KR20240101540A - 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법 - Google Patents

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Abstract

접착 시트(AS)를 공급하는 공급 수단(10)과, 공급 수단(10)에서 공급된 접착 시트(AS)를 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 압압 부재(21)를 갖는 압압 수단(20)을 구비한 시트 첩부 장치(EA)에 있어서, 압압 수단(20)은, 압압 부재(21) 및 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 교차하는 제1 방향(D1)으로의 상대 이동에 의해, 접착 시트(AS)의 공급 방향에서의 선방부(ASF)를 압압 부재(21)로 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 제1 첩부 동작과, 압압 부재(21) 및 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 따른 제2 방향(D2)으로의 상대 이동에 의해, 접착 시트(AS)에서의 선방부(ASF) 이외의 후방부(ASR)를 압압 부재(21)로 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 제2 첩부 동작을 실시하고, 압압 부재(21)는 제1 첩부 동작이 실시됐을 때, 피착면(WK1)에 꽉 눌리는 부분이 변형되어 시트 압압 영역(21A)을 형성하도록 설치되고, 공급 수단(10)은 제1 첩부 동작이 실시됐을 때에, 접착 시트(AS)의 공급 방향에서의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가 있도록 접착 시트(AS)를 공급하는 첩부전 공급 동작을 실시한다.

Description

시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법
본 발명은 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법에 관한 것이다.
피착체에 접착 시트를 첩부하는 시트 첩부 장치가 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조).
일본 특허 공개 2008-153449호 공보
특허문헌 1에 기재된 시트 첩부 장치(M)(시트 첩부 장치)에서는, 링 프레임(F)(피착체)의 상면(피착면)에 교차하는 방향(제1 방향)으로의 프레스 롤러(2)(압압 부재) 및 피착체의 상대 이동에 의해, 다이싱 테이프(DT)(접착 시트)의 공급 방향에서의 선방부를 피착면에 첩부하는 첩부 동작(제1 첩부 동작)을 실시한 후, 피착면에 따른 방향(제2 방향)으로의 압압 부재 및 피착체의 상대 이동에 의해, 접착 시트의 선방부 이외의 후방부를 피착면에 첩부하는 첩부 동작(제2 첩부 동작)이 실시된다.
그러나, 이러한 특허문헌 1에 기재된 시트 첩부 장치에서는, 본원의 도 2의 (A)에 나타낸 바와 같이, 제1 첩부(貼付) 동작의 전단(前段)에서, 접착 시트(AS)의 공급 방향에서의 선단연(先端緣)(선단연(AST))이 압압 롤러(21)(압압 부재)의 압압 영역(시트 압압 영역(21A))보다도 공급 방향 하류측에 위치하고 있으면, 상기 접착 시트(AS)는, 본원의 도 2의 (B)에 나타낸 바와 같이, 제1 첩부 동작 시에, 선단연(AST) 근방이 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 압압(押壓)되지 않고, 선단연(AST) 근방과 피착체(WK) 사이에 미첩부부(SP)가 형성되어 버린다. 그 결과, 접착 시트(AS)는, 제2 첩부 동작이 실시되어 피착체(WK)에 첩부된 후, 미첩부부(SP)로부터 박리되거나, 미첩부부(SP)에 먼지가 들어가거나 하는 첩부 불량이 발생한다.
한편, 본원의 도 2의 (C)에 나타낸 바와 같이, 제1 첩부 동작의 전단(前段)에서, 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A)보다도 공급 방향 상류측에 위치하고 있으면, 상기 접착 시트(AS)는, 본원의 도 2의 (D)에 나타낸 바와 같이, 제1 첩부 동작시에, 선단연(AST) 근방이 피착면(WK1)에 압압되지 않고, 그 후의 제2 첩부 동작 시, 본원의 도 2의 (E)에 나타낸 바와 같이, 선단연(AST) 근방이 말려 올라가서(捲上) 피착체(WK)에 첩부되거나, 본원의 도 2의 (F)에 나타낸 바와 같이, 선단연(AST) 근방이 감겨져 피착체(WK)에 첩부되거나 하는 첩부 불량이 발생한다.
본 발명의 목적은, 제1 첩부 동작시에, 접착 시트의 선단연 근방이 피착면에 압압되지 않는 것에 의해 첩부 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있는 시트 첩부 장치 및 시트 첩부 방법을 제공하는 것에 있다.
본 발명은 청구항에 기재한 구성을 채용하였다.
본 발명에 따르면, 제1 첩부 동작이 실시될 때에, 접착 시트의 선단연이 시트 압압 영역 내에 들어가 있도록 접착 시트를 공급하는 첩부전 공급 동작을 실시하므로, 상기 제1 첩부 동작 시에, 접착 시트의 선단연 근방이 피착면에 압압되지 않는 것에 의해 첩부 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
[도 1] (A)~(F)는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 시트 첩부 장치의 설명도, (G)~(J)는 변형 예의 설명도.
