JP4637819B2 (ja) | 2003-02-24 | 2011-02-23 | テクナ・プラズマ・システムズ・インコーポレーテッド | スパッタリングターゲットを製造するための方法および装置 |
JP4163986B2 (ja) * | 2003-04-09 | 2008-10-08 | 新日本製鐵株式会社 | 不溶性電極及びその製造方法 |
US7278353B2 (en) | 2003-05-27 | 2007-10-09 | Surface Treatment Technologies, Inc. | Reactive shaped charges and thermal spray methods of making same |
JP4008388B2 (ja) | 2003-06-30 | 2007-11-14 | シャープ株式会社 | 半導体キャリア用フィルムおよびそれを用いた半導体装置、液晶モジュール |
JP3890041B2 (ja) * | 2003-07-09 | 2007-03-07 | 株式会社リケン | ピストンリング及びその製造方法 |
US7170915B2 (en) | 2003-07-23 | 2007-01-30 | Intel Corporation | Anti-reflective (AR) coating for high index gain media |
US7208230B2 (en) | 2003-08-29 | 2007-04-24 | General Electric Company | Optical reflector for reducing radiation heat transfer to hot engine parts |
JP4310251B2 (ja) * | 2003-09-02 | 2009-08-05 | 新日本製鐵株式会社 | コールドスプレー用ノズル及びコールドスプレー被膜の製造方法 |
US7128948B2 (en) | 2003-10-20 | 2006-10-31 | The Boeing Company | Sprayed preforms for forming structural members |
US7335341B2 (en) | 2003-10-30 | 2008-02-26 | Delphi Technologies, Inc. | Method for securing ceramic structures and forming electrical connections on the same |
US20050147742A1 (en) | 2004-01-07 | 2005-07-07 | Tokyo Electron Limited | Processing chamber components, particularly chamber shields, and method of controlling temperature thereof |
WO2005073418A1 (ja) | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Nippon Tungsten Co., Ltd. | タングステン系焼結体およびその製造方法 |
US6905728B1 (en) | 2004-03-22 | 2005-06-14 | Honeywell International, Inc. | Cold gas-dynamic spray repair on gas turbine engine components |
US7244466B2 (en) | 2004-03-24 | 2007-07-17 | Delphi Technologies, Inc. | Kinetic spray nozzle design for small spot coatings and narrow width structures |
US20050220995A1 (en) | 2004-04-06 | 2005-10-06 | Yiping Hu | Cold gas-dynamic spraying of wear resistant alloys on turbine blades |
DE102004029354A1 (de) | 2004-05-04 | 2005-12-01 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen |
US20060021870A1 (en) | 2004-07-27 | 2006-02-02 | Applied Materials, Inc. | Profile detection and refurbishment of deposition targets |
US20060045785A1 (en) | 2004-08-30 | 2006-03-02 | Yiping Hu | Method for repairing titanium alloy components |
US20060042728A1 (en) | 2004-08-31 | 2006-03-02 | Brad Lemon | Molybdenum sputtering targets |
EP1797212A4 (en) | 2004-09-16 | 2012-04-04 | Vladimir Belashchenko | DEPOSIT SYSTEM, METHODS AND MATERIALS FOR COMPOSITE COATINGS |
WO2006032522A1 (de) | 2004-09-25 | 2006-03-30 | Abb Technology Ag | Verfahren zur herstellung einer abbrandfesten beschichtung, sowie entsprechende schirmung für vakuumschaltkammern |
US20060090593A1 (en) | 2004-11-03 | 2006-05-04 | Junhai Liu | Cold spray formation of thin metal coatings |
US20060121187A1 (en) * | 2004-12-03 | 2006-06-08 | Haynes Jeffrey D | Vacuum cold spray process |
DE102004059716B3 (de) | 2004-12-08 | 2006-04-06 | Siemens Ag | Verfahren zum Kaltgasspritzen |
US7479299B2 (en) | 2005-01-26 | 2009-01-20 | Honeywell International Inc. | Methods of forming high strength coatings |
US7399335B2 (en) | 2005-03-22 | 2008-07-15 | H.C. Starck Inc. | Method of preparing primary refractory metal |
DE102005018618A1 (de) | 2005-04-21 | 2006-10-26 | Rheinmetall Waffe Munition Gmbh | Waffenrohr und Verfahren zur Beschichtung der inneren Oberfläche des Waffenrohres |
JP4904341B2 (ja) | 2005-05-05 | 2012-03-28 | ハー.ツェー.スタルク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | スパッタターゲット及びx線アノードを製造又は再処理するための被覆方法 |
US20060251872A1 (en) | 2005-05-05 | 2006-11-09 | Wang Jenn Y | Conductive barrier layer, especially an alloy of ruthenium and tantalum and sputter deposition thereof |
