RU2007148011A - Способ и аппарат для обработки отработанных абразивных суспензий для регенерации их компонентов многократного использования - Google Patents

Способ и аппарат для обработки отработанных абразивных суспензий для регенерации их компонентов многократного использования Download PDF

Info

Publication number
RU2007148011A
RU2007148011A RU2007148011/02A RU2007148011A RU2007148011A RU 2007148011 A RU2007148011 A RU 2007148011A RU 2007148011/02 A RU2007148011/02 A RU 2007148011/02A RU 2007148011 A RU2007148011 A RU 2007148011A RU 2007148011 A RU2007148011 A RU 2007148011A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
liquid
abrasive grains
suspension
hydrocyclone
battery
Prior art date
Application number
RU2007148011/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2403139C2 (ru
Inventor
Гвидо ФРАДЖИАКОМО (IT)
Гвидо Фраджиакомо
Original Assignee
СиК Проусессинг АГ (DE)
СиК Проусессинг АГ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by СиК Проусессинг АГ (DE), СиК Проусессинг АГ filed Critical СиК Проусессинг АГ (DE)
Publication of RU2007148011A publication Critical patent/RU2007148011A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2403139C2 publication Critical patent/RU2403139C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28—WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28D—WORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/0058—Accessories specially adapted for use with machines for fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material
    • B28D5/007—Use, recovery or regeneration of abrasive mediums
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D21/00—Separation of suspended solid particles from liquids by sedimentation
    • B01D21/0012—Settling tanks making use of filters, e.g. by floating layers of particulate material
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D21/00—Separation of suspended solid particles from liquids by sedimentation
    • B01D21/009—Heating or cooling mechanisms specially adapted for settling tanks
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D21/00—Separation of suspended solid particles from liquids by sedimentation
    • B01D21/0093—Mechanisms for taking out of action one or more units of a multi-unit settling mechanism
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D21/00—Separation of suspended solid particles from liquids by sedimentation
    • B01D21/26—Separation of sediment aided by centrifugal force or centripetal force
    • B01D21/262—Separation of sediment aided by centrifugal force or centripetal force by using a centrifuge
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01D—SEPARATION
    • B01D3/00—Distillation or related exchange processes in which liquids are contacted with gaseous media, e.g. stripping
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J39/00—Cation exchange; Use of material as cation exchangers; Treatment of material for improving the cation exchange properties
    • B01J39/04—Processes using organic exchangers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03B—SEPARATING SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS
    • B03B9/00—General arrangement of separating plant, e.g. flow sheets
    • B03B9/06—General arrangement of separating plant, e.g. flow sheets specially adapted for refuse
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
    • B04B—CENTRIFUGES
    • B04B5/00—Other centrifuges
    • B04B5/10—Centrifuges combined with other apparatus, e.g. electrostatic separators; Sets or systems of several centrifuges
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B04—CENTRIFUGAL APPARATUS OR MACHINES FOR CARRYING-OUT PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES
    • B04C—APPARATUS USING FREE VORTEX FLOW, e.g. CYCLONES
    • B04C7/00—Apparatus not provided for in group B04C1/00, B04C3/00, or B04C5/00; Multiple arrangements not provided for in one of the groups B04C1/00, B04C3/00, or B04C5/00; Combinations of apparatus covered by two or more of the groups B04C1/00, B04C3/00, or B04C5/00
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B55/00—Safety devices for grinding or polishing machines; Accessories fitted to grinding or polishing machines for keeping tools or parts of the machine in good working condition
    • B24B55/12—Devices for exhausting mist of oil or coolant; Devices for collecting or recovering materials resulting from grinding or polishing, e.g. of precious metals, precious stones, diamonds or the like
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B57/00—Devices for feeding, applying, grading or recovering grinding, polishing or lapping agents
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/02—Silicon
    • C01B33/037—Purification
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
    • Y02P70/10—Greenhouse gas [GHG] capture, material saving, heat recovery or other energy efficient measures, e.g. motor control, characterised by manufacturing processes, e.g. for rolling metal or metal working

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Treatment Of Sludge (AREA)
  • Silicon Compounds (AREA)
  • Battery Electrode And Active Subsutance (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

