RU2004117774A - Ферроэлектрический или электретный запоминающий контур - Google Patents

Ферроэлектрический или электретный запоминающий контур Download PDF

Info

Publication number
RU2004117774A
RU2004117774A RU2004117774/09A RU2004117774A RU2004117774A RU 2004117774 A RU2004117774 A RU 2004117774A RU 2004117774/09 A RU2004117774/09 A RU 2004117774/09A RU 2004117774 A RU2004117774 A RU 2004117774A RU 2004117774 A RU2004117774 A RU 2004117774A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
storage circuit
storage
electrode
electrically conductive
ferroelectric
Prior art date
Application number
RU2004117774/09A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2269830C1 (ru
Inventor
Ханс Гуде ГУДЕСЕН (BE)
Ханс Гуде Гудесен
Пер-Эрик НОРДАЛ (NO)
Пер-Эрик НОРДАЛ
Original Assignee
Тин Филм Электроникс Аса (No)
Тин Филм Электроникс Аса
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Тин Филм Электроникс Аса (No), Тин Филм Электроникс Аса filed Critical Тин Филм Электроникс Аса (No)
Publication of RU2004117774A publication Critical patent/RU2004117774A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2269830C1 publication Critical patent/RU2269830C1/ru

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
    • H01L27/105Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including field-effect components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/02Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
    • H01L27/04Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
    • H01L27/10Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration
    • H01L27/101Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including a plurality of individual components in a repetitive configuration including resistors or capacitors only
    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C11/00Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor
    • G11C11/21Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements
    • G11C11/22Digital stores characterised by the use of particular electric or magnetic storage elements; Storage elements therefor using electric elements using ferroelectric elements
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y10/00Nanotechnology for information processing, storage or transmission, e.g. quantum computing or single electron logic
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10BELECTRONIC MEMORY DEVICES
    • H10B53/00Ferroelectric RAM [FeRAM] devices comprising ferroelectric memory capacitors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Semiconductor Memories (AREA)
  • Polymers With Sulfur, Phosphorus Or Metals In The Main Chain (AREA)
  • Inorganic Insulating Materials (AREA)

Claims (24)

