JPH03126275A - 非線形2端子素子 - Google Patents
非線形2端子素子Info
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- JPH03126275A JPH03126275A JP1265668A JP26566889A JPH03126275A JP H03126275 A JPH03126275 A JP H03126275A JP 1265668 A JP1265668 A JP 1265668A JP 26566889 A JP26566889 A JP 26566889A JP H03126275 A JPH03126275 A JP H03126275A
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- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 21
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 11
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 10
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims abstract description 8
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims 1
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 abstract description 10
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 abstract description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 abstract description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 abstract description 9
- 229920000128 polypyrrole Polymers 0.000 abstract description 7
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 3
- RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N heliogen blue Chemical compound [Cu].[N-]1C2=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=NC([N-]1)=C(C=CC=C3)C3=C1N=C([N-]1)C3=CC=CC=C3C1=N2 RBTKNAXYKSUFRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 abstract description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 abstract description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 abstract description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 25
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N Acetonitrile Chemical compound CC#N WEVYAHXRMPXWCK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 3
- JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N benzonitrile Chemical compound N#CC1=CC=CC=C1 JFDZBHWFFUWGJE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001467 poly(styrenesulfonates) Polymers 0.000 description 3
- 229920000123 polythiophene Polymers 0.000 description 3
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 3
- PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N Aniline Chemical compound NC1=CC=CC=C1 PAYRUJLWNCNPSJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N Thiophene Chemical compound C=1C=CSC=1 YTPLMLYBLZKORZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZIALXKMBHWELGF-UHFFFAOYSA-N [Na].[Cu] Chemical compound [Na].[Cu] ZIALXKMBHWELGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- -1 boron fluoride ions Chemical class 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000767 polyaniline Polymers 0.000 description 2
