KR940027181A - 반도체집합기판 및 반도체장치 - Google Patents

반도체집합기판 및 반도체장치 Download PDF

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Abstract

반도체집합기판을 사용하여 개개의 반도체장치를 작성하는 경우 그 정전(靜電) 파괴를 방지한다.
반도체집합기판은 대형의 웨이퍼(11)를 구성재료로 한다. 웨이퍼(11)의 표면에는 분할선(12)에 의해 구획된 복수의 구획(13)이 배설되어 있다. 각 구획(13)내에는 통상의 IC제조프로세스에 의해 표시용 액티브매트릭스회로(2)가 집적(集積) 형성된다. 개개의 표시용 액티브매트릭스회로(2)를 에워싸도록 거들링 패턴(10)이 배설되어 있다. 또한, 분할선(12)을 두고 인접하는 거들링 패턴(14)은 분할선(12) 의 양측에 각각 외부 과대전류에 대한 오픈구조(15)를 구비하고 있다. 이 오픈구조(15)는 예를들면 퓨즈 패턴으로 이루어진다.

Description

반도체집합기판 및 반도체장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관한 반도체집합기판의 실시예를 나타낸 모식적인 부분평면도, 제2도는 제1도에 나타낸 반도체집합기판에 배설되는 오픈구조의 구체예를 나타낸 패턴도, 제3도는 역시 오픈구조의 다른 구체예를 나타낸 회로도.

Claims (6)

  1. 예정된 분할선에 의해 구획된 복수의 구획을 가진 웨이퍼와, 각 구획내에 배설된 표시용 액티브매트릭스회로와, 개개의 표시용 액티브매트릭스회로를 에워싸도록 배설된 거들링 패턴과, 분할선을 두고 인접하는 거들링 패턴을 서로 공통접속하는 결선용 패턴을 포함하는 반도체집합기판으로서, 상기 결선용 패턴은 분할선의 양측에 각각 외부 과대전류에 대한 오픈구조를 구비하고 있는 반도체집합기판.
  2. 제1 항에 있어서, 상기 오픈구조는 퓨즈 패턴으로 이루어지는 반도체집합기판.
  3. 제1 항에 있어서, 상기 오픈구조는 축소화된 게이트폭을 가진 다이오드로 이루어지는 반도체집합기판.
  4. 웨이퍼로부터 잘라낸 주단면(周端面)을 가진 기판과, 이 기판상에 형성된 표시용 액티브매트릭스회로와, 이 표시용 액티브매트릭스회로를 에워싸도록 배설된 거들링 패턴과, 이 거들링 패턴과 이 주단면의 사이에 잔류한 결성용 패턴과, 이 결선용 패턴에 배설된 외부 과대전류에 대한 오픈구조를 포함하는 반도체장치.
  5. 제4 항에 있어서, 상기 오픈구조는 퓨즈 패턴으로 이루어지는 반도체장치.
  6. 제4 항에 있어서, 상기 오픈구조는 축소화된 게이트폭을 가진 다이오드로 이루어지는 반도체장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940010053A 1993-05-18 1994-05-09 반도체집합기판 및 반도체장치 KR940027181A (ko)

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