1. Способ обработки отработанных абразивных суспензий, включающих суспендирующую жидкость, абразивные зерна многократного использования, мелкие абразивные зерна, мелкие кремниевые частицы и мелкие металлические частицы, причем способ включает следующие стадии: ! a) разделение отработанной суспензии влажной сортировкой по размерам на: i) жидкую суспензию, содержащую абразивные зерна многократного использования, в смеси суспендирующей жидкости с жидким растворителем и ii) жидкую суспензию в той же самой смеси, содержащую мелкие абразивные зерна, так же как мелкие кремниевые частицы и мелкие металлические частицы; ! b) регенерацию суспендирующей жидкости из упомянутой жидкой суспензии, содержащей мелкие зерна и частицы, посредством сепарационных обработок на твердую и жидкую фазы, объединенных с перегонкой жидкого растворителя; ! отличающийся тем, что упомянутую влажную сортировку по размеру стадии a) выполняют обработкой смеси в центробежном сепараторе жидкой и твердой фаз, который, в свою очередь, питает полученной фракцией, содержащей твердые частицы, батарею из по меньшей мере двух гидроциклонов или двух центрифуг, соединенных последовательно, питаемых в противотоке жидкой фракцией, включающей часть очищенной жидкости, полученной на упомянутых стадиях b) регенерации суспендирующей жидкости, таким образом, получая из нижнего продукта последнего гидроциклона или последней центрифуги батареи жидкую суспензию, содержащую абразивные зерна многократного использования, причем суспензия по существу не содержит мелких абразивных зерен. ! 2. Способ по п.1, в котором упомянутая батарея гидроциклонов или центриф�

Claims (29)