[도 2] (A)~(F)는 발명이 해결하고자 하는 과제의 설명도.
이하, 본 발명의 일 실시 형태를 도면에 기초하여 설명한다.
또한, 본 실시 형태에서의 X축, Y축, Z축은, 각각이 직교하는 관계에 있고, X축 및 Y축은 소정 평면 내의 축으로 하고, Z축은 상기 소정 평면에 직교하는 축으로 한다. 또한, 본 실시 형태에서는, Y축과 평행한 도 1의 (A) 중 앞쪽(手前) 방향으로부터 본 경우를 기준으로 하고, 도면을 지정하지 않고 방향을 나타낸 경우, 「상(上)」이 Z축의 화살표 방향으로 「하(下)」가 그 역방향, 「좌(左)」가 X축의 화살표 방향으로 「우(右)」가 그 역방향, 「전(前)」이 Y축과 평행한 도 1 중 앞쪽(手前) 방향으로 「후(後)」가 그 역방향으로 한다. 또한, 도 1의 (A) 이외의 모든 도면은 도 1의 (A)와 동일한 방향에서 본 도면이므로, 방향을 나타내는 화살표가 생략되어 있다.
본 발명의 시트 첩부 장치(EA)는, 접착 시트(AS)를 공급하는 공급 공정을 실시하는 공급 수단(10)과, 공급 수단(10)에서 공급된 접착 시트(AS)를 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 압압(押壓)하여 첩부하는 압압 부재(押壓部材)로서의 압압 롤러(21)를 갖고, 압압 공정을 실시하는 압압 수단(20)과, 첩부전 공급 동작에 의해 공급된 접착 시트(AS)의 선단연(AST)의 위치를 검지 가능한 선단연(先端緣) 검지 수단(30)을 구비하고, 피착체(WK)를 반송하는 피착체 반송 수단(40)의 근방에 배치되어 있다.
공급 수단(10)은, 상기 공급 수단(10)을 구성하는 구성물을 직접적 또는 간접적으로 지지하는 베이스 플레이트(11)와, 접착 시트(AS)가 띠 형상의 박리 시트(RL)에 가착된 원반(RS)을 지지하는 지지 롤러(12)와, 원반(RS)을 안내하는 가이드 롤러(13)와, 구동 기기로서의 회동 모터(14A)의 도시하지 않은 출력축에 지지되고, 핀치 롤러(14B)와 원반(RS)을 사이에 끼우는 구동 롤러(14)와, 박리연(剝離緣)(15A)에서 박리 시트(RL)를 되접어 꺾고, 상기 박리 시트(RL)로부터 접착 시트(AS)를 박리하는 박리 수단으로서의 박리판(15)과, 구동 기기로서의 회동 모터(16A)의 도시하지 않은 출력축에 지지되고, 핀치 롤러(16B)로 박리 시트(RL)를 끼우는 구동 롤러(16)와, 도시하지 않은 구동 기기의 출력축에 지지되고, 시트 첩부 장치(EA)의 자동 운전이 실시되고 있는 동안, 핀치 롤러(16B) 사이에 존재하는 박리 시트(RL)에 항상 소정의 장력을 부여하여 상기 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 수단으로서의 회수 롤러(17)를 구비하고, 제1 첩부 동작이 실시될 때에, 접착 시트(AS)의 공급 방향에서의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A)(도 1의 (B) 참조) 내에 들어가 있도록 접착 시트(AS)를 공급하는 첩부전 공급 동작을 실시할 수 있다.
압압 수단(20)은, 회전 중심(21B)을 중심으로 회전 가능하게 설치된 원주 형상 또는 원통 형상의 압압 롤러(21)와, 피착체 반송 수단(40)과 공유하는 직동 모터(42)를 구비하고, 압압 롤러(21) 및 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 교차하는 제1 방향(D1)으로의 상대 이동에 의해, 접착 시트(AS)의 공급 방향에서의 선방부(ASF)를 압압 롤러(21)로 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 제1 첩부 동작과, 압압 롤러(21) 및 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 따른 제2 방향(D2)으로의 상대 이동에 의해, 접착 시트(AS)에서의 선방부(ASF) 이외의 후방부(ASR)를 압압 롤러(21)로 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 제2 첩부 동작을 실시할 수 있다.
압압 롤러(21)는, 제1 첩부 동작이 실시됐을 때, 피착면(WK1)에 꽉 눌리는(押付) 부분이 변형되어 시트 압압 영역(21A)을 형성하도록 설치되어 있다. 또한, 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이는, 시트 첩부 장치(EA) 전체의 동작을 제어하는 컴퓨터나 시퀀서 등의 도시하지 않은 제어 수단에 소정의 정보로서 입력되어 있다.
