KR20110009635A - 석영 유리 도가니의 핸들링 장치 및 핸들링 방법 - Google Patents

석영 유리 도가니의 핸들링 장치 및 핸들링 방법 Download PDF

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미노루 시라카와
히로시 타카하시
슈이치 이케하타
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쟈판 스파 쿼츠 가부시키가이샤
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Abstract

청청한 환경 아래에서, 석영 유리 도가니를 견고하게 협지하여 확실하게 이동시킬 수 있는 핸들링 장치를 제공한다. 또한, 상기 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 핸들링 방법을 제공한다.
수평 방향으로 연장되는 빔(2), 및 빔(2)의 중심축선 방향에 대하여 직교하는 방향으로 빔(2)에서 돌출되고 적어도 일방이 빔(2)의 중심축선 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 암(3)을 구비하는 프레임(4)의, 한 쌍의 암(3)에 조립된, 석영 유리 도가니(5)의 몸체부(50)를 도가니의 지름 방향으로 협지하는 서로 대향하는 한 쌍의 협지 수단(6), 각 협지 수단(6)에 인접하여 설치되고, 석영 유리 도가니(5)를 도가니의 중심축선 방향으로 협지하여 괘지하는, 도가니의 중심축선 방향으로 근접하고 이간할 수 있는 한 쌍의 설편(70)으로 이루어지는 괘지 수단(7), 및 협지 수단(6) 및 괘지 수단(7)을 암(3)을 따라 왕복 운동시키는 구동 수단(8)을 구비하는 석영 유리 도가니(5)의 핸들링 장치(1)이다. 또한, 상기 장치(1)를 사용하는 핸들링 방법이다.

Description

석영 유리 도가니의 핸들링 장치 및 핸들링 방법{Apparatus and method for handling vitreous silica crucible}
이 발명은 청청한 환경 아래에서, 석영 유리 도가니를 협지(挾持)하여 이동시키는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치에 관한 것으로, 특히 석영 유리 도가니를 견고하게 협지하여 확실하게 이동시킬 수 있는 핸들링 장치에 관한 것이다. 또한, 이 발명은 상기 핸들링 장치를 사용하는 핸들링 방법에 관한 것이다.
일반적으로 석영 유리 도가니는 제조 후에 세정, 검사되고, 포장 등이 되어 출시되지만, 반도체 재료의 고순도화에 수반하여 석영 유리 도가니에 대해서도 오염을 최소한으로 억제하는 것이 요청되고, 석영 유리 도가니를 단결정 인상에 사용할 때에는, 초순수 등으로 더 세정하고 있다. 한편, 초크랄스키(Cz) 법 등에 의한 단결정 실리콘의 제조 효율을 높이기 위하여 석영 유리 도가니의 사이즈가 점차 커지는 경향이 있으며, 이 때문에 석영 유리 도가니 취급이 용이하지 않고, 제조 후의 검사나 포장 등의 작업 중에 석영 유리 도가니를 오염시키기 쉽다. 특히, 석영 유리 도가니를 두 명의 작업원에 의해 핸들링하면서 포장하면, 석영 유리 도가니가 오염되어 버릴 위험성이 높다. 이러한 문제를 피하기 위해서, 특허 문헌 1에는 석영 유리 도가니의 세정 후에 청정한 상태로 석영 유리 도가니를 기계적으로 포장하는 것이 개시되고 있다.
[특허 문헌 1] 일본공개특허공보 2000－219207호
그러나, 석영 유리 도가니, 특히 예를 들면 직경이 63cm 이상의 대형 석영 유리 도가니를 기계적으로 포장할 때의 핸들링 조작은 꼭 용이한 것은 아니다. 일반적으로, 석영 유리 도가니를 기계적으로 포장하는 경우에 현행의 사양에서는, 청청한 환경 아래에서 청정도가 높은 클린 봉투로 낱겹으로 포장한 후에, 클린 봉투보다 세정도가 낮은 일반봉투로 적어도 낱겹으로 포장하는 것이 일반적이다. 이에 따라, 석영 유리 도가니를 일단 포장한 후는 핸들링 장치에 의해 도가니를 들어 올리거나 회전시키거나 핸들링하려고 해도, 도가니와 핸들링 장치와의 사이에 미끄러지기 쉬운 폴리에틸렌제 등의 포장 부재가 개재되는 것에 의해, 상기 포장의 개재(介在)에 기인하여 핸들링 장치에 의해 도가니를 견고하게 협지하여 핸들링할 수 없을 가능성이 있다. 또한, 여기서 말하는 「청청한 환경」이란, 미국의 Federal Standard 209E에 규정되는, 클래스 10000(0.0283㎥ 중에 존재하는, 0.5미크론의 입자가 10000개 이하)의 청정도하에 있는 환경을 말하는 것이다.