1. Способ обработки отработанных абразивных суспензий, включающих суспендирующую жидкость, абразивные зерна многократного использования, мелкие абразивные зерна, мелкие кремниевые частицы и мелкие металлические частицы, причем способ включает следующие стадии:
a) разделение отработанной суспензии влажной сортировкой по размерам на: i) жидкую суспензию, содержащую абразивные зерна многократного использования, в смеси суспендирующей жидкости с жидким растворителем и ii) жидкую суспензию в той же самой смеси, содержащую мелкие абразивные зерна, так же как мелкие кремниевые частицы и мелкие металлические частицы;
b) регенерацию суспендирующей жидкости из упомянутой жидкой суспензии, содержащей мелкие зерна и частицы, посредством сепарационных обработок на твердую и жидкую фазы, объединенных с перегонкой жидкого растворителя;
отличающийся тем, что упомянутую влажную сортировку по размеру стадии a) выполняют обработкой смеси в центробежном сепараторе жидкой и твердой фаз, который, в свою очередь, питает полученной фракцией, содержащей твердые частицы, батарею из по меньшей мере двух гидроциклонов или двух центрифуг, соединенных последовательно, питаемых в противотоке жидкой фракцией, включающей часть очищенной жидкости, полученной на упомянутых стадиях b) регенерации суспендирующей жидкости, таким образом, получая из нижнего продукта последнего гидроциклона или последней центрифуги батареи жидкую суспензию, содержащую абразивные зерна многократного использования, причем суспензия по существу не содержит мелких абразивных зерен.
2. Способ по п.1, в котором упомянутая батарея гидроциклонов или центрифуг состоит из 3-6 гидроциклонов или центрифуг, соединенных последовательно.
3. Способ по п.1, в котором указанную жидкую суспензию, содержащую абразивные зерна многократного использования, полученную из нижнего продукта последнего гидроциклона или центрифуги батареи, далее обрабатывают, чтобы получить абразивные зерна в сухом состоянии, очищенные от остатков мелких зерен и измельченного материала, в многофункциональном аппарате, осуществляющем следующие последовательные стадии без какого-либо перемещения материала: фильтрование упомянутой жидкой суспензии, промывание образующихся зерен и выщелачивание из них химическим травлением любых мелких кремниевых и металлических частиц и, наконец, сушку зерен очищенного абразивного материала.
4. Способ по п.3, в котором следующие последовательные операции выполняют в многофункциональном аппарате для фильтрования и обработки абразивных зерен:
A) фильтрование жидкой суспензии, содержащей абразивные зерна многократного использования, полученные из нижнего продукта последнего гидроциклона или последней центрифуги батареи;
B) промывание твердой фракции, образующейся в операции A, используя жидкий растворитель;
C) выщелачивание химическим травлением мелких кремниевых и металлических частиц твердой фракции, образующейся в операции B, с получением растворов силиката и растворов солей металлических примесей, растворенных в отводимой жидкости;
D) промывание твердой фракции, образующейся в операции C, используя жидкий растворитель;
E) сушку абразивных зерен твердой фракции, образующейся в операции D.
5. Способ по п.4, в котором операцию C выщелачивания химическим травлением выполняют в следующих двух последовательных стадиях:
C1) каустическое травление мелких кремниевых частиц обработкой твердой фракции, образующейся в операции B, раствором щелочного вещества;
C2) щелочное травление металлических мелких частиц обработкой твердой фракции, образующейся в операции C1), раствором кислотного реагента.
6. Способ по п.5, в котором указанный кислотный выщелачивающий реагент выбирают из группы, содержащей азотную кислоту, соляную кислоту, щавелевую кислоту, серную кислоту, лимонную кислоту и винную кислоту или их смеси, а указанный щелочной выщелачивающий реагент выбирают из группы, содержащей гидроксид натрия или гидроксид калия.
7. Способ по п.4, в котором жидкая фракция, питающая в противотоке батарею гидроциклонов или центрифуг, включает, помимо части очищенной жидкости, полученной на стадии b) регенерации суспендирующей жидкости, также жидкость, полученную на операции A) фильтрования суспензии, полученной из куба последнего гидроциклона или центрифуги батареи, и жидкость, полученную на операции B) последующего промывания.
8. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором упомянутую жидкую суспензию ii), содержащую мелкие абразивные зерна и мелкий кремниевый и металлический измельченный материал, полученную из верхнего продукта первого гидроциклона или первой центрифуги упомянутой батареи, далее обрабатывают в предохранительном гидроциклоне или центрифуге, и суспензию, полученную из верхнего продукта упомянутого предохранительного гидроциклона или центрифуги, подвергают упомянутым стадиям b) регенерации суспендирующей жидкости.
9. Способ по п.8, в котором упомянутые стадии b) регенерации суспендирующей жидкости включают в качестве первой стадии фильтрацию, которая дает очищенную жидкость, по существу содержащую суспендирующую жидкость, жидкий растворитель и мелкие частицы металла, которую затем подразделяют на две части, при этом большая часть составляет упомянутую часть очищенной жидкости, подающаяся в противотоке выше по потоку батареи гидроциклонов или центрифуг, а меньшая часть подвергается дальнейшей обработке для регенерации суспендирующей жидкости.
10. Способ по п.9, в котором указанная большая часть очищенной жидкости составляет 40-90% очищенной жидкости, полученной из указанного фильтрования.
11. Способ по п.9 или 10, в котором упомянутую большую часть очищенной жидкости нагревают перед подачей в упомянутую батарею гидроциклонов или центрифуг.
12. Способ по п.9, в котором меньшую часть очищенной жидкости, которую далее обрабатывают, чтобы регенерировать суспендирующую жидкость, соединяют с фракцией, полученной из упомянутого центробежного сепаратора жидкой и твердой фаз, выполняя первую операцию способа.
