JP5269229B2 - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Description
3 張力調整ローラ(張力調整手段)
5 ピールプレート(剥離手段)
5A ピールプレート前端部
6 繰出ローラ(繰出手段)
10 支持テーブル(支持手段)
15 センサ(検知手段)
17 制御手段
RL 剥離シート
S 接着シート
W ウエハ(被着体)
Claims (8)
- 帯状の剥離シート上に所定間隔を隔てて仮着された接着シートを繰り出す繰出手段と、
前記剥離シートを折り返して接着シートを剥離する剥離手段と、
前記接着シートを検知する検知手段と、
前記接着シートを被着体に押圧する押圧手段とを有するシート貼付装置において、
前記検知手段は、前記剥離手段によって折り返された剥離シート面を臨む位置に配置され、当該剥離手段で剥離されなかった接着シートを剥離不良として検知すること
を特徴とするシート貼付装置。 - 前記検知手段は、前記剥離手段の内部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 前記繰出手段は、前記検知手段によって接着シートの剥離不良が検知された場合、前記剥離シートを所定量巻き戻して再繰出を行うことを特徴とする請求項1または2に記載のシート貼付装置。
- 前記シート貼付装置は、前記剥離シートの張力調整手段を更に有し、
前記張力調整手段は、前記再繰出時に剥離シートの張力を増強することを特徴とする請求項3に記載のシート貼付装置。 - 前記シート貼付装置は、前記剥離シートの張力調整手段を更に有し、
前記張力調整手段は、前記再繰出以降において剥離シートの張力を増強することを特徴とする請求項3に記載のシート貼付装置。 - 前記検知手段によって接着シートの剥離不良が検知された場合、当該接着シートについての貼付動作は行わず、次の接着シートを繰り出すスルー動作が行われることを特徴とする請求項1または2に記載のシート貼付装置。
- 前記繰出手段によって所定回数の再繰出が行われても、前記検知手段によって接着シートの剥離不良が検知された場合、当該接着シートについての貼付動作は行わず、次の接着シートを繰り出すスルー動作が行われることを特徴とする請求項3ないし5のいずれかに記載のシート貼付装置。
- 帯状の剥離シート上に所定間隔を隔てて仮着された接着シートを繰り出し、前記剥離シートを剥離手段で折り返して前記接着シートを剥離し、剥離した接着シートを被着体に押し付け貼付するシート貼付方法であって、
前記剥離手段によって折り返された剥離シート面を臨む位置に接着シートの検知手段を配置し、当該剥離手段で剥離されなかった接着シートを前記検知手段が剥離不良として検知すること
を特徴とするシート貼付方法。
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