본 실시 형태의 경우, 압압 수단(20)은, 선단연 검지 수단(30)의 검지 결과에 기초하여, 접착 시트(AS)와 피착체(WK)의 위치 맞춤을 실시하고 나서, 제1 첩부 동작을 실시할 수 있다.
선단연 검지 수단(30)은 지지 테이블(43)에 지지된 카메라나 투영기 등의 촬상 수단이나, 광학 센서나 초음파 센서 등의 각종 센서 등으로 구성된 선단연 검지 기기(31)를 구비한다.
피착체 반송 수단(40)은, 구동 기기로서의 리니어 모터(41)와, 그 슬라이더(41A)에 지지되어 압압 수단(20)과 공유하는 구동 기기로서의 직동 모터(42)와, 그 출력축(42A)에 지지되어 감압 펌프나 진공 이젝터 등의 도시하지 않은 감압 수단(유지 수단)에 의해 흡착 유지가 가능한 지지면(43A)을 갖는 지지 테이블(43)을 구비하고 있다.
이상의 시트 첩부 장치(EA)의 동작을 설명한다.
우선, 도 1의 (A) 중 실선으로 나타내는 초기 위치에 각 부재가 배치된 시트 첩부 장치(EA)에 대하여, 상기 시트 첩부 장치(EA)의 사용자(이하, 단지 「사용자」라고 함)가 동 도면과 같이 원반(RS)을 세트한 후, 조작 패널이나 퍼스널 컴퓨터 등의 도시하지 않은 조작 수단을 통해 자동 운전 개시의 신호를 입력한다. 그러면, 공급 수단(10)이 회동 모터(14A, 16A)를 구동하고, 원반(RS)을 계속 내보내서(繰出) 도 1의 (A) 중 실선으로 나타낸 바와 같이, 선두의 접착 시트(AS)의 선방부(ASF)가 박리판(15)의 박리연(15A)에서 소정의 길이 박리되면, 회동 모터(14A, 16A)의 구동을 정지한다. 다음으로, 사용자 또는 다관절 로봇이나 벨트 컨베이어 등의 도시하지 않은 반송 수단이, 지지 테이블(43)의 지지면(43A) 상의 소정 위치에 피착체(WK)를 재치하면, 피착체 반송 수단(40)이 도시하지 않은 감압 수단을 구동하여 지지면(43A)에서의 흡착 유지를 개시한다. 또, 공급 수단(10)이 회동 모터(14A, 16A)를 구동하고, 도시하지 않은 제어 수단에 입력되어 있는 소정의 정보를 기초하여, 도 1의 (B)에 나타낸 바와 같이, 제1 첩부 동작이 실시될 때에, 선두의 접착 시트(AS)의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가 있도록, 접착 시트(AS)를 압압 롤러(21) 방향으로 공급하고, 상기 접착 시트(AS)를 소정의 정지 위치에 정지시키는 첩부전 공급 동작을 실시한다.
그 후, 피착체 반송 수단(40)이 리니어 모터(41)를 구동하고, 지지 테이블(43)을 좌방향으로 이동시킨 후, 선단연 검지 수단(30)이 선단연 검지 기기(31)를 구동하여, 도 1의 (C)에 나타낸 바와 같이, 선두의 접착 시트(AS)의 선단연(AST)의 위치를 검지한다. 다음으로, 피착체 반송 수단(40)이 선단연 검지 수단(30)의 검지 결과를 기초하여, 도 1의 (D)에 나타낸 바와 같이, 접착 시트(AS)의 선단연(AST)의 바로 아래에 피착체(WK)의 소정의 위치를 정지시키고, 접착 시트(AS)와 피착체(WK)의 위치 맞춤을 실시한다. 그리고, 압압 수단(20)이 직동 모터(42)를 구동하고, 도 1의 (E)에 나타낸 바와 같이, 피착체(WK)를 제1 방향(D1)(상방향)으로 이동시키고, 접착 시트(AS)의 선방부(ASF)를 압압 롤러(21)로 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 제1 첩부 동작을 실시한다. 이 때, 압압 롤러(21)는 피착면(WK1)에 꽉 눌리는(押付) 부분이 변형되어 시트 압압 영역(21A)을 형성한다. 또, 접착 시트(AS)는, 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가도록 소정의 정지 위치에 위치 결정되어 있으므로, 상기 선단연(AST) 근방이 피착면(WK1)에 압압되지 않는 일은 없다.
