KR940008327B1 - 반도체 패키지 및 그 실장방법 - Google Patents

반도체 패키지 및 그 실장방법 Download PDF

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Abstract

내용 없음.

Description

반도체 패키지 및 그 실장방법
제1도는 종래의 TAB 방법을 이용한 반도체 패키지의 단면도.
제2도는 이 발명에 따른 TAB 방법을 이용한 반도체 패키지의 단면도.
제3(a)∼(c)도는 상기 제2도의 반도체 패키지의 실장방법을 나타내는 공정도이다.
이 발명은 반도체 패키지 및 그 실장방법에 관한 것으로서, 특히 TAB(Tape Automated Banding)방법을 이용하여 칩의 본딩패드에 테이프의 내부리드를 융착함과 동시에 밀봉하므로 박형화 및 신뢰성을 향상시킬 수 있는 반도체 패키지 및 그 실장방법에 관한 것이다.
최근, 반도체 장치가 다기능화, 다수의 입출력화, 고속화 및 표면실장화되는 추세에 따라 패키지(Package)의 소형화, 박형화 및 고기능화의 추세에 있다.
이러한 추세에 따라 TQFP(Thin Quad Flat Package), TSOP(Thin Small Outline Package) 및 TAB등이 각광받고 있다. 이들중 TQFP와 TSOP는 기존의 패키지 조립공정을 이용하여 제조가 가능하다. 그러나 TAB은 리드프레임과 도선역활을 하는 금속패턴이 형성된 테이프를 금속으로 이루어진 범프(bump)에 의해 반도체 칩에 본딩하는 표면 실장형 패키지 기술은 반도체 칩과 리드프레임을 직접 본딩하기 때문에 기존의 도선 본딩 방법과는 다른 진보된 기술이다.
제1도는 종래의 TAB 방법을 이용한 반도체 패키지의 단면도이다.
제1도 참조하면, 반도체 기판(11)의 소정부분에 다수의 본딩패드(13)가 형성되어 있고, 나머지 부분에 표면이 절연막(15)으로 덮혀있는 직접회로가 형성되어 있는 칩이 있다. 상기 본딩패드(13)의 표면에 장벽금속층(barrier metal layer ; 17)이 개재되어 범프(19)가 형성되어 있다. 상기 범프(19)는 폴리이미드 테이프(23)와 접착된 내부리드(21)의 일측단과 유착되어 있으며, 상기 내부리드(21)의 타측단에는 상기 테이프(23)가 접착되지 않은 외부리드(25)와 연결된다.
또한, 상기 범프(19)와 융착된 내부리드(21)가 덮히도록 상기 반도체 칩상의 전표면에 보호막(27)이 형성되어 있다. 상술한 반도체 패키지의 실장방법을 간단히 설명한다.
상술한 칩의 전표면에 장벽 금속층(17) 및 포토레지스트층을 도포한 후 통상의 노광 및 현상방법에 의해 상기 본딩패드(13) 상부의 장벽 금속층(17)을 노출시킨다. 그 다음, 상기 장벽 금속층(17)의 노출된 부분상에 전기도금(eletroplating) 방법으로 범프(19)를 형성한 후 상기 남아있는 포토레지스트층과, 범프(19) 하부를 제외한 나머지 부분의 장벽 금속층(17)을 제거한다. 계속해서 상기 범프(19)의 상부에 TAB에 이용되는 테이프(23)의 내부리드(21)를 열압착(thermocompression) 방법이나 리플로우(reflow) 방법으로 본딩한다. 그 다음, 상기 범프(19)와 본딩된 내부리드(21)가 노출되지 않도록 상기 반도체 칩의 표면에 보호막(27)을 형성한다.
상술한 바와같이 종래의 TAB 방법을 이용한 반도체 패키지도 본딩패드상의 범프와 테이프의 내부리드를 열압착이나 리플로우 방법으로 본딩한 후 반도체 칩의 전표면에 상기 범프와 본딩되는 내부리드가 노출되지 않도록 보호막을 형성하였다.
그러나 열압착에 의한 본딩방법은 압력에 의해 내부리드와 칩의 가장자리 부분이 접촉하여 쇼트(short)가 발생되는 문제점이 있었다. 또한 리플로우에 의한 본딩방법은 범프가 쉽게 녹아 내부리드를 타고 퍼지므로 범프의 크기조절이 어렵고 인접하는 본딩패드들이 범프들에 의해 전교(bridging)되는 문제점이 있었다.
또한, 칩을 보호하기 위한 보호막을 범프와 본딩된 내부리드가 노출되지 않도록 형성하므로 패키지를 박형화하기 어려운 문제점이 있었다.
따라서, 이 발명의 목적은 신뢰성 향상 및 박형화를 이루는 반도체 패키지를 제공함에 있다.
또한, 이 발명의 다른 목적은 상기와 같은 반도체 패키지의 실장방법을 제공함에 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 이 발명에 따른 반도체 패키지의 특징은, 반도체 기판상에 형성된 다수의 본딩패드를 가지며, 본딩패드 이외의 뿐이 절연막으로 도포되어 집적회로가 형성된 반도체 칩과 ; 상기 반도체 칩의 본딩패드상에 함몰되어 형성된 장벽 금속층과 ; 상기 반도체 칩의 절연막상에 형성된 포토레지스트층과 ; 상기 본딩패드의 장벽 금속층상에 형성된 범프와 ; 상기 범프상에 포토레지스트층이 눌려져 덮히도록 범프와 전기적으로 접속되며 탭 테이스의 하부에 형성된 내부리드를 구비하는 점에 있다.
