JP4752818B2 - 有機el表示装置、電子機器、有機el表示装置用の基板および有機el表示装置の製造方法 - Google Patents
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Description
しかしながら、従来における有機EL表示装置の製造過程では、例えばCVD成膜処理におけるプラズマ発生によって生じる帯電電荷が原因となって、発光領域51の外周近傍に白濁して見える部分が生じてしまうおそれがある。これは、CVD成膜処理におけるプラズマ発生によって、有効領域53とそれ以外の領域54とで電位差が生じてしまい、それによってCVD成膜処理で形成する保護膜が均一に生成されない可能性があることによる。すなわち、保護膜に帯電した電荷が発光領域51の面内における電位差に起因して当該発光領域51の外周近傍に集まって溜まってしまい、これにより保護膜の表面に膜荒れが発生し、その膜荒れが白濁して見えてしまうのである。また、プラズマ発生によって、有機EL表示装置を構成する薄膜トランジスタ(thin film transistor:以下「TFT」という)回路等の電気回路に電気的なダメージが及ぶおそれもある。
先ず、有機EL表示装置の概略構成について説明する。
図1は、有機EL表示装置における表示領域の概略構成の一例を示す要部断面図である。図例では、有機EL素子を発光素子として配列形成したアクティブマトリックス型の有機EL表示装置の概略構成を示している。
図2および図3は、有機EL表示装置の製造工程の一例を示す説明図である。
図例のように、有機EL表示装置1は、基板3上の平面領域が、発光領域21とその周辺領域22とから構成されている。
発光領域21は、下部電極9、有機層11、および上部電極13を積層してなる有機EL素子15が、マトリックス状に配される領域である。すなわち、発光領域21は複数の画素領域から構成されており、各画素領域のそれぞれに有機EL素子15が形成されることになる。
周辺領域22は、各画素領域の有機EL素子15を駆動するための周辺回路22aと、電源や信号等を入力するための電極端子22bとが形成される領域である。電極端子22bは、金属層(配線5)が露出した状態となるように形成される。
図例のように、有機EL表示装置の製造にあたっては、基板3上に、配線5となる金属層(例えばTiAl系合金)をパターン成膜し、その上に平坦化絶縁膜7を成膜し、さらに補助配線9aを形成し、その上面側に絶縁膜17を形成する。そして、これらの上面側を全体的に覆うように、基板全体を保護する保護膜10を、CVD法によって成膜する。
図6は、保護電極25の形成位置の具体例を示す説明図である。
発光領域21が矩形状の場合、その発光領域21における白濁は、矩形状の各頂部近傍に発生し易い。これに対応して、保護電極25は、図6(A)に示すように、発光領域21の各頂部のそれぞれに対応して、当該各頂部の近傍に形成することが考えられる。
また、一つの基板3上に複数の有機EL表示装置1を形成する、いわゆる多面取りを行う場合であれば、図6(B)に示すように、周辺領域22に面する箇所にのみ(図例では有効領域24aの右側部分2箇所と有効領域24bの左側部分2箇所)、保護電極25を形成することが考えられる。
さらに、多面取りを行う場合には、図6(C)に示すように、基板内の有効領域24同士の間にも必要に応じて外周領域23を設け、その外周領域23に接続するように保護電極25を形成することも考えられる。
図7は、本発明に係る有機EL表示装置の製造工程の他の例を示す説明図である。
図例の有機EL表示装置の製造にあたっては、基板3上に、配線5となる金属層(例えばTiAl系合金)をパターン成膜し、その上に平坦化絶縁膜7を成膜し、さらに補助電極9を形成し、その上面側に絶縁膜17を介して上部電極13を形成する。この上部電極13は、例えばマグネシウム銀(MgAg)のベタ膜によって形成することが考えられる。そして、これらの上面側を全体的に覆うように、基板全体を保護する保護膜10を、CVD法によって成膜する。
