KR970011644B1 - 도포 처리 장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

도포 처리 장치

제1도는, 종래의 침지처리장치의 문제점을 나타낸 설명도,

제2도는, 본 발명의 1 실시예의 도포처리 장치의 단면도,

제3도는, 제2도의 도포처리 장치의 현상액 공급부를 확대하여 나타낸 단면도,

제4도는, 제3도의 X-X선에 따른 단면도,

제5도는, 제2도의 도포처리장치의 작용을 나타낸 설명도,

제6도는, 본 발명의 도포처리장치에서의 현상액 공급기구를 확대하여 나타낸 도면,

제7도는, 본 발명의 도포처리장치의 다른 실시예의 단면도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 피처리 기판2 : 컵

3 : 바깥둘레홈4 : 현상액 공급관

5 : 노즐7 : 공기가 모아지는 부

11 : 피처리 기판12 : 얹어 놓는대

13 : 회전기구14 : 내부컵

14a : 관통구멍14b : 경사면

15 : 흡착패드16 : 세정노즐

17 : 윗쪽컵17 : 경사면

17b : 트인 구멍18 : 시일링

19 : 현상액 공급기구20 : 바깥둘레홈

20a : 바깥둘레홈(20)의 윗면21 : 노즐군(群)

21a : 노즐22 : 간막이판

23 : 액체가 모아지는 곳24 : 토출통로

25 : 판26 : 현상액 공급관

27 : 외부컵28 : 아래쪽컵

28a : 관통구멍28b : 배출홈

29 : 배출관(배액관)30 : 배기관

31 : 승강 구동 기구32 : 현상액

33 : 배출통로34 : 공기를 빼내는 통로

40 : 압축 공기원41 : 공기 유입구

42 : 진공구43 : 배기구

44 : 진공장치45 : 파이프

46 : 진공 흡인 통로47 : 제1의 기체 액체 분리장치

48 : 제1의 배기구49 : 제1의 액체 배출구

50 : 배관51 : 제2의 기체액체 분리장치

52 : 제2의 액체 배출구53 : 제2의 배기구

54 : 알카리 배기처리장치55 : 집액(集液) 파이프

본 발명은, 레지스트액이나 현상액등의 액체상태의 처리제의 도포등에 사용되는 도포처리 장치에 관한 것이다.

종래로 부터, 반도체 장치의 제조공정등에 있어서의 포토레지스트막의 도포공정이나 이 포토레지스트막의 현상처리공정과 같은 공정에서는, 공정의 무인화나 연속처리 등의 관점에서 피처리기판을 1매씩 액체상태의 처리제에 의하여 처리하는 처리장치가 주로 사용되고 있다.

이와 같은 처리장치로서는, 스핀식의 처리장치나 침지식(浸漬式)의 처리장치가 알려져 있다.

예를들면 현상장치의 경우에, 스핀식의 처리장치에서는 피처리기판의 윗쪽에 배치된 노즐이나 스프레이 등으로 현상액을 피처리기판 위에 공급한다.

이로인하여, 표면장력이 작용에 의하여 피처리기판위에 담는 액체량에 한도가 있다.

또한, 현상액의 공급량에 따라서는 도포얼룩이 발생한다고 하는 문제가 있었다.

또한, 현상액을 피처리기판에 입혀붙었을때의 충격에 의하여서도 현상얼룩등의 발생하기 쉽다.

이것에 대하여, 침지식의 처리장치는, 액체를 담을때의 충격이 적다.

또한, 액체를 담는 속도가 빠르고, 또한, 액체를 담는 높이를 높게 설정하는 것이 가능하다는 등의 이점의 갖고 있다.

특히, 침지식의 처리장치는, 근년에와서 해상도를 향상시키기 위하여 계면활성제를 첨가한 현상액과 같은 표면장력이 낮은 현상액을 사용할때에는, 불가결한 장치로 되고 있다.

침지식의 현상장치로서는, 피처리기판의 아래면주변부와 액체로 기밀하게 접촉하여, 피처리기판을 충분하게 침지처리 할 수가 있는 내부용적을 가진 컵을 구비하여 피처리기판에 따라 처리탱크를 형성하도록 한 구조의 것이 알려져 있다.