여기서, 이 발명의 목적은 지금까지 충분히 주목되거나 검토되지 않았던 석영 유리 도가니의 핸들링 장치에 대해서 개량을 꾀하는 것에 의해, 예를 들어 석영 유리 도가니에 대해서 낱겹 이상의 포장이 행해져도, 석영 유리 도가니를 견고하게 협지하여 확실하게 이동시킬 수 있는 핸들링 장치를 제공하는 것에 있다. 또한, 이 발명의 다른 목적은, 상기 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 핸들링 방법을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 제1 발명은 석영 유리 도가니를 협지하여 이동시키는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치로서, 수평 방향으로 연장되는 빔, 및 해당 빔의 중심축선 방향에 대하여 직교하는 방향으로 해당 빔에서 돌출되고 적어도 일방이 해당 빔의 중심축선 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 암을 구비하는 프레임의, 상기 한 쌍의 암에 조립된, 석영 유리 도가니의 몸체부를 도가니의 지름 방향으로 협지하는 서로 대향하는 한 쌍의 협지 수단, 각 협지 수단에 인접하여 설치되어 석영 유리 도가니를 도가니의 중심축선 방향으로 협지하여 괘지(掛止)하는, 도가니의 중심축선 방향으로 근접하거나 이간할 수 있는 한 쌍의 설편으로 이루어지는 괘지 수단, 및 상기 프레임을 석영 유리 도가니의 중심축선을 따라 왕복 운동시키는 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치이다.
또한, 제1 발명에 있어서, 상기 암에 조립되고, 석영 유리 도가니를 한 쌍의 협지 수단을 통하여 도가니의 중심축선에 직교하는 방향으로 연장되는 가상선을 축선에 회동시키는 회동 수단을 더 구비하는 것이 바람직하다.
또한, 제1 발명에 있어서, 상기 협지 수단은 적어도 한 개의 롤러를 구비하고, 해당 롤러의 축선은 상기 도가니의 중심축선 방향으로 연재(延在)되어 이루어지는 것이 바람직하다. 이 때, 상기 롤러를 복수 라인 구비하고, 해당 복수 라인의 롤러는 서로 이간(離間)되어 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 롤러는, 외주에 탄성층을 가지는 것이 바람직하다.
또한, 제1 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 설편 중에서 적어도 일방의 설편은, 도가니의 중심축선 방향으로 요동(搖動) 가능한 것이 바람직하다.
또한, 제1 발명에 있어서, 상기 한 쌍의 설편은, 탄성 부재를 구비하는 것이 바람직하다.
제2 발명은, 제1 발명의 석영 유리 도가니의 핸들링 장치를 이용하여 석영 유리 도가니를 핸들링하는 방법으로서, 대좌에 재치된 석영 유리 도가니의 몸체부를 도가니의 지름 방향으로 협지하는 공정과, 석영 유리 도가니를 도가니의 중심축선 방향으로 협지하여 괘지하는, 공정과, 석영 유리 도가니를 들어 올리는 공정과, 석영 유리 도가니를 대좌에 재치하는 공정과, 석영 유리 도가니의 협지 및 괘지를 해제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 핸들링 방법이다.
또한, 제2 발명에 대해, 상기 석영 유리 도가니를 들어 올리는 공정 후에, 석영 유리 도가니를 회동시키는 공정을 더 포함하는 것이 바람직하다.
이 발명에 의하면, 석영 유리 도가니의 핸들링 장치의 구성의 적정화를 꾀하는 것에 의해, 예를 들어 석영 유리 도가니에 대해서 낱겹 이상의 포장이 행해져도, 석영 유리 도가니를 견고하게 협지하여 확실하게 이동시킬 수 있는 핸들링 장치를 제공하는 것이 가능해진다. 또한, 상기 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 핸들링 방법을 제공하는 것이 가능해진다.
도 1은 이 발명에 관한 핸들링 장치를 나타낸 사시도이다.