또한, 상기 다른 목적을 달성하기 위한 이 발명에 따른 반도체 패키지 실장방법의 특징은, 반도체 기판상에 다수의 본딩패드와, 직접회로 및 절연막이 형성된 반도체 칩의 본딩패드상에 장벽 금속층을 형성하는 공정과, 상기 장벽 금속층을 제외한 절연막상에 포토레지스트층을 형성하는 공정과, 상기 장벽 금속층 상부에 범프를 형성하는 공정과, 상기 범프상에 탭 테이프에 의해 부착 지지되는 내부리드를 본딩하는 공정으로 이루어진 점에 있다.
이하, 이 발명에 따른 반도체 패키지 및 그 실장방법의 바람직한 일실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
제2도는 이 발명의 일 실시예에 따른 TAB 방법을 이용한 반도체 패키지의 단면도이다.
제2도를 참조하면, 반도체 기판(31)의 소정부분에 Al 등의 금속으로 이루어진 다수의 본딩패드(33)가 형성되어 있고, 그 나머지 부분의 표면에 SiO2등의 절연막(35)으로 덮혀 있는 집적회로가 형성되어 있는 칩이 있다. 상기 본딩패드(33)의 표면에 TiN등으로 이루어진 장벽 금속층(37)이 형성되어 있다.
또한, 상기 장벽 금속층(37)의 상부에는 범프(39)를 형성하기 위하여 감광성 폴리이미드(Photosensitive Polyimide)등이 30∼60㎛ 두께로 이루어진 포토레지스트층(47)이 형성되어 있으며, 상기 포토레지스트층(47)이 형성되어 있지 않은 장벽 금속층(37)의 상부에 Au, Au/Cu, Cu 또는 Pb/Sn등으로 이루어진 범프(39)가 형성되어 있다. 상기에서 포토레스트층(47)은 칩의 표면을 보호하는 보호막으로도 이용되므로 패키지를 박형화하기 용이하다.
상기 범프(39)는 내열성 폴리이미드 테이프(43)와 접착되어 지지되는 내부리드(21)의 일측단과 본딩되어 있으며, 상기 내부리드(21)의 타측단에는 상기 테이프(43)가 접착되지 않는 외부리드(45)와 연결된다. 상기 범프(39)가 형성될 영역을 제외한 부분에 형성된 포토레지스트층(47)은 상기 범프(39)와 내부리드(41)를 압착 본딩할 때 누르는 힘에 의해 내부리드(41)가 본딩된 만큼 일정한 깊이로 눌려져 있다.
제3(a)∼(c)도는 상기 제2도의 반도체 패키지의 제조방법을 나타내는 공정도이다.
제3(a)도를 참조하면, 반도체 기판(31)의 소정부분에 본디패드(33)가 형성되어 있고, 상기 본딩패드(33)이외의 부분이 상부가 절연막(35)으로 덮혀져 있는 집적회로가 각각 형성되어 있는 반도체 칩이 있다. 상기 반도체 칩의 전표면에 TiW 등을 형성한 후, 통상의 포토리소그래피(photolithography)방법에 의해 상기 본딩패드(33)의 상부에만 장벽 금속층(37)을 형성한다.
제3(b)도를 참조하면, 상술한 구조의 전표면에 감광성 폴리이미드 등을 30∼60㎛정도 두께로 도포하여 포토레지스트층(47)을 형성한 후 노광 및 현상(exposure and development) 공저에 의해 상기 장벽 금속층(37)을 노출시킨다. 상기에서 포토레지스트층(47)의 두께를 조절하기 위하여 포토레지스트층(47)을 2번 이상 여러번 도포할 수도 있다.
제3(C)도를 참조하면, 상기 노출된 장벽 금속층(37)의 상부에 Au, Au/Cu, Cu 또는 Pb/Sn 등을 전기도금하여 범프(39)을 형성한다. 상기 범프(39)는 상기 포토레지스트층(47)의 표면과 일치되게 형성되도록 한다.
그 다음, 상기 범프(39)의 상부에 TAB 테이프(43)상에 형성된 내부리드(41)를 열압착 방법이나 리플로우 방법으로 본딩한다. 이때, 본딩시 압력에 의해 상기 내부리드(41)는 범프(39)와 포토레지스트층(47)상에서 일정한 깊이로 눌려져 있기 때문에 범프(39)와 내부리드(41) 사이의 계면에서 부착력을 증가시킨다.
또한, 상기 포토레지스트층(47)에 의해 범프(39)의 크기를 조절할 수 있으므로 본딩패드(33)간의 전교(솔더 브리징현상)가 방지되며 상기 범프(39)와 내부리드(41)의 본딩시 포토레지스트층(47)에 의해 내부리드(41)와 반도체 칩의 가장자리 부분이 전기적으로 단락되는 것이 방지된다.
상술한 바와같이 이 발명은 포토레지스트층의 도포 및 장벽 금속층상에 포토레지스트층이 칩의 표면을 보호하는 역할을 하므로 본딩후에 별도의 보호막을 형성할 필요가 없으며, 또한, 상기 포토레지스트층에 의해 본딩시 내부리드와 칩의 모서리부분사이의 단락 및 범프의 크기조절에 으한 본딩패드간의 전교를 방지하고 내부리드가 포토레지스트층에 일정한 깊이로 눌려져 있으므로 본딩의 세기를 크게한다.
따라서, 이 발명은 포토레지스트층에 의해 본디 후 별도의 보호막을 형성하지 않으므로 패키지를 박형화 할 수 있는 이점이 있다. 또한 본딩시 내부리드와 반도체 칩의 가장자리 부분사이의 단락 및 본딩패드간의 전교를 방지하고 본딩의 세기를 크게하므로 패키지의 신뢰성을 향상시키는 이점이 있다.
또한, 이 발명은 TAB 패키지를 예로들어 설명하였으나 플립칩(Flip-chip)등과 같이 범프에 의해 본딩되는 패키지에도 적용될 수 있다.