US7618500B2 (en) | 2005-11-14 | 2009-11-17 | Lawrence Livermore National Security, Llc | Corrosion resistant amorphous metals and methods of forming corrosion resistant amorphous metals |
US8480864B2 (en) | 2005-11-14 | 2013-07-09 | Joseph C. Farmer | Compositions of corrosion-resistant Fe-based amorphous metals suitable for producing thermal spray coatings |
US20070116890A1 (en) | 2005-11-21 | 2007-05-24 | Honeywell International, Inc. | Method for coating turbine engine components with rhenium alloys using high velocity-low temperature spray process |
CA2560030C (en) | 2005-11-24 | 2013-11-12 | Sulzer Metco Ag | A thermal spraying material, a thermally sprayed coating, a thermal spraying method an also a thermally coated workpiece |
KR101380793B1 (ko) | 2005-12-21 | 2014-04-04 | 슐저메트코(유에스)아이엔씨 | 하이브리드 플라즈마-콜드 스프레이 방법 및 장치 |
EP1806429B1 (de) * | 2006-01-10 | 2008-07-09 | Siemens Aktiengesellschaft | Kaltspritzanlage und Kaltspritzverfahren mit moduliertem Gasstrom |
US7402277B2 (en) | 2006-02-07 | 2008-07-22 | Exxonmobil Research And Engineering Company | Method of forming metal foams by cold spray technique |
KR101377574B1 (ko) | 2006-07-28 | 2014-03-26 | 삼성전자주식회사 | 프락시 모바일 아이피를 사용하는 이동통신 시스템에서보안 관리 방법 및 그 시스템 |
US20080078268A1 (en) | 2006-10-03 | 2008-04-03 | H.C. Starck Inc. | Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof |
AU2007317650B2 (en) | 2006-11-07 | 2012-06-14 | H.C. Starck Surface Technology and Ceramic Powders GmbH | Method for coating a substrate and coated product |
US20080145688A1 (en) | 2006-12-13 | 2008-06-19 | H.C. Starck Inc. | Method of joining tantalum clade steel structures |
US8784729B2 (en) | 2007-01-16 | 2014-07-22 | H.C. Starck Inc. | High density refractory metals and alloys sputtering targets |
US20110303535A1 (en) | 2007-05-04 | 2011-12-15 | Miller Steven A | Sputtering targets and methods of forming the same |
US8197894B2 (en) | 2007-05-04 | 2012-06-12 | H.C. Starck Gmbh | Methods of forming sputtering targets |
US7914856B2 (en) | 2007-06-29 | 2011-03-29 | General Electric Company | Method of preparing wetting-resistant surfaces and articles incorporating the same |
DE102008024504A1 (de) | 2008-05-21 | 2009-11-26 | Linde Ag | Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen |
US8246903B2 (en) | 2008-09-09 | 2012-08-21 | H.C. Starck Inc. | Dynamic dehydriding of refractory metal powders |
US8043655B2 (en) | 2008-10-06 | 2011-10-25 | H.C. Starck, Inc. | Low-energy method of manufacturing bulk metallic structures with submicron grain sizes |
US8192799B2 (en) | 2008-12-03 | 2012-06-05 | Asb Industries, Inc. | Spray nozzle assembly for gas dynamic cold spray and method of coating a substrate with a high temperature coating |
US8268237B2 (en) | 2009-01-08 | 2012-09-18 | General Electric Company | Method of coating with cryo-milled nano-grained particles |
US8363787B2 (en) | 2009-03-25 | 2013-01-29 | General Electric Company | Interface for liquid metal bearing and method of making same |
-
2006
- 2006-04-28 RU RU2007144638/02A patent/RU2434073C9/ru not_active IP Right Cessation
- 2006-04-28 US US11/913,579 patent/US8802191B2/en active Active
- 2006-04-28 JP JP2008509342A patent/JP5065248B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-28 CA CA 2606478 patent/CA2606478C/en not_active Expired - Fee Related
- 2006-04-28 MX MX2007013600A patent/MX2007013600A/es active IP Right Grant
- 2006-04-28 BR BRPI0611539A patent/BRPI0611539B1/pt not_active IP Right Cessation
- 2006-04-28 EP EP06742726.0A patent/EP1880035B1/en active Active
- 2006-04-28 WO PCT/EP2006/003967 patent/WO2006117144A1/en active Application Filing
- 2006-04-28 AU AU2006243447A patent/AU2006243447B2/en not_active Ceased