도 2는 이 발명에 관한 핸들링 장치의 부분 사시도이다.
도 3의 (a) ~ (j)는 이 발명에 관한 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 핸들링 공정을 나타낸 도면이다.
도 4의 (a) ~ (i)는 이 발명에 관한 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 그 외의 핸들링 공정을 나타낸 도면이다.
다음에, 도면을 참조하여 이 발명의 실시 형태를 설명한다. 도 1은 이 발명에 관한 핸들링 장치를 나타낸 사시도이다. 도 2는 이 발명에 관한 핸들링 장치의 부분 사시도이다. 도 3의 (a) ~ (j)는 이 발명에 관한 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 핸들링 공정을 나타낸 도면이다. 도 4의 (a) ~ (i)는 이 발명에 관한 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 그 외의 핸들링 공정을 나타낸 도면이다.
이 발명의 실시 형태와 관한 핸들링 장치(1)는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 수평 방향으로 연장되는 빔(2), 및 상기 빔(2)의 중심축선 방향(X)에 대해서 직교하는 방향으로 빔(2)에서 돌출되고 빔(2)의 중심축선 방향(X)으로 이동 가능한 한 쌍의 암(3)을 구비하는 프레임(4)을 가진다. 또한, 한 쌍의 암(3)에는, 석영 유리 도가니(5)의 몸체부(50)를 도가니의 지름 방향으로 협지하는 서로 대향하는 한 쌍의 협지 수단(6)이 조립되어 있다. 각 협지 수단(6)은 서로 이간(離間)한 2개의 롤러(60)로 이루어지고, 이들 롤러(60)의 축선은 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 연재(延在, 연장하여 존재)하고 있다. 상기 롤러(60)의 외주층(60a)은, 탄성을 가지는 우레탄계 탄성중합체(elastomer)에 의해 구성된다. 또한, 각 협지 수단(6)에는 석영 유리 도가니(5)를 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 협지하여 괘지(掛止, 걸어서 멈춤)하는, 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 근접하고 이간할 수 있는 한 쌍의 설편(70A, 70B)으로 이루어지는 괘지 수단(7)이 인접하여 설치되어 있다. 설편(70A)은 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 움직일 수 있다. 설편(70B)은 설편(70B)의 암(3)에 조립된 기부(基部)를 축으로 하여 선회하고, 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 요동(搖動, 흔들려 움직임) 가능하다. 또한, 설편(70B)의 도가니와의 접촉 부분은 우레탄계 탄성중합체에 의해 구성되어 있다. 또한, 프레임을 석영 유리 도가니(5)의 중심축선(Y)을 따라 왕복 운동시키는 구동 수단(8)이 설치되어 있다. 또한, 이들 암(3)에는, 석영 유리 도가니(5)를 한 쌍의 협지 수단(6)을 통하여 도가니의 중심축선(Y)에 직교하는 방향으로 연장되는 가상선(Z)을 축으로 회동시키는 회동 수단(9)을 더 조립할 수 있다.
한 쌍의 암(3)은, 빔(2)에 장착된 에어 실린더(10A)가 빔(2)의 중심축선 방향(X)으로 신축하는 것에 의해, 암(3)이 빔(2)의 중심축선 방향(X)으로 이동한다(도 2의 사선 화살표 참조). 상기 암(3)의 이동과 연동하여, 암(3)에 조립된 협지 수단(6) 및 괘지 수단(7)이 빔(2)의 중심축선 방향(X)으로 이동하게 된다. 또한, 설편(70A)에는 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 신축하는 에어 실린더(10B)가 연결되어 있고, 상기 에어 실린더(10B)가 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 신축하는 것에 의해, 설편(70A)도 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 신축하게 된다(도 2의 검은 색 화살표 참조). 