13. Способ по п.12, в котором жидкую фракцию, образующуюся из указанного добавления, подщелачивают до pH 9-10, добавляя щелочной раствор.
14. Способ по п.13, в котором указанную щелочную жидкую фракцию подвергают микрофильтрации, чтобы удалить гидроксид железа, который образуется при подщелачивании.
15. Способ по п.14, в котором очищенную жидкость из указанной микрофильтрации нейтрализуют добавлением раствора кислоты и подвергают перегонке, чтобы отделить упомянутый растворитель от упомянутой суспензионной жидкости испарением.
16. Способ по п.15, в котором упомянутую суспензионную жидкость дополнительно очищают фильтрованием, чтобы удалить соль, которая образуется при нейтрализации.
17. Способ по п.12, в котором жидкую фракцию, образующуюся из указанного добавления, подвергают микрофильтрации, чтобы удалить большинство мелких частиц металла из упомянутой очищенной жидкости.
18. Способ по п.17, в котором упомянутую очищенную жидкость, полученную из указанной микрофильтрации, подвергают дополнительной обработке на ионообменных смолах, чтобы удалить остатки металлов и другие примеси из упомянутой очищенной жидкости, включающей в себя первую обработку на катионных смолах и вторую обработку на анионных смолах.
19. Способ по п.18, в котором очищенную жидкость, полученную указанной обработкой ионообменными смолами, подвергают перегонке, чтобы отделить испарением упомянутый растворитель от упомянутой очищенной суспендирующей жидкости.
20. Способ по п.15 или 19, в котором упомянутый растворитель затем конденсируют и повторно используют в указанных фазах промывания B и/или D упомянутых абразивных зерен в указанном многофункциональном аппарате.
21. Способ по любому из предыдущих пунктов, в котором указанной суспендирующей жидкостью абразивной суспензии является полиэтиленгликоль (ПЭГ), а упомянутым жидким растворителем является вода.
22. Аппарат для обработки отработанных абразивных суспензий способом п.3, включающий следующие взаимосвязанные элементы последовательно:
I. центробежный сепаратор жидкой и твердой фаз, который питает фракцией, содержащей твердые частицы, отделенной, таким образом, первый аппарат в батареи из по меньшей мере двух гидроциклонов или центрифуг, соединенных последовательно; причем нижний продукт из каждого гидроциклона или центрифуги подается в следующий гидроциклон или центрифугу вместе с верхним продуктом из предыдущего гидроциклона или центрифуги, причем упомянутую батарею гидроциклонов или центрифуг питают противотоком жидкой фракцией, включающей часть очищенной жидкости, полученной из упомянутых стадий b) регенерации суспендирующей жидкости;
II. многофункциональный аппарат для фильтрования и обработки абразивных зерен, выполненный с возможностью выполнять следующие последовательные стадии без какого-либо перемещения материала: фильтрование жидкой суспензии, содержащей абразивные зерна, полученные из нижнего продукта последнего гидроциклона или центрифуги, последовательные промывки образующихся зерен и выщелачивание из них химическим травлением кремниевого или металлического мелкого измельченного материала и, наконец, сушки очищенного гранулированного абразивного материала;
III. секция обработки упомянутой жидкой суспензии ii), содержащей мелкие абразивные зерна и мелкие кремниевые и металлические частицы, и полученной из верхнего продукта первого гидроциклона или центрифуги указанной батареи, чтобы регенерировать суспензионную жидкость.
23. Аппарат по п.22, в котором батарея гидроциклонов или центрифуг включает дополнительно предохранительный гидроциклон или центрифугу, получающие верхний продукт первого гидроциклона или центрифуги упомянутой батареи, причем верхний продукт подается в указанную секцию обработки жидкой суспензии ii) вместо верхнего продукта упомянутого первого гидроциклона или центрифуги.
24. Аппарат по п.23, в котором упомянутый многофункциональный аппарат фильтрования и обработки абразивных зерен является периодически функционирующим аппаратом, состоящим из сосуда, работающего под давлением, содержащего фильтрующее устройство, на котором абразивные зерна размещаются в течение фильтрации и всех последующих фаз промывания, выщелачивания и сушки.
25. Аппарат по п.24, в котором между упомянутыми двумя элементами I и II имеется буферный резервуар для суспензии абразивных зерен, полученной из упомянутой батареи гидроциклонов или центрифуг.
26. Аппарат по любому из пп.22-25, в котором указанная секция III обработки жидкой суспензии, полученной из верхнего продукта первого гидроциклона или центрифуги или из предохранительного гидроциклона или центрифуги, включает фильтрующее устройство, из которого выходящая очищенная жидкость подается частично в следующие аппараты, чтобы регенерировать суспендирующую жидкость, а частично, чтобы подать противотоком в упомянутую батарею гидроциклонов или центрифуг.
27. Аппарат по п.26, в котором упомянутые следующие аппараты для регенерации суспендирующей жидкости включают устройство микрофильтрации и испаритель, выполненный с возможностью отделять растворитель в форме пара от суспендирующей жидкости.
28. Аппарат по п.27, в котором упомянутые следующие аппараты для регенерации суспендирующей жидкости включают фильтрующее устройство для удаления остатков солей из суспендирующей жидкости, остающиеся после упомянутой перегонки.
29. Аппарат по п.27, в котором упомянутые следующие аппараты для регенерации суспендирующей жидкости также включают одно или больше устройств для обработки ионообменными смолами.
RU2007148011/02A 2005-06-24 2006-06-16 Способ и аппарат для обработки отработанных абразивных суспензий для регенерации их компонентов многократного использования RU2403139C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ITRM2005A000329 2005-06-24
IT000329A ITRM20050329A1 (it) 2005-06-24 2005-06-24 Procedimento per il trattamento di sospensioni abrasive esauste per il recupero delle loro componenti riciclabili e relativo impianto.