다음으로, 공급 수단(10) 및 피착체 반송 수단(40)이 회동 모터(14A, 16A) 및 리니어 모터(41)를 구동하고, 피착체(WK)를 제2 방향(D2)(좌방향)로 이동시키면서, 이 이동 속도에 맞추어 원반(RS)을 계속 내보내 접착 시트(AS)를 공급하고, 접착 시트(AS)의 후방부(ASR)를 압압 롤러(21)로 피착면(WK1)에 압압하여 첩부하는 제2 첩부 동작을 실시한다. 이에 의해, 접착 시트(AS)가 박리 시트(RL)로부터 박리되고, 상기 박리 시트(RL)로부터 박리된 접착 시트(AS)는, 후방부(ASR)가 압압 롤러(21)에 의해 피착체(WK)의 피착면(WK1)에 압압되어 첩부된다. 그 후, 도 1의 (F)에 나타낸 바와 같이, 선두의 접착 시트(AS) 전체가 피착체(WK)에 첩부되어 일체물(UP)이 형성되고, 상기 선두의 접착 시트(AS)에 이어지는 다음의 접착 시트(AS)의 선방부(ASF)가 박리판(15)의 박리연(15A)에서 소정의 길이 박리되면, 공급 수단(10)은 회동 모터(14A, 16A)의 구동을 정지한다. 다음으로, 지지 테이블(43)이 압압 롤러(21)의 하방을 빠져나가면, 피착체 반송 수단(40)이 리니어 모터(41)의 구동을 정지한 후, 도시하지 않은 감압 수단의 구동을 정지하고, 지지면(43A)에서의 흡착 유지를 해제한다. 그리고, 사용자 또는 도시하지 않은 반송 수단이 일체물(UP)을 다음 공정으로 반송하면, 피착체 반송 수단(40)이 리니어 모터(41) 및 직동 모터(42)를 구동하여 지지 테이블(43)을 초기 위치로 복귀시키고, 이후 상기와 마찬가지의 동작이 반복된다.
여기서, 시트 첩부 장치(EA)의 경우, 시트 압압 영역(21A)을 형성했을 때, 상기 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이가 1mm 이상, 또한, 압압 롤러(21)의 직경의 50% 이하면, 접착 시트(AS)의 첩부 상태가 좋은 것을 알았다.
상기 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이의 하한값은 공급 수단(10)이 접착 시트(AS)를 소정의 정지 위치에 정지시켰을 때, 상기 접착 시트(AS)의 정지 위치에 플러스 마이너스 0.2mm의 범위에서 편차가 있던 점과, 원반(RS)에 형성되어 있는 접착 시트(AS)의 형성 정밀도에 플러스 마이너스 0.3㎜의 범위에서 편차가 있던 점을 고려하여, 1㎜ 이상이면 좋다는 것을 알아냈다. 또한, 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이가 1mm 미만인 경우, 제1 첩부 동작이 실시됐을 때, 접착 시트(AS)의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A)으로부터 벗어나는 현상이 다발하였다.
한편, 상기 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이의 상한값은 압압 롤러(21)의 직경에 의해 좌우된다. 그래서, 영률이 약 0.8MPa의 실리콘 스펀지로 이루어지는 직경 30mm의 제1 압압 롤러, 영률이 약 2MPa의 실리콘 고무로 이루어지는 직경 35mm의 제2 압압 롤러, 영률이 약 10MPa의 우레탄 고무로 이루어지는 직경 40mm의 제3 압압 롤러로 검증한 바, 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이가 특정의 길이를 초과하면, 압압 롤러가 변형되기 어려워지거나, 압압 롤러의 회전 저항이 커져 회전하기 어려워지거나, 피착체(WK)를 파손시키는 리스크가 커지거나 하는 등의 다른 첩부 불량이 발생하는 것을 알았다. 즉, 제1 압압 롤러의 경우, 특정 길이가 15mm 즉 압압 롤러의 직경의 50%, 제2 압압 롤러의 경우, 특정 길이가 10mm 즉 압압 롤러의 직경의 28.6%, 제3 압압 롤러의 경우, 특정 길이가 5mm 즉 압압 롤러의 직경의 12.5%를 초과하면, 다른 첩부 불량이 다발하는 것을 알았다. 따라서, 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이의 상한이 압압 롤러의 직경의 50% 이하이면 좋다는 것을 알아냈다.
이상과 같은 실시 형태에 의하면, 제1 첩부 동작이 실시될 때에, 접착 시트(AS)의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가 있도록 접착 시트(AS)를 공급하는 첩부전 공급 동작을 실시하므로, 상기 제1 첩부 동작 시에 접착 시트(AS)의 선단연(AST) 근방이 피착면(WK1)에 압압되지 않는 것에 의해 첩부 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에서의 수단 및 공정은, 이들 수단 및 공정에 대해 설명한 동작, 기능 또는 공정을 완수할 수 있는 한 아무런 제한되는 것은 아니고, 하물며, 상기 실시 형태에서 나타낸 단순한 일 실시 형태의 구성물이나 공정에 전혀 한정되는 것은 아니다. 예를 들어, 압압 부재는, 제1 첩부 동작이 실시됐을 때, 피착면에 꽉 눌리는 부분이 변형되어 시트 압압 영역을 형성하도록 설치되어 있는 것이면 어떠한 것이라도 좋고, 출원 당초의 기술 상식에 비추어 그 기술범위 내의 것이면 아무런 한정되는 것은 없다(그 외의 수단 및 공정도 같다).