설편(70B)에는 에어 실린더(10C)가 연결되어 있고, 상기 에어 실린더(10C)의 구동에 의해, 설편(70B)의 암(3)에 조립된 기부를 축으로, 설편(70B)이 도가니의 중심축선 방향(Y)으로 요동하게 된다(도 2의 무색 화살표 참조). 또한, 프레임(4)을 석영 유리 도가니(5)의 중심축선(Y)을 따라 왕복 운동시키는 구동 수단(8)이 프레임(4)에 연결되어 설치되고, 상기 구동 수단(8)이 구동하는 것에 의해, 프레임(4)이 석영 유리 도가니(5)의 중심축선(Y)을 따라 왕복 운동하게 된다. 또한, 회동 수단(9)으로서는, 회전 모터(11)가 빔(2)내의 축봉(軸棒)(12)에 연결되어 있고, 상기 축봉(12)에는 톱니 바퀴(13A)가 장착되어 있고, 그리고, 협지 수단(6) 및 괘지 수단(7)의 암(3)측의 기부에도 톱니 바퀴(13B)가 장착되어 있고, 양톱니 바퀴(13A 및 13B)가, 톱니 벨트(14)를 통하여 연결되어 구성된다. 상기 회전 모터(11)가 구동하면 봉축(12)이 회전하고, 톱니 바퀴(13A, 13B) 및 톱니 벨트(14)를 통하여 회전력이 협지 수단(6) 및 괘지 수단(7)으로 전달되어 협지 수단(6) 및 괘지 수단(7)이 회동하게 된다. 또한, 청정도를 확보하는 관점에서, 기름이 누출하는 우려가 있는 유압 실린더가 아니라, 상술한 바와 같이 에어 실린더를 사용하는 것이 바람직하다. 또한, 같은 관점에서, 마모에 의한 금속가루가 발생할 우려가 있는 금속제의 체인이 아니라, 상술한 바와 같이 톱니 벨트를 사용하는 것이 바람직하다.
상기 핸들링 장치(1)를 이용하여, 석영 유리 도가니를 핸들링하는 공정을 도 3 및 도 4에 나타낸다. 이하에 상세하게 설명한다.
먼저, 도 3의 (a)에 나타낸 바와 같이, 포장대 테이블(15) 상에, 석영 유리 도가니(5)를 재치(載置)한다. 그 다음에, 도 3의 (b)에 나타낸 바와 같이, 핸들링 장치(1)를 하강시켜서 핸들링 장치(1)의 협지 수단(6)의 롤러(60)가 석영 유리 도가니(5)의 몸체부(50) 측방(側方)에 배치한다. 이 때, 설편(70B)을 하방(下方)으로 요동시킨다. 그리고, 도 3의 (c)에 나타낸 바와 같이, 암(3)을 빔(2)의 중심축선 방향(X)의 도가니측의 방향으로 이동시켜서, 롤러(60)에 의해 석영 유리 도가니(5)의 몸체부(50)를 협지하고, 한편, 설편(70B)을 상방으로 요동시키고, 그리고 도 3의 (d)에 나타낸 바와 같이, 설편(70A)을 하강시켜서 설편(70B)과의 사이에 석영 유리 도가니(5)를 괘지한다. 그 상태로, 도 3의 (e)에 나타낸 바와 같이, 석영 유리 도가니(5)를 들어 올린다. 들어 올려진 석영 유리 도가니(5)는, 도 3의 (f)에 나타낸 바와 같이, 회동 수단(9)에 의해 180ㅀ 회전되어 석영 유리 도가니(5)의 개구부(16)가 하방이 되도록 상하 반전하게 된다. 그 후, 반전된 석영 유리 도가니(5)는 다시 포장대 테이블(15) 상에 재치된다(도 3의 (g) 참조). 그리고, 도 3의 (h)에 나타낸 바와 같이, 설편(70A)이 하강하고, 설편(70B)이 상방으로 요동하여, 설편(70B)과의 사이의 석영 유리 도가니(5)의 괘지가 해제되고, 도 3의 (i)에 나타낸 바와 같이, 암(3)을 빔(2)의 중심축선 방향(X)의 도가니로부터 이간하는 측의 방향으로 이동시켜서 롤러(60)에 의한 석영 유리 도가니(5)의 몸체부(50)의 협지를 해제한다. 마지막으로, 도 3의 (j)에 나타낸 바와 같이, 핸들링 장치(1)를 상방으로 이동시킨다.
또한, 상기한 핸들링 공정에서는, 석영 유리 도가니(5)를 회전시키고 나서 다시 포장대 테이블(15) 상에 재치하고 있지만, 꼭 회전시킬 필요는 없고, 목적에 따라, 도 4의 (a) ~ (i)에 나타낸 바와 같이, 들어 올린 석영 유리 도가니(5)를 회전시키는 공정을 거치지 않고, 다시 포장대 테이블(15) 상에 재치하는 일도 가능하다. 또는, 도시는 생략 하지만, 들어 올려진 석영 유리 도가니(5)를 90ㅀ 회전시켜서 석영 유리 도가니(5)를 옆으로 눕힌 상태에서, 다시 포장대 테이블(15) 상에 재치시키는 일도 가능하다.
