RU2019118487A

RU2019118487A - Держатель для размещения и защиты стороны фотошаблона или фотошаблона с мембраной относительно очищающей среды, способ очистки фотошаблона или фотошаблона с мембраной и устройство для открывания и закрывания держателя

Info

Publication number: RU2019118487A
Application number: RU2019118487A
Authority: RU
Inventors: Йенс КРЮМБЕРГ; Адем БЕЗЕР; Уве ДИТЦЕ
Original assignee: Зюсс Микротек Фотомаск Эквипмент Гмбх Унд Ко.Кг
Priority date: 2016-11-16
Filing date: 2017-11-16
Publication date: 2020-12-17
Also published as: RU2746714C2; EP3542220B1; KR102466844B1; CN110291461B; TWI763737B; US10845718B2; TW201826015A; US20190369510A1; JP2019536114A; KR20190094371A; NL2017806B1; WO2018091601A1; RU2019118487A3; EP3542220A1; JP6998965B2; CN110291461A

Claims

1. Держатель для размещения и для защиты стороны фотошаблона или фотошаблона с мембраной, относительно очищающей среды, причём держатель имеет следующие элементы:

- основание с, по меньшей мере, тремя опорными элементами, которые для размещения и для удержания фотошаблона или фотошаблона с мембраной расположены на расстоянии от днища основания;

- уплотнительную раму, с верхней стороной и нижней стороной, причём нижняя сторона выполнена с возможностью насаживания на основание и уплотнительная рама имеет центральное отверстие, которое рассчитано таким образом, что может размещать фотошаблон с зазором;

- круговой эластичный уплотнительный элемент на уплотнительной раме, который от внутреннего периметра центрального отверстия наклонно к верхней стороне уплотнительной рамы с наклоном входит в центральное отверстие, причём уплотнительный элемент в ненагруженном состоянии имеет внутренний периметр, который меньше, чем внешний периметр фотошаблона, и в нагруженном состоянии входит в контакт с помещённым в центральное отверстие фотошаблоном по кругу на боковой кромке.

2. Держатель по п.1, причём опорные элементы расположены таким образом, что они входят в контакт с фотошаблоном лишь в кромочной зоне, в частности, в угловых зонах фотошаблона.

3. Держатель по п.1 или 2, причём опорные элементы имеют, соответственно, одну или две наклонные опорные поверхности.

4. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение в ненагруженном состоянии располагается равномерно от внутреннего периметра центрального отверстия внутрь него, а именно на расстоянии от 2,5 до 3,5 мм и предпочтительно на расстоянии примерно 2,9 мм.

5. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение в ненагруженном состоянии рассчитано таким образом, что оно перекрывает кромочные зоны центрированного относительно него фотошаблона, а именно от 0,4 до 1 мм, предпочтительно от 0,6 до 0,8 мм.

6. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение имеет толщину в диапазоне от 1 до 3 мм, предпочтительно в диапазоне от 1,5 до 2,5 мм, а также твёрдость А по Шору в диапазоне от 25° до 75°.

7. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение перед его размещением в уплотнительной раме в ненагруженном состоянии имеет, в основном, плоскую конфигурацию.

8. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение имеет, в основном, прямоугольный внутренний периметр, причём угловые зоны внутреннего периметра имеют закругления и предпочтительно радиус в диапазоне от 2 до 4 мм, в частности, примерно 3 мм.

9. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение имеет, в основном, прямоугольную конфигурацию и в, по меньшей мере, двух противолежащих кромочных зонах, соответственно, на внешнем периметре, имеет монтажную накладку.

10. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнение устойчиво в отношении воздействия использованной очищающей среды и/или УФ-излучения.

11. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнительная рама имеет верхнюю часть и нижнюю часть, которые с возможностью разъёма закреплены друг на друге, причём уплотнение зажато между верхней частью и нижней частью.

12. Держатель по п.11, причём верхняя часть и нижняя часть образуют круговое, открытое к центральному отверстию, приёмное пространство для уплотнения, которое сужается к центральному отверстию и которое с наклоном к верхней стороне уплотнительной рамы наклонено к центральному отверстию.

13. Держатель по п.12, причём приёмное пространство для уплотнения в среднем примерно на 29° наклонено к верхней стороне уплотнительной рамы.

14. Держатель по п.12 или 13, причём приёмное пространство на своём обращённом к центральному отверстию конце имеет высоту, которая меньше, чем толщина уплотнения.

15. Держатель по п.14, причём приёмное пространство на своём обращённом к центральному отверстию конце имеет высоту, которая на 10-20% меньше, чем толщина уплотнения.

16. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём уплотнительная рама в зоне выше места присоединения уплотнения имеет расширяющиеся радиально к периметру уплотнительной рамы скосы.

17. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём основание имеет удерживающее устройство, в частности, вакуумное устройство, для удержания уплотнительной рамы с возможностью разъёма.

18. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём основание и/или уплотнительная рама имеют, по меньшей мере, одно обращённое, соответственно, к другому элементу, т.е. к уплотнительной раме или к основанию, круговое уплотнение.