공급 수단(10)은, 띠 형상의 박리 시트(RL)에 가착된 띠 형상의 접착 시트 기재에 폐루프 형상 또는 짧은 치수 폭 방향 전체의 절입이 형성됨으로써, 그 절입으로 구획된 소정의 영역이 접착 시트(AS)로 된 원반(RS)으로부터 상기 접착 시트(AS)를 공급해도 좋고, 띠 형상의 박리 시트(RL)에 띠 형상의 접착 시트 기재가 가착된 띠 형상 접착 시트 원반을 채용하여, 상기 띠 형상 접착 시트 원반을 계속 내보내는 도중에, 접착 시트 기재에 폐루프 형상 또는 짧은 치수 폭 방향 전체의 절입을 절단 수단으로서의 절단 날로 형성하고, 그 절입으로 구획된 소정의 영역이 접착 시트(AS)로 된 원반(RS)으로부터 상기 접착 시트(AS)를 공급해도 좋고, 띠 형상의 박리 시트(RL)에 띠 형상의 접착 시트(AS)가 가착된 원반(RS)으로부터 상기 띠 형상의 접착 시트(AS)를 박리하여 공급해도 좋고, 접착 시트(AS)를 피착체(WK)에 첩부할 때 공급하는 접착 시트(AS)의 속도나 장력을 제어하여 상기 접착 시트(AS)에 소정의 장력이 부여되도록 하거나, 장력이 부여되지 않도록 하거나 하는 첩부 장력 제어를 실시해도 좋고, 감겨지지(卷回) 않고, 예를 들면 팬 폴드 폴딩으로 된 원반(RS)으로부터 접착 시트(AS)를 박리하여 공급해도 좋고, 감겨지지 않고, 예를 들면 팬 폴드 폴딩으로 하거나, 슈레더 등으로 잘게 자르거나, 무조작으로 집적하거나 하여 박리 시트(RL)를 회수하는 회수 수단을 채용해도 좋고, 회수 수단을 채용하지 않아도 좋고, 박리 시트(RL)에 가착되지 않은 접착 시트(AS)를 계속 내보내서 공급해도 좋다.
공급 수단(10)은, 압압 롤러(21) 및 베이스 플레이트(11)의 적어도 일방을 이동시키는 도시하지 않은 구동 기기를 채용하고, 제1 첩부 동작이 실시될 때에, 선두의 접착 시트(AS)의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가 있도록 압압 롤러(21) 및 베이스 플레이트(11)의 적어도 일방을 이동시킴으로써 첩부전 공급 동작을 실시해도 좋고, 도 1의 (A) 중 부번 AA를 붙인 도면에 나타낸 바와 같이, 제1 첩부 동작의 전단에서, 첩부전 공급 동작에 의해 공급된 접착 시트(AS)의 선방부(ASF)에 공기나 가스 등의 기체(AR)를 분사하고, 상기 선방부(ASF)를 압압 롤러(21)에 꽉 누르는(押付) 부세 수단(付勢手段)(18)을 구비하고 있어도 좋고, 구동 롤러(14, 16), 회동 모터(14A, 16A) 및 핀치 롤러(14B, 16B)를 선단연 위치 조정 수단으로서 구성하고, 선단연 검지 수단(30)에 의해 검지된 선단연(AST)의 위치의 검지 결과를 기초하여, 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가지 않았다고 판단된 경우, 회동 모터(14A, 16A)를 구동하여 원반(RS)을 지지 롤러(12) 방향으로 되돌리거나 회수 롤러(17) 방향으로 계속 내보내거나 하여, 선단연(AST)을 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가도록 해도 좋고, 압압 롤러(21) 및 베이스 플레이트(11)의 적어도 일방을 이동시키는 도시하지 않은 구동 기기를 선단연 위치 조정 수단으로서 채용하고, 선단연 검지 수단(30)으로 검지된 선단연(AST) 위치의 검지 결과를 기초하여, 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가지 않았다고 판단되면, 도시하지 않은 구동 기기를 구동하여 압압 롤러(21) 및 베이스 플레이트(11)의 적어도 일방을 이동시켜, 선단연(AST)을 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가도록 해도 좋고, 첩부전 공급 동작 시에 접착 시트(AS)를 공급하는 공급 속도와, 제2 첩부 동작 시에 접착 시트(AS)를 공급하는 공급 속도를 동일한 속도로 하거나 다른 속도로 해도 좋고, 첩부전 공급 동작시, 접착 시트(AS)를 소정의 정지 위치에 정지시키지 않고, 압압 수단(20)이 제1 첩부 동작을 실시하는 타이밍에서, 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가 있도록 공급 중의 접착 시트(AS)의 첩부 직전 위치가 설정되어 있어도 좋다.