상기 구성을 채용하여, 협지 수단(6) 및 괘지 수단(7)에 의해 석영 유리 도가니(5)를 협지 및 괘지하는 것에 의해, 석영 유리 도가니(5)가 견고하게 협지되게 되어, 그 후의 이동의 확실성도 향상하게 된다. 이것은, 특히 대형의 석영 유리 도가니(5)를 기계적으로 포장할 때의 핸들링 조작에 대해서 유효한 효과를 상주한다. 상술한 것처럼, 일반적으로 석영 유리 도가니(5)를 기계적으로 포장하는 경우, 현행의 사양에서는 청청한 환경 아래에서 청정도의 높은 클린 봉투로 낱겹으로 포장한 후에, 클린 봉투보다 세정도가 낮은 일반봉투로 적어도 낱겹으로 포장한다. 적어도 낱겹으로 포장된 석영 유리 도가니(5)를, 이 발명에 관한 핸들링 장치(1)를 사용하여 기계적으로 협지하고, 들어 올리거나 회전시키거나 하면, 도가니가 견고하게 협지되는 것에 의해, 도가니와 핸들링 장치와의 사이에 미끄러지기 쉬운 포장 부재가 개재하고 있어도, 석영 유리 도가니(5)가 미끄러져서 떨어지거나 하는 일 없이, 협지된 도가니를 확실하게 이동시킬 수 있다. 또한, 상술한 이 발명의 구성과는 달리, 핸들링 장치에 협지 수단 및 괘지 수단의 어느 하나가 장착되지 않은 경우에는, 석영 유리 도가니가 충분히 견고하게 협지되지 않고, 핸들링 장치로부터 미끄러져서 떨어질 가능성이 있다. 예를 들면, 괘지 수단(7)이 장착되지 않은 장치 구성을 채용했을 경우에는, 직경이 81cm, 중량이 60kg인 대형의 석영 유리 도가니를 협지 수단에 의해 협지했을 때에, 협지된 석영 유리 도가니가 미끄러져서 떨어질 가능성이 있다.
또한, 협지 수단(6)의 롤러(60)의 외주층(60a) 및 괘지 수단(7)의 설편(70A, 70B)의 도가니와의 접촉 부분을 구성하는 재료로는, 상술한 바와 같은 우레탄계 탄성중합체 이외에, 천연 고무, 폴리부타디엔 고무, 아크릴 고무, 실리콘 고무, 폴리우레탄 등으로 할 수 있다. 또한, 석영 유리 도가니의 치수나 형상, 핸들링 장치(1)의 구성 등에 의해 롤러에 소망(所望)하는 성능이 변경되면, 소망한 성능에 대응하여 롤러의 재료, 조성 등을 적당히 변경하는 것이 가능하다.
또한, 상술한 것은, 이 발명의 실시 형태의 일부를 나타내는 것에 지나지 않고, 이 발명의 취지를 일탈하지 않는 한, 이러한 구성을 서로 조합하거나 여러 가지의 변경을 더하거나 할 수 있다.
다음으로, 괘지수단을 구비하지 않은 것 이외에는 이 발명의 핸들링 장치와 동일한 구성을 구비한 종래 기술의 핸들링 장치(종래예의 장치), 및 도 1에 나타내는 괘지수단을 구비한 이 발명의 핸들링 장치(실시예의 장치)를 이용하여, 석영 유리 도가니의 핸들링 조작을 행하여 평가에 제공하였다.
상기한 종래예의 장치 및 실시예의 장치를 이용하여 도가니 직경: 812mm, 무게 60Kg의 석영 유리 도가니를 협지하여 들어올려서 3회 회전시킨 후에, 석영 유리 도가니를 협지하고 있는 위치가 들어올리기 전에 비해서 비뚤어지는지에 대해서 조사했다. 상기 조사는 각각의 장치에 대해서 100회 반복하여 행하였다.
그 결과, 종래예의 장치를 이용한 경우에는 100회중에서 2회, 석영 유리 도가니를 협지하고 있는 위치가 비뚤어졌지만, 실시예의 장치를 이용한 경우에는 석영 유리 도가니를 협지하고 있는 위치의 비뚤어짐이 확인되지 않았다.