이와 같은 현상장치는, 피처리기판에 대하여 현상액을 완만하게 공급하기 위하여, 피처리기판의 측면쪽에 위치하는 컵의 내부에 현상액 공급기구를 형성하고 있다.

이 현상액공급기구는, 예를들면, 제1도에 나타낸 바와 같이, 컵(2) 내부의 피처리기판(1)의 측면쪽 위치에 둥근고리형상이 바깥둘레홈(3)을 형성하고 있다.

이 바깥둘레홈(3)에 현상액 공급관(4)을 접속함과 동시에, 피처리기판(1)의 방향으로 뻗은 슬리트 형상이 노즐(5)을 형성하고 있다.

이와 같은 구조에 의하여, 바깥둘레홈(3)에 공급된 현상액(32)을 피처리기판(1)의 전체 방향의 위치에서 처리탱크로 공급하고 있다.

그러나, 위에서 설명한 현상장치에서는, 현상액(32)의 공급을 정지한후에 바깥둘레홈(3) 내부의 현상액(32)이 이 노즐(5)로부터 처리탱크를 향하여 유출되어 버린다.

이로 인하여 바깥둘레홈(3) 내부에 공기가 모아지는부(7)가 형성되어 버린다.

이 공기가 모아지는부(7)는, 연속하여 현상액(32)을 토출하고 있을때에는 거의 영향은 없다.

그러나, 장시간 동안 방치하면 공기가 모아지는부(7)는 커지게 되므로, 현상액 토출량에 불균형을 발생시키는 원인으로 된다.

또한, 현상액 토출시에 공기도 동시에 토출하여 버린다.

즉, 기포가 혼입된 상태의 토출로 되어 현상얼룩이나 현상불량의 원인으로 되고 있다.

또한, 위에서 설명한 현상장치는, 노즐의 형상을 슬리트 형상으로 함으로써 토출시의 압력손실을 감소시키는 효과를 갖고 있다.

그러나, 처리탱크의 내부에로의 토출상태가 불균일하게 된다거나 흡수되는 문제가 있었다.

이들의 문제는, 예를들면 레지스트 도포장치로서 침지식의 처리장치를 사용하는 경우에 있어서도 마찬가지이므로, 레지스트 형성시의 얼룩이나 막두께의 불균형등의 원인으로 된다.

본 발명의 목적은 현상액이나 레지스트액과 같은 액체상태의 처리제의 공급을 안정시켜서, 기포의 혼입이나 도포얼룩등에 의한 처리불량을 방지한 도포처리 장치를 제공하는데 있다.

본 발명은, 피처리기판을 출입시키는 개구부를 갖고, 또한, 수용한 이 피처리기판의 뒷면을 바닥부에 액체를 기밀하게 접촉시켜서 처리탱크를 구성하는 컵과, 이 컵의 둘레벽내에 상기 처리탱크와 연이어 통하여 형성된 바깥둘레홈과, 한쪽끝단측이 액체상태의 처리제 공급원에 접속되고, 또한 다른쪽끝단축이 상기 바깥둘레홈에 소정의 간격으로 다수개가 연결된 노즐과, 상기 바깥둘레홈의 개구끝단둘레보다도 상기 바깥둘레홈의 바닥부쪽을 향하여 상기 컵의 내부둘레벽에 수직으로 형성된 간막이판를 구비하는 도포처리장치이다.

다음에, 본 발명의 실시예에 대하여 첨부한 도면에 따라 상세히 설명하면 다음과 같다.

제2도는, 본 발명의 1 실시예인 도포처리 장치의 단면도이다.

도면중에서 (11)은, 예를들면 반도체 웨이퍼로 이루어지는 피처리기판이다.

피처리기판(11)은, 얹어 놓는대(12)에 보호지지되도록 되어 있다.

얹어 놓는대(12)는, 얹어 놓는대(12)와 함께 피처리기판(11)을 빠른속도로 회전시키는 회전기구(13)에 연결되어 있다.

또한, 얹어 놓는대(12)는, 내부컵(14)위 중앙부에 형성된 관통구멍(14a) 내에서 자유롭게 움직이도록 배치되어 있다.

내부컵(14)의 상부에는, 도포현상시에 피처리기판(11)을 흡착하여 보호지지하는 원형의 흡착패드(15)가 형성되어 있다.