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2007148011A true RU2007148011A (ru) 2009-06-27
RU2403139C2 RU2403139C2 (ru) 2010-11-10

Family

ID=37027925

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2007148011/02A RU2403139C2 (ru) 2005-06-24 2006-06-16 Способ и аппарат для обработки отработанных абразивных суспензий для регенерации их компонентов многократного использования

Country Status (20)

Country Link
US (1) US8512577B2 (ru)
EP (1) EP1893385B1 (ru)
JP (1) JP5015920B2 (ru)
KR (1) KR101512516B1 (ru)
CN (1) CN101218068B (ru)
AU (1) AU2006260482A1 (ru)
CA (1) CA2613475C (ru)
CY (1) CY1113474T1 (ru)
ES (1) ES2392455T3 (ru)
HK (1) HK1123010A1 (ru)
IL (1) IL188247A (ru)
IT (1) ITRM20050329A1 (ru)
MY (1) MY150107A (ru)
NO (1) NO20076488L (ru)
PL (1) PL1893385T3 (ru)
PT (1) PT1893385E (ru)
RU (1) RU2403139C2 (ru)
TW (1) TWI444249B (ru)
UA (1) UA96263C2 (ru)
WO (1) WO2006137098A1 (ru)

Families Citing this family (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7820126B2 (en) 2006-08-18 2010-10-26 Iosil Energy Corporation Method and apparatus for improving the efficiency of purification and deposition of polycrystalline silicon
US8028771B2 (en) 2007-02-06 2011-10-04 Smith International, Inc. Polycrystalline diamond constructions having improved thermal stability
US7942219B2 (en) 2007-03-21 2011-05-17 Smith International, Inc. Polycrystalline diamond constructions having improved thermal stability
JP5509518B2 (ja) * 2007-09-07 2014-06-04 パナソニック株式会社 半導体研磨用スラリー異物検査方法
WO2009056152A1 (en) * 2007-10-30 2009-05-07 Pall Corporation Method for treating spent abrasive slurry
US9297211B2 (en) 2007-12-17 2016-03-29 Smith International, Inc. Polycrystalline diamond construction with controlled gradient metal content
ITRM20070677A1 (it) * 2007-12-27 2009-06-28 Garbo S R L Procedimento per la separazione e il recupero dei sospendenti contenuti nelle sospensioni esauste provenienti dalle lavorazioni meccaniche del silicio.
JP5090191B2 (ja) * 2008-01-24 2012-12-05 三和油化工業株式会社 遊離砥粒スラリー廃液からの分散媒の回収方法
CN101244823B (zh) * 2008-02-20 2010-06-23 江南大学 从硅片切割加工副产物中回收碳化硅的方法
US20110059002A1 (en) 2008-04-11 2011-03-10 John Allan Fallavollita Methods and apparatus for recovery of silicon and silicon carbide from spent wafer-sawing slurry
DE102008022237A1 (de) * 2008-05-06 2009-11-19 Scholz Recycling Gmbh Nl Erfurt Verfahren zur Aufbereitung von Slurry
US8425639B2 (en) * 2008-05-30 2013-04-23 Cabot Microelectronics Corporation Wire saw slurry recycling process
JP5173945B2 (ja) * 2008-07-02 2013-04-03 シャープ株式会社 クーラント再生方法およびスラリー再生方法
CN102143910B (zh) * 2008-07-09 2014-07-16 加宝有限公司 纯化和压实用于光伏应用的原料的方法
DE102008041051B4 (de) 2008-08-06 2023-04-06 Leibniz-Institut Für Polymerforschung Dresden E.V. Verfahren zur Fest-Flüssig-Trennung von Feststoffen aus überwiegend nichtwässrigen Flüssigkeiten
JP2010167551A (ja) * 2008-12-26 2010-08-05 Nomura Micro Sci Co Ltd 使用済みスラリーの再生方法
US8231006B2 (en) * 2008-12-31 2012-07-31 Memc Singapore Pte. Ltd. Methods to recover and purify silicon particles from saw kerf
JP5280218B2 (ja) * 2009-01-15 2013-09-04 株式会社安永 スラリー再生処理装置及び方法
US20110293506A1 (en) * 2009-02-13 2011-12-01 Kobelco Eco-Solutions Co., Ltd. Method for processing waste water containing fluorine and silicon, method for producing calcium fluoride, and facility for processing fluorine-containing waste water
JP2010221337A (ja) * 2009-03-24 2010-10-07 Ngk Insulators Ltd 使用済み研削液の再利用方法
JP5358266B2 (ja) * 2009-04-24 2013-12-04 野村マイクロ・サイエンス株式会社 排スラリー中の有用固形成分の回収方法
DE102009020143A1 (de) 2009-05-04 2010-11-11 Pv Silicon Forschungs- Und Produktionsgesellschaft Mbh Verfahren zur Aufbereitung von Sägeabfällen zur Rückgewinnung von Silizium für die Herstellung von Solarsilizium
JP2011005561A (ja) * 2009-06-23 2011-01-13 Shin Etsu Handotai Co Ltd シリコンインゴットの切断方法および切断システム
DE102009034949A1 (de) * 2009-07-09 2011-01-13 Akw Apparate + Verfahren Gmbh Verfahren zur Aufbereitung einer Suspension
WO2011016996A2 (en) * 2009-07-27 2011-02-10 Memc Electronic Materials, Inc. Methods and systems for processing abrasive slurry
EP2473327B1 (de) * 2009-09-02 2016-10-12 Guntram Krettek Verfahren zur wiederaufbereitung von verbrauchten bearbeitungsslurries