1. Ферроэлектрический или электретный запоминающий контур (С), преимущественно ферроэлектрический или электретный запоминающий контур с повышенной стойкостью к усталости, содержащий ферроэлектрическую или электретную ячейку памяти с запоминающим материалом (2), обладающим гистерезисом и способным поляризоваться с переходом в состояние положительной или отрицательной поляризации, соответствующее заданному уровню поляризации, а также первый и второй электроды (1а, 1b), непосредственно или косвенно контактирующие с запоминающим материалом таким образом, что при подаче на электроды соответствующих напряжений к запоминающему материалу (2) может быть приложена разность потенциалов, приводящая к поляризации или деполяризации ячейки памяти или к переключению между противоположными состояниями поляризации ячейки памяти, или к вынужденному временному изменению состояния поляризации в ячейке памяти или уровня поляризации, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один из электродов (1а, 1b) содержит, по меньшей мере, один функциональный материал (3), способный физически и/или химически встраивать в свой объем атомные или молекулярные частицы, содержащиеся в электродном или в запоминающем материале (2) ячейки памяти и обнаруживающие тенденцию к миграции в форме подвижных заряженных и/или нейтральных частиц из электродного материала в запоминающий материал (2) или в обратном направлении, с соответствующим ослаблением вредного воздействия на функциональные свойства электродного или запоминающего материала ячейки памяти.
2. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал обладает электрическими и/или химическими свойствами, совместимыми с аналогичными свойствами электродного материала.
3. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал (3) имеет относительную диэлектрическую проницаемость, которая равна или превышает относительную диэлектрическую проницаемость запоминающего материала (2).
4. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что функциональный материал (3) имеет относительную диэлектрическую проницаемость, которая остается, по существу, неизменной при встраивании в него указанных атомных или молекулярных частиц.
5. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал (3) имеет проводимость, которая остается, по существу, неизменной при встраивании в него указанных атомных или молекулярных частиц.
6. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал (3) равномерно распределен по электродному материалу.
7. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал (3) находится в той части электродного материала, которая выходит на поверхность, по меньшей мере, одного электрода (1а, 1b) и находится в контакте с запоминающим материалом (2).
8. Запоминающий контур (С) по п.7, отличающийся тем, что в указанной части электродного материала в виде отдельных слоев находятся два или более функциональных материалов (3).
9. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал (3) находится в одном или более поверхностных слоях (3а, 3b), по меньшей мере, одного электрода (1а, 1b), выполненных в виде одного или более промежуточных слоев между, по меньшей мере, одним электродом (1а, 1b) и запоминающим материалом (2).
10. Запоминающий контур (С) по п.9, отличающийся тем, что в двух или более промежуточных слоях (3а, 3b, 4а, 4b) содержатся два или более функциональных материалов (3).
11. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что, по меньшей мере, один функциональный материал представляет собой один или более материалов из группы, включающей алмазоподобный нанокомпозитный тонкопленочный материал, электропроводящий карбидный материал, электропроводящий оксидный материал, электропроводящий боридный материал, электропроводящий нитридный материал, электропроводящий силицидный материал, электропроводящий материал на основе углерода и электропроводящий полимерный или сополимерный материал.
12. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что электропроводящий карбидный материал выбран из группы материалов, включающей карбид тантала, карбид титана, карбид циркония и карбид гафния.
13. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что электропроводящий оксидный материал представляет собой один или более материалов, выбранных из группы, включающей бинарные оксиды, тройные оксиды, допированные или недопированные бинарные оксиды и дотированные или недопированные тройные оксиды.
14. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что электропроводящий боридный материал представляет собой один или более материалов, выбранных из группы, включающей борид гафния, борид циркония и борид хрома.
15. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что электропроводящий нитридный материал представляет собой один или более материалов, выбранных из группы, включающей нитрид титана, нитрид циркония, нитрид гафния, нитрид тантала, нитрид ванадия, нитрид ниобия и нитрид хрома.
16. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что указанный электропроводящий силицидный материал представляет собой силицид титана.
17. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что указанный электропроводящий материал на основе углерода представляет собой один или более материалов, выбранных из группы, включающей графитообразный углерод, фуллерены и вещества с цианогруппами (CN).
18. Запоминающий контур (С) по п.11, отличающийся тем, что электропроводящий полимерный или сополимерный материал представляет собой один или более материалов, выбранных из группы, включающей допированный полипиррол, допированные производные полипиррола, допированный полианилин, допированные производные полианилина, допированные политиофены и допированные производные политиофенов.
19. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что ферроэлектрический или электретный запоминающий материал представляет собой полимерный или олигомерный материал или смесь или композит, содержащие указанный полимерный или олигомерный материал.
20. Запоминающий контур (С) по п.19, отличающийся тем, что ферроэлектрический или электретный полимерный запоминающий материал представляет собой один или более материалов, выбранных из группы, включающей поливинилиденфторид (ПВФ), поливинилиден с одним из его сополимеров, тройные полимеры, основанные на сополимерах ПВФ и трифторэтилена (П(ВФ-ТрФЭ)), найлоны с нечетным номером марки, найлоны с нечетным номером марки с любыми из их сополимеров, цинополимеры и цинополимеры с любыми из их сополимеров.
21. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что электродный материал выбран из группы материалов, включающей алюминий, платину, золото, титан, медь, их сплавы и композиты на их основе.
22. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что запоминающий материал (2) введен в состав запоминающего контура (С) посредством физического или химического осаждения из паров или процесса центрифугирования или окунания, электродный материал введен в состав запоминающего контура (С) посредством физического или химического осаждения из паров, а, по меньшей мере, один функциональный материал (3) введен в состав запоминающего контура (С) посредством физического или химического осаждения из паров или процесса, основанного на использовании раствора.
23. Запоминающий контур (С) по п.22, отличающийся тем, что запоминающий материал (2), первый и второй электроды (1а, 1b) и, по меньшей мере, один промежуточный слой (3а, 3b), в случае его наличия, выполнены в виде тонких пленок в составе запоминающего контура, соответственно представляющего собой тонкопленочное устройство.
24. Запоминающий контур (С) по п.1, отличающийся тем, что множество подобных запоминающих контуров (С) образует набор с матричной адресацией, а ячейки памяти в запоминающих контурах (С) образуют отдельные зоны в цельном слое ферроэлектрического или электретного тонкопленочного запоминающего материала (2), тогда как первый и второй электроды (1а, 1b) образуют соответственно части первой и второй электродных решеток, каждая из которых содержит множество параллельных полосковых электродов (1а, 1b), при этом электроды (1b) второй электродной решетки ориентированы под углом, предпочтительно ортогонально по отношению к электродам (1а) первой электродной решетки, цельный слой ферроэлектрического или электретного тонкопленочного запоминающего материала (2) расположен между электродными решетками, так что ячейки памяти запоминающего контура (С) образованы в зонах цельного слоя, соответствующих скрещиванию электродов (1а, 1b) первой и второй электродных решеток, причем набор запоминающих контуров (С), сформированных электродными решетками и цельным слоем запоминающего материала (2), в котором образованы ячейки памяти, реализует интегральное ферроэлектрическое или электретное запоминающее устройство с матричной адресацией, в котором адресация соответствующих ячеек памяти для выполнения операций записи и считывания производится посредством электродов (1а, 1b) электродных решеток, присоединенных к внешним драйверным, управляющим и считывающим контурам.
RU2004117774/09A 2001-11-23 2002-11-22 Ферроэлектрический или электретный запоминающий контур RU2269830C1 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
NO20015735 2001-11-23
NO20015735A NO20015735D0 (no) 2001-11-23 2001-11-23 Barrierelag