흡착패드(15)는, 도시를 생략한 예를들면 진공펌프와 같은 진공기구에 접속되어 있다.

이 흡착패드(15)에 의하여 피처리기판(11)의 아래면 주변부와 내부컵(14)이 액체로 기밀하게 시일(seal)된다.

내부컵(14)의 상부에는, 현상이 종료된 후에 피처리 기판(11)의 아래면을 세정하기 위한 세정노즐(16)도 형성되어 있다.

이 내부컵(14)은, 바깥쪽 아래 방향으로 향하여 경사진 경사면(14b)을 갖는 원통형상을 이루고 있다.

내부컵(14)의 윗쪽에는, 이 내부컵(14)의 경사면(14b)과 대면하도록, 동일한 방향으로 경사진 경사면(17a)을 그의 아래쪽에 갖고, 또한 처리탱크의 측면벽을 구성하는 트인구멍(17b)을 갖는 원통형상의 윗쪽컵(17)이 배치되어 있다.

내부컵(14)과 윗쪽컵(17)과는, 윗쪽컵(17)의 안쪽하부에 형성된 시일링(18)에 의하여 액체로 기밀하게 접촉되도록 구성되어 있다.

그리고, 피처리기판(11), 내부컵(14), 시일링(18) 및 윗쪽컵(17)에 의하여 액체와 기밀한 처리탱크가 구성된다.

윗쪽컵(17)의 내부에는, 현상액 공급기구(19)가 형성되어 있다.

현상액 공급기구(19)는, 제3도 및 제4도에 나타낸 바와 같이, 둥근고리형상의 바깥둘레홈(20)의 안쪽둘레측으로 부터 다수개의 작은직경의 노즐(21a),(21a)…에 의하여 구성된 노즐군(21)이 뚫려져 있다.

바깥둘레홈(20)은 연이어 통하여도 좋지만 단속적인 홈이어도 좋다.

노즐군(21)의 안쪽에는, 액체가 모아지는 부(23)를 형성하도록 소정의 간격을 두고서 원통형상의 간막이판(22)이 형성되어 있다.

이 간막이판(22)의 윗면은, 바깥둘레홈(20)의 윗면(20a)의 높이와 적어도 동일하게 되어 있다.

이 윗면은, 바람직하게는 바깥둘레홈(20)의 윗면(20a) 보다도 약간 높게 한다.

또한, 간막이판(22)의 안쪽에는, 각 노즐(21a),(21a)… 및 액체가 모아지는 부(23)와 연이어 통하고, 간막이판(22)의 상부를 따라 형성된 토출통로(24)의 아래쪽으로 굴곡되도록 돌출되어 맞닿는판(25)이 형성되어 있다.

또한, 바깥둘레홈(20)에는 사용하는 액체량에 따른 갯수의 현상액 공급관(26)이 접속되어 있다.

또한, 노즐군(21)은, 예를들면 6인치의 기판에 대하여 6ℓ/분 정도로 현상액을 토출시키는 경우에, 각 노즐(21a),(21a)… 의 직경을 직경 2mm, 수량을 36개 정도로서, 작은 직경이고도 다수개로 한다.

이것에 의하여, 압력 손실을 2kg/cm²이하 정도의 낮은 손실로 감소시킬 수가 있다.

또한, 토출의 균일성과 토출량과를 동시에 만족시킬 수가 있다.

윗쪽컵(17)의 바깥둘레에는, 린스·세정시나 건조시등에 액체의 날아흩어짐을 방지하도록 외부컵(27)이 형성되어 있다.

한편, 내부컵(14)의 안쪽 하부에는, 이 현상장치 전체의 아래면 및 측면을 에워싸도록, 원통용기 형상의 아래컵(28)이 고정부착되어 있다.

아래컵(28)에는, 얹어놓는대(12)가 자유롭게 움직이도록 하는 관통구멍(28a)이 형성되어 있다.

아래컵(28)의 아래면 바깥둘레에는, 현상액등의 배출을 행하는 배출홈(28b)이 형성되어 있다.

배출홈(28b)에는, 배출관(29)이 접속되어 있다.

또한, 배출홈(28b)은, 린스·세정시나 건조시 등에 피처리기판(11)의 한쪽으로 날아 흩어지는 미스트(mist)가 휩쓸려 들어가는 것을 방지하는 배기관(30)이 접속되어 있다.