공급 수단(10)은, 첩부전 공급 동작에서, 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가기만 하면, 접착 시트(AS)의 정지 위치나 첩부 직전 위치가 어디에 설정되어 있어도 좋고, 예를 들어 도 1의 (G), (H)에 나타낸 바와 같이, 선단연(AST)이 압압 롤러(21)의 최하부의 바로 아래에 위치하도록, 접착 시트(AS)의 정지 위치나 첩부 직전 위치가 설정되어 있어도 좋고, 도 1의 (I), (J)에 나타낸 바와 같이, 선단연(AST)이 압압 롤러(21)의 최하부보다도 접착 시트(AS)의 조출(繰出) 방향 상류측에 위치하도록, 접착 시트(AS)의 정지 위치나 첩부 직전 위치가 설정되어 있어도 좋다.
압압 수단(20)은 압압 롤러(21)의 압압력을 조정하고, 제1 첩부 동작시의 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이와, 제2 첩부 동작시의 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이가 같아지도록 하거나 달라지도록 해도 좋고, 직동 모터(42)를 피착체 반송 수단(40)과 공유하지 않고, 또는 공유한 후에, 또는 직동 모터(42)를 채용하지 않고, 압압 롤러(21)를 이동시키는 구동 기기를 채용하여, 제1 첩부 동작이나 제2 첩부 동작을 실시해도 좋고, 피착체(WK)를 이동시키지 않고, 또는, 피착체(WK)를 이동시키면서 압압 롤러(21)를 이동시켜 피착체(WK)가 상대적으로 제1 방향(D1)으로 이동하는 제1 첩부 동작을 실시해도 좋고, 피착체(WK)를 이동시키지 않고, 또는 피착체(WK)를 이동시키면서 압압 롤러(21)를 이동시켜 피착체(WK)가 상대적으로 제2 방향(D2)으로 이동하는 제2 첩부 동작을 실시해도 좋고, 선단연 검지 수단(30)의 검지 결과를 기초하지 않고 접착 시트(AS)와 피착체(WK)의 위치 맞춤을 실시해도 좋고, 접착 시트(AS)와 피착체(WK)의 위치 맞춤을 실시하지 않고, 예를 들면, 지지 테이블(43)이 소정의 위치에 도달한 시점에서 제1 첩부 동작을 실시해도 좋고, 제1 방향(D1)이 피착면(WK1) 또는 좌우 방향(X축 방향)에 대해 직교하고 있거나, 80도나 105도 등, 경사하고 있거나 해도 좋고, 제1 방향(D1)이 상기 실시 형태에서 나타낸 화살표의 정반대의 방향이라도 좋고, 제2 방향(D2)이 피착면(WK1) 또는 좌우 방향(X 축 방향)에 대해 평행하거나, 1도나 10도 등, 경사하고 있거나 해도 좋고, 제2 방향(D2)이 상기 실시 형태에서 나타낸 화살표의 정반대의 방향이라도 좋고, 시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이가 도시하지 않은 제어 수단에 입력되어 있지 않아도 좋고, 이 경우, 예를 들면 사용자가 시트 압압 영역(21A)의 좌우 방향의 폭을 실측하고, 첩부전 공급 동작이 실시됐을 때, 접착 시트(AS)의 선단연(AST)이 시트 압압 영역(21A) 내에 들어가도록, 공급 수단(10)에서 공급한 접착 시트(AS)의 정지 위치나 첩부 직전 위치를 설정하면 좋다.
시트 압압 영역(21A)에서의 제2 방향(D2)의 길이는, 압압 롤러(21)의 종류, 특성, 특질, 성질, 재질, 조성, 구성, 형상, 치수 및 중량이나, 분위기의 조건, 그 외의 요인 등의 여러 조건 등에 의해서 달라도 좋고, 압압 롤러(21)가 접착 시트(AS)를 피착면(WK1)에 압압하는 압압력에 의해 달라도 좋고, 사용자가 압압 롤러(21)의 종류를 변경하거나, 압압 롤러(21)에 의해 접착 시트(AS)를 피착면(WK1)에 압압하는 압압력을 변경하거나 하여 임의의 길이로 변경해도 좋다.