19. Держатель по любому из предыдущих пунктов, причём основание и уплотнительная рама имеют дополнительные направляющие элементы, которые при насаживании уплотнительной рамы на основание обеспечивают ориентацию обоих элементов относительно друг друга.

20. Способ очистки стороны фотошаблона, в частности, фотошаблона с мембраной, включающий следующие этапы:

- установка фотошаблона в держатель по любому из предыдущих пунктов, причём фотошаблон сначала своей не подвергаемой очистке стороной, будучи обращённым к основанию, устанавливают на опорные элементы, а затем уплотнительную раму таким образом насаживают на основание, что эластичный уплотнительный элемент примыкает к фотошаблону по кругу на боковой кромке и уплотняет его, причём подвергаемая очистке сторона фотошаблона располагается свободно,

- очистка подвергаемой очистке стороны фотошаблона посредством, по меньшей мере, одной очищающей среды, которую наносят на подвергаемую очистке сторону,

- снятие уплотнительной рамы с основания в направлении, обратном насаживанию, в то время как фотошаблон прижимается к опорным элементам, и

- подъём фотошаблона с опорных элементов.

21. Способ по п.20, причём фотошаблон устанавливают на опорных элементах таким образом, что лишь кромочные зоны, в частности, угловые зоны фотошаблона вступают в контакт с опорными элементами.

22. Способ по п.20 или 21, причём при насаживании уплотнительной рамы на основание уплотнительный элемент в направлении к верхней стороне уплотнительной рамы деформируется, так что нижняя сторона уплотнительного элемента прилегает к боковой кромке фотошаблона и герметизируется относительно неё.

23. Способ по любому из пп.20-22, причём очищающей средой является жидкая среда, а подвергаемую очистке сторону фотошаблона перед снятием уплотнительной рамы с основания высушивают.

24. Устройство для открывания и закрывания держателя по любому из пп. 1-19, которое имеет следующие элементы:

- по меньшей мере, два расположенных на расстоянии друг от друга, обращённых друг к другу захвата, которые выполнены с возможностью перемещения между открытым положением, в котором они могут свободно размещать между собой уплотнительную раму, и закрытым положением, в котором они могут войти в зацепление с уплотнительной рамой,

- устройство поддержания шаблона с, по меньшей мере, одним поддерживающим штифтом, который в пространстве таким образом располагается между захватами, что оказывается ориентирован с центральный отверстием в уплотнительной раме, если он помещён между захватами, и который располагается, в основном, перпендикулярно направлению перемещения захвата при открывании / закрывании, причём, по меньшей мере, один поддерживающий штифт удерживается с возможностью перемещения в направлении своего расположения,

- устройство перемещения, которое соединено как с захватами, так и с поддерживающим устройством, для их совместного перемещения.

25. Устройство по п.24, причём, по меньшей мере, один поддерживающий штифт помещается в направляющем элементе и посредством устройства предварительного натяжения упруго выводится из него вовне, причём перемещение из направляющего элемента вовне ограничено посредством, по меньшей мере, одного упора.

26. Устройство по п.24, причём, по меньшей мере, один поддерживающий штифт выполнен с возможностью перемещения в направлении своего расположения посредством выполненного с возможностью управления механизма перемещения.

27. Устройство по любому из п.п.24-26, причём, по меньшей мере, один поддерживающий штифт выполнен с возможностью перемещения из своего положения между захватами в нейтральное положение, в котором он не осуществляет функцию поддержания.

28. Устройство по любому из пп.24-27, причём устройство перемещения имеет два расположенных на расстоянии друг от друга рычага, на которых расположен, соответственно, по меньшей мере, один из захватов, и которые, по меньшей мере, в зоне захватов располагаются, в основном, параллельно в продольном направлении.

29. Устройство по п.28, причём захват на, по меньшей мере, одном из рычагов имеет держатель кулачка захвата с кулачком захвата, причём держатель кулачка захвата установлен с возможностью поворота вокруг проходящей в продольном направлении соответствующего рычага первой поворотной оси, причём кулачок захвата установлен с возможностью поворота вокруг проходящей перпендикулярно продольному направлению соответствующего рычага второй поворотной оси на соответствующем держателе кулачка захвата.

30. Устройство по п.29, причём первая и вторая поворотные оси расположены, в основном, перпендикулярно друг другу.

31. Устройство по любому из пп.28-30, причём захват на, по меньшей мере, одном из рычагов имеет держатель кулачка захвата с двумя кулачками захвата, расположенными на расстоянии друг от друга в продольном направлении рычага, на котором располагается держатель кулачка захвата, причём кулачки захвата в основном положении держателя кулачка захвата ориентированы по одной линии, в основном, параллельно рычагу, и причём держатель кулачка захвата установлен вокруг проходящей перпендикулярно продольному направлению соответствующего рычага третьей поворотной оси.

32. Устройство по п.31, причём третья поворотная ось обращена к другому рычагу.

33. Устройство по п.31 или 32, которое имеет устройство предварительного натяжения, которое предварительно смещает держатель кулачка захвата в основное положение.