DE102009054076B8 (de) * 2009-11-20 2012-07-05 Erwin Junker Maschinenfabrik Gmbh Verfahren zum Abtrennen von Schleiföl aus Schleifschlämmen; Trennstation zur Durchführung des Verfahrens und verfahrenstechnische Anlage
DE102009054348A1 (de) 2009-11-24 2011-06-30 Coenen, Wolfgang, Dipl.-Ing., 28879 Verfahren und Vorrichtung zum Behandeln von Si/SiC-haltigen Schleifschlämmen
KR101171799B1 (ko) * 2010-06-29 2012-08-13 고려대학교 산학협력단 실리카 에칭 폐기물을 재활용하는 방법 및 메조다공성 물질을 제조하는 방법
DE102010025606A1 (de) 2010-06-30 2012-01-05 Schott Solar Ag Verfahren zur Wiederaufbereitung von verbrauchten Sägeflüssigkeiten aus der Herstellung von Siliziumwafern
DE102010026923A1 (de) 2010-07-12 2012-01-12 Centrotherm Sitec Gmbh Verfahren zur Rückgewinnung von Silizium aus einer Sägesuspension
GB2484348A (en) 2010-10-08 2012-04-11 Rec Wafer Norway As Abrasive slurry and method of production of photovoltaic wafers
CN102173419B (zh) * 2011-02-28 2012-10-10 白瑜皎 从硅片切割废砂浆中回收硅粉的方法
WO2012147314A1 (ja) * 2011-04-27 2012-11-01 パナソニック株式会社 リユースペーストの製造方法とリユースペースト
US8734751B2 (en) * 2011-06-12 2014-05-27 Taiwan Water Recycle Technology Co., Ltd. Method and apparatus for recycling and treating wastes of silicon wafer cutting and polishing processes
JP5802609B2 (ja) * 2011-09-07 2015-10-28 ジー・フォースジャパン株式会社 クーラント再生方法
DE102011115081B4 (de) 2011-09-19 2017-08-31 Baufeld-Mineralölraffinerie GmbH Verfahren zur Gewinnung von Solarsilizium aus Sägeabfällen
US8696404B2 (en) * 2011-12-21 2014-04-15 WD Media, LLC Systems for recycling slurry materials during polishing processes
WO2013094399A1 (ja) * 2011-12-22 2013-06-27 コニカミノルタ株式会社 研磨材再生方法及び再生研磨材
KR20140102696A (ko) * 2011-12-27 2014-08-22 코니카 미놀타 가부시키가이샤 연마재 분리 방법 및 재생 연마재
WO2013122123A1 (ja) 2012-02-17 2013-08-22 コニカミノルタ株式会社 研磨材再生方法
TW201312638A (zh) * 2012-03-03 2013-03-16 Hong Tung Resource Co Ltd 矽晶圓切割廢料之處理方法
DE102012004497A1 (de) * 2012-03-06 2013-09-12 Gea Mechanical Equipment Gmbh Verfahren und Anlage zur Aufarbeitung von Rohgülle und/oder Gärresten aus der Biogaserzeugung
JP2013219307A (ja) * 2012-04-12 2013-10-24 Japan Cabot Microelectronics Corp Ｃｍｐスラリー再生装置およびｃｍｐスラリー再生方法
CN104507639A (zh) * 2012-07-25 2015-04-08 柯尼卡美能达株式会社 研磨材料再生方法
WO2014056065A1 (en) 2012-10-12 2014-04-17 Blue Sky Mines Ltd. Methods of and systems for treating incinerated waste
TWI461258B (zh) * 2012-11-09 2014-11-21 Sino American Silicon Prod Inc 研磨漿料回收利用方法及運用在該研磨漿料回收利用方法的研磨漿料回收利用設備
DE102013202960A1 (de) 2013-02-22 2014-08-28 Geltz Umwelt-Technologie GmbH Verfahren und Vorrichtung zur Trennung von zwei Gruppen von Partikeln aus einer Suspension
JP6085500B2 (ja) * 2013-03-08 2017-02-22 株式会社Ｉｈｉ回転機械 ワイヤソースラリのクーラント回収装置
JP6265974B2 (ja) * 2013-04-04 2018-01-24 株式会社クラレ スラリー再生装置、スラリー再生方法及び再生スラリー
CN105764851A (zh) * 2013-10-24 2016-07-13 麦拓卡夫特有限公司 回收碳化硅粒子的非化学方法与系统
CN105939817B (zh) * 2014-01-31 2018-04-10 Hoya株式会社 使用过的研磨浆料的再生方法、磁盘用玻璃基板的制造方法
JP6172030B2 (ja) * 2014-04-03 2017-08-02 信越半導体株式会社 ワークの切断方法及び加工液
CN104391433A (zh) * 2014-12-05 2015-03-04 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种喷淋系统及其使用方法
US9738542B2 (en) * 2014-12-09 2017-08-22 Kronos International, Inc. Method for the further processing of iron sulfate heptahydrate
WO2016120663A1 (en) * 2015-01-27 2016-08-04 Metallkraft As Non-chemical method and system for recovering silicon carbide particles and glycol from a slurry
JP5850192B1 (ja) * 2015-03-19 2016-02-03 コニカミノルタ株式会社 研磨材の回収方法
CN105001969B (zh) * 2015-07-07 2017-12-01 阳光硅峰电子科技有限公司 一种基于温度敏感性的高效分离砂浆的方法
CZ2015961A3 (cs) * 2015-12-31 2017-02-15 PTV, spol. s r.o. Způsob recyklace abraziva z řezání vysokotlakým vodním paprskem z řezacího kalu a zařízení k provádění tohoto způsobu
CN105922143B (zh) * 2016-05-20 2018-05-15 金堆城钼业股份有限公司 一种水切割废砂的循环再利用方法
CN106819357A (zh) * 2017-01-23 2017-06-13 信阳山信生物食品科技有限公司 一种谷物糠粕蛋白提取工艺
CN107020201B (zh) * 2017-06-14 2023-07-25 淮南矿业(集团)有限责任公司 一种浓缩机底流粗煤泥回收系统
CN107324340B (zh) * 2017-08-14 2019-04-12 大连理工大学 一种回收金刚线切割硅粉废料的设备和方法
US20220056554A1 (en) * 2018-12-18 2022-02-24 Sepro Mineral Systems Corp. Recovery of material from wet incinerator bottom ash
CN110561274B (zh) * 2019-09-29 2020-10-09 广州大学 一种可实现持续加工的轴承强化研磨设备
JP2021094674A (ja) * 2019-12-19 2021-06-24 株式会社ディスコ 廃液処理装置及び加工水再生システム
CN112707571A (zh) * 2020-12-30 2021-04-27 杭州上拓环境科技股份有限公司 一种含硅废水资源化处理工艺
CN114193329B (zh) * 2021-12-09 2023-03-21 中环领先半导体材料有限公司 一种磨片在线回收的浆液利用方法