- 229960002796 polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 2
- 239000011970 polystyrene sulfonate Substances 0.000 description 2
- PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N tantalum pentoxide Inorganic materials O=[Ta](=O)O[Ta](=O)=O PBCFLUZVCVVTBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 229910000041 hydrogen chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N hydrogen chloride Substances Cl.Cl IXCSERBJSXMMFS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 239000012044 organic layer Substances 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229940006186 sodium polystyrene sulfonate Drugs 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229930192474 thiophene Natural products 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はデイスプレィ等に応用可能な非線形2端子素子
に関する。
に関する。
[従来の技術]
非線形2端子素子は、通常M工、M (M a t、a
1−エnsulator−Metal)素子と呼ばれ
、金属タンタルの表面を陽極酸化して形成した五酸化タ
ンタル上に金属電極を積層した例が実用化されている。
1−エnsulator−Metal)素子と呼ばれ
、金属タンタルの表面を陽極酸化して形成した五酸化タ
ンタル上に金属電極を積層した例が実用化されている。
しかし、五酸化タンタルは比誘電率が約20と太き(、
その製造方法から膜厚を大きくできないので、M工M素
子の静電容量が太き(なりすぎてしまうという問題があ
った。また、誘電率が大きな材料は、電気非線形特性が
大きくならないことから、素子の特性も余り良くなかっ
た。
その製造方法から膜厚を大きくできないので、M工M素
子の静電容量が太き(なりすぎてしまうという問題があ
った。また、誘電率が大きな材料は、電気非線形特性が
大きくならないことから、素子の特性も余り良くなかっ
た。
そこで、端子間の非線形電気伝導肪起層、を誘電率の小
さい有機材料で構成することが提示され、電解重合法で
有機薄膜を形成する特許(例えば特許室整理Nl133
218)も公開されている。比誘電率を3から4程度と
小さ(できるため、良い電気特性を示す非線形2端子素
子が試作されている。
さい有機材料で構成することが提示され、電解重合法で
有機薄膜を形成する特許(例えば特許室整理Nl133
218)も公開されている。比誘電率を3から4程度と
小さ(できるため、良い電気特性を示す非線形2端子素
子が試作されている。
有機薄膜上の導電層を、金属の蒸着等により形成すると
、有機層を破壊しショートが発生する。
、有機層を破壊しショートが発生する。
有機薄膜上の導電層も有機導電体で形成することにより
、端子間ショートがなく電気特性の安定した非線形2端
子素子が得られている。
、端子間ショートがなく電気特性の安定した非線形2端
子素子が得られている。
[発明が解決しようとする課題]
しかし、従来の有機材料を用いた非線形2端子素子には
、基板、電極と上の有機導電層の仕事関数の違いにより
素子特性の非対称性が生じるという問題点があった。そ
のため印加電圧に対する素子の発生電圧も非対称性にな
り、デイスプレィ等の駆動を困難にしていた。
、基板、電極と上の有機導電層の仕事関数の違いにより
素子特性の非対称性が生じるという問題点があった。そ
のため印加電圧に対する素子の発生電圧も非対称性にな
り、デイスプレィ等の駆動を困難にしていた。
そこで本発明は、素子特性の非対称性がな(、電気特性
の安定した非線形2端子累子を提供することを目的とす
るものである。
の安定した非線形2端子累子を提供することを目的とす
るものである。
[課題を解決するだめの手段]
本発明の非線形2端子素子は、基板電極上に、有機導電
体層、有機絶縁体または半導体層、有機導電体層が積層
されていることを特徴とする。
体層、有機絶縁体または半導体層、有機導電体層が積層
されていることを特徴とする。
[作用コ
仕事関数は導体または半導体内の電子を、外界に移すた
めに加えなげ五ばならない電圧または仕事に相当する。
めに加えなげ五ばならない電圧または仕事に相当する。
ナトリウムは2.28e’Vと小さく白金は5.32θ
■と大きい。従来の2端子素子は、素子の非対称性を防
ぐため、上下の電極を同じ金属または仕事関数のほぼ等
しい金属で構成していた。
■と大きい。従来の2端子素子は、素子の非対称性を防
ぐため、上下の電極を同じ金属または仕事関数のほぼ等
しい金属で構成していた。
有機導電材料は、π共役系を分子骨格とする化合物にP
型またはル型のドーピングを行なったものである。金属
と仕事関数が異なるのはもち論、同じ高分子材料でもド
ーピングがちがうと仕事関数が異なってしまう。基板電
極のパターニングは金属薄膜をエツチングするのが一般
的であるが、電解重合法を用いて基板電極上に有機導電
体層を形成し、上電極の導電体層も同じ仕事関数の有機
導電材料で構造すれば、素子の非対称性を含ぐことかで
