JP6998965B2 - フォトマスクまたはペリクル付きフォトマスクの一面を収容し、洗浄媒体から保護するためのホルダ、フォトマスクまたはペリクル付きフォトマスクを洗浄する方法、およびホルダを開閉する装置 - Google Patents
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Claims (33)
- フォトマスクまたはペリクル付きフォトマスクの一方の面を収容し、洗浄媒体から保護するためのホルダであって、
少なくとも3つの支持要素を有するベースと、
上面と下面とを有するシールフレームと、
前記シールフレームに配置された外周弾性シール要素と、を備え、
前記少なくとも3つの支持要素は、前記ベースの底面から間隔を開けた状態で前記フォトマスクまたは前記ペリクル付きフォトマスクを受け取り、かつ保持するように構成され、
前記シールフレームの前記下面は、前記ベース上に置かれ、
前記シールフレームは、該シールフレームと前記フォトマスクとの間に間隔を開けた状態で前記フォトマスクを収容できるように寸法設定された中央開口を備えており、
前記外周弾性シール要素は、前記中央開口の内周から該中央開口内へ、前記シールフレームの前記上面に向かって傾斜して延びており、
無負荷状態の前記外周弾性シール要素は、前記フォトマスクの外周よりも小さい内周を有しており、負荷状態の前記外周弾性シール要素は、前記中央開口に収容されたフォトマスクの側面に周方向に接触する、ホルダ。 - 前記支持要素は、フォトマスクのエッジ部でのみ、特に、フォトマスクの角部でのみ、該フォトマスクに接触するように配置されている、請求項1に記載のホルダ。
- 前記支持要素は、それぞれ、1つまたは2つの傾斜支持面を有する、請求項1または2に記載のホルダ。
- 無負荷状態の前記外周弾性シール要素は、前記中央開口の前記内周から該中央開口内に均一に2.5mm~3.5mmの距離、好ましくは、約2.9mmの距離だけ延びている、請求項1乃至3のいずれか一項に記載のホルダ。
- 無負荷状態の前記外周弾性シール要素は、該外周弾性シール要素と中心合わせされたフォトマスクのエッジ領域と約0.4~1mm、好ましくは、0.6~0.8mm重なるように寸法設定されている、請求項1乃至4のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記外周弾性シール要素は、1~3mmの範囲の、好ましくは、1.5~2.5mmの範囲の厚さと、25°~75°の範囲のショアA硬度を有する、請求項1乃至5のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記外周弾性シール要素は、無負荷状態で、かつ該外周弾性シール要素を前記シールフレームに取り付ける前は実質的に平坦な形状を有している、請求項1乃至6のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記外周弾性シール要素は、実質的に矩形の内周を有しており、前記内周の角部は、丸められており、好ましくは、2~4mmの範囲にある半径、特に、約3mmの半径を有する、請求項1乃至7のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記外周弾性シール要素は、実質的に矩形状を有しており、少なくとも2つの両側のエッジ領域における外周に取付突起を有している、請求項1乃至8のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記外周弾性シール要素は、使用される前記洗浄媒体および/または紫外線に耐性がある、請求項1乃至9のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記シールフレームは、互いに着脱可能に取り付けられた上部と下部とを有しており、前記外周弾性シール要素は、前記上部と前記下部との間に挟まれている、請求項1乃至10のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記上部と前記下部とは、前記外周弾性シール要素のための外周収容空間を形成し、該外周収容空間は、前記中央開口を向いて開口し、前記中央開口に向かって漸減し、かつ前記シールフレームの上面に向かって傾斜しつつ前記中央開口に向かって延びている、請求項11に記載のホルダ。
- 前記外周弾性シール要素のための前記収容空間は、前記シールフレームの上面に向かって、平均して約29°傾斜している、請求項12に記載のホルダ。
- 前記収容空間は、前記中央開口に面する端部において、前記外周弾性シール要素の厚さよりも小さい高さを有する、請求項12または13に記載のホルダ。
- 前記中央開口に面する前記収容空間の前記端部は、前記外周弾性シール要素の厚さよりも10%~20%小さい高さを有する、請求項14に記載のホルダ。
- 前記シールフレームは、前記外周弾性シール要素の取付位置の上方の領域に傾斜部を有しており、該傾斜部は、前記シールフレームの径方向周囲に向かって広がっている、請求項1乃至15のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記ベースは、前記シールフレームを前記ベースに解放可能に保持するホルダユニット、特に、真空または負圧ユニットを備える、請求項1乃至16のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記ベースと前記シールフレームのうちの少なくとも一方は、外周シールを備え、該外周シールは、他方の要素、すなわち、前記シールフレームまたは前記ベースを向いている、請求項1乃至17のいずれか一項に記載のホルダ。