압압 부재는, 원주 형상 또는 원통 형상의 압압 롤러(21) 이외에, 예를 들면, 평판 형상의 압압 플레이트 등, 어떠한 것이라도 좋고, 고무, 수지, 스펀지, 금속 등 어떠한 재질의 것이라도 좋다.
선단연 검지 수단(30)은, 지지 테이블(43)에 지지되지 않고, 예를 들면, 구동 기기의 출력부나 다른 것에 지지되어 있어도 좋고, 본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋다.
피착체 반송 수단(40)은, 직동 모터(42)를 압압 수단(20)과 공유하지 않아도 좋고, 직동 모터(42)가 채용되지 않아도 좋고, 지지면(43A)에서 흡착 유지를 할 수 없는 지지 테이블(43)이 채용되어도 좋고, 본 발명의 시트 첩부 장치(EA)에 구비되어 있어도 좋고, 구비되어 있지 않아도 좋다.
본 발명에서의 접착 시트(AS) 및 피착체(WK)의 재질, 종별, 형상 등은 특별히 한정되지 않는다. 예를 들면, 접착 시트(AS) 및 피착체(WK)는, 원형, 타원형, 삼각형이나 사각형 등의 다각형, 그 밖의 형상이라도 좋고, 접착 시트(AS)는, 감압 접착성, 감열 접착성 등의 접착 형태의 것이라도 좋고, 감열 접착성의 접착 시트(AS)를 채용한 경우는, 상기 접착 시트(AS)를 가열하는 적절한 코일 히터나 히트 파이프의 가열측 등의 가열 수단을 설치하는 등 적절한 방법으로 접착하면 좋다. 또, 이러한 접착 시트(AS)는, 예를 들면, 접착제층만의 단층의 것, 기재와 접착제층이 적층된 2층의 것, 기재와 접착제층 사이에 1 또는 복수의 중간층이 적층된 3층 또는 3층 이상의 것, 기재의 상면에 1 또는 복수의 커버층이 적층된 3층 또는 3층 이상의 것, 기재, 중간층 또는 커버층이 박리 가능하게 설치된 것, 접착제층만으로 이루어지는 단층의 양면 접착 시트, 1 또는 복수의 중간층의 양 최외면에 접착제층이 적층된 양면 접착 시트 등, 어떠한 것이라도 좋다. 또한, 피착체(WK)로서는, 예를 들면, 식품, 수지 용기, 실리콘 반도체 웨이퍼나 화합물 반도체 웨이퍼 등의 반도체 웨이퍼, 회로 기판, 광디스크 등의 정보 기록 기판, 유리판, 강판, 도기, 목판 또는 수지 등의 단체물(單體物)이라도 좋고, 이들 2개 이상으로 형성된 복합물이라도 좋고, 임의의 형태의 부재나 물품 등도 대상으로 할 수 있다. 또한, 접착 시트(AS)는, 기능적, 용도적인 판독 방법으로 바꾸어, 예를 들면, 정보 기재용 라벨, 장식용 라벨, 보호 시트, 다이싱 테이프, 다이 어태칭 필름, 다이 본딩 테이프, 기록층 형성 수지 시트 등의 임의의 시트, 필름, 테이프 등이라도 좋다.
상기 실시 형태에서의 구동 기기는, 회동 모터, 직동 모터, 리니어 모터, 단축 로봇, 2축 또는 3축 이상의 관절을 구비한 다관절 로봇 등의 전동 기기, 에어 실린더, 유압 실린더, 로드리스 실린더 및 로터리 실린더 등의 액추에이터 등을 채용할 수 있는 데다가, 이들을 직접 또는 간접적으로 조합한 것을 채용할 수도 있다.
상기 실시 형태에서, 롤러 등의 회전 부재가 채용되고 있는 경우, 상기 회전 부재를 회전 구동시키는 구동 기기를 구비해도 좋고, 회전 부재의 표면이나 회전 부재 자체를 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 회전 부재의 표면이나 회전 부재 자체를 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 롤러 대신에 회전하거나 회전하지 않는 샤프트나 블레이드 등의 다른 부재를 채용해도 좋고, 박리판이나 박리 롤러 등의 박리 수단이나 박리 부재 등의 피박리물을 박리하는 것이 채용되고 있는 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 판상 부재, 환봉, 롤러 등의 부재를 채용해도 좋고, 박리하는 것을 고무나 수지 등의 변형 가능한 부재로 구성해도 좋고, 변형하지 않는 부재로 구성해도 좋고, 지지(유지) 수단이나 지지(유지) 부재 등의 피지지 부재(피유지 부재)를 지지(유지)하는 것이 채용되고 있는 경우, 메카 척이나 척 실린더 등의 파지 수단, 쿨롬력, 접착제(접착 시트, 접착 테이프), 점착제(점착 시트, 점착 테이프), 자력, 베르누이 흡착, 흡인 흡착, 구동 기기 등으로 피지지 부재를 지지(유지)하는 구성을 채용해도 좋고, 절단 수단이나 절단 부재 등의 피절단 부재를 절단 또는, 피절단 부재에 절입이나 절단선을 형성하는 것이 채용되고 있는 경우, 상기에서 예시한 것을 대신하거나 또는 병용하여, 커터날, 레이저 커터, 이온빔, 화력, 열, 수압, 전열선, 기체나 액체 등의 분사 등으로 절단하는 것을 채용하거나, 적절한 구동 기기를 조합한 것으로 절단하는 것을 이동시켜 절단하도록 하거나 해도 좋고, 부세 수단이 채용되고 있는 경우, 스프링, 고무, 수지 또는 구동 기기 등으로 구성해도 좋다.