きる。上電極に金属や金属酸化膜を用いないので、中間
層の有機絶縁体または半導体にダメージを与えず、ショ
ートの無い安定した非線形2端子素子を構成することが
できる。
型またはル型のドーピングを行なったものである。金属
と仕事関数が異なるのはもち論、同じ高分子材料でもド
ーピングがちがうと仕事関数が異なってしまう。基板電
極のパターニングは金属薄膜をエツチングするのが一般
的であるが、電解重合法を用いて基板電極上に有機導電
体層を形成し、上電極の導電体層も同じ仕事関数の有機
導電材料で構造すれば、素子の非対称性を含ぐことかで
きる。上電極に金属や金属酸化膜を用いないので、中間
層の有機絶縁体または半導体にダメージを与えず、ショ
ートの無い安定した非線形2端子素子を構成することが
できる。
[実施例]
(実施lN1)
第1図は、本発明の実施例1における非線形2端子素子
の構造を模式的に示す断面図である。ガラス基板1上に
工To(工ndium Tin0xide )電極2
をスパッタにより形成し、陽極とした。白金電極を陰極
として、ビロールと鋼7タロシアニンデトラ硫酸ナトリ
ウムをそれぞれ0.2規定溶解させたアセトニトリル中
で、1.0ボルトの電圧を印加した。5分後、銅フタロ
シアニンテトラ硫酸イオンをドーパントとして取り込ん
だポリピロール導電体層3が0.3ミクロンの膜厚で形
成できた。
の構造を模式的に示す断面図である。ガラス基板1上に
工To(工ndium Tin0xide )電極2
をスパッタにより形成し、陽極とした。白金電極を陰極
として、ビロールと鋼7タロシアニンデトラ硫酸ナトリ
ウムをそれぞれ0.2規定溶解させたアセトニトリル中
で、1.0ボルトの電圧を印加した。5分後、銅フタロ
シアニンテトラ硫酸イオンをドーパントとして取り込ん
だポリピロール導電体層3が0.3ミクロンの膜厚で形
成できた。
次に、銅フタロシアニンテトラ硫酸ナトリウムの替りに
、ホウフッ化ナトリウムを0.2規定溶解させたアセト
ニトリル中で、ビロールの重合を行なった。1.5ボル
トの電圧を10分間印加したところ、導電体層5の上に
ホウフッ化イオンをドーパントとして取り込んだ、ポリ
ピロールの導電体層4が1.0ミクロンの膜厚で積層で
きた。
、ホウフッ化ナトリウムを0.2規定溶解させたアセト
ニトリル中で、ビロールの重合を行なった。1.5ボル
トの電圧を10分間印加したところ、導電体層5の上に
ホウフッ化イオンをドーパントとして取り込んだ、ポリ
ピロールの導電体層4が1.0ミクロンの膜厚で積層で
きた。
更に、ポリピロール導電体層3を形成した時と同じ条件
で、1.0ボルトの電圧を20分間印加した。導電体層
4の上に銅フタロシアニンテトラ硫酸ナトリウムイオン
をドーパントとして取り込んだポリピロール導電体層5
が1.2ミクロンの膜厚で積層できた。
で、1.0ボルトの電圧を20分間印加した。導電体層
4の上に銅フタロシアニンテトラ硫酸ナトリウムイオン
をドーパントとして取り込んだポリピロール導電体層5
が1.2ミクロンの膜厚で積層できた。
−2,0ボルトの逆バイアス電圧を10分間印加すると
、ホウフッ化イオン(BF、″)のみが脱ドープされ、
有機半導体層4となった。このようにして製造した直径
100ミクロンの2端子素子のJ−V特性を第2図に示
す。重合条件を制御することにより、この非線形特性は
かなりの精度で再現される。また、100個の素子を製
造しても、端子間ショートは1個も発生しなかった。
、ホウフッ化イオン(BF、″)のみが脱ドープされ、
有機半導体層4となった。このようにして製造した直径
100ミクロンの2端子素子のJ−V特性を第2図に示
す。重合条件を制御することにより、この非線形特性は
かなりの精度で再現される。また、100個の素子を製
造しても、端子間ショートは1個も発生しなかった。
比較として、ポリピロール導電体層3を形成せず、下の
工To電極をプラス端子とした時の2端子素子のJ−V
特性を第3図に示す。逆向きに電圧を印加すると、電流
密度が1桁以上異なる非対称性が発生した。
工To電極をプラス端子とした時の2端子素子のJ−V
特性を第3図に示す。逆向きに電圧を印加すると、電流
密度が1桁以上異なる非対称性が発生した。
(実施例2)
ガラス基板上にクロム電極を蒸着により形成しフォトエ
ツチングでパターニングして陽極とした。白金電極を陰
極として、チオフェンと重合度数百程度のポリスチレン
スルホン酸ナトリウムをそれぞれ0.1規定溶解させた
ベンゾニトリル中で10ボルトの電圧を印加した。1後
後ポリスチレンスルホン酸イオンをドーパントとして取
り込んだポリチオフェン導電膜が0.4ミクロンの膜厚
で形成できた。
ツチングでパターニングして陽極とした。白金電極を陰
極として、チオフェンと重合度数百程度のポリスチレン
スルホン酸ナトリウムをそれぞれ0.1規定溶解させた
ベンゾニトリル中で10ボルトの電圧を印加した。1後
後ポリスチレンスルホン酸イオンをドーパントとして取
り込んだポリチオフェン導電膜が0.4ミクロンの膜厚
で形成できた。
次にアニリンと塩化水素をそれぞれ0.1規定溶解させ
た水中で、先の電極間に1.0ボルトの電圧を印加した
。10分後項素イオンをドーパントとして取り込んだポ
リアニリン導電膜が、0.8ミクロンの膜厚で積層でき
た。更に、下地のポリチオフェン導電膜を形成した時と
同じ条件で、10ボルトの電圧を5分間印加した。ポリ
スチレンス°ルホン酸イオンをドーパントとして取り込
んだポリチオフェン導電膜が2.0ミクロンの膜厚で積
層できた。
た水中で、先の電極間に1.0ボルトの電圧を印加した
。10分後項素イオンをドーパントとして取り込んだポ
リアニリン導電膜が、0.8ミクロンの膜厚で積層でき
た。更に、下地のポリチオフェン導電膜を形成した時と
同じ条件で、10ボルトの電圧を5分間印加した。ポリ
スチレンス°ルホン酸イオンをドーパントとして取り込
んだポリチオフェン導電膜が2.0ミクロンの膜厚で積
層できた。
一10ボルトの逆バイアス電圧を5分間印加すると、塩
素イオンのみが脱ドープされ、ポリアニリンの有機絶縁