そこで、本実施形態においても、上述した第一の実施の形態の場合と同様に、CVD法による保護膜10の成膜処理に先立ち、配線5となる金属層の成膜時に当該金属層を有効領域24内のみならず外周領域23にも形成しておくとともに、周辺領域22の金属層と外周電極とを導通させる保護電極25を形成しておくようにする。
図8は、本実施形態における有機EL表示装置1の概略構成例を示す斜視図である。
このような有機EL表示装置1によれば、上部電極13がベタ膜状であることから、各画素領域の全域を覆うことになり、それよりも下方に形成されている電気回路(TFT回路、画素回路、周辺回路等)を、当該上部電極13が電気的にシールドすることになる。したがって、上部電極13が共通電極の一部として機能させることで、CVD成膜処理の際、電気回路に電気的なダメージが及ぶことを確実に防止して当該電気回路を保護し得るようになり、またCVD膜に帯電した電荷を外周電極に確実に逃がすことも可能になる。つまり、このような構成は、CVD膜白濁対策と、TFT4等の電気回路の保護の観点とから、最も効果的なものであると考えられる。
図9は、有機EL表示装置における表示領域の概略構成の他の例を示す要部断面図である。
図10は、有機EL表示装置の有効領域24内における配線(主に画素回路へ接続される配線)の具体例を模式的に示す回路図である。図例のように、発光領域21の各画素領域に対応して配された画素回路に接続する配線(信号線や電源供給線等)は、その略全てが、周辺領域22を除く有効領域24の全体に及ぶように網羅されている。したがって、これらのいずれかを、各画素領域との電気的接続を確保するための共通電極として用いることが可能である。
かかる回路構成においては、上部電極配線と接続する電極端子Vcatと、外周電極との間に、これらを電気的に接続する保護電極25を配して、電極端子Vcatから外周電極への電荷の流れを生じさせるようにすることが考えられる。
このような回路構成(電気的な接続態様)を実現すれば、上部電極13が発光領域21の全域を電気的にシールドし、しかも保護電極25を通じて電荷のチャージが外周電極に逃がすことができるので、CVD膜白濁対策と、TFT4等の電気回路の保護の観点とから、最も効果的なものであるといえる。
以上に説明した各実施形態により得られる有機EL表示装置1は、図15〜図19に示す様々な電子機器、例えば、デジタルカメラ、ノート型パーソナルコンピュータ、携帯電話等の携帯端末装置、ビデオカメラなど、電子機器に入力された映像信号、若しくは、電子機器内で生成した映像信号を、画像若しくは映像として表示するあらゆる分野の電子機器の表示装置として用いられる。以下に、有機EL表示装置が用いられる電子機器の具体例を説明する。
なお、有機EL表示装置は、封止された構成のモジュール形状のものをも含む。例えば、画素アレイ部に透明なガラス等の対向部に貼り付けられて形成された表示モジュールが該当する。この透明な対向部には、カラーフィルタ、保護膜等、更には、上記した遮光膜が設けられてもよい。また、表示モジュールには、外部から画素アレイ部への信号等を入出力するための回路部やFPC(フレキシブルプリントサーキット)等が設けられていてもよい。
Claims (19)
- 下部電極、有機層、および、上部電極がこの順に形成された発光領域と、
発光領域の周辺に設けられた周辺領域と、
上部電極の上面を覆う保護膜と、
上部電極と電気的に接続され、かつ周辺領域の端部に配設され、保護膜の成膜に起因する帯電電荷を周辺領域外に流出させるための保護電極、
とを有する有機EL表示装置。 - 上部電極は、発光領域内にある複数の画素に共通して配設されている
請求項1に記載の有機EL表示装置。 - 上部電極は、発光領域内にある複数の画素を覆うように配設されている
請求項1または請求項2に記載の有機EL表示装置。 - 上部電極は、発光領域の全域を覆うように形成されている