배기관(30)은, 도시를 생략한 배기기구에 접속되어 있다.

아래컵(28)의 아래면에는, 아래컵(28) 및 내부컵(14)의 승강을 제어하는, 예를들면 에어실린더와 같은 승강구동기구(31)가 형성되어 있다.

승강구동기구(31)의 구동에 의하여, 현상상태와 세정·린스 및 건조상태의 구별이 이루어진다.

이와 같이 구성된 도포식현상장치는, 다음과 같이 하여 도포현상 처리를 행한다.

우선, 제5도에 나타낸 바와 같이, 린스·세정 및 건조상태에서 대기하고 있는 얹어놓는대(12) 위에 피처리기판(11)을 얹어놓아 흡착하여 보호지지 시킨다.

피처리기판(11)의 반입·반출은, 예를들면 컵 전체를 승강시키는 승강구동기구를 형성하여 행한다.

즉, 승강구동기구에 의하여, 린스·세정 및 건조상태에 있는 컵 전체를 승강시켜서, 얹어놓는대(12)의 윗면을 외부컵(27) 보다 윗쪽에 위치시킨다.

이 상태에서 외부의 방송기구에 의하여, 피처리기판(11)의 반입·반출을 행한다.

다음에, 승강구동기구(31)에 의하여 아래컵(28) 및 내부컵(14)을 상승시켜, 피처리기판(11)을 얹어놓는대(12) 위에서 흡착패드(15) 위로 얹어서 교체한다.

피처리 기판(11)이 흡착패드(15) 위에 얹어놓여진 장소에서 진공기구를 작동시킨다.

이것에 의하여 얹어놓은부를 액체로 기밀하게 시일한다.

계속해서, 윗쪽컵(17)의 아래쪽에 형성된 시일링(18)에 내부컵(14)의 경사면(14b)이 맞닿는 위치까지 승강구동기구(31)를 상승시킨다.

그리고, 승강구동기구(31)의 밀어누르는 힘에 의하여 시일링(18)과 내부컵(14)과를 액체로 기밀하게 접촉시킴는 위치에서 보호지지한다.

이와 같이 하여 처리탱크를 형성시킨다.

이 상태가 제2도에 나타낸 상태이다.

다음에, 현상액 공급관(26)으로부터 현상액을 바깥둘레홈(20)에 공급한다.

이와 같이 바깥둘레홈(20)에 공급된 현상액(32)은, 노즐군(21)을 통하여 액체가 모아지는 부(23)에 공급된다.

이어서, 현상액(32)은, 간막이판(22)의 상부를 타고 넘어서 돌출되어 맞닿는판(25)에 의하여 아래쪽으로 향하여 형성된 토출통로(24)를 통과하여, 처리탱크내에 피처리기판(11)의 측면아래쪽으로부터 서서히 공급된다.

이때에, 현상액(32)은, 다수개의 작은 직경의 노즐(21a),(21a)…에 의하여 구성된 노즐군(21)으로부터 처리탱크내에 공급된다.

이로인하여, 현상액(32)은, 피처리기판(11)의 전체 둘레방향으로부터 균일하게 피처리기판(11) 위에 액체가 담겨진다.

또한, 현상액(32)의 공급이 정지되어도 액체가 모아지는부 (23)내의 현상액은, 처리탱크쪽으로 유출되지 않는다.

따라서, 현상액(32)의 윗면은, 간막이판(22)의 윗면의 높이로 유지된다.

그리고, 액체가 모아지는부(23)와 간막이판(22)과의 작용에 의하여, 바깥둘레홈(20) 내에도 계속적으로 그의 윗면(20a)까지 현상액(32)이 가득채워져 있다.

이것에 의하여 공기가 모아지는 부가 현상액(32) 중에 형성되는 것을 방지할 수가 있다.

또한, 처리탱크내에 소정량의 현상액(32)을 가득채우고, 소정시간의 도포현상처리를 행한 후에, 승강구동기구(31)를 하강시킨다.

이것에 의하여 액체로 기밀하게 시일되어 있던 내부컵(14)과 윗쪽컵(17)이 분리된다.