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004117774A true RU2004117774A (ru) 2006-01-10
RU2269830C1 RU2269830C1 (ru) 2006-02-10

Family

ID=19913059

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004117774/09A RU2269830C1 (ru) 2001-11-23 2002-11-22 Ферроэлектрический или электретный запоминающий контур

Country Status (12)

Country Link
EP (1) EP1446806B1 (ru)
JP (1) JP2005510078A (ru)
KR (1) KR100603670B1 (ru)
CN (1) CN100449640C (ru)
AT (1) ATE291273T1 (ru)
AU (1) AU2002366187B2 (ru)
CA (1) CA2464082C (ru)
DE (1) DE60203321T2 (ru)
ES (1) ES2238638T3 (ru)
NO (1) NO20015735D0 (ru)
RU (1) RU2269830C1 (ru)
WO (1) WO2003044801A1 (ru)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE58903298D1 (de) * 1989-06-29 1993-02-25 Siemens Ag Schaltungsanordnung zur identifikation integrierter halbleiterschaltkreise.
JP2005083961A (ja) * 2003-09-10 2005-03-31 ▲高▼木 敏行 歪センサー
NO321555B1 (no) * 2004-03-26 2006-05-29 Thin Film Electronics Asa Organisk elektronisk innretning og fremgangsmate til fremstilling av en slik innretning
US7205595B2 (en) * 2004-03-31 2007-04-17 Intel Corporation Polymer memory device with electron traps
NO20041733L (no) * 2004-04-28 2005-10-31 Thin Film Electronics Asa Organisk elektronisk krets med funksjonelt mellomsjikt og fremgangsmate til dens fremstilling.
NO321280B1 (no) * 2004-07-22 2006-04-18 Thin Film Electronics Asa Organisk, elektronisk krets og fremgangsmate til dens fremstilling
US7808024B2 (en) 2004-09-27 2010-10-05 Intel Corporation Ferroelectric polymer memory module
NO322202B1 (no) * 2004-12-30 2006-08-28 Thin Film Electronics Asa Fremgangsmate i fremstillingen av en elektronisk innretning
US7768014B2 (en) 2005-01-31 2010-08-03 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Memory device and manufacturing method thereof
JP4749162B2 (ja) * 2005-01-31 2011-08-17 株式会社半導体エネルギー研究所 半導体装置
NO324809B1 (no) * 2005-05-10 2007-12-10 Thin Film Electronics Asa Fremgangsmate til dannelse av ferroelektriske tynnfilmer, bruk av fremgangsmaten og et minne med et minnemateriale av ferroelektrisk oligomer
US7868320B2 (en) 2005-05-31 2011-01-11 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Semiconductor device and manufacturing method thereof
JP4939838B2 (ja) * 2005-05-31 2012-05-30 株式会社半導体エネルギー研究所 記憶装置
EP1798732A1 (en) * 2005-12-15 2007-06-20 Agfa-Gevaert Ferroelectric passive memory cell, device and method of manufacture thereof.
KR100994866B1 (ko) * 2006-02-09 2010-11-16 가부시키가이샤 히타치세이사쿠쇼 반도체 장치 및 그 제조 방법
KR100796643B1 (ko) 2006-10-02 2008-01-22 삼성전자주식회사 폴리머 메모리 소자 및 그 형성 방법
EP2286988A1 (de) * 2008-12-13 2011-02-23 Bayer MaterialScience AG Ferroelektret-Zwei- und Mehrschichtverbund und Verfahren zu dessen Herstellung
KR101042519B1 (ko) * 2008-12-30 2011-06-20 한국과학기술원 멀티 비트 저장 가능한 메모리 장치
JP4774130B1 (ja) * 2010-12-02 2011-09-14 株式会社サクラクレパス エレクトレット性微粒子又は粗粉の製造方法
RU2578305C2 (ru) * 2011-03-08 2016-03-27 Юбло Са, Женева Композиционный материал, содержащий благородный металл, способ получения и применение такого материала
US10242989B2 (en) * 2014-05-20 2019-03-26 Micron Technology, Inc. Polar, chiral, and non-centro-symmetric ferroelectric materials, memory cells including such materials, and related devices and methods
US10399166B2 (en) * 2015-10-30 2019-09-03 General Electric Company System and method for machining workpiece of lattice structure and article machined therefrom
WO2017090559A1 (ja) * 2015-11-25 2017-06-01 東レ株式会社 強誘電体記憶素子、その製造方法、ならびにそれを用いたメモリセルおよびそれを用いた無線通信装置
CN111403417B (zh) * 2020-03-25 2023-06-16 无锡舜铭存储科技有限公司 一种存储器件的结构及其制造方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02158173A (ja) * 1988-12-12 1990-06-18 Seiko Epson Corp 記憶装置
JPH03126275A (ja) * 1989-10-12 1991-05-29 Seiko Epson Corp 非線形2端子素子
JPH0418753A (ja) * 1990-05-11 1992-01-22 Olympus Optical Co Ltd 強誘電体メモリ
US5432731A (en) * 1993-03-08 1995-07-11 Motorola, Inc. Ferroelectric memory cell and method of sensing and writing the polarization state thereof
JPH0764107A (ja) * 1993-08-30 1995-03-10 Sharp Corp 非線形素子基板の製造方法
TW322578B (ru) * 1996-03-18 1997-12-11 Matsushita Electron Co Ltd
JPH1022470A (ja) * 1996-07-02 1998-01-23 Hitachi Ltd 半導体記憶装置及びその製造方法
NO309500B1 (no) * 1997-08-15 2001-02-05 Thin Film Electronics Asa Ferroelektrisk databehandlingsinnretning, fremgangsmåter til dens fremstilling og utlesing, samt bruk av samme
US6284654B1 (en) * 1998-04-16 2001-09-04 Advanced Technology Materials, Inc. Chemical vapor deposition process for fabrication of hybrid electrodes
JP2000068465A (ja) * 1998-08-21 2000-03-03 Nec Corp 半導体装置及びその形成方法
JP3668079B2 (ja) * 1999-05-31 2005-07-06 忠弘 大見 プラズマプロセス装置
JP3956190B2 (ja) * 2000-01-28 2007-08-08 セイコーエプソン株式会社 強誘電体キャパシタアレイ及び強誘電体メモリの製造方法
NO20005980L (no) * 2000-11-27 2002-05-28 Thin Film Electronics Ab Ferroelektrisk minnekrets og fremgangsmåte ved dens fremstilling