請求項1または請求項2に記載の有機EL表示装置。 - 下部電極と同一層にて、当該下部電極に対して絶縁性を保って配設されている補助配線を有し、
補助配線は、上部電極と電気的に接続されている
請求項1乃至請求項4のいずれか1項に記載の有機EL表示装置。 - 保護電極は、矩形状の発光領域の頂部に対応して設けられている
請求項1乃至請求項5のいずれか1項に記載の有機EL表示装置。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか1項に記載の有機EL表示装置を搭載した電子機器。
- 有効領域上の発光領域に、下部電極、有機層、上部電極、および、上部電極の上面を覆う保護膜をこの順に有する有機EL表示装置用の基板において、
有効領域外に設けられ、かつ上部電極と電気的に接続されており、保護膜の成膜に起因する帯電電荷を上部電極を介して流出させるための外周電極、
を有する有機EL表示装置用の基板。 - 上部電極は、発光領域内にある複数の画素に共通して配設されている
請求項8に記載の有機EL表示装置用の基板。 - 上部電極は、発光領域内にある複数の画素を覆うように配設されている
請求項8または請求項9に記載の有機EL表示装置用の基板。 - 上部電極は、発光領域の全域を覆うように形成されている
請求項8または請求項9に記載の有機EL表示装置用の基板。 - 下部電極と同一層にて、当該下部電極に対して絶縁性を保って配設されている補助配線を有し、
補助配線は、上部電極と電気的に接続されている
請求項8乃至請求項11のいずれか1項に記載の有機EL表示装置用の基板。 - 上部電極と外周電極とを電気的に接続する保護電極が、矩形状の発光領域の頂部に対応して設けられている
請求項8乃至請求項12のいずれか1項に記載の有機EL表示装置用の基板。 - 下部電極を形成する工程と、
有機層を形成する工程と、
上部電極を形成する工程と、
上部電極の上面を覆う保護膜を、帯電を伴う成膜処理によって成膜する工程、
とを備え、
下部電極、有機層、上部電極、および、保護膜がこの順に形成された発光領域を有する有機EL表示装置の製造方法において、
保護膜を成膜する工程に先立って、上部電極と電気的に接続される外周電極を発光領域外に形成する工程、
を有し、
上部電極が外周電極と電気的に接続された状態で保護膜を成膜する工程を行うことにより、保護膜の成膜に起因する帯電電荷を外周電極に流出させる
有機EL表示装置の製造方法。 - 上部電極は、発光領域内にある複数の画素に共通して配設されている
請求項14に記載の有機EL表示装置の製造方法。 - 上部電極は、発光領域内にある複数の画素を覆うように配設されている
請求項14に記載の有機EL表示装置の製造方法。 - 下部電極を形成する工程と、
有機層を形成する工程と、
発光領域の全域を覆うように上部電極となる膜を形成する工程と、
発光領域上に帯電を伴う成膜処理によって保護膜を成膜する工程、
とを備え、
下部電極、有機層、上部電極、および、保護膜がこの順に形成された積層構造が形成された発光領域を有する有機EL表示装置の製造方法において、
保護膜を成膜する工程に先立って、上部電極と電気的に接続される外周電極を発光領域外に形成する工程、
を有し、
上部電極が外周電極と電気的に接続された状態で保護膜を成膜する工程を行うことにより、保護膜の成膜に起因する帯電電荷を外周電極に流出させる
有機EL表示装置の製造方法。 - 下部電極を形成する工程では、当該下部電極に対して絶縁性を保ち、かつ上部電極と電気的に接続される補助配線も形成する
請求項14乃至請求項17のいずれか1項に記載の有機EL表示装置の製造方法。 - 外周電極を形成する工程では、発光領域の複数の画素回路に共通して接続される共通電極も形成する
請求項14乃至請求項18のいずれか1項に記載の有機EL表示装置の製造方法。
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