EA…시트 첩부 장치
10…공급 수단
20…압압 수단
21…압압 롤러(압압 부재)
21A…시트 압압 영역
30…선단연 검지 수단
AS…접착 시트
ASF…선방부
ASR…후방부
AST…선단연
D1…제1 방향
D2…제2 방향
WK…피착체
WK1…피착면

Claims (4)

  1. 접착 시트를 공급하는 공급 수단과,
    상기 공급 수단에서 공급된 상기 접착 시트를 피착체의 피착면에 압압하여 첩부하는 압압 부재를 갖는 압압 수단을 구비한 시트 첩부 장치에 있어서,
    상기 압압 수단은, 상기 압압 부재 및 상기 피착체의 상기 피착면에 교차하는 제1 방향으로의 상대 이동에 의해, 상기 접착 시트의 공급 방향에서의 선방부를 상기 압압 부재로 상기 피착면에 압압하여 첩부하는 제1 첩부 동작과, 상기 압압 부재 및 상기 피착체의 상기 피착면에 따른 제2 방향으로의 상대 이동에 의해, 상기 접착 시트에서의 상기 선방부 이외의 후방부를 상기 압압 부재로 상기 피착면에 압압하여 첩부하는 제2 첩부 동작을 실시하고,
    상기 압압 부재는, 상기 제1 첩부 동작이 실시됐을 때, 상기 피착면에 꽉 눌리는 부분이 변형되어 시트 압압 영역을 형성하도록 설치되고,
    상기 공급 수단은, 상기 제1 첩부 동작이 실시됐을 때에, 상기 접착 시트의 공급 방향에서의 선단연이 상기 시트 압압 영역 내에 들어가 있도록, 상기 접착 시트를 공급하는 첩부전 공급 동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 첩부전 공급 동작에 의해 공급된 상기 접착 시트의 상기 선단연의 위치를 검지 가능한 선단연 검지 수단을 구비하고,
    상기 압압 수단은 상기 선단연 검지 수단의 검지 결과에 기초하여, 상기 접착 시트와 상기 피착체의 위치 맞춤을 실시하고 나서, 상기 제1 첩부 동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 압압 부재는, 원주 형상 또는 원통 형상의 압압 롤러를 구비하고, 상기 시트 압압 영역을 형성했을 때, 상기 시트 압압 영역에서의 상기 제2 방향의 길이가 1mm 이상이고, 압압 롤러의 직경의 50% 이하인 것을 특징으로 하는 시트 첩부 장치.
  4. 접착 시트를 공급하는 공급 공정과,
    상기 공급 공정에서 공급된 상기 접착 시트를 압압 부재로 피착체의 피착면에 압압하여 첩부하는 압압 공정을 실시하는 시트 첩부 방법에 있어서,
    상기 압압 공정에서는, 상기 압압 부재 및 상기 피착체의 상기 피착면에 교차하는 제1 방향으로의 상대 이동에 의해, 상기 접착 시트의 공급 방향에서의 선방부를 상기 압압 부재로 상기 피착면에 압압하여 첩부하는 제1 첩부 동작과, 상기 압압 부재 및 상기 피착체의 상기 피착면에 따른 제2 방향으로의 상대 이동에 의해, 상기 접착 시트에서의 상기 선방부 이외의 후방부를 상기 압압 부재로 상기 피착면에 압압하여 첩부하는 제2 첩부 동작이 실시되고,
    상기 압압 부재는, 상기 제1 첩부 동작이 실시됐을 때, 상기 피착면에 꽉 눌리는 부분이 변형되어 시트 압압 영역을 형성하도록 설치되고,
    상기 공급 공정에서는, 상기 제1 첩부 동작이 실시됐을 때에, 상기 접착 시트의 공급 방향에서의 선단연이 상기 시트 압압 영역 내에 들어가 있도록 상기 접착 시트를 공급하는 첩부전 공급 동작을 실시하는 것을 특징으로 하는 시트 첩부 방법.
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