Also Published As

Publication number Publication date
CN1589479A (zh) 2005-03-02
NO20015735D0 (no) 2001-11-23
KR100603670B1 (ko) 2006-07-20
ES2238638T3 (es) 2005-09-01
KR20040051614A (ko) 2004-06-18
DE60203321T2 (de) 2006-02-02
WO2003044801A1 (en) 2003-05-30
RU2269830C1 (ru) 2006-02-10
JP2005510078A (ja) 2005-04-14
DE60203321D1 (de) 2005-04-21
CN100449640C (zh) 2009-01-07
CA2464082A1 (en) 2003-05-30
AU2002366187A1 (en) 2003-06-10
EP1446806B1 (en) 2005-03-16
ATE291273T1 (de) 2005-04-15
EP1446806A1 (en) 2004-08-18
AU2002366187B2 (en) 2006-07-13
CA2464082C (en) 2007-03-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2004117774A (ru) Ферроэлектрический или электретный запоминающий контур
US6878980B2 (en) Ferroelectric or electret memory circuit
US6809955B2 (en) Addressable and electrically reversible memory switch
US20050116256A1 (en) Molecular memory device
US7026702B2 (en) Memory device
Scott et al. Nonvolatile memory elements based on organic materials
JP5572165B2 (ja) グラフェンメモリセルおよびその製造方法
CN1819296A (zh) 存储元件、微电子器件、其制造方法及存储信息的方法
RU2008100080A (ru) Устройство хранения данных
US20070267627A1 (en) Organic memory device and fabrication method thereof
WO2002091385A1 (en) Molecular memory cell
WO2005106890A1 (en) An organic electronic circuit with functional interlayer and method for making the same
WO2010035980A2 (ko) 비휘발성 기억소자 및 비휘발성 기억소자의 정보기록방법과 정보판독방법
JP2006519483A (ja) 有機メモリ装置及びそのためのドライバ回路
Zhang et al. Organic electronic memory devices
WO2005086627A2 (en) Three-terminal electrical bistable devices
TW200849581A (en) Organic electronic memory component, memory component arrangement and method for operating an organic electronic memory component
ES2246042T3 (es) Celda de memoria.
CN1190796C (zh) 具有基准电位的集成存储器与这种存储器的运行方法
RU2786791C1 (ru) Способ формирования полимерного мемристора на основе двухслойной структуры полупроводниковый полимер-сегнетоэлектрический полимер
JPH0760907B2 (ja) 電気制御素子およびその応用装置
NO317912B1 (no) Ferroelektrisk eller elektret minnekrets
JPH0555664A (ja) 強誘電体メモリ装置

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20081123