그 결과, 현상액(32)은, 자연적으로 떨어짐에 따라 윗쪽컵(17)과 내부컵(14) 사이에 형성된 배출통로에서 배출홈(28b)으로 흐른다.

그리고, 현상액(32)은, 배출관(29)을 통하여 외부로 배출된다.

현상액(32)의 배출은, 배출통로의 개구면적을 충분하게 취할 수가 있기 때문에, 신속하게 행하는 것이 가능하다.

또한, 승강 구동기구(31)를 하강시켜서 피처리기판(11)을 얹어놓는대(12) 위에 얹어서 교체한다(제4도에 나타낸 상태참조).

이 상태에서 회전기구(13)를 작동시킨다.

이것에 의하여, 피처리기판(11)을 빠른 속도로 회전시킨다.

그리고, 피처리기판(11) 위에 잔존하는 현상액(32)을 제거한다.

이것과 동시에, 도시를 생략한 린스노즐로부터 린스액을 토출시켜서, 현상의 정지와 피처리기판(11) 위의 린스를 행한다.

또한, 뒷면 세정노즐(16)에서도 세정액을 분출시켜서 동시에 피처리기판(11)의 뒷면을 세정한다.

이 세정공정시에는, 배기관(30)으로부터 컵내부의 배기를 행하여, 도면중에서 화살표 A로서 나타낸 바와 같은 배기류를 형성한다.

즉, 린스액등의 날아흩어진 미스트가 피처리기판(11) 위에 부착되는 것을 방지한다.

린스 및 뒷면세정공정이 종료된 후에, 피처리기판(11)을 일정시간 동안 더욱 회전시킨다.

그리고, 피처리기판(11)을 건조시킨다.

이와 같이 하여 일련의 도포현상공정을 종료한다.

이상에서와 같이, 본 실시예의 도포식 현상장치에 의하면, 현상액공급기구를 바깥둘레홈, 노즐군 및 바깥둘레홈의 윗면의 높이와 적어도 동일한 높이를 갖는 간막이판에 의하여 구성하고 있다.

이로 인하여, 바깥둘레홈내예로의 현상액의 공급이 정지된 후에도, 간막이판의 바깥둘레 쪽에 형성된 액체가 모아지는 부의 내부에는, 계속적으로 바깥둘레홈 위의 면의 높이와 적어도 동일한 높이의 액체의 표면의 현상액의 잔존하고 있다.

그 결과, 바깥둘레홈내에도 마찬가지로 윗면까지 현상액이 가득차게 되고, 이것 이상의 현상액의 유출은 일어나지 않는다.

따라서, 장시간에 걸쳐서 장치의 운전을 정지한 후에도 바깥둘레 홈내에 공기가 모아지는 부가 형성되는 일이 없다.

그리고, 계속적으로 일정량의 현상액을 토출하는 것이 가능하게 된다.

또한, 현상액중에 기포의 혼입도 발생하지 않으므로, 토출량의 불균형이나 기포의 혼입에 의한 현상 얼룩이나 현상불량이 방지된다.

또한, 다수개의 작은 직경의 노즐로 이루어지는 노즐군에 의하여 처리탱크내에 현상액을 공급하고 있다.

이로인하여, 다소간의 압력손실이 커지게 되기는 하였지만, 작은직경 노즐을 다수개로 하고 있는 것이기 때문에 전체로의 압력손실은 토출량에 영향이 생기지 않을 정도로 감소시킬 수가 있다.

이 작은 직경이고도 다수개로 이루어진 노즐군에 의하여, 피처리기판의 전체 둘레방향에서 균일하게 현상액을 공급하는 것이 가능하게 된다.

그 결과, 현상얼룩이 방지된다.

또한, 제6도에 나타낸 바와 같이, 현상액 공급기구에, 노즐군(21)을 통과한 후의 토출통로(24)의 상부에 공기를 빼내는 통로(34)를 형성하여도 좋다.

이 공기를 빼내는 통로(34)에 의하여 더욱더 현상액이 공급이 안정하게 된다.

이것은, 일반적으로 현상액은 표면장력을 갖는다.

이로인하여, 간막이판(22)과 돌출되어 맞닿는 판(25) 사이의 좁은 토출통로(24)에는 현상액이 그의 표면장력에 의하여 잔존하고 있는 것이 있다.