Family Cites Families (26)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3997359A (en) * 1972-11-07 1976-12-14 Joseph Daniel Dankoff Reclamation of components from grinding swarf
US3929639A (en) * 1973-07-23 1975-12-30 Gaston County Dyeing Mach Filtering apparatus and process
DE3639958A1 (de) * 1986-01-10 1987-07-16 Amberger Kaolinwerke Gmbh Mehrstufige anordnung zur gegenstromwaschung, sowie zugehoerige verfahrensmassnahmen
JPH02182986A (ja) * 1988-12-28 1990-07-17 Mitsubishi Paper Mills Ltd ハイドロサイクロン分離方法
US4872975A (en) * 1989-01-31 1989-10-10 Ingersoll-Rand Company System for separating abrasive material from a fluid used in fluid jet cutting
JPH0741535B2 (ja) * 1991-04-10 1995-05-10 中小企業事業団 ラップ加工装置の砥粒液再生・循環装置
US5403490A (en) * 1992-11-23 1995-04-04 Desai; Satish Process and apparatus for removing solutes from solutions
DE4405829A1 (de) * 1994-02-23 1995-08-31 Wacker Chemitronic Verfahren zur Rückgewinnung von Schneidkorn
JP2606156B2 (ja) * 1994-10-14 1997-04-30 栗田工業株式会社 研磨剤粒子の回収方法
JP3199159B2 (ja) * 1996-01-26 2001-08-13 信越半導体株式会社 油性スラリー廃液の再利用システム
JP3249373B2 (ja) * 1996-02-21 2002-01-21 信越半導体株式会社 水溶性スラリー廃液の再利用システム
DE19642908A1 (de) * 1996-10-17 1998-04-23 Wacker Siltronic Halbleitermat Sägesuspension und Verfahren zum Abtrennen von Scheiben von einem Kristall
US5928492A (en) * 1997-06-05 1999-07-27 Lucid Treatment Systems, Inc. Method and apparatus for recovery of water and slurry abrasives used for chemical and mechanical planarization
JP3996686B2 (ja) * 1997-12-15 2007-10-24 石川島汎用機サービス株式会社 ワイヤソー砥粒スラリーの再生方法及び装置
JP3408979B2 (ja) * 1997-12-26 2003-05-19 株式会社日平トヤマ スラリ管理システム
EP1089801A1 (en) * 1998-06-18 2001-04-11 Lucid Treatment Systems, Inc. Method and apparatus for recovery of water and slurry abrasives used for chemical and mechanical planarization
JP4449185B2 (ja) * 2000-07-13 2010-04-14 株式会社新菱 砥粒の回収方法
JP2002239906A (ja) * 2001-02-13 2002-08-28 Ishikawajima Hanyoki Service Co Ltd ラップ砥粒スラリーの再生方法及び装置
WO2002096611A1 (en) * 2001-05-29 2002-12-05 Memc Electronic Materials, S.P.A. Method for treating an exhausted glycol-based slurry
JP2003103465A (ja) * 2001-09-27 2003-04-08 Tokuji Umehara 磁場配列を利用した研削用砥粒体の再生方法及び再生装置
JP3768891B2 (ja) * 2002-01-31 2006-04-19 三益半導体工業株式会社 廃スラッジの再利用システム
JP4369095B2 (ja) * 2002-05-24 2009-11-18 シャープ株式会社 スラリ再生方法
JP3950391B2 (ja) * 2002-08-26 2007-08-01 石川島汎用機サービス株式会社 ワイヤソーのスラリー管理装置
DE10251792A1 (de) * 2002-11-07 2004-05-19 Industriebetriebe Heinrich Meyer-Werke Breloh Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Regenerierung von Filtermitteln, insbesondere Kieselgur
JP2005313030A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 Sharp Corp スラリ再生方法
US7820126B2 (en) * 2006-08-18 2010-10-26 Iosil Energy Corporation Method and apparatus for improving the efficiency of purification and deposition of polycrystalline silicon

