KR960039176A - 기판처리방법 및 기판처리장치 - Google Patents

기판처리방법 및 기판처리장치 Download PDF

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Abstract

기판처리방법은, LCD용 기판을 얹어놓은대 위에 얹어놓고, 이 얹어놓는대 위에 얹어놓인 기판의 적어도 한쪽면과의 사이에 클리어런스가 형성되도록 기판에 커버를 씌우고, 클리어런스에 처리액을 도입하여, 기판의 적어도 한쪽면에 처리액을 접촉시켜서, 처리액으로 기판을 처리하고, 커버를 기판으로부터 떼어내고, 기판을 얹어놓는대로부터 꺼낸다.

Description

기판처리방법 및 기판처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는, 본 발명의 제1실시형태에 관한 기판처리장치의 일부를 절결하여 나타내는 단면구성 블록도, 제3도는, 제1실시형태의 기판처리장치의 평면도.

Claims (18)

  1. 기판을 얹어놓는대 위에 얹어놓는 로우드 공저와, 이 얹어놓는대 위에 언정놓인 기판의 적어도 한쪽면과의 사이에 클리어런스가 형성되도록 기판에 커버를 씌우는 커버장착공정과, 상기 클리어런스에 처리액을 도입하고, 기판의 적어도 한쪽면에 처리액을 접촉시키는 처리공정과, 상기 커버를 기판으로부터 떼어내는 커버해제공정과, 기판을 상기 얹어놓는대로부터 꺼내는 언로우드공정을 구비하는 기판처리방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 처리공정에서, 처리액을 커버의 한쪽측으로부터 클리어런스에 도입하고, 클리어런스 내를 유통시키고, 클리어런스로부터 커버의 다른쪽측으로 배출하는 기판처리방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 처리공정에서는, 기판에 접촉시킨 처리액을 재생처리하고, 이 재생처리한 처리액을 상기 클리어런스 내에 다시 유통시키는 기판처리방법.
  4. 제1항에 있어서, 상기 처리공정에서는, 처리액은 클리어런스 내를 실질적으로 층류(層流)가 되도록 유통시키는 기판처리방법.
  5. 제1항에 있어서, 상기 처리공정에서는, 처리액은 클리어런스 내에서 일시적으로 체류되고, 기판의 적어도 한쪽면이 처리액과 일정시간 계속해서 접촉하는 기판처리방법.
  6. 제1항에 있어서, 상기 처리공정에서는, 처리액을 기판에 접촉시킨 후에 드라이가스를 클리어런스에 유통시키고, 드라이가스에 의해서 기판을 건조시키는 공정을 더욱 포함하는 기판처리방법.
  7. 제1항에 있어서, 기판의 표면에는 레지스트막이 형성되어 있고, 이 레지스트막을 상기 처리액을 이용하여 현상하는 기판처리방법.
  8. 기판을 얹어놓는대 위에 얹어놓는 로우드공정과, 상기 얹어놓는대와 함께 기판을 경사시키는 공정과, 이 경사시킨 기판의 높은 쪽으로 부터 낮은 쪽을 향하여 기판의 표면을 따라서 처리액을 흐르게하여 떨어뜨리는 공정을 구비하는 기판처리방법.
  9. 제8항에 있어서, 기판의 표면에는 레지스트막이 형성되어 있고, 이 레지스트막을 상기 처리액을 이용하여 현상하는 기판처리방법.
  10. 챔버와, 이 챔버 내에 반입되는 기판이 얹어놓여지는 얹어놓는대와, 상기 얹어놓는대 위에 얹어놓여진 기판의 적어도 한쪽면과의 사이에 클리어런스가 형성되도록 기판을 덮는 커버와, 상기 클리어런스 내에 처리액을 공급하는 처리액 공급수단과, 상기 클리어런스 내에 처리액을 배출하는 처리액 배출수단을 구비하는 기판처리장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 커버를 승강시키는 승강수단을 더욱 포함하는 기판처리장치.
  12. 제10항에 있어서, 상기 얹어놓는대를 승강시키는 승강수단을 더욱 포함하는 기판처리장치.
  13. 제10항에 있어서, 상기 커버는, 아래면 둘레부에 기판을 눌러붙이는 복수의 돌기를 가지는 기판처리장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 커버는, 초음파 진동자를 구비하고 있는 기판처리장치.
  15. 제10항에 있어서, 상기 커버는, 직사각형 형상을 이루고 있는 기판 처리장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 처리액 공급수단은, 현상액을 클리어런스 내에 공급하는 현상액 공급원과, 린스액을 클리어런스 내에 공급하는 린스액 공급원과, 이들 현상액 공급원의 유로와 린스액 공급원의 유로를 전환하는 유로 전환밸브를 가지는 기판처리장치.
  17. 제10항에 있어서, 상기 커버는, 기판의 윗면과의 사이에 상부 클리어런스를 형성하는 상부 커버부재와, 기판의 아래면과의 사이에 하부 클리어런스를 형성하는 하부 커버부재와, 이들의 상하 커버부재의 맞닿는부에 끼워 설치하는 시일부재를 가지는 기판처리장치.
  18. 컵과, 이 컵내에 설치되고, 기판이 얹어놓여지는 얹어놓는대와, 이 얹어놓는대 위이 기판을 수평면에 대해서 경사시키는 수단과, 경사상태의 기판의 높은 쪽으로부터 처리액을 공급하는 공급통과, 경사상태의 기판의 낮은 쪽에서 처리액을 받는 받이통을 구비하는 기판처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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