KR960035092A - 다층 도전막, 및 이것을 사용한 투명 전극판 및 액정표시장치 - Google Patents

다층 도전막, 및 이것을 사용한 투명 전극판 및 액정표시장치 Download PDF

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Abstract

본 다층 도전막은 은기재 금속재료로 형성된 은기재 층을 가지고 있다.
은기재 층의 한쪽 표면에는 제1투명 산화물 층이 구비되며 은기재 층의 다른쪽 표면에는 제2투명 산화물층이 구비된다. 제1 및 제2투명 산화물 층은 산화인듐과 실질적으로 금속원소가 은에 대한 고용성을 갖지 않는 적어도 하나의 2차 금속산화물의 혼합산화물 재료로 독립적으로 형성된다.

Description

다층 도전막, 및 이것을 사용한 투명 전극판 및 액정표시장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 다층 도전막을 적용할 수 있는 투명형 액정표시장치를 나타내고, 제4도는 본 발명의 다층도전막을 적용할 수 있는 반사형 액정표시장치를 나타낸다.

Claims (16)

  1. 은기재 금속재료로 형성되고 제1 및 제2표면을 갖는 은기재 층, 상기 은기재 층의 상기 제1표면에 구비된 제1투명 산화물 층, 및 상기 은기재 층의 상기 제2표면에 구비된 제2투명 산화물 층으로 이루어지며, 상기 제1 및 제2투명 산화물 층은 산화인듐과 실질적으로 금속원소가 은에 대한 고용성을 갖지 않는 적어도 하나의 2차 금속산화물의 혼합산화물 재료로 독립적으로 형성되는 다층 도전막.
  2. 제1항에 있어서, 실질적으로 은에 대한 고용성을 갖지 않는 상기 금속원소는 티탄, 지르코늄, 탄탈, 니오븀, 하프늄, 세륨, 비스무트, 게르마늄, 규소, 크롬, 및 이들 원소의 두가지 이상의 조합물로 구성되는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  3. 제1항에 있어서, 실질적으로 은에 대한 고용성을 갖지 않는 상기 금속원소는 상기 인듐을 합한 총 원자량의 5 내지 50원자%를 차지하는 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  4. 제1항에 있어서, 상기 은기재 금속재료는 은 이동을 방지하는 다른 원소와 은의 합금으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  5. 제4항에 있어서, 상기 다른 원소는 알루미늄, 구리, 니켈, 카드뮴, 금, 아연, 마그네슘, 및 이들 원소의 두가지 이상의 조합물로 구성되는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  6. 제4항에 있어서, 상기 다른 원소는 주석, 인듐, 티탄, 세륨, 규소, 및 이들 원소의 두가지 이상의 조합물로 구성되는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  7. 제1항에 있어서, 상기 은기재 층은 두께가 2 내지 20nm인 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  8. 제7항의 다층 도전막을 투명 기판상에 구비하여 이루어지는 투명 전극판.
  9. 제8항에 있어서, 상기 은기재 금속재료는 구리 및/또는 금 0.1 내지 3원자%를 함유하는 것을 특징으로 하는 투명 전극판.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제1 및 제2투명 산화물 층은 굴절률이 2.1 이상인 것을 특징으로 하는 투명 전극판.
  11. 제10항에 있어서, 실질적으로 은에 대한 고용성을 갖지 않는 상기 금속원소는 세륨, 티탄, 지르코늄, 하프늄, 탄탈, 및 이들 원소의 두가지 이상의 조합물로 구성되는 군에서 선택되는 것을 특징으로 하는 투명 전극판.
  12. 제10항에 있어서, 실질적으로 은에 대한 고용성을 갖지 않는 상기 금속원소는 세륨 또는 티탄으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 투명 전극판.
  13. 제8항에 있어서, 상기 다층 도전막은 폭50nm 이하의 최소 폭을 갖는 것을 특징으로 하는 투명 전극판.
  14. 관찰자측 전극판, 이 관찰자측 전극판에 대향하여 배열된 배면측 전극판, 및 이들 전극판 사이에 밀봉된 액정재료로 이루어지며, 상기 전극판중의 적어도 하나는 제8항에 따른 투명 전극판으로 구성되는 액정표시장치.
  15. 제1항에 있어서, 상기 은기재 층은 두께가 50nm 이상인 것을 특징으로 하는 다층 도전막.
  16. 투명 전극이 구비된 관찰자측 전극판, 광반사 전극이 구비되고 상기 관찰자측 전극판에 대향하여 배열된 배면측 전극판, 및 이들 전극판 사이에 밀봉된 액정재료로 이루어지며, 상기 광반사 전극은 제15항의 다층 도전막으로 구성되는 액정표시장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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