Claims (3)

  1. 반도체 기판상에 형성된 다수의 본딩패드를 가지며, 본딩패드 이외의 부분이 절연막으로 도포되어 집적회로가 형성된 반도체 칩과 ; 상기 반도체 칩의 본딩패드상에 함몰되어 형성된 장벽 금속층과 ; 상기 반도체 칩의 절연막상에 형성된 포토레지스트층과 ; 상기 본딩패드의 장벽 금속층상에 형성된 범프와 ; 상기 범프상에 포토레지스트층이 눌려져 덮히도록 범프와 전기적으로 접속되며, 탭 테이프의 하부에 형성된 내부리드를 구비하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  2. 반도체 기판상에 다수의 본딩패드와, 직접회로 및 절연막이 형성된 반도체 칩의 본딩패드상에 장벽 금속층을 형성하는 공정과 ; 상기 장벽 금속층을 제외한 절연막상에 포토레지스트층을 형성하는 공정과 ; 상기 장벽 금속층 상부에 범프를 형성하는 공정과 ; 상기 범프상에 탭 테이프에 의해 부착 지지되는 내부리드를 본딩하는 공정으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체 패키지.
  3. 제2항에 있어서, 상기 포토레지스트층을 1번 또는 2번 이상 여러번 도포하여 형성함으로써 두께가 조절되는 반도체 패키지의 실장방법.
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