- 2006-05-04 TW TW95115826A patent/TWI392768B/zh not_active IP Right Cessation
-
2007
- 2007-11-01 IL IL187110A patent/IL187110A/en not_active IP Right Cessation
- 2007-11-02 ZA ZA200709469A patent/ZA200709469B/xx unknown
- 2007-11-20 KR KR1020077027013A patent/KR101342314B1/ko active IP Right Grant
- 2007-11-27 NO NO20076124A patent/NO20076124L/no not_active Application Discontinuation
-
2014
- 2014-07-04 US US14/324,091 patent/US20150004337A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1991019016A1 (en) * | 1990-05-19 | 1991-12-12 | Institut Teoreticheskoi I Prikladnoi Mekhaniki Sibirskogo Otdelenia Akademii Nauk Sssr | Method and device for coating |
RU2038411C1 (ru) * | 1993-11-17 | 1995-06-27 | Совместное предприятие "Петровский трейд хаус" | Способ получения покрытия |
US5795626A (en) * | 1995-04-28 | 1998-08-18 | Innovative Technology Inc. | Coating or ablation applicator with a debris recovery attachment |
US6261337B1 (en) * | 1999-08-19 | 2001-07-17 | Prabhat Kumar | Low oxygen refractory metal powder for powder metallurgy |
RU2181788C1 (ru) * | 2000-08-08 | 2002-04-27 | Дикун Юрий Вениаминович | Способ получения композиционных материалов и покрытий из порошков и устройство для его осуществления |
RU2183695C2 (ru) * | 2000-08-25 | 2002-06-20 | Общество С Ограниченной Ответственностью Обнинский Центр Порошкового Напыления | Способ получения покрытий |
US20030190413A1 (en) * | 2002-04-05 | 2003-10-09 | Van Steenkiste Thomas Hubert | Method of maintaining a non-obstructed interior opening in kinetic spray nozzles |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
RU2583222C1 (ru) * | 2014-12-30 | 2016-05-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Кубанский государственный технологический университет" (ФГБОУ ВПО "КубГТУ") | Способ получения наноструктурированных покрытий титан-никель-цирконий с эффектом памяти формы |
RU2792905C1 (ru) * | 2022-11-02 | 2023-03-28 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Сибирский государственный индустриальный университет", ФГБОУ ВО "СибГИУ" | Способ нанесения биоинертных покрытий на основе титана, ниобия, циркония, тантала и азота на титановые имплантаты |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2006117144A1 (en) | 2006-11-09 |
CA2606478A1 (en) | 2006-11-09 |
NO20076124L (no) | 2008-01-31 |
US20100055487A1 (en) | 2010-03-04 |
US8802191B2 (en) | 2014-08-12 |
IL187110A (en) | 2015-11-30 |
BRPI0611539B1 (pt) | 2017-04-04 |
TWI392768B (zh) | 2013-04-11 |
KR101342314B1 (ko) | 2013-12-16 |
IL187110A0 (en) | 2008-02-09 |
RU2007144638A (ru) | 2009-06-10 |
EP1880035A1 (en) | 2008-01-23 |
EP1880035B1 (en) | 2021-01-20 |
AU2006243447B2 (en) | 2010-11-18 |
TW200706696A (en) | 2007-02-16 |
BRPI0611539A2 (pt) | 2010-09-21 |
ZA200709469B (en) | 2009-06-24 |
KR20080005562A (ko) | 2008-01-14 |
US20150004337A1 (en) | 2015-01-01 |
JP2008540822A (ja) | 2008-11-20 |
AU2006243447A1 (en) | 2006-11-09 |
JP5065248B2 (ja) | 2012-10-31 |
CA2606478C (en) | 2013-10-08 |
MX2007013600A (es) | 2008-01-24 |
RU2434073C2 (ru) | 2011-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
RU2434073C9 (ru) | Способ покрытия поверхности субстрата и продукт с нанесенным покрытием | |
AU2007317650B2 (en) | Method for coating a substrate and coated product | |
AU2006243448B2 (en) | Coating process for manufacture or reprocessing of sputter targets and X-ray anodes |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TH4A | Reissue of patent specification | ||
PC41 | Official registration of the transfer of exclusive right |
Effective date: 20180816 |
|
MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20200429 |