体層となった。このようにして製造した直径15ミクロ
ンの2端子素子は、対称性の良い電気非線形特性を示し
た。また繰り返し作動等における安定性も良好だった。
素イオンのみが脱ドープされ、ポリアニリンの有機絶縁
体層となった。このようにして製造した直径15ミクロ
ンの2端子素子は、対称性の良い電気非線形特性を示し
た。また繰り返し作動等における安定性も良好だった。
以上実施例を挙げて詳細に説明して来たが、本発明は素
子の大きさ、有機物の種類やドーパントの種類に何ら限
定されるものではない。本発明の非線形2端子素子をマ
トリックス状に配置し、液晶を制御すれば、ラップトツ
ブコンピューターのデイスプレィ等に応用することがで
きる。
子の大きさ、有機物の種類やドーパントの種類に何ら限
定されるものではない。本発明の非線形2端子素子をマ
トリックス状に配置し、液晶を制御すれば、ラップトツ
ブコンピューターのデイスプレィ等に応用することがで
きる。
〔発明の効果]
以上述べたように本発明によれば、基板電極上に、有機
等電体層、有4−i!絶縁体または半導体層、有機等電
体層が積層lされていることにより、素子特性の非対称
性がなく、電気特性の安定した非線形2端子素子を提供
することができた。
等電体層、有4−i!絶縁体または半導体層、有機等電
体層が積層lされていることにより、素子特性の非対称
性がなく、電気特性の安定した非線形2端子素子を提供
することができた。
第1図は、本発明の実施例1における非線形2端子素子
の構造を模式的に示す断面図である。 1・・・・・・・・・基 板 2・・・・・・・・・電 極 3・・・・・・・・・有機導電体層 4・・・・・・・・・有機半導体(絶縁体)層5・・・
・・・・・・有機導電体層 第2図は本発明の実施例1における非線形2端子素子の
y−v特性を示す図である。 第5図は本発明の実施例1で比較として挙げた、従来の
非線形2端子素子のJ−v特性を示す図である。 竺1図 以上
の構造を模式的に示す断面図である。 1・・・・・・・・・基 板 2・・・・・・・・・電 極 3・・・・・・・・・有機導電体層 4・・・・・・・・・有機半導体(絶縁体)層5・・・
・・・・・・有機導電体層 第2図は本発明の実施例1における非線形2端子素子の
y−v特性を示す図である。 第5図は本発明の実施例1で比較として挙げた、従来の
非線形2端子素子のJ−v特性を示す図である。 竺1図 以上
Claims (2)
- (1)基板電極上に、有機導電体層、有機絶縁体または
半導体層、有機導電体層が積層されていることを特徴と
する非線形2端子素子。 - (2)上下の有機導電体層が、同一のポリマー及び同一
のドーピング組成で形成されていることを特徴とする請
求項1記載の非線形2端子素子
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1265668A JPH03126275A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 非線形2端子素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1265668A JPH03126275A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 非線形2端子素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH03126275A true JPH03126275A (ja) | 1991-05-29 |
Family
ID=17420328
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1265668A Pending JPH03126275A (ja) | 1989-10-12 | 1989-10-12 | 非線形2端子素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH03126275A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004515055A (ja) * | 2000-11-27 | 2004-05-20 | シン フイルム エレクトロニクス エイエスエイ | 強誘電性メモリ回路及びその製造方法 |
JP2005510078A (ja) * | 2001-11-23 | 2005-04-14 | シン フイルム エレクトロニクス エイエスエイ | 強誘電体又はエレクトレットメモリ回路 |
US8193594B2 (en) | 2006-11-07 | 2012-06-05 | Cbrite Inc. | Two-terminal switching devices and their methods of fabrication |
US8222077B2 (en) | 2006-11-07 | 2012-07-17 | Cbrite Inc. | Metal-insulator-metal (MIM) devices and their methods of fabrication |
US8253910B2 (en) | 2003-01-17 | 2012-08-28 | Cbrite Inc. | Display employing organic material |
US9741901B2 (en) | 2006-11-07 | 2017-08-22 | Cbrite Inc. | Two-terminal electronic devices and their methods of fabrication |
-
1989
- 1989-10-12 JP JP1265668A patent/JPH03126275A/ja active Pending
Cited By (6)
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