이상의 설명에서 분명해진 것은, 이 발명에 의하여 청청한 환경 하에서 석영 유리 도가니를 견고하게 협지하여 확실하게 이동시킬 수 있는 핸들링 장치를 제공하는 것이 가능해졌다. 또한, 상기 핸들링 장치를 사용한 석영 유리 도가니의 핸들링 방법을 제공하는 것이 가능해졌다.
1: 핸들링 장치
2: 빔
3: 암
4: 프레임
5: 석영 유리 도가니
50: 석영 유리 도가니의 몸체부
6: 협지(狹持) 수단
60: 롤러
60a: 롤러의 외주층(外周層)
70A, 70B: 설편(舌片)
7: 괘지(掛止) 수단
8: 구동 수단
9: 회동(回動) 수단
10A, 10B, 10C: 에어 실린더
11: 회전 모터
12: 축 봉
13A, 13B: 톱니 바퀴
14: 톱니 벨트
15: 포장대 테이블
16: 개구부
X: 빔의 중심축선(방향)
Y: 도가니의 중심축선(방향)
Z: 가상선

Claims (9)

  1. 석영 유리 도가니를 협지(挾持)하여 이동시키는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치로서,
    수평 방향으로 연장되는 빔, 및 해당 빔의 중심축선 방향에 대하여 직교하는 방향으로 해당 빔에서 돌출되고 적어도 일방이 해당 빔의 중심축선 방향으로 이동 가능한 한 쌍의 암을 구비하는 프레임의, 상기 한 쌍의 암에 조립된, 석영 유리 도가니의 몸체부를 석영 유리 도가니의 지름 방향으로 협지하는 서로 대향하는 한 쌍의 협지 수단,
    각 협지 수단에 인접하여 설치되고, 석영 유리 도가니를 석영 유리 도가니의 중심축선 방향으로 협지하여 괘지(掛止)하는, 석영 유리 도가니의 중심축선 방향으로 근접하고 이간(離間)할 수 있는 한 쌍의 설편(舌片)으로 이루어지는 괘지 수단, 및
    상기 프레임을 석영 유리 도가니의 중심축선을 따라 왕복 운동시키는 구동 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 암에 조립되고, 석영 유리 도가니를 한 쌍의 협지 수단을 통하여 석영 유리 도가니의 중심축선에 직교하는 방향으로 연장되는 가상선을 축으로 회동시키는 회동(回動) 수단을 더 구비하는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  3. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 협지 수단은 적어도 한 개의 롤러를 구비하고, 해당 롤러의 축선은 상기 석영 유리 도가니의 중심축선 방향으로 연재(連在)되어 이루어지는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 롤러를 복수 라인 구비하고, 해당 복수 라인의 롤러는 서로 이간(離間)되어 이루어지는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  5. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 롤러는, 외주에 탄성층을 가지는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  6. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 한 쌍의 설편 중에서 적어도 일방의 설편은, 석영 유리 도가니의 중심축선 방향으로 요동(搖動) 가능한 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  7. 청구항 1 또는 청구항 2에 있어서,
    상기 한 쌍의 설편은, 탄성 부재를 구비하는 석영 유리 도가니의 핸들링 장치.
  8. 청구항 1 또는 청구항 2에 기재된 석영 유리 도가니의 핸들링 장치를 이용하여 석영 유리 도가니를 핸들링하는 방법으로서,
    대좌(臺座)에 재치(載置)된 석영 유리 도가니의 몸체부를 석영 유리 도가니의 지름 방향으로 협지하는 공정과,
    석영 유리 도가니를 석영 유리 도가니의 중심축선 방향으로 협지하여 괘지하는, 공정과,
    석영 유리 도가니를 들어 올리는 공정과,
    석영 유리 도가니를 대좌에 재치하는 공정과,
    석영 유리 도가니의 협지 및 괘지를 해제하는 공정을 포함하는 것을 특징으로 하는 석영 유리 도가니의 핸들링 방법.
  9. 청구항 8에 있어서,
    상기 석영 유리 도가니를 들어 올리는 공정 후에, 석영 유리 도가니를 회동시키는 공정을 더 포함하는 석영 유리 도가니의 핸들링 방법.
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