이 상태에서 현상액이 토출되면, 토출통로(24) 내의 공기가 현상액과 혼합되어 토출된다.

그리하여, 제6도에 나타낸 바와 같이 토출통로(24)의 윗면에 공기를 빼내는 통로(34)를 형성한다.

이것에 의하여, 토출된 현상액만을 노출통로(24)를 통하여 노출시킨다.

그리고 잔존하는 공기는 공기를 빼내는 통로(34)에서 배출하는 것이 가능하게 된다.

이 공기를 빼내는 통로(34)는, 토출통로(24)의 윗면의 높이와 동일하게 바깥둘레쪽을 향하여 형성하는 것이 바람직하다.

그의 크기는, 어느정도의 홈의 폭을 갖는 것이 바람직하다.

이와 같은 형상으로 함으로써, 액체가 모아지는부(23)로부터 윗쪽에로 향하였던 현상액이 공기를 배내는 통로(34) 쪽에로 오더라도 액체는 통과하지 않고, 기체만을 통과시키는 것이 가능하게 된다.

또한, 본 발명의 도포처리 장치는, 액체상태의 처리를 피처리 기판 전체면에 입혀붙이는 것, 예를들면 반도체 웨이퍼의 제조공정 등에서 행하여지는 포토레지스트액의 도포등에서도 레지스트액이 공급이 안정되므로 유효한 장치이다.

또한, 제 7 도에 나타낸 바와 같이, 배기관(30)에 제 2의 기체 액체 분리장치등을 접속하는 것이 바람직하다.

즉, 도면중에서(40)은, 진공발생수단을 구성하는 압축 공기원이다.

진공발생 수단은, 흡착용의 진공을 발생하기 위하여, 압축공기를 공급함으로써 진공을 발생하는 것이다.

이 압축공기원(40)으로부터의 공기 유입구(41)를 통하여 압축공기를 공급함으로써 내부의 벤튜리(venturi)에 의하여 진공구(42)에 진공을 발생하고, 배기구(43)에서 배출하는 공기압력식 진공장치(44)가 형성되어 있다.

그리고, 진공구(42)는, 진공통로를 이루는 파이프(45)에 의하여 내부컵(14)의 흡착 패드(15)에 배관 접속되어 있다.

흡착패드(15)와 진공흡인통로(46)와 공기압력식 진공장치(44)와로 진공흡착수단이 구성되어 있다.

이 진공흡착수단의 공기압력식 진공장치(44)의 배기구(43)에는, 기체와 액체를 분리하는 제 1 의 기체액체 분리장치(47)가 배관접속되어 있다.

그리고, 기체와 액체로 분리된 기체는 제 1의 배기구(48)에서, 액체는 제 1의 액체배출(49)에서 각각 배출된다.

한편, 아래컵(28)의 배기관(30)은, 배관(50)으로 제 2의 기체액체 분리장치(51)에 접속되어 있다.

이 제2의 기체액체 분리장치(51)는 대응적으로 형성되어 있다.

즉, 제2의 기체액체 분리장치(51)는, 배기류의 감압 효과와 내부에 형성된 밸브에 의하여 미세한 미스트를 모아서 액화하도록 구성되어 있다.

이 제2의 기체 액체 분리장치(51)에 의하여 분리된 액체는 제 2의 액체배출구(52)에서, 기체는 제 2 의 배기구(53)에서 배출된다.

또한, 제2의 배기구(53)는 알카리 배기처리장치(54)에 접속되어, 배기처리를 완료하도록 구성되어 있다.

여기에서, 제1의 기체 액체 분리장치(47)의 제1의 배기구(48)는, 상기 배관에 접속되어 있으며, 기체는 제2의 기체액체 분리장치(51)에서 처리되도록 되어 있다.

또한, 아래컵(28)의 액체배출관(29), 제1의 기체 액체 분리장치(47)의 제 1의 액체배출구(49), 제2의 기체액체 분리장치(51)의 제2의 액체배출구(52)는, 집액파이프(55)에 의하여 액체가 모아지고, 액체배출 처리장(도시않됨)에 의하여 처리되도록 구성되어 있다.

또한, 내부컵(14)의 윗면의 피처리기판(11)의 아래면 둘레부를 흡착하는 진공흡착 수단을 다음과 같이 구성하여도 좋다.