- 前記ベースと前記シールフレームは、相補的な案内要素を備え、該案内要素は、前記シールフレームを前記ベース上に配置する際に、これら2つの要素の互いに対する整列を達成する、請求項1乃至18のいずれか一項に記載のホルダ。
- フォトマスク、特に、ペリクルを有するフォトマスクの一方の面を洗浄する方法であって、
請求項1乃至19のいずれか一項に記載のホルダにフォトマスクを収容する工程である、最初に、前記フォトマスクを、その洗浄されない面が前記ベースに向くように前記支持要素に置き、次に、前記シールフレームを前記ベース上に置き、前記外周弾性シール要素が前記フォトマスクの側面で周方向に接触して該側面を封止し、前記フォトマスクの洗浄対象面はアクセス可能とする工程と、
少なくとも1つの洗浄媒体を該フォトマスクの前記洗浄対象面に供給して、前記洗浄対象面を洗浄する工程と、
前記フォトマスクを前記支持要素に押し付けつつ、前記シールフレームを、該シールフレームが前記ベースに置かれたときと逆方向に前記ベースから取り外す工程と、
前記フォトマスクを前記支持要素から取り外す工程と、を備えた、方法。 - 前記フォトマスクは、そのエッジ部のみ、特に、前記フォトマスクの角部のみが前記支持要素に接触するように、前記支持要素に置かれる、請求項20に記載の方法。
- 前記シールフレームを前記ベースに置く際に、前記外周弾性シール要素は、前記シールフレームの上面に向かって変形し、前記外周弾性シール要素の下面が前記フォトマスクの側面に接触して、該側面を封止する、請求項20または21に記載の方法。
- 前記洗浄媒体は、液体媒体であり、前記フォトマスクの洗浄された面は、前記シールフレームを前記ベースから取り外す前に乾燥される、請求項20乃至22のいずれか一項に記載の方法。
- 請求項1乃至19のいずれか一項に記載のホルダを開閉するための装置であって、
間隔を開けて配置された互いに向き合う少なくとも2つのグリッパと、
少なくとも1つの保持ピンを有するマスク保持ユニットと、
前記グリッパと前記保持ユニットとの両方に連結され、前記グリッパと前記保持ユニットを一体に移動させる移動ユニットと、を備え、
前記少なくとも2つのグリッパは、それらの間に前記シールフレームを自由に受け取ることができる開位置と、前記シールフレームを把持しうる閉位置との間を移動可能であり、
前記少なくとも1つの保持ピンは、前記シールフレームを前記グリッパで受けるときに、前記少なくとも1つの保持ピンが前記シールフレームの前記中央開口と整列されるように、前記グリッパの間で空間的に配置されており、
前記少なくとも1つの保持ピンは、前記グリッパの開閉動作方向と実質的に垂直に延び、かつ前記少なくとも1つの保持ピンの長手方向に移動可能に支持されている、装置。 - 前記少なくとも1つの保持ピンは、案内要素内に収容されており、かつ付勢ユニットによって前記案内要素の外へ弾性的に付勢されており、前記案内要素の外への前記保持ピンの移動はストッパによって制限されている、請求項24に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの保持ピンは、制御可能な移動機構によってその長手方向に移動可能である、請求項24に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの保持ピンは、前記グリッパの間の位置から、保持機能を実行不能な中立位置に移動可能である、請求項24乃至26のいずれか一項に記載の装置。
- 前記移動ユニットは、間隔を開けて配置された2つのアームを備え、該アームは、それぞれ、少なくとも1つのグリッパを担持し、かつ少なくとも前記グリッパの領域内で、実質的にその長手方向と平行に延びる、請求項24乃至27のいずれか一項に記載の装置。
- 前記グリッパは、グリッパジョーを有するグリッパジョーホルダを備え、前記グリッパジョーホルダは前記2つのアームのうちの少なくとも一方の上に配置されており、
前記グリッパジョーホルダは、前記アームの長手方向に延びる第1回転軸を中心に回転可能に支持されており、
前記グリッパジョーは、前記アームの長手伸長方向に垂直に延びる第2回転軸を中心に回転可能に、前記グリッパジョーホルダに取り付けられている、請求項28に記載の装置。 - 前記第1および第2回転軸は、実質的に互いに垂直である、請求項29に記載の装置。
- 前記少なくとも一方のアーム上の前記グリッパは、2つのグリッパジョーを有するグリッパジョーホルダを備え、該2つのグリッパジョーは前記グリッパジョーホルダを支持する前記アームの長手方向に間隔を開けて配置されており、
ホームポジションにおける前記グリッパジョーは、前記アームと実質的に平行な線上に整列されており、
前記グリッパジョーホルダは、前記アームの長手方向に垂直な第3回転軸を中心に回転可能に支持されている、請求項28乃至30のいずれか一項に記載の装置。 - 前記第3回転軸は、他方のアームに向かって延びている、請求項31に記載の装置。
- 前記グリッパジョーホルダをそのホームポジションに向かって付勢する付勢ユニットをさらに備えた、請求項31または32に記載の装置。
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