Also Published As

Publication number Publication date
JP5015920B2 (ja) 2012-09-05
CA2613475A1 (en) 2006-12-28
RU2403139C2 (ru) 2010-11-10
CN101218068B (zh) 2013-01-02
JP2008546548A (ja) 2008-12-25
EP1893385B1 (en) 2012-08-22
CA2613475C (en) 2013-12-03
IL188247A (en) 2012-09-24
CN101218068A (zh) 2008-07-09
TWI444249B (zh) 2014-07-11
TW200720022A (en) 2007-06-01
IL188247A0 (en) 2008-04-13
US20080250723A1 (en) 2008-10-16
AU2006260482A1 (en) 2006-12-28
KR20080021110A (ko) 2008-03-06
UA96263C2 (ru) 2011-10-25
WO2006137098A1 (en) 2006-12-28
EP1893385A1 (en) 2008-03-05
PT1893385E (pt) 2012-11-05
PL1893385T3 (pl) 2012-12-31
CY1113474T1 (el) 2016-06-22
ES2392455T3 (es) 2012-12-10
KR101512516B1 (ko) 2015-04-15
ITRM20050329A1 (it) 2006-12-25
US8512577B2 (en) 2013-08-20
MY150107A (en) 2013-11-29
HK1123010A1 (en) 2009-06-05
NO20076488L (no) 2008-01-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2007148011A (ru) Способ и аппарат для обработки отработанных абразивных суспензий для регенерации их компонентов многократного использования
RU2750318C1 (ru) Процесс для извлечения лития из рассола
US7223344B2 (en) Method for treating an exhausted glycol-based slurry
TWI594950B (zh) 回收鈧之製程、方法及工廠
EP0560877A1 (en) Method and apparatus to detoxify aqueous based hazardous waste
CN110330136A (zh) 废酸液再生预处理方法及系统
JP5818095B2 (ja) セシウム汚染土壌の洗浄処理方法
WO2013136385A1 (ja) フッ素回収装置、フッ素回収システム及びフッ素回収方法
RU2626112C2 (ru) Гидрометаллургический способ с применением многоступенчатой нанофильтрации
JPH03169394A (ja) 顕濁排水回収装置
CN201883124U (zh) 化工固液分离及贵重金属回收装置
RU2359925C2 (ru) Способ очистки сточных вод от нитратов целлюлозы
US2647890A (en) Process for the extraction of pectin from sugar beet waters
KR20070025147A (ko) 분리시스템을 이용한 테레프탈산 모액 중의 고형분회수방법
JP2008029911A (ja) 骨炭洗浄排水の処理方法
CN101880769B (zh) 化工固液分离及贵重金属回收工艺
TWI504558B (zh) High efficiency recovery of nitric acid separation equipment and its method
RU2120451C1 (ru) Способ выделения пигмента из водной суспензии
KR20140016281A (ko) 잔여물의 정제 공정
JPS60158267A (ja) カーボンブラツク水性懸濁物からの重金属灰分の排除方法
WO1990009349A1 (en) Agent recovery from bayer process liquors
JPS6233589A (ja) 界面活性剤を含む含油廃水処理方法
PL227545B1 (pl) Sposób odzyskiwania poliglikolu o wysokim stopniu czystości z zawiesiny poliglikolowo-krzemowej za pomocą wodnego roztworu żelatyny

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20180617