즉, 홈형상의 진공흡인통로(46)의 주위 윗면을 평면위에 형성한다.

또한, 피처리기판(11)과의 접촉면의 크기를 이 피처리기판(11)의 크기 이하, 구체적으로는 같거나 약간 작은 정도로 한다.

또한, 액체를 탄력성질을 갖는 소수성(塑水性) 재료 예를 들면 3 불화 에틸렌 수지로 형성된 흡착패드(15)를 둥근고리형상으로 형성하여 둔다.

3 불화 에틸렌 수지는, 소수성, 내약품성이 우수하고, 또한 예를들면 4 불화 에틸렌 수지등과 비교하여 경도가 높으므로, 반도체 웨이퍼와의 흡착에서도 손상되는 일이 적고, 또한 진공흡인시에 손상등에 의한 충격이 적어진다.

또한, 상기 3 불화 에틸렌 수지는, 열전도성이 낮으므로 현상중에 처리온도가 변화되는 것이 바람직하지 않은 현상처리에 있어서도, 단일효과를 발휘하여 양호한 현상처리가 가능하게 된다.

이와 같이 흡착패드(15)를 소수성 재료로서 형성하고, 또한, 피처리기판(11)과의 접촉면을 피처리기판(11) 보다 작게하고 있는 것이어서, 피처리기판(11)을 회전시키는 것으로도, 잔존하는 액체를 거의 완전하게 제거하게 되므로 액체가 잔존하는 것을 거의 제거할 수가 있다.

Claims (10)

1. 피처리기판(11)을 출입시키는 개구부를 갖고, 또한, 수용한 이 피처리기판(11)이 뒷면을 바닥부에 액체로 기밀하게 접촉시켜서 처리탱크를 구성하는 컵과, 상기 컵의 둘레벽내에 상기 처리탱크와 연이어 통하여 형성된 둥근 고리형상의 바깥둘레홈(20)과, 한쪽끝단측을 액체상태의 처리제 공급원에 접속하고, 또한, 다른쪽 끝단측을 소정의 간격으로 상기 바깥둘레홈(20)에 연결한 다수개의 노즐(21a), (21a)…과, 소정의 간격을 두고 형성되는 상기 다수개의 노즐(21a), (21a)…을 향하여 상기 컵의 내부둘레벽에 수직으로 형성된 간막이판(22)을 구비하는 도포처리장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 피처리기판(11)의 뒷면과 액체로 기밀하게 접촉하는 상기 컵의 바닥부가, 내부컵(14)으로 형성되어 있는 도포처리장치.
3. 제 2 항에 있어서, 상기 내부컵(14)의 피처리기판(11)과의 접촉면이, 평면상이고, 또한 이 피처리기판(11)이 뒷면에 접속되어 있는 내부컵(14) 부분의 바깥직경이 상기 피처리기판(11)의 직경보다 작게 형성되어 있는 도포처리장치.
4. 제 3 항에 있어서, 상기 내부컵(14)의 피처리기판(11)과의 접촉면이, 소수성 재료로 형성되어 있는 도포처리장치.
5. 제 4 항에 있어서 상기 소수성 재료가, 3불화 에틸렌인 도포처리장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 컵에 상기 처리탱크와 연이어 통하는 배기관(30)을 통하여 기체 액체 분리장치(47), (51)가 접속되어 있는 도포처리장치.
7. 제 3 항에 있어서, 상기 내부컵(14)의 내부에 피처리기판(11)을 흡착하여 고정하는 얹어놓는대(12)가, 승강이 자유롭게 형성되고, 또한 이 피처리기판(11)과의 접촉면으로 되는 부분에, 둥근고리형상홈의 진공 흡인통로(46)가 형성되어 있는 도포처리장치.
8. 제 1 항에 있어서, 상기 바깥둘레홈(20)의 폭이, 0.01 내지 0.5mm인 도포처리장치.
9. 제 1 항에 있어서, 상기 바깥둘레홈(20)과 연이어 통하는 공기를 빼내는 통로(34)가 형성되어 있는 도포처리장치.
10. 제 2 항에 있어서, 상기 내부컵(14)이, 아래쪽컵(28)에 수용되어 있는 도포처리장치.

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